JPH09145453A - 光学的境界面計測装置 - Google Patents
光学的境界面計測装置Info
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- JPH09145453A JPH09145453A JP32507795A JP32507795A JPH09145453A JP H09145453 A JPH09145453 A JP H09145453A JP 32507795 A JP32507795 A JP 32507795A JP 32507795 A JP32507795 A JP 32507795A JP H09145453 A JPH09145453 A JP H09145453A
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- Japan
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- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 容器内の液体層と固体層との境界面のレベル
を光学的に計測する。 【解決手段】 容器10の側面に形成した透明材製のスリ
ット部７に対向してＣＣＤカメラ２を配設し、液体層
５，固体層６を通過したライト１を光源とする光をＣＣ
Ｄカメラ２で撮影し、その映像信号を画像処理装置３で
処理してＣＲＴ装置４の画像面４ａに画像表示し、その
画像から容器10内の境界面Ｓのレベルを計測するように
した。
を光学的に計測する。 【解決手段】 容器10の側面に形成した透明材製のスリ
ット部７に対向してＣＣＤカメラ２を配設し、液体層
５，固体層６を通過したライト１を光源とする光をＣＣ
Ｄカメラ２で撮影し、その映像信号を画像処理装置３で
処理してＣＲＴ装置４の画像面４ａに画像表示し、その
画像から容器10内の境界面Ｓのレベルを計測するように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学式の境界面レ
ベル計測装置に関し、特に、同一容器内に、液体および
固体など、色や光の透過率の異なる２つの物質が分離し
た状態で存在するとき、上記２つの物質の間の境界面レ
ベルを光学的に計測するための、光学式境界面計測装置
に関する。
ベル計測装置に関し、特に、同一容器内に、液体および
固体など、色や光の透過率の異なる２つの物質が分離し
た状態で存在するとき、上記２つの物質の間の境界面レ
ベルを光学的に計測するための、光学式境界面計測装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記のような２物質間の境界面レベルを
計測する装置として、従来次のようなものが知られてい
る。 (1) 超音波の減衰特性を利用した液体および固体の境界
面レベルの検出装置（超音波式検出装置）。 この検出装置は、図４に示すように、超音波を発する発
信子16と受信子17とを、検出器22に形成した凹所21に互
いに対向するように取り付け、発信子16と受信子17間と
のギャップ18の間すなわち凹所21内に存在する物質を超
音波が透過した時、減衰度が小さければ“ON”，大きけ
れば“OFF”の信号をターミナル16ａ，17ａから取出
し、その出力値からギャップ18の間に存在する物質が液
体か固体かを検出するものである。
計測する装置として、従来次のようなものが知られてい
る。 (1) 超音波の減衰特性を利用した液体および固体の境界
面レベルの検出装置（超音波式検出装置）。 この検出装置は、図４に示すように、超音波を発する発
信子16と受信子17とを、検出器22に形成した凹所21に互
いに対向するように取り付け、発信子16と受信子17間と
のギャップ18の間すなわち凹所21内に存在する物質を超
音波が透過した時、減衰度が小さければ“ON”，大きけ
れば“OFF”の信号をターミナル16ａ，17ａから取出
し、その出力値からギャップ18の間に存在する物質が液
体か固体かを検出するものである。
【０００３】その１例を［表１］に示す。
【表１】 ところで、この装置の場合、固体層６に液体層５が混在
する場合（図５参照）、液体および固体それぞれの特性
が干渉して正確に検出できないことがあり、そのため
に、図５に示すように、各層にそれぞれ専用の検出器2
2，22ａ，22ｂを設けねばならないという問題点があ
る。なお図５中の符号10は容器を示している。また、こ
の検出器では、検出器の設置位置での固定されたレベル
でしか計測できないという問題点もある。
する場合（図５参照）、液体および固体それぞれの特性
が干渉して正確に検出できないことがあり、そのため
に、図５に示すように、各層にそれぞれ専用の検出器2
2，22ａ，22ｂを設けねばならないという問題点があ
る。なお図５中の符号10は容器を示している。また、こ
