JP5286142B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
加工装置。
2:保持手段 20:吸引部 21:クランプ部
3:収納手段載置機構
30:第一の収納手段
31:第二の収納手段
32:枠体
320:第一の搬送口 321:第二の搬送口
33:被加工物載置台
330:回転部 330a:把持部 330b:スロット
331:スライド部 332:入出部
333:回転機構 333a:回転軸
334:掛止部 334a:立ち上がり部 334b:ストッパ部 334c:山部
4:洗浄手段 40:保持テーブル
5:第一の搬送手段 50:ガイドレール 51:アーム部 52:挟持部
6:第二の搬送手段 60:ガイドレール 61:アーム部 62:昇降部
63:吸着部
7:第三の搬送手段 70:ガイドレール 71:アーム部 72:昇降部
73:吸着部
8:表示手段
9:収納手段
90:枠体 900:第一の搬送口 901:第二の搬送口
91:被加工物載置台
910:開閉部 910a:把持部
911:スライド部
912:収容部 912a:スロット
913:入出部 914:掛止部
10:第一の切削手段 100:第一のブレード
11:第二の切削手段
12:第一の送り手段
120:ボールネジ 121:ガイドレール 122:可動部 123:昇降機構
13:第二の送り手段
130:ボールネジ 131:パルスモータ 132:可動部 133:昇降機構
W:ウェーハ W1:インスペクションウェーハ T:テープ F:フレーム
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、
該被加工物を収納する収納手段と、
該収納手段から該被加工物を搬出して該保持手段に搬送する搬送手段と
を有する加工装置であって、
該収納手段は、該搬送手段側に開口する第一の搬送口と、該第一の搬送口に対向しオペレータ側に開口する第二の搬送口とを有する枠体と、
該第二の搬送口を介して該枠体から引き出し可能な被加工物載置台と、
該被加工物載置台を該第二の搬送口を介して引き出された状態から該枠体の中に押し込む際の慣性力によって該被加工物載置台に載置された該被加工物が該第一の搬送口から飛び出すのを一定の力で防止する掛止部と
を有し、
該一定の力は、該慣性力によって該被加工物が該第一の搬送口方向に向かって動く際に該掛止部に作用する力より大きく、該搬送手段によって該第一の搬送口を介して該被加工物が搬出入される際に該掛止部に作用する力より小さく、
該搬送手段が該被加工物を該第一の搬送口を介して搬出入する際には該掛止部による掛止が解除される
加工装置。 - 前記掛止部は、板バネによって構成される
請求項1に記載の加工装置。
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