JP2021061333A - 樹脂保護部材形成装置、および、保護部材の形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェーハに保護部材を形成する際に、液状樹脂の広がりを良好に認識する。【解決手段】ウェーハＷの下面Ｗｂによって押し広げられている液状樹脂４４を、撮像手段８０によって撮像する。この撮像によって得られた画像に基づいて、液状樹脂４４の外周縁がウェーハＷの外周縁に達したことを確認したときに、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４が押し広げられた、と判断する。すなわち、液状樹脂４４の広がりが完了したことを、押し広げられている液状樹脂４４の画像を用いて判断する。このため、液状樹脂４４の広がりが完了したことを、容易かつ良好に確認することが可能である。【選択図】図６

Description

本発明は、樹脂保護部材形成装置、および、保護部材の形成方法に関する。

特許文献１に開示の保護部材形成装置は、紫外線硬化性の液状樹脂を、ウェーハの一方の面の全面に押し広げたのち硬化させる。これにより、ウェーハの一方の面を保護する保護部材を形成する。

この装置では、ステージの上にフィルムを敷置し、フィルムの上に液状樹脂を滴下する。さらに、ウェーハの他方の面を保持手段で保持し、該保持手段を、ステージに接近する方向に移動させる。そして、保持手段に保持されたウェーハの一方の面によって、フィルム上の液状樹脂を押し広げる。さらに、押し広げられた液状樹脂に、波長３５０ｎｍ〜波長３７０ｎｍの紫外線を、３８ｍＷ／ｃｍ^２以上の照射強度で照射する。これにより、液状樹脂が硬化されて、ウェーハの一方の面の全面に、保護部材が形成される。

なお、特許文献４には、押し広げられた液状樹脂内に気泡があるか否かを、硬化後の樹脂を撮像することによって確認する技術が記載されている。

特開２０１９−０８７６２０ 特開２０１２−１４３７２３ 特開２０１３−１７５６４７ 特開２０１７−２２４６７０

上記した保護部材形成装置を用いた保護部材の形成方法では、特許文献２および特許文献３に開示のように、液状樹脂の広がり具合を、液状樹脂にかかる圧力変化に基づいて検知している。そのため、液状樹脂の粘度が大きい場合には、圧力変化を見つけにくくなるため、液状樹脂の広がりが完了したか否かを判断しにくくなる。

したがって、本発明の目的は、ウェーハに保護部材を形成する際に、液状樹脂の広がり具合を良好に認識することにある。

本発明の保護部材形成装置（本保護部材形成装置）は、ウェーハの一方の面の全面に押し広げられた液状樹脂を硬化させることによって保護部材を形成する保護部材形成装置であって、フィルムを保持するためのフィルム保持面を備えた透明ステージと、該透明ステージの該フィルム保持面によって保持された該フィルムの上面中央に、ウェーハの一方の面の全面に行きわたる量の液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、該透明ステージの該フィルム保持面に平行なウェーハ保持面を有し、このウェーハ保持面によってウェーハの他方の面を保持するウェーハ保持手段と、該ウェーハ保持手段と該透明ステージとを、相対的に、該透明ステージの該フィルム保持面に垂直な方向に沿って接近させることによって、該フィルム上に供給された該液状樹脂を、ウェーハの一方の面の全面に押し広げる押し広げ手段と、該押し広げられた該液状樹脂に外的刺激を与えることによって、該液状樹脂を硬化させる硬化手段と、該押し広げ手段によって該フィルムの上で押し広げられていく該液状樹脂の外周縁を、該透明ステージの下面側から撮像する撮像手段と、該液状樹脂の外周縁を該撮像手段によって撮像可能なように、該液状樹脂を照らす光源と、該撮像手段によって、該フィルムの上で押し広げられる該液状樹脂の外周縁を撮像し、この撮像によって得られた画像に基づいて、該液状樹脂の外周縁がウェーハの外周縁に達したことを確認したときに、ウェーハの一方の面の全面に該液状樹脂が押し広げられた、と判断する判断手段と、を備え、ウェーハの一方の面の全面に押し広げられた該液状樹脂を、該硬化手段で硬化させることによって、保護部材を形成する。

なお、本保護部材形成装置では、該液状樹脂は、紫外線硬化性樹脂であって、該光源は、該透明ステージの下方に設置され、該フィルム保持面に向かって紫外線を照射するように構成されていてもよい。また、この場合、本保護部材形成装置は、該撮像手段によって該液状樹脂の外周縁を撮像する際には、該光源から、該液状樹脂が硬化しない照射強度で紫外線を照射し、該押し広げられた該液状樹脂を硬化させる際は、該液状樹脂が硬化する照射強度で紫外線を照射するように、該光源の照射強度を制御する制御部をさらに備えてもよい。

