JP2016172231A - 保護部材の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保護部材(P)の形成方法は、ステージ(2)の中心に液状樹脂(R1)を供給する樹脂供給工程と、液状樹脂が単体で押圧されても到達し得ないエリアに周辺樹脂(R2)を配置する周辺樹脂配置工程と、液状樹脂及び周辺樹脂を押圧して拡張する拡張工程と、液状樹脂及び周辺樹脂を硬化させる硬化工程とで構成される。拡張工程では、液状樹脂が押し広げられる結果、液状樹脂と周辺樹脂とが結合されて、周辺樹脂により液状樹脂のみでは到達し得ないエリアへの液状樹脂の広がりがサポートされる。
【選択図】図6
Description
R、R1 液状樹脂
R2 周辺樹脂
L 樹脂層
P 保護部材
1 保護部材形成装置
2 ステージ
3 押圧手段
60 プレート(延ばし部)
70 仕切板(延ばし部)
80 プレート(延ばし部)
Claims (3)
- 中心から外周までの距離が一定でない板状ワークの一方の面に所定の加工を施すため液状樹脂を押圧手段で押圧させ他方の面全面に押し広げて硬化させ他方の面全面を保護する樹脂層を形成する保護部材の形成方法であって、
ステージ及び押圧手段のいずれか一方で板状ワークを保持し、ステージ上の板状ワークの中心又はステージの中心に所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、
該樹脂供給工程で供給した液状樹脂が押圧手段で押圧され拡径した際に板状ワークの外周まで液状樹脂が到達しないエリアに周辺樹脂を配置する周辺樹脂配置工程と、
該樹脂供給工程と該周辺樹脂配置工程との後、板状ワークの中心と該ステージの中心とを一致させ、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂と該周辺樹脂配置工程で配置した周辺樹脂とを該押圧手段で押圧して拡張させ、該周辺樹脂が該樹脂供給工程で供給した液状樹脂の広がりをサポートして板状ワークの他方の面全面に液状樹脂を押し広げる拡張工程と、
該拡張工程で押し広げられた液状樹脂を硬化させる硬化工程と、からなる保護部材の形成方法。 - 該周辺樹脂配置工程では、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂とは別に該周辺樹脂を供給する請求項1に記載の保護部材の形成方法。
- 該周辺樹脂配置工程では、該樹脂供給工程で供給した液状樹脂を延ばし部で延ばすことで該周辺樹脂を形成する請求項1に記載の保護部材の形成方法。
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