の検出器では、検出器の設置位置での固定されたレベル
でしか計測できないという問題点もある。
【０００４】(2) マグネット式レベルスイッチによる２
液間の界面検出装置（マグネット−レベルスイッチ式検
出装置）。 この装置は、図６に示すように、フロート33を取り付け
たシャフト33ａの端部にマグネット34を取り付け、シャ
フト33ａを揺動可能に支持する台座31にリードスイッチ
35を取り付けて構成されており、フロート33が境界面Ｓ
(図７(a)，(b)参照）の上昇により浮上すると、マグネッ
ト34が下がり、リードスイッチを“ON”とするようにな
っている。図７(a)，(b)は軽油36と重油37との境界面Ｓ
を計測する状態を示している。ところで、この方式にお
いても、固定のレベルでしか計測できず、また、液体だ
けでなく、固形の物質が容器内に投入される場合、機械
部分が多いため、故障の可能性が高いという問題点もあ
る。
液間の界面検出装置（マグネット−レベルスイッチ式検
出装置）。 この装置は、図６に示すように、フロート33を取り付け
たシャフト33ａの端部にマグネット34を取り付け、シャ
フト33ａを揺動可能に支持する台座31にリードスイッチ
35を取り付けて構成されており、フロート33が境界面Ｓ
(図７(a)，(b)参照）の上昇により浮上すると、マグネッ
ト34が下がり、リードスイッチを“ON”とするようにな
っている。図７(a)，(b)は軽油36と重油37との境界面Ｓ
を計測する状態を示している。ところで、この方式にお
いても、固定のレベルでしか計測できず、また、液体だ
けでなく、固形の物質が容器内に投入される場合、機械
部分が多いため、故障の可能性が高いという問題点もあ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の超音波式
検出装置やマグネット−レベルスイッチ式検出装置で
は、上述のとおり固定位置でしか境界面レベルの計測が
行なえず、リアルタイムでの境界面レベルの計測が不可
能である。また、超音波式検出装置は物質の超音波に対
する特性が個々に異なるため、液体，固体に対し、それ
ぞれ専用のレベル計を必要とし、検出器自体も高価な物
であるため、高いコストの計測装置となってしまうとい
う問題点がある。また、マグネット−レベルスイッチ式
検出装置は機械部分が容器内に収納されるため、故障発
生の確率が高いという問題点もある。本発明は、このよ
うな問題点を解決した光学的境界面計測装置を提供する
ことを目的とする。
検出装置やマグネット−レベルスイッチ式検出装置で
は、上述のとおり固定位置でしか境界面レベルの計測が
行なえず、リアルタイムでの境界面レベルの計測が不可
能である。また、超音波式検出装置は物質の超音波に対
する特性が個々に異なるため、液体，固体に対し、それ
ぞれ専用のレベル計を必要とし、検出器自体も高価な物
であるため、高いコストの計測装置となってしまうとい
う問題点がある。また、マグネット−レベルスイッチ式
検出装置は機械部分が容器内に収納されるため、故障発
生の確率が高いという問題点もある。本発明は、このよ
うな問題点を解決した光学的境界面計測装置を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、容器の内部に
収納された色や光の透過率の異なる２つの物質の境界面
のレベルを計測する装置において、上記容器の側面に透
明材料製のスリット部を形成し、上記容器の上部に光源
を設け、上記スリット部に対向してＣＣＤカメラを設
け、同ＣＣＤカメラの画像信号を入力される画像処理装
置と同画像処理装置の出力信号を画像表示するＣＲＴ装
置とを設けて課題解決の手段としている。
収納された色や光の透過率の異なる２つの物質の境界面
のレベルを計測する装置において、上記容器の側面に透
明材料製のスリット部を形成し、上記容器の上部に光源
を設け、上記スリット部に対向してＣＣＤカメラを設
け、同ＣＣＤカメラの画像信号を入力される画像処理装
置と同画像処理装置の出力信号を画像表示するＣＲＴ装
置とを設けて課題解決の手段としている。
【０００７】また、容器の内部に収納され、色や光の透
過率の異なる２つの物質の境界面のレベルを計測する装
置において、上記容器の側面に透明材料製のスリット部
を形成し、上記容器の上部に光源を設けるとともに上記
スリット部の外側面に多数の光電素子を互いに密接して
取り付け、同各光電素子により得られた光の強度に対応
する電圧値を設定値と比較演算して上記光の強度を０，
１信号に変換する演算器と、同演算器の０，１信号を入
力され表示面にデジタル表示で境界面レベルを表示する
ＣＲＴ装置とを設けて課題解決の手段としている。
過率の異なる２つの物質の境界面のレベルを計測する装
置において、上記容器の側面に透明材料製のスリット部
を形成し、上記容器の上部に光源を設けるとともに上記
スリット部の外側面に多数の光電素子を互いに密接して