また、本保護部材形成装置では、該液状樹脂は、熱硬化性樹脂であってもよく、該ウェーハを保持する該ウェーハ保持手段は、ウェーハに熱を与える熱源を備えてもよい。この場合、ウェーハの一方の面の全面に押し広げられた該液状樹脂を、該熱源により、該ウェーハ保持手段に保持されたウェーハを介して加熱して硬化させることによって保護部材を形成してもよい。

さらに、本保護部材形成装置では、該撮像手段は、該液状樹脂を押し広げている時に該ウェーハの一方の面の全面を撮像可能な撮像範囲を有する広角レンズを備えていてもよい。

本発明にかかる保護部材の形成方法（本形成方法）は、ウェーハの一方の面の全面に樹脂で保護部材を形成する保護部材の形成方法であって、透明な部材で形成された透明ステージのフィルム保持面に敷置かれたフィルムを、このフィルム保持面によって保持するフィルム配置工程と、該フィルムの上に、ウェーハの一方の面の全面に行きわたる量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給工程と、該透明ステージの該フィルム保持面にウェーハの一方の面を対面させるように、ウェーハの他方の面をウェーハ保持手段によって保持するウェーハ保持工程と、該ウェーハ保持手段を、該透明ステージの該フィルム保持面に垂直な方向に沿って該透明ステージに接近させることによって、該ウェーハの一方の面で該液状樹脂を押し広げていき、該押し広げられる該液状樹脂の外周縁を、該透明ステージの下面側から撮像手段によって撮像し、該撮像される外周縁が該ウェーハ保持手段に保持されたウェーハの外周縁に達したら、ウェーハの一方の面の全面に該液状樹脂が行きわたったと判断する押し広げ工程と、該ウェーハの一方の面の全面に押し広げられた該液状樹脂を、外的刺激を与えることによって硬化させる硬化工程と、を含む。

本形成方法は、該液状樹脂供給工程において、該フィルムの上に供給された液状樹脂の中心と該透明ステージのフィルム保持面の中心とが一致しているか否かを、該撮像手段によって撮像された該液状樹脂の外周縁の画像から判断するずれ判断工程と、該ずれ判断工程で、液状樹脂の中心と該透明ステージの中心とのずれ量が、予め設定された規定値以上である場合、そのずれの方向の反対方向に、そのずれ量だけずれた位置に、液状樹脂を補充する液状樹脂補充工程と、をさらに含んでいてもよい。

本保護部材形成装置および本形成方法では、撮像手段による撮像によって得られた画像に基づいて、液状樹脂の外周縁がウェーハの外周縁に達したことを確認したときに、ウェーハにおける一方の面の全面に液状樹脂が押し広げられた、と判断する。このように、液状樹脂の広がりが完了したことが、押し広げられている液状樹脂の画像を用いて判断される。このため、液状樹脂の広がり具合、すなわち、液状樹脂の広がりが完了したことを、容易かつ良好に確認することが可能である。

本発明の一実施形態にかかる保護部材形成装置の構成を示す説明図である。 保護部材形成装置の構成を側面側から示す説明図である。 保護部材形成装置によるフィルム配置工程を示す説明図である。 保護部材形成装置による液状樹脂供給工程を示す説明図である。 保護部材形成装置によるウェーハ保持工程を示す説明図である。 保護部材形成装置による押し広げ工程を示す説明図である。 ウェーハの裏面の全面に押し広げられた液状樹脂を示す説明図である。 保護部材形成装置による硬化工程を示す説明図である。 保護部材形成装置による他の形態の液状樹脂供給工程を示す説明図である。 フィルム保持面に供給された液状樹脂の一例を示す説明図である。 フィルム保持面に供給された液状樹脂の他の例を示す説明図である。 保護部材形成装置による液状樹脂補充工程を示す説明図である。 液状樹脂補充工程においてフィルム保持面に補充された液状樹脂を示す説明図である。 他の実施形態にかかる保護部材形成装置による押し広げ工程を示す説明図である。 図１４に示した保護部材形成装置による硬化工程を示す説明図である。

図１に示す保護部材形成装置１は、ウェーハＷの一方の面の全面に押し広げられた液状樹脂を硬化させることによって保護部材を形成する装置の一例である。ウェーハＷは、たとえば、円板状のシリコンのアズスライスウェーハである。

保護部材形成装置１は、筐体１００と、筐体１００内に配設された装置ベース１０１と、装置ベース１０１に立設されたコラム１０２と、装置ベース１０１に隣接して配設された支持ベース１０３と、筐体１００の後端側に連結されたカセット収容本体１０４とを備える。

カセット収容本体１０４は、上下方向に２段の収容スペース２ａ，２ｂを有する。上段の収容スペース２ａには、保護部材が形成される前の複数のウェーハＷが収容されるカセット３ａが配設されている。下段の収容スペース２ｂには、保護部材が形成された複数のウェーハＷが収容されるカセット３ｂが配設されている。

