JP5025282B2 - フレームクランプ装置および切削装置 - Google Patents
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Description
20 チャックテーブル
30 フレームクランプ装置
41 フレーム支持手段
42 フレーム押上手段
Claims (2)
- テープを介してフレームに装着された被加工物を保持するチャックテーブルの外周に配設されて前記フレームを支持するフレームクランプ装置であって、
被加工物を保持した前記フレームを下部から磁力で支持するフレーム支持手段と、
前記フレーム離脱の際に前記フレーム支持手段から前記フレームを押し上げるフレーム押上手段と、
を備え、
前記フレーム押上手段は、カム構造体と駆動部とを備え、
前記カム構造体は、前記駆動部の回転軸に固定されており、前記駆動部により回転駆動させられるものであり、起立状態に位置付けられることで前記フレーム支持手段から前記フレームを押し上げ、倒伏状態に位置付けられることでフレーム支持手段によるフレームの支持動作に影響しない位置に退避し、
前記駆動部は、正転エアー流入部と、逆転エアー流入部とを備えており、前記正転エアー流入部にエアーが吹き込まれると前記カム構造体が前記倒伏状態から前記起立状態まで回転し、前記逆転エアー流入部にエアーが吹き込まれると前記カム構造体が前記起立状態から前記倒伏状態まで回転する
ことを特徴とするフレームクランプ装置。 - テープを介してフレームに装着された被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の切削加工を行う切削手段とを備える切削装置であって、
請求項1に記載のフレームクランプ装置が前記チャックテーブルの外周に配設され、切削加工動作の妨げにならないように前記フレームを押し下げる位置に前記フレーム支持手段が配設されていることを特徴とする切削装置。
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