JP7023740B2 - 実装装置 - Google Patents
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Description
基板マガジンラックに収容された基板を取り出し、前記基板にチップ部品を実装してから、チップ部品が実装された実装済基板を前記基板マガジンラックに収容する実装装置であって、
実装ヘッドと基板ステージを有し、前記基板ステージ上に配置した前記基板に、前記実装ヘッドにより前記チップ部品を実装する実装部と、
前記基板マガジンラック内の収容位置にある前記基板を前記基板ステージ上に搬送する機能と、前記実装済基板を前記基板ステージ上から前記基板マガジンラックの収容位置まで搬送する機能を有する基板搬送機構とを備え、
前記基板ステージが前記基板を吸着保持する吸着テーブルと前記吸着テーブルを基板面内方向に位置調整するXY駆動機構と、上下方向に位置調整可能な基板レールと基板ガイドを用いて前記吸着テーブル上の前記基板の側辺を固定する基板クランプを有し、
前記基板搬送機構は、直線的な搬送レールと、前記搬送レールに沿った方向に移動可能で、前記基板または前記実装済基板を搬送対象として、前記搬送対象の搬送方向側の縁または搬送方向と反対側の縁の何れかを把持することが可能なアームを有し、
前記搬送対象を一方から他方に搬送する際に、前記アームが、前記搬送対象の搬送方向側の縁を保持して前記搬送レールに沿って引いて移動させた後に前記搬送方向と反対側の縁を保持して前記搬送レールに沿って押して移動させる機能を有した実装装置である。
基板マガジンラックに収容された基板を取り出し、前記基板にチップ部品を実装してから、チップ部品が実装された実装済基板を実装基板マガジンラックに収容する実装装置であって、
前記基板マガジンラックの基板取り出し面と、前記実装基板マガジンラックの実装済基板収容面とを同一面上の同一方向にして並べた状態に配置して、前記基板マガジンラックと前記実装基板マガジンラックを並べた方向に移動させるマガジンラック移動機構と、
基板ステージと実装ヘッドとを有し、前記基板ステージ上に配置した前記基板に、前記実装ヘッドにより前記チップ部品を実装する実装部と、
前記基板マガジンラック内の収容位置にある前記基板を前記基板ステージ上に搬送する機能と、前記実装済基板を前記基板ステージ上から前記実装基板マガジンラックの収容位置まで搬送する機能を有する基板搬送機構とを備え、
前記基板ステージが前記基板を吸着保持する吸着テーブルと前記吸着テーブルを基板面内方向に位置調整するXY駆動機構と、上下方向に位置調整可能な基板レールと基板ガイドを用いて前記吸着テーブル上の前記基板の側辺を固定する基板クランプを有し、
前記基板搬送機構は、直線的な搬送レールと、前記搬送レールに沿った方向に移動可能で、前記基板または前記実装済基板を搬送対象として、前記搬送対象の搬送方向側の縁または搬送方向と反対側の縁の何れかを把持することが可能なアームを有し、
前記搬送対象を一方から他方に搬送する際に、前記アームが、前記搬送対象の搬送方向側の縁を保持して前記搬送レールに沿って引いて移動させた後に前記搬送方向と反対側の縁を保持して前記搬送レールに沿って押して移動させる機能を有した実装装置である。
前記基板搬送機構は、前記基板を、前記基板マガジンラックから前記基板ステージ上まで、前記基板マガジンラックの基板取り出し面に対して直角方向に直線搬送する機能を有する実装装置である。
前記実装ヘッドに前記チップ部品を供給するチップ部品供給機構を更に備えた実装装置である。
前記実装部を2つ備え、前記実装部夫々と1対1で対応する前記基板搬送機構を備え、
前記チップ部品供給機構は、前記2つの実装部の間に配置され、2つの前記実装部夫々にチップ部品を供給する機能を有する実装装置である。
更に、請求項6に記載の発明は、請求項1から請求項5の何れかに記載の実装装置であって、前記基板クランプの前記基板ガイドが前記基板を前記基板ステージ上に搬送する際のガイドとしても機能する実装装置である。
図1は本発明の実施形態に係る実装装置の一例を示す概略図である。図1の実装装置1は、基板マガジンラックM1から基板PBを取り出し、基板PBに半導体チップ等のチップ部品Cを実装し、基板PBの所定箇所にチップ部品Cを実装した実装済基板MBを基板マガジンラックM1に収容するものである。
なお、ここまでの説明で、チップ部品Cは半導体チップであって、基板PBは四角形状の例について説明してきたが、これに限定されるものではない。例えば、基板PBがウェハ基板のような円形のものであってもよく、素材も樹脂、セラミックス、シリコン等の半導体の素材およびこれらの複合材から選んでよい。また、チップ部品Cも、半導体チップに限定されるものではなく、抵抗やキャパシタンスのような受動素子のチップであってもよい。
2 架台
3 実装部