カセット収容本体１０４の−Ｙ方向側には、第１支持台６ａと、第１支持台６ａの下方側に位置する第２支持台６ｂとが配設されている。第１支持台６ａには、ウェーハ検出部７が配設されている。ウェーハ検出部７は、保護部材が形成される前のウェーハＷの中心位置および向きを検出する。第２支持台６ｂには、フィルムカッター８が配設されている。フィルムカッター８は、ウェーハＷの外形に沿って、余分なフィルム１２を切断する。

カセット収容本体１０４とウェーハ検出部７およびフィルムカッター８との間には、第１ウェーハ搬送手段４が配設されている。第１ウェーハ搬送手段４は、カセット３ａ,３ｂに対するウェーハＷの搬出および搬入を行う。すなわち、第１ウェーハ搬送手段４は、保護部材が形成される前のウェーハＷを、カセット３ａから搬出して、第１支持台６ａに搬入することができる。さらに、第１ウェーハ搬送手段４は、保護部材が形成されたウェーハＷを、第２支持台６ｂから搬出して、カセット３ｂに搬入することができる。

装置ベース１０１には、ロール部１１を有するフィルム供給手段１０と、フィルム１２の下面を保持する透明ステージ２０とが備えられる。ロール部１１は、フィルム１２がロール状に巻かれることによって形成されている。

図１および図２に示すように、透明ステージ２０は、フィルム１２を保持するための円形かつ透明のフィルム保持面２１と、フィルム保持面２１の外周に形成されたリング状の凸部２２とを備えている。透明ステージ２０、および、透明ステージ２０の上面であるフィルム保持面２１は、たとえば、石英ガラス等のガラス製である。

フィルム保持面２１には、吸引源に接続された複数の吸引孔が形成されている（ともに図示せず）。フィルム保持面２１は、自身に載置されたフィルム１２を、下方から吸引保持するように構成されている。

透明ステージ２０では、フィルム保持面２１に保持されたフィルム１２の上面に、液状樹脂４４が滴下され、凸部２２の内側の領域に溜められる。このように、透明ステージ２０は、凸部２２によって、透明ステージ２０の外側に液状樹脂４４が飛散することを抑制するように構成されている。

また、図１に示すように、支持ベース１０３には、フィルム載置手段３０が配設されている。フィルム載置手段３０は、Ｙ軸方向と交差する方向（Ｘ軸方向）に延在するアーム部３１と、アーム部３１の側面に取り付けられたクランプ部３２とを備えている。そして、フィルム載置手段３０は、ロール部１１に巻かれたフィルム１２を、クランプ部３２によってクランプして、アーム部３１によってＹ軸方向に引っ張り、透明ステージ２０のフィルム保持面２１上に載置することができる。

また、図１および図２に示すように、透明ステージ２０の近傍には、樹脂供給手段４０が備えられる。樹脂供給手段４０は、透明ステージ２０のフィルム保持面２１によって保持されたフィルム１２の上面中央に、所定量の液状樹脂４４を供給するように構成されている。本実施形態では、所定量の液状樹脂４４は、ウェーハＷの一方の面の全面に行きわたる量の液状樹脂４４である。また、本実施形態では、液状樹脂４４は、紫外線硬化性樹脂である。

樹脂供給手段４０は、樹脂供給ノズル４１、樹脂供給ノズル４１に液状樹脂４４を送出するディスペンサ４２、および、これら樹脂供給ノズル４１とディスペンサ４２とを接続する接続管４３を備える。ディスペンサ４２は、図示しない樹脂供給源に接続されている。樹脂供給ノズル４１は、透明ステージ２０のフィルム保持面２１に向けて液状樹脂４４を供給する供給口４１ａを有している。樹脂供給ノズル４１は、旋回可能となっており、供給口４１ａを透明ステージ２０の上方側に位置づけることができる。

コラム１０２の−Ｙ方向側には、図１および図２に示すように、ウェーハＷを保持するウェーハ保持手段５０、および、ウェーハ保持手段５０を移動させる押し広げ手段６０が配されている。

ウェーハ保持手段５０は、押し広げ手段６０に取り付けられた支持構造５１、および、支持構造５１に取り付けられた保持テーブル５２を有している。支持構造５１は、保持テーブル５２を支持した状態で、押し広げ手段６０に取り付けられており、押し広げ手段６０によってＺ軸方向に移動する。

ウェーハ保持手段５０の保持テーブル５２は、透明ステージ２０のフィルム保持面２１に平行なウェーハ保持面５２ａを有している。保持テーブル５２は、このウェーハ保持面５２ａによって、ウェーハの他方の面である上面Ｗａを保持する。上記の透明ステージ２０（フィルム保持面２１）は、保持テーブル５２のウェーハ保持面５２ａに対向するように配設されている。

