JP2016051858A - リンス槽および該リンス槽を用いた基板洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1には、クイックダンプ機能を備えた水洗槽を電解めっき装置内に設けることが記載されている。また、特許文献2には、内槽とオーバーフロー槽からなる水洗槽が記載されている。
本発明の好ましい態様は、前記リンス液供給管を流れるリンス液の流量を変える流量制御装置をさらに備えることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記内槽内のリンス液の液面高さを検出する液面検出器をさらに備え、前記流量制御装置は、リンス液の液面が所定の高さに達するまで、リンス液を第1の流量で前記リンス液供給管を流通させ、リンス液の液面が前記所定の高さに達した後、前記リンス液供給管を流れるリンス液の流量を前記第1の流量よりも低い第2の流量に制限することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記流量制御装置は、前記リンス液供給管に取り付けられた開閉弁と、該開閉弁をバイパスするバイパス管とを備えることを特徴とする。
さらに、本発明によれば、流量制御装置により、基板がリンス液に浸漬される直前まで、リンス液供給管を流れるリンス液の流量を低くすることができる。したがって、リンス液の使用量を低減することができ、かつリンス液の汚染を防止することができる。
図1は、一実施形態に係るリンス槽を示す図である。図1に示すように、リンス槽は、内部にリンス液を貯留するための内槽1と、内槽1を取り囲むように配置されたオーバーフロー槽2とを備えている。内槽1の全体は、オーバーフロー槽2内に位置しており、オーバーフロー槽2は内槽1を越流したリンス液を受けるように構成されている。
1a 底部
1b ドレイン孔
2 オーバーフロー槽
3 ドレイン管
10 リンス液供給管
11 流量制御装置
12 メインバルブ
16 液体流路
20 開閉弁
21 バイパス管
22 オリフィス
25 栓
26 エアシリンダ
27 棒部材
28 ピストンロッド
29 ピストン
29a,29b 圧力室
30,31 気体移送管
35 第1の液面検出器
36 第2の液面検出器
37 動作制御部
W 基板(ウェハ)
Claims (7)
- リンス液を貯留するための内槽と、
前記内槽を越流したリンス液を受けるオーバーフロー槽と、
前記内槽の底部に設けられたドレイン孔を塞ぐための栓と、
前記栓が前記ドレイン孔を塞ぐ閉塞位置と、前記栓が前記ドレイン孔から離れた開放位置との間で前記栓を移動させるアクチュエータと、
前記内槽にリンス液を供給するリンス液供給管と、
前記オーバーフロー槽の底部に接続されたドレイン管とを備え、
前記ドレイン孔は、前記内槽の内部と前記オーバーフロー槽の内部とを連通することを特徴とするリンス槽。 - 前記アクチュエータは、前記内槽の上方に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のリンス槽。
- 前記リンス液供給管を流れるリンス液の流量を変える流量制御装置をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のリンス槽。
- 前記内槽内のリンス液の液面高さを検出する液面検出器をさらに備え、
前記流量制御装置は、リンス液の液面が所定の高さに達するまで、リンス液を第1の流量で前記リンス液供給管を流通させ、リンス液の液面が前記所定の高さに達した後、前記リンス液供給管を流れるリンス液の流量を前記第1の流量よりも低い第2の流量に制限することを特徴とする請求項3に記載のリンス槽。 - 前記流量制御装置は、前記リンス液供給管に取り付けられた開閉弁と、該開閉弁をバイパスするバイパス管とを備えることを特徴とする請求項3に記載のリンス槽。
- 内槽と、該内槽を囲むオーバーフロー槽とを有するリンス槽を用いて基板を洗浄する方法であって、
前記内槽内のリンス液の液面が所定の高さに達するまで、リンス液を第1の流量で前記内槽に供給し、
前記内槽内のリンス液の液面が前記所定の高さに達した後、リンス液を前記第1の流量よりも低い第2の流量で前記内槽内に供給し、
リンス液を前記第2の流量よりも高い流量で前記内槽内に供給しつつ、リンス液を前記内槽から前記オーバーフロー槽に越流させながら、基板を前記内槽内のリンス液に浸漬させて該基板をリンス液で洗浄し、
前記基板を前記リンス液から引き上げ、
前記内槽へのリンス液の供給を停止し、そして、
前記内槽からリンス液を排出することを特徴とする方法。 - 前記内槽内にリンス液を供給する前に、前記内槽の底部に設けられたドレイン孔を栓で塞ぐ工程をさらに含み、
前記内槽からリンス液を排出する工程は、前記栓をドレイン孔から引き抜いて前記内槽内のリンス液を前記ドレイン孔を通じて前記オーバーフロー槽に流入させつつ、前記オーバーフロー槽の底部に接続されたドレイン管を通じてリンス液を前記オーバーフロー槽から排出する工程であることを特徴とする請求項6に記載の方法。
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