4 基板ステージ
5 実装ヘッド
6 チップ部品供給機構
7 チップ部品ピックアップ手段
8 チップ部品搬送手段
9 基板搬送機構
10 マガジンラック移動機構
41 吸着テーブル
42 XY駆動機構
43 基板クランプ
101 実装装置
201 実装装置
202 実装装置
430 基板レール
431 基板ガイド
90 搬送レール
91 ステージ側保持部
92 Zアーム
93 Xアーム
94 スライドレール
96 マガジンラック側保持部
97 Zアーム
98 Xアーム
99 スライドレール
C チップ部品
M1 基板マガジンラック
M2 実装基板マガジンラック
MB 実装済基板
PB 基板
Claims (6)
- 基板マガジンラックに収容された基板を取り出し、前記基板にチップ部品を実装してから、チップ部品が実装された実装済基板を前記基板マガジンラックに収容する実装装置であって、
実装ヘッドと基板ステージを有し、前記基板ステージ上に配置した前記基板に、前記実装ヘッドにより前記チップ部品を実装する実装部と、
前記基板マガジンラック内の収容位置にある前記基板を前記基板ステージ上に搬送する機能と、前記実装済基板を前記基板ステージ上から前記基板マガジンラックの収容位置まで搬送する機能を有する基板搬送機構とを備え、
前記基板ステージが前記基板を吸着保持する吸着テーブルと前記吸着テーブルを基板面内方向に位置調整するXY駆動機構と、上下方向に位置調整可能な基板レールと基板ガイドを用いて前記吸着テーブル上の前記基板の側辺を固定する基板クランプを有し、
前記基板搬送機構は、直線的な搬送レールと、前記搬送レールに沿った方向に移動可能で、前記基板または前記実装済基板を搬送対象として、前記搬送対象の搬送方向側の縁または搬送方向と反対側の縁の何れかを把持することが可能なアームを有し、
前記搬送対象を一方から他方に搬送する際に、前記アームが、前記搬送対象の搬送方向側の縁を保持して前記搬送レールに沿って引いて移動させた後に前記搬送方向と反対側の縁を保持して前記搬送レールに沿って押して移動させる機能を有した実装装置。 - 基板マガジンラックに収容された基板を取り出し、前記基板にチップ部品を実装してから、チップ部品が実装された実装済基板を実装基板マガジンラックに収容する実装装置であって、
前記基板マガジンラックの基板取り出し面と、前記実装基板マガジンラックの実装済基板収容面とを同一面上の同一方向にして並べた状態に配置して、前記基板マガジンラックと前記実装基板マガジンラックを並べた方向に移動させるマガジンラック移動機構と、
基板ステージと実装ヘッドとを有し、前記基板ステージ上に配置した前記基板に、前記実装ヘッドにより前記チップ部品を実装する実装部と、
前記基板マガジンラック内の収容位置にある前記基板を前記基板ステージ上に搬送する機能と、前記実装済基板を前記基板ステージ上から前記実装基板マガジンラックの収容位置まで搬送する機能を有する基板搬送機構とを備え、
前記基板ステージが前記基板を吸着保持する吸着テーブルと前記吸着テーブルを基板面内方向に位置調整するXY駆動機構と、上下方向に位置調整可能な基板レールと基板ガイドを用いて前記吸着テーブル上の前記基板の側辺を固定する基板クランプを有し、
前記基板搬送機構は、直線的な搬送レールと、前記搬送レールに沿った方向に移動可能で、前記基板または前記実装済基板を搬送対象として、前記搬送対象の搬送方向側の縁または搬送方向と反対側の縁の何れかを把持することが可能なアームを有し、
前記搬送対象を一方から他方に搬送する際に、前記アームが、前記搬送対象の搬送方向側の縁を保持して前記搬送レールに沿って引いて移動させた後に前記搬送方向と反対側の縁を保持して前記搬送レールに沿って押して移動させる機能を有した実装装置。 - 請求項1または請求項2に記載の実装装置であって、
前記基板搬送機構は、
前記基板を、前記基板マガジンラックから前記基板ステージ上まで、前記基板マガジンラックの基板取り出し面に対して直角方向に直線搬送する機能を有する実装装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかの請求項に記載の実装装置であって、
前記実装ヘッドに前記チップ部品を供給するチップ部品供給機構を更に備えた実装装置。 - 請求項4記載の実装装置であって、
前記実装部を2つ備え、
前記実装部夫々と1対1で対応する前記基板搬送機構を備え、
前記チップ部品供給機構は、前記2つの実装部の間に配置され、2つの前記実装部夫々にチップ部品を供給する機能を有する実装装置。 - 請求項1から請求項5の何れかに記載の実装装置であって、
前記基板クランプの前記基板ガイドが前記基板を前記基板ステージ上に搬送する際のガイドとしても機能する実装装置。
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