図２に示すように、保持テーブル５２では、ウェーハ保持面５２ａを吸引源５８に連通させることにより、ウェーハ保持面５２ａにより、ウェーハＷを吸引保持することができる。

図１および図２に示す押し広げ手段６０は、ウェーハ保持手段５０と透明ステージ２０とを、相対的に、透明ステージ２０のフィルム保持面２１に垂直なＺ軸方向に沿って接近させることによって、フィルム保持面２１に保持されているフィルム１２上に供給された液状樹脂４４を、ウェーハＷの一方の面である下面Ｗｂの全面に押し広げる。本実施形態では、押し広げ手段６０は、保持テーブル５２を、Ｚ軸方向に沿って、透明ステージ２０に接近する方向に移動させる。

押し広げ手段６０は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ６１と、ボールネジ６１の一端に接続されたモータ６２と、ボールネジ６１と平行に延在する一対のガイドレール６３と、一方の面にウェーハ保持手段５０が取り付けられた昇降板６４と、を備える。一対のガイドレール６３には、昇降板６４の他方の面が摺接している。昇降板６４の他方の面側には、ナット部６５が形成されている。このナット部６５には、ボールネジ６１が螺合している。

押し広げ手段６０では、モータ６２によってボールネジ６１が回動されることにより、一対のガイドレール６３に沿って、昇降板６４が、Ｚ軸方向に移動する。これにより、押し広げ手段６０は、透明ステージ２０のフィルム保持面２１に対して略垂直なＺ軸方向に沿って、ウェーハ保持手段５０を昇降させることができる。

また、図２に示すように、透明ステージ２０内には、フィルム保持面２１上の液状樹脂４４に光を照射する複数の光源９０、および、液状樹脂４４を撮像するための撮像手段８０が配置されている。

撮像手段（カメラ）８０は、押し広げ手段６０によってフィルム１２の上で押し広げられていく液状樹脂４４の外周縁を、透明ステージ２０におけるフィルム保持面２１の下面（裏面）側から撮像する。

なお、撮像手段８０は、広角レンズ８０ａを有している。広角レンズ８０ａは、押し広げ手段６０が液状樹脂を押し広げているときにウェーハＷの下面Ｗｂの全面を撮像可能な撮像範囲を有する。

たとえば、透明ステージ２０におけるフィルム保持面２１の厚みが５０ｍｍであり、ウェーハＷの直径が３００ｍｍであるとする。この場合、透明ステージ２０の下面に配置された撮像手段８０の広角レンズ８０ａは、焦点距離５０ｍｍでΦ３００ｍｍ以上の撮像範囲を撮像することの可能な、超広角レンズ（魚眼レンズ）である。

光源９０は、液状樹脂４４の外周縁を撮像手段８０によって撮像可能なように、液状樹脂４４を照らすために、透明ステージ２０の底面に設けられている。本実施形態では、光源９０は、撮像手段８０による撮像を可能とする光として、フィルム保持面２１の下面に向けて、比較的に弱い強度の紫外線（たとえば、３５０ｎｍ〜３８０ｎｍの波長を有する光）を照射するように構成されている。

本実施形態では、撮像手段８０は、透明ステージ２０の底面の中央に設けられている。そして、透明ステージ２０の底面において、撮像手段８０を囲むように、複数の光源９０が配置されている。透明ステージ２０の底面は、フィルム保持面２１に対面する、透明ステージ２０の下面である。

また、光源９０は、比較的に強い強度の紫外線を照射することにより、押し広げ手段６０によってウェーハＷの下面Ｗｂの全面に押し拡げられた液状樹脂４４を硬化する。これによって、光源９０は、ウェーハＷの下面Ｗｂに、保護部材を形成する。このように、光源９０は、押し広げられた液状樹脂４４に外的刺激を与えることによって、液状樹脂を硬化させる硬化手段としても機能する。

また、図１に示すように、ウェーハ保持手段５０とカセット収容本体１０４との間には、第２ウェーハ搬送手段５が配置されている。第２ウェーハ搬送手段５は、第１支持台６ａからウェーハＷを搬出して、ウェーハ保持手段５０の保持テーブル５２に受け渡すことができる。また、第２ウェーハ搬送手段５は、保護部材が形成されたウェーハＷを、ウェーハ保持手段５０から回収して、第２支持台６ｂに搬入することができる。

また、保護部材形成装置１には、保護部材形成装置１の各部材を制御する制御手段７０が備えられている。また、制御手段７０は、判断手段７１および制御部７３を備えている。以下に、制御手段７０、判断手段７１および制御部７３の機能とともに、保護部材形成装置１による保護部材の形成方法について説明する。