取り付け、同各光電素子により得られた光の強度に対応
する電圧値を設定値と比較演算して上記光の強度を０，
１信号に変換する演算器と、同演算器の０，１信号を入
力され表示面にデジタル表示で境界面レベルを表示する
ＣＲＴ装置とを設けて課題解決の手段としている。
【０００８】本発明の光学的境界面計測装置では、側面
にガラス等の透明な物質により構成されるスリット部を
有する容器内に存在する２つの物質の上記スリット部を
通して得られる色および光の強度が、固定されたＣＣＤ
カメラ等に入力され、その電気信号が画像処理装置を介
してＣＲＴ装置上に画像化され、その画像上で色および
光の強度に差がある点を判断することにより、容器内の
境界面のレベルの計測が行なわれる。また、シリコン光
検出素子等の光センサにてスリット部を通して得られる
光の強度が光電圧として検出され、この検出電圧が演算
器で設定値と比較演算された後、０，１信号としてＣＲ
Ｔ装置に出力され、ＣＲＴ表示画面にはデジタル表示で
境界面レベルが表示される。
にガラス等の透明な物質により構成されるスリット部を
有する容器内に存在する２つの物質の上記スリット部を
通して得られる色および光の強度が、固定されたＣＣＤ
カメラ等に入力され、その電気信号が画像処理装置を介
してＣＲＴ装置上に画像化され、その画像上で色および
光の強度に差がある点を判断することにより、容器内の
境界面のレベルの計測が行なわれる。また、シリコン光
検出素子等の光センサにてスリット部を通して得られる
光の強度が光電圧として検出され、この検出電圧が演算
器で設定値と比較演算された後、０，１信号としてＣＲ
Ｔ装置に出力され、ＣＲＴ表示画面にはデジタル表示で
境界面レベルが表示される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の実施の
形態について説明すると、図１はその第１実施形態とし
ての光学的境界面計測装置の模式構成図、図２はその第
２実施形態としての光学的境界面計測装置の光電子の配
設部の断面図、図３は同模式構成図である。なお図１〜
３中図４〜７と同じ符号はほぼ同一のものを示してい
る。
形態について説明すると、図１はその第１実施形態とし
ての光学的境界面計測装置の模式構成図、図２はその第
２実施形態としての光学的境界面計測装置の光電子の配
設部の断面図、図３は同模式構成図である。なお図１〜
３中図４〜７と同じ符号はほぼ同一のものを示してい
る。
【００１０】まず、図１により第１実施形態について説
明する。この第１実施形態としての光学的境界面計測装
置は、容器10内の液体層５と固体層６との境界面Ｓを撮
影するＣＣＤカメラ２をそなえている。さらに、容器10
の上部開口部に光源としてのライト１が取り付けられて
いて、ライト１により容器10の内部が照射されるように
なっている。容器10の内部では液体層５と固体層６とに
分離されていて、つまり、容器10の内部は色や光の透過
率の異なる２物質（液体層５と固体層６）が分離した状
態にあり、これに光が照射されることになる。
明する。この第１実施形態としての光学的境界面計測装
置は、容器10内の液体層５と固体層６との境界面Ｓを撮
影するＣＣＤカメラ２をそなえている。さらに、容器10
の上部開口部に光源としてのライト１が取り付けられて
いて、ライト１により容器10の内部が照射されるように
なっている。容器10の内部では液体層５と固体層６とに
分離されていて、つまり、容器10の内部は色や光の透過
率の異なる２物質（液体層５と固体層６）が分離した状
態にあり、これに光が照射されることになる。
【００１１】容器10の側部に透明材製のスリット部７が
形成されていて、固体層６，液体層５，空気層（液体層
５の上部空間）を透過し、スリット部７を介して容器10
の外方へ洩出した光１ｃ，１ｂ，１ａが、色や光の強度
を識別するＣＣＤカメラ２でとらえられ、画像信号（電
気信号）としてケーブル２ａを介して画像処理装置３に
入力される。入力された画像信号は、画像処理装置３を
介してＣＲＴ装置４に送られ、ＣＲＴ装置４の表示画面
４ａに画像Ｄとして表示される。符号ＤＬはＣＲＴ装置
４の拡大表示画面４ｂに映出された拡大画像を表示して
おり、この拡大画像ＤＬ上の境界面レベルＳ0を計測し
て、容器10内の境界面Ｓのレベルの計測を行なうことが
できる。
形成されていて、固体層６，液体層５，空気層（液体層
５の上部空間）を透過し、スリット部７を介して容器10
の外方へ洩出した光１ｃ，１ｂ，１ａが、色や光の強度
を識別するＣＣＤカメラ２でとらえられ、画像信号（電
気信号）としてケーブル２ａを介して画像処理装置３に
入力される。入力された画像信号は、画像処理装置３を
介してＣＲＴ装置４に送られ、ＣＲＴ装置４の表示画面
４ａに画像Ｄとして表示される。符号ＤＬはＣＲＴ装置
４の拡大表示画面４ｂに映出された拡大画像を表示して
おり、この拡大画像ＤＬ上の境界面レベルＳ0を計測し
