JP6909621B2 - ウォータージェット加工装置 - Google Patents
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Description
前記ウォータージェット加工装置において、該高圧水噴射ユニットは、該移動ユニットにより該Z方向に移動されるZ方向移動テーブルに取り付けられるユニット本体と、該ユニット本体の先端に設けられた該高圧水ノズルと、該飛沫吸引ユニットと、を備え、該ユニット本体に、該高圧水ノズルと、該遮蔽部と、該吸引部の吸引パイプのみが取り付けられても良い。
前記ウォータージェット加工装置において、該Z方向移動テーブルから該高圧水噴射ユニットを取り外して、該Z方向移動テーブルに該被加工物を切削加工する切削ユニットを取り付けることができても良い。
本発明の実施形態1に係るウォータージェット加工装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るウォータージェット加工装置の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係るウォータージェット加工装置の加工対象の被加工物の斜視図である。図3は、図2に示された被加工物が分割されて得られたデバイスチップを示す斜視図である。図4は、図2に示す被加工物にハーフカット溝が形成された状態の斜視図である。図5は、図4に示す被加工物の要部の平面図である。図6は、図5中のVI−VI線に沿う断面図である。図7は、図4に示す被加工物の要部を一部断面で示す斜視図である。図8は、図4に示された被加工物がフルカットされた状態の斜視図である。
本発明の実施形態2に係るウォータージェット加工装置を図面に基いて説明する。図12は、実施形態2に係るウォータージェット加工装置の高圧水噴射ユニットの加工中の状態を示す断面図である。図12は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態3に係るウォータージェット加工装置を図面に基いて説明する。図13は、実施形態3に係るウォータージェット加工装置の構成例を示す斜視図である。図13は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
10 チャックテーブル
11 保持面
20 高圧水噴射ユニット
21 高圧水ノズル(第1の高圧水ノズル、第2の高圧水ノズル)
25 飛沫吸引ユニット
27,27−2 遮蔽部
28 吸引部
30 アライメントユニット
40 加工送りユニット
43 加工送りユニットカバー
50 割り出し送りユニット
60 移動ユニット
70 カセット載置領域
71 カセット
80 洗浄ユニット
90 搬送ユニット
200 被加工物
205 分割予定ライン
211 バリ(付着物)
300 高圧水
Claims (7)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の分割予定ラインに沿って高圧水を噴射し該分割予定ラインの付着物を除去する高圧水ノズルを備える高圧水噴射ユニットと、該チャックテーブルを該保持面と平行なX方向に加工送りする加工送りユニットと、該高圧水ノズルを該保持面と平行なY方向に割り出し送りする割り出し送りユニットと、該高圧水ノズルを該保持面と接近または離間するZ方向に移動させる移動ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像し該分割予定ラインを検出するアライメントユニットと、複数の被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置領域と、該カセット載置領域に載置された該カセットと該チャックテーブルとの間で被加工物を搬送する搬送ユニットと、を備え、
該高圧水を噴射する際には、該移動ユニットは、該高圧水ノズルと該被加工物との該Z方向の距離を調整するウォータージェット加工装置。 - 該高圧水ノズルは、該Y方向に伸びる同一直線上にそれぞれ単独で割り出し送りされる第1の高圧水ノズルと第2の高圧水ノズルを有する請求項1に記載のウォータージェット加工装置。
- 該高圧水ノズルの先端部を囲繞して覆う筒状又はドーム状の遮蔽部と、該遮蔽部と連通して高圧水が噴射されることによって発生する飛沫を吸引する吸引部と、を備える飛沫吸引ユニットを備える請求項1に記載のウォータージェット加工装置。
- 該チャックテーブルの両脇で該加工送りユニットを覆う金属製の加工送りユニットカバーを備える請求項1に記載のウォータージェット加工装置。
- 該チャックテーブルに保持され該高圧水ノズルから該高圧水を噴射された被加工物を洗浄する洗浄ユニットを備える請求項1に記載のウォータージェット加工装置。
- 該高圧水噴射ユニットは、該移動ユニットにより該Z方向に移動されるZ方向移動テーブルに取り付けられるユニット本体と、該ユニット本体の先端に設けられた該高圧水ノズルと、該飛沫吸引ユニットと、を備え、該ユニット本体に、該高圧水ノズルと、該遮蔽部と、該吸引部の吸引パイプのみが取り付けられている請求項3に記載のウォータージェット加工装置。
- 該Z方向移動テーブルから該高圧水噴射ユニットを取り外して、該Z方向移動テーブルに該被加工物を切削加工する切削ユニットを取り付けることができる請求項6に記載のウォータージェット加工装置。
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