JP5653183B2 - 加工装置 - Google Patents
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- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 14
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 31
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
18 チャックテーブル機構
19 チャックテーブル
21 フレームクランプ
24 切削ユニット
28 切削ブレード
30 支持基台
36 エアシリンダ
38 ピストンロッド
40 支持部材
42 エアアクチュエータ
46 クランプ爪(押さえ部材)
Claims (1)
- 環状フレームの開口部に粘着シートを介して被加工物が配設された形態の被加工物ユニットを保持するチャックテーブル機構と、該チャックテーブル機構で保持された該被加工物ユニットの被加工物へ加工を施す加工手段と、該被加工物ユニットが収容された収容カセットを載置する載置台と、該載置台に載置された該収容カセットから該チャックテーブル機構へと該被加工物ユニットを搬送する搬送手段とを備えた加工装置であって、
該チャックテーブル機構は、
該被加工物ユニットの被加工物を該粘着シートを介して吸引保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルの外周に配設されて該被加工物ユニットの該環状フレームを固定する少なくとも3個のフレームクランプと、
該チャックテーブルの中心に向かって移動可能な該チャックテーブルの外周側に配設された複数の位置合わせ部材と、
該位置合わせ部材を該チャックテーブルの外周側から該チャックテーブルの中心に向かって移動させる移動手段とを有し、
該各フレームクランプは、
前記環状フレームを下方から支持する支持部材と、
該支持部材と協働して該環状フレームを挟持する押さえ部材と、
該環状フレームを挟持するクランプ位置と該クランプ位置に対して立設した解放位置との間で該押さえ部材を回動する回動手段とを有し、
前記位置合わせ部材は、該解放位置に位置づけられた該押さえ部材で兼用され、
前記移動手段は、該各フレームクランプを前記チャックテーブルの外周側から該チャックテーブルの中心に向かって移動し、
該チャックテーブル機構上に該被加工物ユニットが載置された状態で、該複数の位置合わせ部材が該チャックテーブルの中心に向かって移動することで、該チャックテーブル機構上に載置された該被加工物ユニットの中心を該チャックテーブルの中心に位置決めすることを特徴とする加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010251139A JP5653183B2 (ja) | 2010-11-09 | 2010-11-09 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010251139A JP5653183B2 (ja) | 2010-11-09 | 2010-11-09 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012104609A JP2012104609A (ja) | 2012-05-31 |
JP5653183B2 true JP5653183B2 (ja) | 2015-01-14 |
Family
ID=46394678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010251139A Active JP5653183B2 (ja) | 2010-11-09 | 2010-11-09 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5653183B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111736431B (zh) * | 2020-06-15 | 2023-03-03 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种更换动态气体锁的装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3424052B2 (ja) * | 1994-08-30 | 2003-07-07 | 株式会社ディスコ | ダイシング装置のテーブル機構 |
JP2006032661A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2008062476A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置およびチャックテーブル |
JP2010021464A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置のチャックテーブル |
JP5085452B2 (ja) * | 2008-07-29 | 2012-11-28 | 株式会社ディスコ | テープ拡張装置 |
-
2010
- 2010-11-09 JP JP2010251139A patent/JP5653183B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012104609A (ja) | 2012-05-31 |
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Date | Code | Title | Description |
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