保護部材の形成では、制御手段７０は、まず、図１に示すフィルム載置手段３０を制御して、フィルム１２をクランプしてＹ軸方向に移動させることにより、フィルム１２をロール部１１から引き出す。フィルム載置手段３０のクランプ部３２は、図３に示すように、引き出されたフィルム１２を、透明ステージ２０のフィルム保持面２１に載置する。そして、フィルム１２は、図示しない吸引源の作用を受けて、フィルム保持面２１によって吸引保持される。

このように、制御手段７０は、透明な部材で形成された透明ステージ２０のフィルム保持面２１に敷置かれたフィルム１２を、このフィルム保持面２１によって保持する（フィルム配置工程）。

その後、制御手段７０は、図２に示すように、樹脂供給手段４０の樹脂供給ノズル４１を旋回させることにより、樹脂供給ノズル４１の供給口４１ａを、透明ステージ２０の上方側に位置づける。続いて、制御手段７０は、図１に示したディスペンサ４２を制御して、樹脂供給ノズル４１に、所定温度に温度管理されている液状樹脂４４を送出する。
これにより、図４に示すように、樹脂供給ノズル４１の供給口４１ａから、透明ステージ２０に吸引保持されているフィルム１２に向けて、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に行きわたる量の液状樹脂４４が供給（滴下）される（液状樹脂供給工程）。

また、制御手段７０は、フィルム配置工程および液状樹脂供給工程と並行して、あるいは、これらの工程の前または後に、図１に示す第１ウェーハ搬送手段４を制御して、カセット３ａから、保護部材が形成される前のウェーハＷを１枚取り出して、第１支持台６ａに搬送する。制御手段７０は、ウェーハ検出部７によって、ウェーハＷの中心位置および向きを検出する。その後、制御手段７０は、第２ウェーハ搬送手段５を用いて、第１支持台６ａからウェーハＷを搬出して、ウェーハ保持手段５０に受け渡す。

ウェーハ保持手段５０では、図２および図５に示すように、透明ステージ２０のフィルム保持面２１にウェーハＷの下面Ｗｂを対面させるように、保持テーブル５２のウェーハ保持面５２ａが、ウェーハＷの上面Ｗａを吸引保持する（ウェーハ保持工程）。

次いで、制御手段７０は、図２に示した押し広げ手段６０のモータ６２を制御して、ボールネジ６１を回動させ、ウェーハ保持手段５０を下降させる。すなわち、制御手段７０は、透明ステージ２０のフィルム保持面２１に垂直なＺ軸方向に沿って、ウェーハ保持手段５０を、透明ステージ２０に接近させる。上記のように、この段階では、ウェーハ保持手段５０における保持テーブル５２のウェーハ保持面５２ａが、ウェーハＷの上面Ｗａを吸引保持している。したがって、ウェーハ保持手段５０の下降に伴い、保持テーブル５２が下降されて、図６に示すように、吸引保持されたウェーハＷの下面Ｗｂが、液状樹脂４４に接触する。このようにウェーハ保持手段５０が下降することにより、液状樹脂４４は、ウェーハＷの下面Ｗｂによって下方に押圧され、ウェーハＷの径方向に、所定の厚みを有するように押し拡げられる。

この際、制御手段７０の判断手段７１は、押し広げられる液状樹脂４４の外周縁を、透明ステージ２０におけるフィルム保持面２１の下面側から、撮像手段８０を用いて撮像する。この撮像の際、制御手段７０の制御部７３が、光源９０から、液状樹脂４４が硬化しないような比較的に弱い照射強度で、撮像に関する照明光としての紫外線を、フィルム保持面２１に向けて照射する。

そして、判断手段７１が、撮像手段８０による撮像によって得られた画像に基づいて、液状樹脂４４の外周縁がウェーハＷの外周縁に達したか否かを判断する。判断手段７１は、図７に示すように、液状樹脂４４の外周縁がウェーハＷの外周縁に達したこと（たとえば、ウェーハＷにおける全ての外周縁に達したこと）を確認したときに、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４が押し広げられた（行きわたった）、と判断する（押し広げ工程）。

ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４が押し広げられた判断された場合、制御手段７０は、ウェーハ保持手段５０におけるウェーハ保持面５２ａの吸引源５８（図２参照）に対する連通を遮断する。これにより、ウェーハ保持面５２ａによるウェーハＷの吸引保持が解除され、図８に示すように、ウェーハＷが、フィルム１２を介して、透明ステージ２０のフィルム保持面２１に載置される。ウェーハＷがフィルム保持面２１上に載置された後、制御手段７０は、押し広げ手段６０を制御して、保持テーブル５２をＺ軸方向に沿って上昇させる。