て、容器10内の境界面Ｓのレベルの計測を行なうことが
できる。
【００１２】なおＣＲＴ装置４の表示画面４ａにスケー
ル表示もできるように構成しておくと、境界面レベルの
目視による計測を行なうことができる。この第１実施形
態の場合、リアルタイムでの境界面Ｓのレベル計測が可
能であり、かつ可動部がないため、故障の発生が少な
く、また騒音が発生するおそれがない。さらに、透過光
の色や光の強さによる計測であるので、対象物に制限が
少なく、適用範囲が広いという利点がある。
ル表示もできるように構成しておくと、境界面レベルの
目視による計測を行なうことができる。この第１実施形
態の場合、リアルタイムでの境界面Ｓのレベル計測が可
能であり、かつ可動部がないため、故障の発生が少な
く、また騒音が発生するおそれがない。さらに、透過光
の色や光の強さによる計測であるので、対象物に制限が
少なく、適用範囲が広いという利点がある。
【００１３】次に、図２，３により第２実施形態につい
て説明する。この実施形態のものも、容器10の側面に透
明材製のスリット部７が形成されており、このスリット
部７の外側面に、多数の光電素子としてのシリコン光検
出素子９が互いに密接して取り付けられている。各シリ
コン光検出素子９は、外部からの光の影響を避けるため
に、遮蔽ボックス19で被覆されており、これによりスリ
ット部７を通った光（液体層５，固体層６の透過光）の
みが受光され、光電流に変換されるようになっている。
なおライト１には、シリコン光検出素子９が検出しやす
い光を発するタングステン・フィラメント式のものが適
当である。各光検出素子９の検出信号（電圧）が演算器
11で処理されて、ＣＲＴ装置12に入力される。
て説明する。この実施形態のものも、容器10の側面に透
明材製のスリット部７が形成されており、このスリット
部７の外側面に、多数の光電素子としてのシリコン光検
出素子９が互いに密接して取り付けられている。各シリ
コン光検出素子９は、外部からの光の影響を避けるため
に、遮蔽ボックス19で被覆されており、これによりスリ
ット部７を通った光（液体層５，固体層６の透過光）の
みが受光され、光電流に変換されるようになっている。
なおライト１には、シリコン光検出素子９が検出しやす
い光を発するタングステン・フィラメント式のものが適
当である。各光検出素子９の検出信号（電圧）が演算器
11で処理されて、ＣＲＴ装置12に入力される。
【００１４】ここで、この第２実施形態におけるシリコ
ン光検出素子９の出力の演算処理について、例えば、シ
リコン光検出素子９から検出される電圧のスパンが０〜
５Ｖであった場合を例にして説明する。まず、２物質
（ここでは液体と固体）の境界面Ｓを判断するための設
定値“Ｘ"（2.5Ｖ）を演算器11に与える。次に、各シリ
コン光検出素子９から検出された電圧“Ｙ”を入力し、
演算器11にて比較演算を行なう。
ン光検出素子９の出力の演算処理について、例えば、シ
リコン光検出素子９から検出される電圧のスパンが０〜
５Ｖであった場合を例にして説明する。まず、２物質
（ここでは液体と固体）の境界面Ｓを判断するための設
定値“Ｘ"（2.5Ｖ）を演算器11に与える。次に、各シリ
コン光検出素子９から検出された電圧“Ｙ”を入力し、
演算器11にて比較演算を行なう。
【００１５】［表２］にその例を示す。
【表２】
【００１６】上記のように検出電圧“Ｙ”から設定値
“Ｘ”を減算し、その演算結果“Ｚ”の符号が“＋”で
あれば液体（１）とし、“−”であれば固体（０）と判
断して、１，０信号として出力する。符号11ｂは設定値
“Ｘ”を設定する設定器，符号11ｃは比較演算を行なう
比較器を示している。なお、光の透過率に大きく差が無
い場合やライト１等に外乱が発生するような場合には、
データの補正演算を行なう演算式を演算器11の比較演算
する式に組み合わせて演算結果“Ｚ”に補正演算を行な
い、その結果により、境界面を判断する。
“Ｘ”を減算し、その演算結果“Ｚ”の符号が“＋”で
あれば液体（１）とし、“−”であれば固体（０）と判
断して、１，０信号として出力する。符号11ｂは設定値
“Ｘ”を設定する設定器，符号11ｃは比較演算を行なう
比較器を示している。なお、光の透過率に大きく差が無
い場合やライト１等に外乱が発生するような場合には、
データの補正演算を行なう演算式を演算器11の比較演算
する式に組み合わせて演算結果“Ｚ”に補正演算を行な
い、その結果により、境界面を判断する。
【００１７】ＣＲＴ装置12にはシリコン光検出素子９の
設置レベルごとに表示ブロックが設けられていて、入力
信号の０，１に対応した表示が行なわれるようになって
いる。図３中の符号11ａ，12ａはいずれも信号伝達用ケ
ーブルを示している。この第２実施形態の場合も、リア
ルタイムでの境界面Ｓのレベル計測が可能であり、かつ
可動部がないため、故障の発生が少なく、また騒音が発
生するおそれもない。さらに、透過光の光の強さによる
