JP2015072175A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学系30は、所謂両側テレセントリックレンズとされ、発光器14から検査対象物OBに向かって順に配置される、第一レンズの一例としてのレンズ32と、第二レンズの一例としてのレンズ34と備えている。また、光学系30は、レンズ32とレンズ34との間に配置され、光束を絞る絞り部の一例としての絞り部材40を備えている。さらに、受光素子16がレンズ32とレンズ34との間に配置されている。このため、受光素子16がレンズ32とレンズ34との間に配置されていない場合と比して、検査装置10が小型化される。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態に係る検査装置の一例を図1〜図7に従って説明する。なお図中に示す矢印Hは装置上下方向(鉛直方向)を示し、矢印Wは装置幅方向(水平方向)を示し、矢印Dは装置奥行方向(水平方向)を示す。
本第1実施形態に係る検査装置10は、装置奥行方向に移動する検査対象物OBに光束(光線束)を照射して検査対象物OBの反射特性(例えば、光量分布の反射角度依存性)を検査する装置である。そして、検査装置10は、図1、図7に示されるように、発光部の一例としての光源12を複数備えた発光器14と、受光部の一例としての受光素子16を複数備えた受光器18と、検査部20と、を備えている。
発光器14は、図1に示されるように、装置奥行方向に移動する検査対象物OBが通過する検査領域Tに対して、装置上下方向の上方に配置されている。また、発光器14は基板に実装され、装置幅方向に並ぶと共に装置上下方向の下方に光束を発光する複数の光源12を備えている。このように、光源12は、検査対象物OBの移動方向(装置奥行方向)に対して交差(直交)する方向に並べられている。
光学系30は、所謂両側テレセントリックレンズとされ、図1に示されるように、発光器14から検査対象物OBに向かって順に配置される、第一レンズの一例としてのレンズ32と、第二レンズの一例としてのレンズ34と備えている。さらに、光学系30は、レンズ32とレンズ34との間に配置され、光束を絞る絞り部の一例としての絞り部材40を備えている。
受光器18は、レンズ32とレンズ34との間で絞り部材40の装置上下方向の下側に配置され、光軸Mを挟んで図中右側に配置される受光器18Aと、図中左側は配置される受光器18Bとから構成されている。受光器18Aと受光器18Bとは同様の構成とされるため、主に受光器18Aについて説明する。
検査部20は、図7に示されるように、受光素子16の受光結果を受け取るようになっている。そして、検査部20は、受光素子16の受光結果に基づいて検査対象物OBの反射特性を検出するようになっている。
次に、検査装置10の作用について、検査装置10が板状の検査対象物OBの反射特性(例えば、表面の凹凸度合)を検査する場合を例にとって説明する。なお、図1、図3(A)(B)、図4(A)(B)では、検査対象物OBに照射される光束を示し、図2では、検査対象物OBによって反射される光束を示す。
以上説明したように、受光素子16がレンズ32とレンズ34との間に配置されているため、受光素子16がレンズ32とレンズ34との間に配置されていない場合と比して、検査装置10が小型化される。
本発明の第2実施形態に係る検査装置の一例を図8に従って説明する。なお、第1実施形態と同一部材等については、同一符号を付してその説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。なお、図8には、光源12Cから発光されて検査対象物OBの中央部Cで反射される反射光束が示されている。
本発明の第3実施形態に係る検査装置の一例を図9、図10に従って説明する。なお、第1実施形態と同一部材等については、同一符号を付してその説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。なお、図9に示す反射光束については、正反射光LA2のみが示されている。
本発明の第4実施形態に係る検査装置の一例を図11に従って説明する。なお、第3実施形態と同一部材等については、同一符号を付してその説明を省略し、第3実施形態と異なる部分を主に説明する。
本発明の第5実施形態に係る検査装置の一例を図12に従って説明する。なお、第1実施形態と同一部材等については、同一符号を付してその説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。
本発明の第6実施形態に係る検査装置の一例を図13(A)に従って説明する。なお、第1実施形態と同一部材等については、同一符号を付してその説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。
本発明の第7実施形態に係る検査装置の一例を図13(B)に従って説明する。なお、第1実施形態と同一部材等については、同一符号を付してその説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。
12 光源(発光部の一例)
16 受光素子(受光部の一例)
20 検査部
32 レンズ(第一レンズの一例)
34 レンズ(第二レンズの一例)
40 絞り部材(絞り部の一例)
100 検査装置
102 絞り部材(絞り部の一例)
106 受光素子(受光部の一例)
110 検査装置
112 絞り部材(絞り部の一例)
120 検査装置
122 光源(発光部の一例)
130 検査装置
140 検査装置
142 受光素子(受光部の一例)
150 検査装置
152 受光素子(受光部の一例)
OB 検査対象物
Claims (3)
- 光束を発光する発光部と、
光軸が一方向を向くように配置され、前記発光部から発光されて透過する光束の発散度合を変える第一レンズと、
光軸が前記一方向を向くように配置され、前記第一レンズから出射されて透過する光束を検査対象物に向けて集光する第二レンズと、
前記第一レンズと前記第二レンズとの間に配置され、前記第二レンズから出射されて前記検査対象物によって反射されて前記第二レンズを透過する光束の少なくとも一部を受光する受光部と、
前記受光部の受光結果に基づいて前記検査対象物の少なくとも一部の反射特性を検出する検査部と、
を備える検査装置。 - 前記一方向における前記受光部と前記第二レンズとの距離は、前記第二レンズの焦点距離と同様とされる請求項1に記載の検査装置。
- 前記第一レンズと前記第二レンズとの間には、前記第一レンズを透過して前記第二レンズに入射する光束を絞る絞り部が備えられ、
前記一方向における前記絞り部と前記第一レンズとの距離は、前記第一レンズの焦点距離と同様とされ、
前記一方向における前記絞り部と前記第二レンズとの距離は、前記第二レンズの焦点距離と同様とされる請求項1又は2に記載の検査装置。
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