JP2016104500A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削装置10は、被加工物を保持するチャックテーブル14と、被加工物を切削する第1の切削手段15及び第2の切削手段15aと、切削ブレード152を被加工物に切込ませる第1の切込み送り手段16及び第2の切込み送り手段16aと、第1の切削手段15及び第1の切込み送り手段16と第2の切削手段15a及び第2の切込み送り手段16aとをそれぞれY軸方向にインデックス送りする第1のインデックス送り手段17,第2のインデックス送り手段17aと、切削ブレード152の切削方向にチャックテーブル14を切削送りする切削送り手段18とを備え、装置前方側における切削送り手段18を挟んだ左右の領域に追加ユニットスペース20a,20bを備えるため、装置外観を変更せずに追加ユニットを装置に追加でき、オペレータに負担がかからない。
【選択図】図1
Description
よって、切削装置の設置面積を広くとる必要がなくなるし、オペレータに対して装置外観の変更による負担をかけることがなくなり、作業効率が向上する。
スピン洗浄の場合は、ウエーハを保持する洗浄テーブルと、洗浄テーブルの中心を軸に回転する回転手段と、ウエーハの上方からウエーハの上面に向って洗浄水を噴射する洗浄ノズルと、を備え、回転手段が回転させる洗浄テーブルが保持するウエーハの上面に洗浄ノズルから洗浄水を噴射しウエーハが洗浄される。洗浄ノズルは、洗浄水だけを噴射しても良いし、洗浄水とエアーとを混合させた2流体洗浄としても良い。
また、2流体洗浄又はエアーブロー洗浄の場合は、洗浄テーブルを備えなくとも良い。
洗浄テーブルを備えない場合は、洗浄ノズルを、追加ユニットの内壁から進入したウエーハに向って洗浄水およびエアーを噴射する様に配置させる。ウエーハを洗浄する際は、追加ユニットに上からウエーハを直立させて進入させた後、洗浄ノズルから洗浄水およびエアーを噴射させ、ウエーハを引き上げ、追加ユニットからウエーハが引き上げられると同時に洗浄される。
これにより、切削装置10の設置面積を広くとる必要がなく、切削装置10の外観を変更せずに追加ユニットを装置に追加できることから、オペレータに対して負担をかけることがなくなり、オペレータの作業性の妨げとならない。
12:基台 13:コラム
14:チャックテーブル 140:保持面
15,15a:切削手段 150:回転軸 151:ハウジング
152:切削ブレード 153:ブレードカバー
16,16a:切込み送り手段 160:昇降部
17,17a:インデックス送り手段 170:ボールネジ 171:モータ
172:ガイドレール 173:移動部
18:切削送り手段 180:ボールネジ 181:モータ 182:ガイドレール
183:移動基台
20a,20b:追加ユニットスペース 21a,21b:追加ユニット用開閉扉
22:入出口 220:ハンドル
23:メンテナンス用開閉扉
24:電源スイッチ 25:非常停止スイッチ 26:操作パネル
27:加工水流量計 28:冷却水流量計 29:電装排気口 30:電装ユニット
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、回転軸の自由端に切削ブレードを装着し回転手段で回転させ被加工物を切削する切削手段と、該切削ブレードを被加工物に切込ませる切込み送り手段と、該切削手段と該切込み送り手段とを該回転軸方向にインデックス送りするインデックス送り手段と、該回転軸に直交する該切削ブレードの切削方向に該チャックテーブルを切削送りする切削送り手段と、を備える切削装置であって、
該切削送り手段は、装置前後に延在し、装置前方側の該切削送り手段を挟んだ左右にそれぞれスペースを備え、該スペースに追加ユニットを配設可能とする切削装置。
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ID=56102575
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020205333A (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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-
2014
- 2014-12-01 JP JP2014242958A patent/JP2016104500A/ja active Pending
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