計測であるので、対象物に制限が少なく適用範囲が広い
という利点が得られる。またデジタル表示であるため計
測精度が高いという利点もある。
設置レベルごとに表示ブロックが設けられていて、入力
信号の０，１に対応した表示が行なわれるようになって
いる。図３中の符号11ａ，12ａはいずれも信号伝達用ケ
ーブルを示している。この第２実施形態の場合も、リア
ルタイムでの境界面Ｓのレベル計測が可能であり、かつ
可動部がないため、故障の発生が少なく、また騒音が発
生するおそれもない。さらに、透過光の光の強さによる
計測であるので、対象物に制限が少なく適用範囲が広い
という利点が得られる。またデジタル表示であるため計
測精度が高いという利点もある。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の光学的境
界面計測装置によれば、次のような効果ないし利点が得
られる。 (1) 従来の超音波式検出装置のマグネット−レベルスイ
ッチ式検出装置では不可能であったリアルタイムでの境
界面レベル計測が可能になる。 (2) 従来の超音波式検出装置とは異なり、色や光の強度
によって計測するため、液体，固体等、対象物に制限が
少なくなり、適応範囲も広い。 (3) 超音波式検出装置に比べ、コスト低減が可能であ
る。 (4) マグネット式−レベルスイッチ式検出装置とは異な
り、容器内への機械部分の収納が無いため、故障の発生
率も低く、また保守も容易である。
界面計測装置によれば、次のような効果ないし利点が得
られる。 (1) 従来の超音波式検出装置のマグネット−レベルスイ
ッチ式検出装置では不可能であったリアルタイムでの境
界面レベル計測が可能になる。 (2) 従来の超音波式検出装置とは異なり、色や光の強度
によって計測するため、液体，固体等、対象物に制限が
少なくなり、適応範囲も広い。 (3) 超音波式検出装置に比べ、コスト低減が可能であ
る。 (4) マグネット式−レベルスイッチ式検出装置とは異な
り、容器内への機械部分の収納が無いため、故障の発生
率も低く、また保守も容易である。
【図１】本発明の第１実施形態としての光学的境界面計
測装置の模式構成図。
測装置の模式構成図。
【図２】本発明の第２実施形態としての光学的境界面計
測装置の光電素子の配設部の断面図。
測装置の光電素子の配設部の断面図。
【図３】本発明の第２実施形態としての光学的境界面計
測装置を、その光電素子の配設部を図２のＡ−Ａ矢視断
面図で示す模式構成図。
測装置を、その光電素子の配設部を図２のＡ−Ａ矢視断
面図で示す模式構成図。
【図４】従来の超音波式検出器の側断面図。
【図５】同使用説明図。
【図６】従来のマグネット−レベルスイッチ式検出装置
の側面図。
の側面図。
【図７】(a) 同作動説明図。 (b) 同作動説明図。
１ 光源としてのライト ２ ＣＣＤカメラ ３ 画像処理装置 ４ ＣＲＴ装置 ５ 液体層 ６ 固体層 ７ スリット部 ９ 光電素子としのシリコン光検出素子 10 容器 11 演算器 11ｂ 設定器 11ｃ 比較器 12 ＣＲＴ装置 19 遮蔽ボックス Ｄ 画像 ＤＬ 拡大画像 Ｓ 境界面
Claims (2)
- 【請求項１】 容器の内部に収納された色や光の透過率
の異なる２つの物質の境界面のレベルを計測する装置に
おいて、 上記容器の側面に、透明材料製のスリット部が形成さ
れ、 上記容器の上部に光源が設けられるとともに、上記スリ
ット部に対向してＣＣＤカメラが設けられ、 同ＣＣＤカメラの画像信号を入力される画像処理装置
と、同画像処理装置の出力信号を画像表示するＣＲＴ装
置とが設けられていることを特徴とする、光学的境界面
計測装置。 - 【請求項２】 容器の内部に収納された色や光の透過率
の異なる２つの物質の境界面のレベルを計測する装置に
おいて、 上記容器の側面に、透明材料製のスリット部が形成さ
れ、 上記容器の上部に光源が設けられるとともに、上記スリ
ット部の外側面に多数の光電素子が互いに密接して取り
付けられ、 同各光電素子により得られた光の強度に対応する電圧値
を設定値と比較演算して上記光の強度を０，１信号に変
換する演算器が設けられ、 同演算器の上記０，１信号を入力され、表示面にデジタ
ル表示で境界面レベルを表示するＣＲＴ装置が設けられ
