JP2011233907A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布液ノズルを待機位置で待機させるためのノズルバス14と、ノズルバスにおいて、塗布液ノズルから塗布液の吐出動作又は、乾燥抑制溶剤の吸引動作と排出動作とをディスペンス制御するディスペンス制御部とを備え、ノズルバスは、塗布液ノズルの塗布液を吐出する孔100と、乾燥抑制溶剤を吸引する孔101とを具備すると共に、塗布液を吐出する孔の位置と乾燥抑制溶剤を吸引する孔の位置とを切り換える回動機構110を具備し、塗布液ノズルは乾燥抑制溶剤を吸引する時に、回動機構によりノズルバスを回動させて塗布液ノズルの塗布液を吐出する孔の位置から乾燥抑制溶剤を吸引する孔の位置に切り換え、ノズルバスの内部に設けられる乾燥抑制溶剤の貯留部から吸引を行う。
【選択図】 図4
Description
1 塗布ユニット
2,2a,2b,2c 液処理部
8 表示操作部
9 制御部
10 塗布液ノズル
10a ノズル搬送機構
11 ノズルアーム
14 ノズルバス
17 カメラ(撮像手段)
41 スピンチャック(基板保持部)
70 塗布液供給機構
72 エアオペレーティドバルブ
73 サックバックバルブ
100 ダミーディスペンス孔
101 溶剤吸引孔
102 第1の溶剤貯留部
103 共通ドレイン流路
104 連通流路
105 第2の溶剤貯留部(バッファ室)
106 溶剤供給孔
110 回動機構
111 レジスト液層
112 空気層
113 乾燥抑制溶剤層
114 サックバック幅
119 ディスペンス制御部
120 モニター画面
122 画像
121a,121b,121c ソフトスケール
130 ビューポイント(塗布ノズル先端)
131 ビューポイント(レジスト液下端液面)
132 ビューポイント(乾燥抑制溶剤上端液面)
133 ビューポイント(乾燥抑制溶剤下端液面)
Claims (2)
- 基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、塗布液ノズルから塗布液を供給して前記基板の表面に向けて吐出させて塗布膜を形成する液処理をする液処理装置において、
前記基板保持部に保持される基板の上方に移動可能に構成された前記塗布液ノズルを搬送するノズル搬送機構と、
前記塗布液ノズルを待機位置で待機させるためのノズルバスと、
前記ノズルバスにおいて、前記塗布液ノズルから塗布液の吐出動作又は、塗布液と該塗布液の乾燥を抑制するための乾燥抑制溶剤の吸引動作と乾燥抑制溶剤の排出動作とをディスペンス制御するディスペンス制御部と、
を備え、
前記ノズルバスは、前記塗布液ノズルの塗布液を吐出する孔と、前記乾燥抑制溶剤を吸引する孔とを具備すると共に、前記塗布液を吐出する孔の位置と前記乾燥抑制溶剤を吸引する孔の位置とを切り換える回動機構を具備してなり、
前記塗布液ノズルは乾燥抑制溶剤を吸引する時に、前記回動機構により前記ノズルバスを回動させて前記塗布液ノズルの塗布液を吐出する孔の位置から乾燥抑制溶剤を吸引する孔の位置に切り換え、前記ノズルバスの内部に設けられる乾燥抑制溶剤の貯留部から吸引を行うことを特徴とする液処理装置。 - 前記ノズルバスは、前記乾燥抑制溶剤を吸引する孔の下部に設けられる貯留部と、前記塗布液ノズルの塗布液を吐出する孔の下部に設けられる塗布液を廃液するドレイン流路と、前記貯留部と前記ドレイン流路とを連通する連通路と、を備えていることを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
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