JPH05175092A - マスク保管装置 - Google Patents
マスク保管装置Info
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- JPH05175092A JPH05175092A JP33805291A JP33805291A JPH05175092A JP H05175092 A JPH05175092 A JP H05175092A JP 33805291 A JP33805291 A JP 33805291A JP 33805291 A JP33805291 A JP 33805291A JP H05175092 A JPH05175092 A JP H05175092A
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- container
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Library & Information Science (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 限られたスペースに多数の半導体露光用マス
クを保管し、且つ、収納・保管・取出しの取扱性を良好
にする。 【構成】 マスク容器２０に保管棚２１に移動可能に載
る突出部１１を設け、マスク容器と保管棚間に、マスク
容器を取り出し可能に保管棚上に固定する棚ロック手段
２１Ｂ、１１Ａを設け、マスク容器とマスク容器ハンド
ラー２３間に、マスク容器ハンドラー２３がマスク容器
２０を前方に引き出す係合部１１Ｂ、２３Ａを設け、マ
スクの容器と上蓋４間に、蓋ロック手段を設けると共
に、マスク容器ハンドラーに、マスク容器を棚から前方
に引き出すときに、この蓋ロック手段を解除する蓋ロッ
ク解除手段を設け、マスク容器の上蓋４とマスク容器ハ
ンドラー間に、前方に引き出されたマスク容器の上蓋を
開くようにする上蓋開放手段２５、４Ａを設け、上蓋が
開かれたマスク容器からマスクハンドラーがマスクを把
持して取り出す。
クを保管し、且つ、収納・保管・取出しの取扱性を良好
にする。 【構成】 マスク容器２０に保管棚２１に移動可能に載
る突出部１１を設け、マスク容器と保管棚間に、マスク
容器を取り出し可能に保管棚上に固定する棚ロック手段
２１Ｂ、１１Ａを設け、マスク容器とマスク容器ハンド
ラー２３間に、マスク容器ハンドラー２３がマスク容器
２０を前方に引き出す係合部１１Ｂ、２３Ａを設け、マ
スクの容器と上蓋４間に、蓋ロック手段を設けると共
に、マスク容器ハンドラーに、マスク容器を棚から前方
に引き出すときに、この蓋ロック手段を解除する蓋ロッ
ク解除手段を設け、マスク容器の上蓋４とマスク容器ハ
ンドラー間に、前方に引き出されたマスク容器の上蓋を
開くようにする上蓋開放手段２５、４Ａを設け、上蓋が
開かれたマスク容器からマスクハンドラーがマスクを把
持して取り出す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体等の露光に使用
されるマスクを収納するマスク容器とマスク容器を整列
保管する保管棚と所望のマスク容器を引き出しマスクを
取り出せるようにするマスク容器ハンドラーとマスクを
マスク容器から取り出すマスクハンドラーとを有するマ
スク保管装置に関するものである。
されるマスクを収納するマスク容器とマスク容器を整列
保管する保管棚と所望のマスク容器を引き出しマスクを
取り出せるようにするマスク容器ハンドラーとマスクを
マスク容器から取り出すマスクハンドラーとを有するマ
スク保管装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体の露光を行う露光装置には、通
常、マスクを一つずつ収納した複数のマスク容器を保管
するマスク保管装置が付属し、作業者は、このマスク保
管装置から所望のマスクを取り出して使用している。
常、マスクを一つずつ収納した複数のマスク容器を保管
するマスク保管装置が付属し、作業者は、このマスク保
管装置から所望のマスクを取り出して使用している。
【０００３】そしてこの場合、マスクは半導体パターン
の原版であり、これに異物が付着すると、その異物で露
光パターンが狂い、品質不良が発生するので、マスクを
保管中に、マスクに異物が付着しないように、マスク容
器は密閉性が良いことが必要であり、又、多数のマスク
容器を出来るだけ小さな空間に整理・保管し、且つ、所
望のマスクを出来るだけ短時間に、且つ、傷を付けたり
することなく取り出せるようにするという相反する条件
を満たすことが要求される。従来の技術では、特開昭５
８−９５８１２号と特開昭６３−２６５４４５号に記載
のもの等があるが、上記の条件を更に高度に満足するも
のが求められている。
の原版であり、これに異物が付着すると、その異物で露
光パターンが狂い、品質不良が発生するので、マスクを
保管中に、マスクに異物が付着しないように、マスク容
器は密閉性が良いことが必要であり、又、多数のマスク
容器を出来るだけ小さな空間に整理・保管し、且つ、所