ていることを特徴とする、光学的境界面計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32507795A JPH09145453A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 光学的境界面計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32507795A JPH09145453A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 光学的境界面計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145453A true JPH09145453A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=18172900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32507795A Withdrawn JPH09145453A (ja) | 1995-11-20 | 1995-11-20 | 光学的境界面計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09145453A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6673316B1 (en) | 1996-10-30 | 2004-01-06 | Sumitomo Chemical Co., Ltd. | Synthesis experiment automating system, liquid separating treating apparatus and reaction vessel |
| WO2009030268A1 (de) * | 2007-08-31 | 2009-03-12 | Büchi Labortechnik AG | Verfahren und vorrichtung zur abtrennung einer phase |
| JP2010103131A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置及び液処理方法 |
| JP2011233907A (ja) * | 2011-06-21 | 2011-11-17 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
| JP2011252804A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 生体試料の分析方法および分析装置 |
| JP2019015580A (ja) * | 2017-07-06 | 2019-01-31 | 株式会社 太陽 | 廃液装置 |
-
1995
- 1995-11-20 JP JP32507795A patent/JPH09145453A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6673316B1 (en) | 1996-10-30 | 2004-01-06 | Sumitomo Chemical Co., Ltd. | Synthesis experiment automating system, liquid separating treating apparatus and reaction vessel |
| WO2009030268A1 (de) * | 2007-08-31 | 2009-03-12 | Büchi Labortechnik AG | Verfahren und vorrichtung zur abtrennung einer phase |
| JP2010103131A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置及び液処理方法 |
| US8316795B2 (en) | 2008-10-21 | 2012-11-27 | Tokyo Electron Limited | Liquid processing apparatus and liquid processing method |
| TWI425557B (zh) * | 2008-10-21 | 2014-02-01 | Tokyo Electron Ltd | 液體處理裝置及液體處理方法 |
| US8846145B2 (en) | 2008-10-21 | 2014-09-30 | Tokyo Electron Limited | Liquid processing method |
| JP2011252804A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Hitachi High-Technologies Corp | 生体試料の分析方法および分析装置 |
| JP2011233907A (ja) * | 2011-06-21 | 2011-11-17 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
| JP2019015580A (ja) * | 2017-07-06 | 2019-01-31 | 株式会社 太陽 | 廃液装置 |
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