JP2019133997A - ダイボンド用樹脂の敷設方法 - Google Patents
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 165
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 165
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 64
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 13
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 claims description 6
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係るダイボンド用樹脂の敷設方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るダイボンド用樹脂の敷設方法の加工対象のウェーハの一例を示す斜視図である。図2は、図1に示されたウェーハに分割溝が形成され表面側に保護テープが貼着された状態を示す斜視図である。図3は、実施形態1に係るダイボンド用樹脂の敷設方法の流れを示すフローチャートである。
図4は、実施形態1に係るダイボンド用樹脂の敷設方法のダイボンド用樹脂敷設ステップを示す斜視図である。図5は、実施形態1に係るダイボンド用樹脂の敷設方法のダイボンド用樹脂敷設ステップ後のウェーハの断面図である。
図6は、図3に示されたダイボンド用樹脂の敷設方法の硬化ステップを示す側面図である。図7は、図3に示されたダイボンド用樹脂の敷設方法の硬化ステップ後の図6中のVII部を拡大して示すウェーハの断面図である。
図8は、図3に示されたダイボンド用樹脂の敷設方法の平坦化ステップを示す斜視図である。図9は、図3に示されたダイボンド用樹脂の敷設方法の平坦化ステップを示すウェーハの断面図である。
図10は、図3に示されたダイボンド用樹脂の敷設方法のシート剥離ステップ後のウェーハ等の断面図である。図11は、図10中のXI部を拡大して示すウェーハの断面図である。
本発明の実施形態2に係るダイボンド用樹脂の敷設方法を図面に基づいて説明する。図12は、実施形態2に係るダイボンド用樹脂の敷設方法の平坦化ステップを示すウェーハの断面図である。図13は、実施形態2に係るダイボンド用樹脂の敷設方法のシート剥離ステップの一部を示すウェーハ等の断面図である。なお、図12及び図13は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
2 基板
3 分割予定ライン
4 デバイス
5 表面
6 裏面
7 デバイスチップ
10 保護テープ(保護部材)
13 ダイボンド用樹脂
14 紫外線
17 表面
18,18−2 シート
44 ローラー
ST1 ダイボンド用樹脂敷設ステップ
ST2 硬化ステップ
ST3 平坦化ステップ
ST4 シート剥離ステップ
Claims (3)
- 複数の分割予定ラインで区画された複数の領域にデバイスが形成された表面に保護部材が貼着されたウェーハであって、該分割予定ラインに沿って個々のデバイスチップに分割された該ウェーハの裏面にダイボンド用樹脂を敷設するダイボンド用樹脂の敷設方法であって、
該ウェーハの裏面に熱で軟化し紫外線の照射で硬化する液状のダイボンド用樹脂を敷設するダイボンド用樹脂敷設ステップと、
敷設された該ダイボンド用樹脂を紫外線の照射によって硬化させる硬化ステップと、
該硬化ステップを実施した後、凹凸のある該ダイボンド用樹脂の表面を加熱し、軟化した該ダイボンド用樹脂の表面を平坦なシート越しに押圧し、該ダイボンド用樹脂を平坦化する平坦化ステップと、
平坦化した該ダイボンド用樹脂の加熱を停止し、密着した該シートと該ダイボンド用樹脂とを剥離するシート剥離ステップと、を備えるダイボンド用樹脂の敷設方法。 - 該平坦化ステップでは、該シート越しにローラーを回転させて該ダイボンド用樹脂の表面を押圧して平坦化する請求項1に記載のダイボンド用樹脂の敷設方法。
- 該シートは、ポリオレフィン製のシートである請求項1又は請求項2に記載のダイボンド用樹脂の敷設方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018012940A JP6994965B2 (ja) | 2018-01-29 | 2018-01-29 | ダイボンド用樹脂の敷設方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018012940A JP6994965B2 (ja) | 2018-01-29 | 2018-01-29 | ダイボンド用樹脂の敷設方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019133997A true JP2019133997A (ja) | 2019-08-08 |
JP6994965B2 JP6994965B2 (ja) | 2022-02-04 |
Family
ID=67546435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018012940A Active JP6994965B2 (ja) | 2018-01-29 | 2018-01-29 | ダイボンド用樹脂の敷設方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6994965B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20180226295A1 (en) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | Disco Corporation | Processing method of wafer |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219178A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 接着剤層の形成方法及びウエーハの取り扱い方法 |
JP2012164739A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2017041574A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-02-23 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
-
2018
- 2018-01-29 JP JP2018012940A patent/JP6994965B2/ja active Active
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US20180226295A1 (en) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | Disco Corporation | Processing method of wafer |
US10707129B2 (en) * | 2017-02-03 | 2020-07-07 | Disco Corporation | Processing method of wafer |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6994965B2 (ja) | 2022-02-04 |
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