その後、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に押し広げられた液状樹脂４４を、外的刺激を与えることによって硬化させる。すなわち、制御部７３が、液状樹脂４４が硬化するような比較的に強い照射強度で紫外線を照射するように、光源９０の照射強度を制御する。その結果、液状樹脂４４が硬化して、液状樹脂４４からなる所定の厚みの保護部材４５が、ウェーハＷの下面Ｗｂに形成される（硬化工程）。

保護部材４５が形成されたウェーハＷは、第２ウェーハ搬送手段５によって、第２支持台６ｂに搬送される。フィルムカッター８によって、ウェーハＷの外形に沿って、余分なフィルム１２が切断された後、ウェーハＷは、第１ウェーハ搬送手段４により、カセット３ｂに収容される。

以上のように、本実施形態では、制御手段７０の判断手段７１が、押し広げ工程において、撮像手段８０による撮像によって得られた画像に基づいて、液状樹脂４４の外周縁がウェーハＷの外周縁に達したことを確認したときに、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４が押し広げられた、と判断する。このように、本実施形態では、液状樹脂４４の広がりが完了したことを、押し広げられている液状樹脂４４の画像を用いて判断している。このため、液状樹脂４４の広がり具合、すなわち、液状樹脂４４の広がりが完了したことを、容易かつ良好に確認することが可能である。

なお、保護部材形成装置１では、透明ステージ２０のフィルム保持面２１に敷置かれたフィルム１２、あるいは、このフィルム１２に滴下される液状樹脂４４が、静電気を帯びることがある。この場合、液状樹脂供給工程において、滴下された液状樹脂４４が、静電気のために、フィルム１２の中心に留まりにくくなり、フィルム１２の外周に向かって流れてゆくことがある。このような場合には、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４を押し広げることが困難となるおそれがある。

そこで、制御手段７０は、液状樹脂供給工程において、液状樹脂４４の供給位置を調整してもよい。この場合、制御手段７０は、液状樹脂供給工程において、図９に示すように、フィルム１２の上に供給された液状樹脂４４を、透明ステージ２０におけるフィルム保持面２１の下面側から、撮像手段８０を用いて撮像する。この撮像の際、制御手段７０の制御部７３が、光源９０から、液状樹脂４４が硬化しない強度で、撮像に関する照明光としての紫外線を照射する。

そして、制御手段７０は、フィルム１２の上に供給された液状樹脂４４の中心と、透明ステージ２０のフィルム保持面２１の中心とが一致しているか否かを、撮像手段８０によって撮像された液状樹脂４４の外周縁の画像から判断する（ずれ判断工程）。すなわち、制御手段７０は、画像における液状樹脂４４の外周縁の位置に基づいて、液状樹脂４４の中心と、透明ステージ２０のフィルム保持面２１の中心とが一致しているか否かを判断する。

たとえば、図１０に示すように、液状樹脂４４の中心とフィルム保持面２１の中心とが略一致している場合、制御手段７０は、上述した押し広げ工程に進む。
一方、図１１に示すように、液状樹脂４４の中心４４ａが、フィルム保持面２１の中心２１ａから、矢印Ａ１によって示す方向にずれている場合、制御手段７０は、液状樹脂４４の中心４４ａとフィルム保持面２１の中心２１ａとのずれ量Ｂが、予め設定された規定値以上であるか否かを判断する。

ずれ量Ｂが規定値未満である場合、制御手段７０は、上述した押し広げ工程に進む。一方、ずれ量Ｂが規定値以上である場合、制御手段７０は、図１２に示すように、樹脂供給ノズル４１の供給口４１ａから、追加の液状樹脂４６を補充する。この際、制御手段７０は、図１３に示すように、ずれ方向（矢印Ａ１）の反対方向（矢印Ａ２）に沿って、ずれ量Ｂだけずれた位置に、追加の液状樹脂４６を補充する（液状樹脂補充工程）。
なお、補充する追加の液状樹脂４６の供給量は、フィルム１２の上に供給した液状樹脂４４の供給量より少なくてよい。

また、制御手段７０は、ずれ量Ｂが規定値以上である場合、液状樹脂４６を補充することに代えてまたは加えて、制御手段７０あるいは作業者の制御により、図示しない引っ掻き棒を用いて、フィルム１２上の液状樹脂４４の中心４４ａの位置を、フィルム保持面２１の中心２１ａに一致させるように、引っ掻いて調整してもよい。

また、上述した実施形態では、複数の光源９０が、透明ステージ２０の下方、すなわち、透明ステージ２０の底面に設けられている。これに関し、光源は、透明ステージ２０の側面の内側に設けられてもよい。この場合、撮像手段８０は、透明ステージ２０の側面側から入射される光を照明光として、撮像を実施する。また、この場合、液状樹脂４４として熱硬化性樹脂を用いるとともに、押し広げられた液状樹脂４４を硬化させる硬化手段として、熱源を用いてもよい。

