JP2015126076A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カセット載置部(6)に載置されたカセット(8)の搬出入開口近傍から搬出入領域を通って洗浄領域を横断し、フレームユニット(11)の移動をガイドする一対のガイドレール(52,54)と、ガイドレールに沿ってフレームユニットを移動させるスライド手段(50)と、を有する搬送手段(48)を備え、ガイドレールは途中で分断され、搬出入領域と洗浄領域でそれぞれ一対の分断ガイドレール部(52b,54b,52d,54d)を形成し、分断ガイドレール部を、他のガイドレールと連続する基準位置と、チャックテーブル(14)又は洗浄テーブル(44)にフレームユニットを着脱する着脱位置と、に移動させる上下動手段(62)と、着脱位置に位置付けられた一対の分断ガイドレール部の間隔を、フレームユニットを支持する支持距離と、フレームユニットが通り抜け可能な離間距離とに変更させる間隔変更手段(64)とを備える構成とした。
【選択図】図1
Description
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット載置台(カセット載置部)
8 カセット
10 X軸移動テーブル
12 防水カバー
14 チャックテーブル
16 クランプ
18 切削ユニット(加工手段)
20 支持部
22 切削ユニット移動機構
24 Y軸ガイドレール
26 Y軸移動テーブル
28 Y軸ボールネジ
30 Y軸パルスモータ
32 Z軸ガイドレール
34 Z軸移動テーブル
36 Z軸ボールネジ
38 Z軸パルスモータ
40 切削ブレード
42 洗浄機構(洗浄手段)
44 スピンナテーブル(洗浄テーブル)
46 クランプ
48 搬送機構(搬送手段)
50 スライド機構(スライド手段)
52 ガイドレール
52a 固定ガイドレール
52b 可動ガイドレール(分断ガイドレール部)
52c 固定ガイドレール
52d 可動ガイドレール(分断ガイドレール部)
54 ガイドレール
54a 固定ガイドレール
54b 可動ガイドレール(分断ガイドレール部)
54c 固定ガイドレール
54d 可動ガイドレール(分断ガイドレール部)
56 ガイド機構
58 ボールネジ
60 パルスモータ
62 昇降機構(上下動手段)
64 間隔設定機構(間隔変更手段)
11 フレームユニット
13 被加工物
15 ダイシングテープ
17 フレーム
Claims (2)
- 環状のフレームの開口に粘着テープを介して板状の被加工物を支持するフレームユニットの該被加工物を加工する加工装置であって、
フレームユニットを複数収容し、側面に搬出入開口を有するカセットが載置されるカセット載置部と、フレームユニットの被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたフレームユニットの被加工物を加工する加工手段と、フレームユニットを該チャックテーブルに搬出入する該カセット載置部に隣接した搬出入領域と、該チャックテーブルに保持されたフレームユニットの被加工物が加工される加工領域と、該搬出入領域を挟んで該カセット載置部と対向する位置でフレームユニットの被加工物を洗浄する洗浄テーブルが配設された洗浄領域と、直線状に配置された該カセット載置部と該搬出入領域と該洗浄領域との間でフレームユニットを搬送する搬送手段と、を備え、
該搬送手段は、該カセット載置部に載置された該カセットの該搬出入開口近傍から該搬出入領域を通って該洗浄領域を横断し、該フレームユニットの移動をガイドする一対のガイドレールと、該ガイドレールに沿って該フレームユニットを移動させるスライド手段と、を有し、
該ガイドレールは途中で分断され、該搬出入領域と該洗浄領域でそれぞれ一対の分断ガイドレール部を形成し、
該分断ガイドレール部は、該分断ガイドレール部を、他のガイドレールと連続する基準位置と、該チャックテーブル又は該洗浄テーブルにフレームユニットを着脱する着脱位置と、に移動させる上下動手段と、該着脱位置に位置付けられた一対の該分断ガイドレール部の間隔を、該フレームユニットを支持する支持距離と、該フレームユニットが通り抜け可能な離間距離とに変更させる間隔変更手段と、によって移動してフレームユニットを該チャックテーブル又は該洗浄テーブルに着脱することを特徴とする加工装置。 - 前記スライド手段は、フレームユニットの前記フレームを把持する2個の把持部を背中合わせに備え、一方の該把持部でフレームユニットを押しつつ他方の該把持部で他のフレームユニットを牽引し、2組のフレームユニットを前記ガイドレールに沿って同時に移動させることを特徴とする請求項1記載の加工装置。
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