JP6522476B2 - 搬送機構 - Google Patents
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Description
3 搬送機構
31 第1の搬送アーム(搬送アーム)
40、60 収容トレー
41 挿入口
42、63 収容トレー本体
43 載置部
44、74 第1の位置決めローラー
45、75 第2の位置決めローラー
50 移送手段
55、56 環状フレームの平坦面
61 第1の挿入口(挿入口)
62 第2の挿入口
71 第1の載置部(載置部)
72 第2の載置部
76 第3の位置決めローラー
77 第4の位置決めローラー
81、82 小径環状フレームの平坦面
F 環状フレーム
Fa 小径環状フレーム
W ウェーハ
Wa 小径ウェーハ
WU ウェーハユニット
WUa 小径ウェーハユニット
Claims (2)
- 平行に向かい合った2つの平坦面及び該平坦面に対して直交する方向に向かい合った2つの平坦面の4つの平坦面を外周に有する環状フレームの開口部に粘着テープを介してウェーハを支持して構成されるウェーハユニットを、ウェーハ処理装置間において搬送するための搬送機構であって、
上方に開口し該ウェーハユニットを収容する収容トレーと、
該収容トレーを支持してウェーハ処理装置間を移送する移送手段と、から構成され、
該収容トレーは、
該環状フレームの外形と同サイズに上方に開口した挿入口及び該挿入口から挿入したウェーハユニットの該環状フレームを載置する載置部を有する収容トレー本体と、
該収容トレー本体の該挿入口に対向して配設された第1の位置決めローラー及び該第1の位置決めローラーの対向方向に直交する方向に対向して配設された第2の位置決めローラーと、から構成され、
ウェーハユニットがウェーハ処理装置の搬送アームにより上方から該挿入口へ挿入されると該環状フレームの4つの該平坦面が該第1及び第2の位置決めローラーにより位置決めされ、該環状フレームが該収容トレー本体の該載置部上に載置されて収容され、
該移送手段によりウェーハ処理装置間をウェーハ1枚毎に搬送することを特徴とする搬送機構。 - 該ウェーハよりも小径の小径ウェーハを小径環状フレームの開口部に粘着テープを介して支持して構成される小径ウェーハユニットをウェーハ処理装置間において搬送するための搬送機構であって、
該収容トレー本体は、該挿入口の内側に形成された該小径環状フレームを挿入するための該小径環状フレームの第2の挿入口及び該第2の挿入口から挿入した小径ウェーハユニットの小径環状フレームを載置する第2の載置部を有し、
該収容トレーは、該第2の挿入口に対向して配設された第3の位置決めローラー及び第3の位置決めローラーの対向方向に直交する方向に対向して配設された第4の位置決めローラーを備え、
該移送手段によりウェーハ処理装置間を小径ウェーハ1枚毎に搬送することを特徴とする請求項1記載の搬送機構。
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