この構成では、図３〜図５を用いて説明した場合と同様に、フィルム配置工程、液状樹脂供給工程およびウェーハ保持工程を実施する。その後、押し広げ工程では、図６を用いて説明した場合と同様に、制御手段７０は、保持テーブル５２を下降させ、ウェーハＷの下面Ｗｂによって、液状樹脂４４を、ウェーハＷの径方向に、所定の厚みを有するように押し拡げる。

また、押し広げ工程では、制御手段７０の判断手段７１は、押し広げられる液状樹脂４４の外周縁を、透明ステージ２０におけるフィルム保持面２１の下面側から、撮像手段８０を用いて撮像する。この撮像の際、制御手段７０の制御部７３は、図１４に示すように、透明ステージ２０の側面の内側に設けられている光源９１から、撮像に関する照明光（たとえば紫外線）を照射する。

そして、制御手段７０の判断手段７１が、撮像手段８０による撮像によって得られた画像に基づいて、液状樹脂４４の外周縁がウェーハＷの外周縁に達したか否かを判断する。この場合でも、上述したように、判断手段７１は、液状樹脂４４の外周縁がウェーハＷの外周縁に達したことを確認したときに、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４が押し広げられた、と判断する。

また、この構成では、図１４および図１５に示すように、保持テーブル５２の内部におけるウェーハ保持面５２ａの近傍に、電源５４に接続されたセラミックヒータ５３が設けられている。セラミックヒータ５３は、ウェーハＷに熱を与える熱源の一例である。すなわち、この構成では、ウェーハ保持手段５０（図２参照）は、ウェーハＷに熱を与える熱源を備えている。

そして、硬化工程では、制御手段７０（あるいは制御部７３）が、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に押し広げられた液状樹脂４４を、セラミックヒータ５３により、保持テーブル５２に保持されたウェーハＷを介して加熱することによって硬化させる。これにより、液状樹脂４４が硬化されて、図１５に示すように、液状樹脂４４からなる所定の厚みの保護部材４５が、ウェーハＷの下面Ｗｂに形成される。

また、撮像手段８０の撮像のための照明光を照射するための光源は、たとえば、透明ステージ２０の側面の外側に設けられてもよい。この場合、押し広げ工程および硬化工程は、図１４および図１５を用いて示した場合と同様に実施されてもよい。また、この場合、光源として、保護部材形成装置１が設置される室内の照明が利用されてもよい。

また、液状樹脂供給工程において、滴下された液状樹脂４４に、ゴミ（たとえば、フィルム１２のカットによって生じる屑）および気泡などの異物が混入することがある。そこで、本実施形態では、制御手段７０は、上述したように押し広げ工程において撮像されたフィルム１２上の液状樹脂４４の画像に基づいて、液状樹脂４４における異物の有無を検知するように構成されていてもよい。

さらに、この場合、制御手段７０は、液状樹脂４４に異物が混入している場合には、ウェーハＷに対する保護部材４５の形成をリトライするように構成されていてもよい。すなわち、この場合、制御手段７０は、異物が混入された液状樹脂４４を用いてウェーハＷに保護部材４５を形成した後、ウェーハＷから保護部材４５を剥離して、このウェーハＷに対して、再度、保護部材４５の形成を実施するように構成されていてもよい。

また、本実施形態において用いられる液状樹脂４４は、色付きの樹脂であってもよいし、透明の樹脂であってもよい。
また、制御手段７０の判断手段７１は、ウェーハＷにおける全ての外周縁に液状樹脂４４が到達したことに限らず、ウェーハＷの外周縁における所定の箇所に液状樹脂４４が到達したことを確認したときに、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４が押し広げられた、と判断してもよい。

また、本実施形態では、透明ステージ２０の底面に、広角レンズ８０ａを有する１台の撮像手段８０が備えられている。これに代えて、透明ステージ２０の底面に、複数の撮像手段を配置してもよい。この場合、判断手段７１は、これら複数の撮像手段によって得られた画像に基づいて、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４が押し広げられたか否かを確認してもよい。
また、この場合、判断手段７１は、複数の撮像手段に対応したウェーハＷの外周縁における複数の箇所に液状樹脂４４が到達したことを確認したときに、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に液状樹脂４４が押し広げられた、と判断してもよい。

１：保護部材形成装置、
２０：透明ステージ、２１：フィルム保持面、
４０：樹脂供給手段、４１：樹脂供給ノズル、４１ａ：供給口、４４：液状樹脂、
５０：ウェーハ保持手段、５２：保持テーブル、５２ａ：ウェーハ保持面、
５３：セラミックヒータ、５４：電源、
６０：押し広げ手段、
７０：制御手段、７１：判断手段、７３：制御部、
８０：撮像手段、８０ａ：広角レンズ、９０：光源、９１：光源、
Ｗ：ウェーハ、Ｗａ：上面、Ｗｂ：下面

