JP2010251356A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送手段が収納手段31から被加工物W1を搬出して保持手段に搬送し、保持手段に保持された被加工物W1が加工される加工装置において、収納手段31に被加工物W1を載置可能な被加工物載置台33を備えており、被加工物載置台33には、被加工物の収納手段31への搬入または被加工物W1の収納手段31からの搬出時に被加工物W1の出入口となる入出部332と、被加工物W1の搬出入方向と水平面内において垂直に交わる方向を回転軸333aとして入出部332が上方を向くように被加工物載置台33を回転させる回転機構333とを備えることにより、オペレータから入出部332を見やすくなり、所望の位置に被加工物W1を収納しやすくなると共に、所望の被加工物W1を取りだしやすくなる。
【選択図】図5
Description
2:保持手段 20:吸引部 21:クランプ部
3:収納手段載置機構
30:第一の収納手段
31:第二の収納手段
32:枠体
320:第一の搬送口 321:第二の搬送口
33:被加工物載置台
330:回転部 330a:把持部 330b:スロット
331:スライド部 332:入出部
333:回転機構 333a:回転軸
334:掛止部 334a:立ち上がり部 334b:ストッパ部 334c:山部
4:洗浄手段 40:保持テーブル
5:第一の搬送手段 50:ガイドレール 51:アーム部 52:挟持部
6:第二の搬送手段 60:ガイドレール 61:アーム部 62:昇降部
63:吸着部
7:第三の搬送手段 70:ガイドレール 71:アーム部 72:昇降部
73:吸着部
8:表示手段
10:第一の切削手段 100:第一のブレード
11:第二の切削手段
12:第一の送り手段
120:ボールネジ 121:ガイドレール 122:可動部 123:昇降機構
13:第二の送り手段
130:ボールネジ 131:パルスモータ 132:可動部 133:昇降機構
W:ウェーハ W1:インスペクションウェーハ T:テープ F:フレーム
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、
該被加工物を収納する収納手段と、
該収納手段から該被加工物を搬出して該保持手段に搬送する搬送手段と
を有する加工装置であって、
該収納手段は、該被加工物を載置可能な被加工物載置台を有し、
該被加工物載置台は、
該被加工物の該収納手段への搬入または該被加工物の該収納手段からの搬出時に該被加工物の出入口となる入出部と、
該被加工物の搬出入方向と水平面内において垂直に交わる方向を回転軸として、該入出部が上方を向くように該被加工物載置台を回転させる回転機構と
を有する加工装置。 - 前記収納手段は、前記搬送手段側に開口する第一の搬送口と、該第一の搬送口に対向しオペレータ側に開口する第二の搬送口とを有する枠体を有し、
前記被加工物載置台は、該第二の搬送口を介して該枠体から引き出し可能である
請求項1に記載の加工装置。
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JP5308218B2 JP5308218B2 (ja) | 2013-10-09 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016104500A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
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JPH03112941U (ja) * | 1990-03-05 | 1991-11-19 | ||
JPH0880989A (ja) * | 1994-07-11 | 1996-03-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハカセット及びその使用方法 |
JPH10199958A (ja) * | 1997-01-14 | 1998-07-31 | Sony Corp | ウェハ支持体用ステージ並びにウェハ搬送システム |
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2009
- 2009-04-10 JP JP2009095856A patent/JP5308218B2/ja active Active
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JP5308218B2 (ja) | 2013-10-09 |
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