JP2018088441A - 硬化エネルギー測定方法及び保護部材形成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)
硬化エネルギー=紫外線の照度×紫外線の照射時間
23 ステージ
25 ウエーハ保持手段
26 樹脂供給手段
28 押し力測定部
29 硬化手段
31 昇降手段(拡張手段)
41 制御手段
42 記憶部
43 判断手段
44 算出手段
F フィルム
R 液状樹脂
W ウエーハ
Claims (2)
- フィルムを載置するステージと、フィルムの上に紫外線で硬化する液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、該ステージの上方でウエーハを保持するウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段を該ステージに対して昇降させ該ウエーハ保持手段が保持したウエーハでフィルムに供給した液状樹脂を押し広げる拡張手段と、該拡張手段が液状樹脂を押し広げる押し力値を測定する押し力測定部と、ウエーハとフィルムとの間に押し広げられた液状樹脂に紫外線を照射させて液状樹脂を硬化させる硬化手段と、を備える保護部材形成装置において、紫外線を照射させ液状樹脂を硬化させる硬化エネルギーを測定する硬化エネルギー測定方法であって、
該拡張手段で該ウエーハ保持手段を下降させ液状樹脂に押し力を与え該フィルムの上面の液状樹脂を押し広げる拡張工程と、
該拡張工程の後、該ウエーハ保持手段を停止させ該押し力測定部が測定した押し力値を記憶部に記憶する記憶工程と、
該記憶工程の後、液状樹脂に予め設定した照度の紫外線を照射させ液状樹脂を硬化させたときの収縮により該押し力測定部が測定する該記憶部が記憶している押し力値よりマイナス方向に変化する値の時間当たりの変化量が予め設定した時間当たりの変化量より小さくなるまで液状樹脂を硬化させる硬化工程と、
該硬化工程で用いた紫外線の該照度と、紫外線照射開始から液状樹脂が硬化したと判断するまでの時間と、から樹脂を硬化させるために必要な硬化エネルギーを算出する算出工程と、を備える硬化エネルギー測定方法。 - 請求項1記載の硬化エネルギー測定方法を用いてウエーハの一方の面を保護する樹脂層を形成する保護部材形成装置であって、
硬化エネルギーを算出する算出手段と、該算出手段が算出した該硬化エネルギーから逆算して、該照度を弱めたら該時間を長くして、該照度を強めたら該時間を短くして硬化した樹脂層によりウエーハとフィルムとの保持力が大きくなるよう制御する制御手段と、を備え、
次工程でフィルムを吸引保持しウエーハの他方の面を研削砥石で研削する研削工程における研削負荷に対抗する保持力の樹脂層を形成することを特徴とする保護部材形成装置。
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