Claims (6)

1. ウェーハの一方の面の全面に押し広げられた液状樹脂を硬化させることによって保護部材を形成する保護部材形成装置であって、
   フィルムを保持するためのフィルム保持面を備えた透明ステージと、
   該透明ステージの該フィルム保持面によって保持された該フィルムの上面中央に、ウェーハの一方の面の全面に行きわたる量の液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、
   該透明ステージの該フィルム保持面に平行なウェーハ保持面を有し、このウェーハ保持面によってウェーハの他方の面を保持するウェーハ保持手段と、
   該ウェーハ保持手段と該透明ステージとを、相対的に、該透明ステージの該フィルム保持面に垂直な方向に沿って接近させることによって、該フィルム上に供給された該液状樹脂を、ウェーハの一方の面の全面に押し広げる押し広げ手段と、
   該押し広げられた該液状樹脂に外的刺激を与えることによって、該液状樹脂を硬化させる硬化手段と、
   該押し広げ手段によって該フィルムの上で押し広げられていく該液状樹脂の外周縁を、該透明ステージの下面側から撮像する撮像手段と、
   該液状樹脂の外周縁を該撮像手段によって撮像可能なように、該液状樹脂を照らす光源と、
   該撮像手段によって、該フィルムの上で押し広げられる該液状樹脂の外周縁を撮像し、この撮像によって得られた画像に基づいて、該液状樹脂の外周縁がウェーハの外周縁に達したことを確認したときに、ウェーハの一方の面の全面に該液状樹脂が押し広げられた、と判断する判断手段と、を備え、
   ウェーハの一方の面の全面に押し広げられた該液状樹脂を、該硬化手段で硬化させることによって、保護部材を形成する、保護部材形成装置。
2. 該液状樹脂は、紫外線硬化性樹脂であって、
   該光源は、該透明ステージの下方に設置され、該フィルム保持面に向かって紫外線を照射するように構成されており、
   該撮像手段によって該液状樹脂の外周縁を撮像する際には、該光源から、該液状樹脂が硬化しない照射強度で紫外線を照射し、該押し広げられた該液状樹脂を硬化させる際は、該液状樹脂が硬化する照射強度で紫外線を照射するように、該光源の照射強度を制御する制御部をさらに備える、
   請求項１記載の保護部材形成装置。
3. 該液状樹脂は、熱硬化性樹脂であって、
   該ウェーハを保持する該ウェーハ保持手段は、ウェーハに熱を与える熱源を備え、
   ウェーハの一方の面の全面に押し広げられた該液状樹脂を、該熱源により、該ウェーハ保持手段に保持されたウェーハを介して加熱して硬化させることによって保護部材を形成する、
   請求項１記載の保護部材形成装置。
4. 該撮像手段は、該液状樹脂を押し広げている時に該ウェーハの一方の面の全面を撮像可能な撮像範囲を有する広角レンズを備えている、
   請求項１記載の保護部材形成装置。
5. ウェーハの一方の面の全面に樹脂で保護部材を形成する保護部材の形成方法であって、
   透明な部材で形成された透明ステージのフィルム保持面に敷置かれたフィルムを、このフィルム保持面によって保持するフィルム配置工程と、
   該フィルムの上に、ウェーハの一方の面の全面に行きわたる量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給工程と、
   該透明ステージの該フィルム保持面にウェーハの一方の面を対面させるように、ウェーハの他方の面をウェーハ保持手段によって保持するウェーハ保持工程と、
   該ウェーハ保持手段を、該透明ステージの該フィルム保持面に垂直な方向に沿って該透明ステージに接近させることによって、該ウェーハの一方の面で該液状樹脂を押し広げていき、該押し広げられる該液状樹脂の外周縁を、該透明ステージの下面側から撮像手段によって撮像し、該撮像される外周縁が該ウェーハ保持手段に保持されたウェーハの外周縁に達したら、ウェーハの一方の面の全面に該液状樹脂が行きわたったと判断する押し広げ工程と、
   該ウェーハの一方の面の全面に押し広げられた該液状樹脂を、外的刺激を与えることによって硬化させる硬化工程と、
   を含む、保護部材の形成方法。
6. 該液状樹脂供給工程において、該フィルムの上に供給された液状樹脂の中心と該透明ステージのフィルム保持面の中心とが一致しているか否かを、該撮像手段によって撮像された該液状樹脂の外周縁の画像から判断するずれ判断工程と、
   該ずれ判断工程で、液状樹脂の中心と該透明ステージの中心とのずれ量が、予め設定された規定値以上である場合、そのずれの方向の反対方向に、そのずれ量だけずれた位置に、液状樹脂を補充する液状樹脂補充工程と、をさらに含む、
   請求項５に記載の保護部材の形成方法。

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