JP4748263B2 - 塗布、現像装置 - Google Patents
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Description
前記露光装置にて液浸露光された基板が処理ブロックに搬送される搬送経路に設けられ、液浸露光後の基板に洗浄処理を行う洗浄ユニットと、
液浸露光後の基板を保持体に保持して前記洗浄ユニットに搬送する基板搬送機構と、
前記洗浄ユニット及び基板搬送機構を制御する制御部と、を備え、
前記洗浄ユニットは、
搬送口を備えた筐体と、
この筐体内に設けられ、基板を水平に保持するための載置台と、
この載置台を鉛直軸回りに回転させる駆動機構と、
前記載置台を囲むようにして設けられ、底部に廃液管が接続されたカップ体と、
前記筐体内における搬送口と前記載置台との間にて前記基板搬送機構の保持体の移動路の上方に位置するように設けられ、当該保持体に洗浄液を供給するための第1の洗浄液供給部と、
前記カップ体の上方に設けられ、載置台に保持された基板の表面へ洗浄液を供給するための第2の洗浄液供給部と、
前記筐体内における搬送口と前記載置台との間にて前記基板搬送機構の保持体の移動路の下方に位置するように設けられ、第1の洗浄液供給部より供給される洗浄液を回収するための回収部と、を備え、
前記制御部は、基板搬送機構の保持体を、基板を保持しない状態で前記筐体内に進入させながら、当該保持体を洗浄するために第1の洗浄液供給部から洗浄液を供給するように制御信号を出力するものであることを特徴とする。
なお、本明細書では基板を搬送する搬送機構において基板に接触して当該基板を保持する部分をアーム体、当該アーム体を支持して移動させる部分を搬送基体と記載し、アーム体及び搬送基体が含まれた搬送機構を搬送アームと記載する。
載置台74の周囲には、例えば3本のピン75が昇降部材75aを介して駆動機構75bにより昇降できるように設けられている。ピン75を昇降させることで、アーム体53と載置台74との間でウエハWを受け渡すことができる。また当該載置台74を囲むようにカップ体76が設けられており、カップ体76の下部はドレイン管77に連通している。このドレイン管77は前記ドレイン管67と連通しており、その端部はバルブ77aを介して例えばエジェクターポンプなどの吸引手段78に接続されている。
また搬送アーム5は、露光装置B4からのウエハWの受け取りと露光装置B4へのウエハWの受け渡しとを別々のアーム体53(54)で行っている。即ち搬送アーム5に備えられたアーム体54は既述の液浸露光を受けたウエハWの保持には関与しないため、当該搬送アーム5は処理部B2から搬送されたウエハWに対して液滴やパーティクルを付着させることなく露光装置B4に搬送することができる。従って露光装置B4におけるパーティクルの蓄積をより確実に抑えることができる。
B2 処理部
B3 インターフェイス部
B4 露光装置
3A 3B 搬送室
3C 湿度制御ユニット
33 5 7 8 搬送アーム
6 洗浄ユニット
Claims (5)
- 基板の表面に塗布液を塗布する塗布ユニット及び露光された後の基板に現像液を供給して現像する現像ユニットが設けられた処理ブロックを備え、基板の表面に液層を形成して液浸露光を行う露光装置に接続される塗布、現像装置において、
前記露光装置にて液浸露光された基板が処理ブロックに搬送される搬送経路に設けられ、液浸露光後の基板に洗浄処理を行う洗浄ユニットと、
液浸露光後の基板を保持体に保持して前記洗浄ユニットに搬送する基板搬送機構と、
前記洗浄ユニット及び基板搬送機構を制御する制御部と、を備え、
前記洗浄ユニットは、
搬送口を備えた筐体と、
この筐体内に設けられ、基板を水平に保持するための載置台と、
この載置台を鉛直軸回りに回転させる駆動機構と、
前記載置台を囲むようにして設けられ、底部に廃液管が接続されたカップ体と、
前記筐体内における搬送口と前記載置台との間にて前記基板搬送機構の保持体の移動路の上方に位置するように設けられ、当該保持体に洗浄液を供給するための第1の洗浄液供給部と、
前記カップ体の上方に設けられ、載置台に保持された基板の表面へ洗浄液を供給するための第2の洗浄液供給部と、
前記筐体内における搬送口と前記載置台との間にて前記基板搬送機構の保持体の移動路の下方に位置するように設けられ、第1の洗浄液供給部より供給される洗浄液を回収するための回収部と、を備え、
前記制御部は、基板搬送機構の保持体を、基板を保持しない状態で前記筐体内に進入させながら、当該保持体を洗浄するために第1の洗浄液供給部から洗浄液を供給するように制御信号を出力するものであることを特徴とする塗布、現像装置。 - 前記筐体内には、洗浄後の保持体を乾燥させるために当該保持体に乾燥用のガスを供給するガス供給部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の塗布、現像装置。
- 前記回収部には、洗浄液を吸引して回収するために、吸引手段に一端が接続された吸引管の他端が接続されていることを特徴とする請求項1または2記載の塗布、現像装置。
- 前記制御部は、基板搬送機構が予め設定した回数だけ基板を搬送した後に、基板搬送機構が基板を搬送しない状態で前記洗浄ユニット内に進入し、第1のノズルからの洗浄液により基板搬送機構の保持体を洗浄するように制御信号を出力するものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の塗布、現像装置。
- 前記制御部は、前記第1のノズルの下方側を前記保持体が複数回往復し、この時に当該保持体に対して洗浄液の吐出及びパージガスの供給が行われるように制御信号を出力することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の塗布、現像装置。
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