望のマスクを出来るだけ短時間に、且つ、傷を付けたり
することなく取り出せるようにするという相反する条件
を満たすことが要求される。従来の技術では、特開昭５
８−９５８１２号と特開昭６３−２６５４４５号に記載
のもの等があるが、上記の条件を更に高度に満足するも
のが求められている。
【０００４】これらの従来例のマスク保管装置のマスク
容器５０と、マスク容器保管棚５１及びマスクハンドラ
ー５２とを図３、図４に基づいて説明する。
容器５０と、マスク容器保管棚５１及びマスクハンドラ
ー５２とを図３、図４に基づいて説明する。
【０００５】図３は従来例のマスク容器５０、図４は従
来例のマスク容器保管棚５１及びマスクハンドラー５２
で、マスク容器５０は、底部と３枚の側板からなり前方
が開放されている容器３０と、容器３０の後側上周縁に
一端を枢着され容器３０の上面を閉じる上蓋３１と、上
蓋３１の下面両側部で両端を回動可能に枢着されると共
に、この両端近くに夫々の突出方向が９０度異なる一組
の凸部３４′、３４″とを有する軸３４と、上蓋３１の
前端に回動可能に枢着され上蓋３１を閉じたときに容器
３０の前面を閉じる前側板３２と、一端を凸部３４′に
回動可能に枢着され他端を前側板３２の両側端近くの内
面に固定されたバネ３３と、一端を凸部３４′に回動自
在に接続され他端を上蓋３１の下面の奥部両側近くに固
定されたバネ３５と、容器３０の両外側に設けられマス
ク保管棚５１に載る突出部３７と、容器３０の両外側の
下縁に回動自在に枢着されＬ字形断面を有し上蓋３１を
閉じたときに上蓋３０をＬ字部分で開かないように固定
する固定片３８と、容器３０の底部にありマスクの両端
部を支持する支持部材３９と、支持部材３９の上面にあ
ってマスクの位置を規制する位置規制ピン４０と、前側
板３２の片側端面にあってマスク容器ハンドラーの前側
板開放手段（後述）の係合片と係合して前側板３２を開
く作用を有する係合溝３６とを有する。
来例のマスク容器保管棚５１及びマスクハンドラー５２
で、マスク容器５０は、底部と３枚の側板からなり前方
が開放されている容器３０と、容器３０の後側上周縁に
一端を枢着され容器３０の上面を閉じる上蓋３１と、上
蓋３１の下面両側部で両端を回動可能に枢着されると共
に、この両端近くに夫々の突出方向が９０度異なる一組
の凸部３４′、３４″とを有する軸３４と、上蓋３１の
前端に回動可能に枢着され上蓋３１を閉じたときに容器
３０の前面を閉じる前側板３２と、一端を凸部３４′に
回動可能に枢着され他端を前側板３２の両側端近くの内
面に固定されたバネ３３と、一端を凸部３４′に回動自
在に接続され他端を上蓋３１の下面の奥部両側近くに固
定されたバネ３５と、容器３０の両外側に設けられマス
ク保管棚５１に載る突出部３７と、容器３０の両外側の
下縁に回動自在に枢着されＬ字形断面を有し上蓋３１を
閉じたときに上蓋３０をＬ字部分で開かないように固定
する固定片３８と、容器３０の底部にありマスクの両端
部を支持する支持部材３９と、支持部材３９の上面にあ
ってマスクの位置を規制する位置規制ピン４０と、前側
板３２の片側端面にあってマスク容器ハンドラーの前側
板開放手段（後述）の係合片と係合して前側板３２を開
く作用を有する係合溝３６とを有する。
【０００６】このマスク容器５０へのマスクの収納方法
は、先ず、固定片３７を外して上蓋３１、前側板３２を
開き、マスクを位置規制ピン４０の間に置き、次に、上
蓋３１、前側板３２を閉じて固定片３７を掛ける。この
ようにすると、前側板３２を閉じたときに、バネ３３が
緩み、バネ３５の引張力がバネ３３の引張力よりも大き
くなり凸部３４′がバネ３５に引かれてバネ３５の方向
に倒れ、凸部３４″が起き上がってマスクを支持部材３
９方向に押さえて安定保持する。この場合、凸部３４″
にはマスクを傷つけないように緩衝材が取り付けられて
いる。そして、前側板３２だけを開くと、バネ３３の引
張力がバネ３５の引張力よりも大きくなり、凸部３４′
がバネ３３に引かれてバネ３３の方向に立ち上がり、凸
部３４″が倒れてマスク押さえは解除される。
は、先ず、固定片３７を外して上蓋３１、前側板３２を
開き、マスクを位置規制ピン４０の間に置き、次に、上
蓋３１、前側板３２を閉じて固定片３７を掛ける。この
ようにすると、前側板３２を閉じたときに、バネ３３が
緩み、バネ３５の引張力がバネ３３の引張力よりも大き
くなり凸部３４′がバネ３５に引かれてバネ３５の方向
に倒れ、凸部３４″が起き上がってマスクを支持部材３
９方向に押さえて安定保持する。この場合、凸部３４″
にはマスクを傷つけないように緩衝材が取り付けられて
いる。そして、前側板３２だけを開くと、バネ３３の引
張力がバネ３５の引張力よりも大きくなり、凸部３４′
がバネ３３に引かれてバネ３３の方向に立ち上がり、凸
部３４″が倒れてマスク押さえは解除される。
【０００７】図４において、従来例のマスク容器保管棚
５１及びマスクハンドラー５２は、マスク容器５０の容
器３０の前記突出部３７を載せるマスク容器保管棚５１
と、マスク容器５０の前側板開放手段５３と水平スライ
ド手段５４とを上下方向に移動して所望のマスクを収容
したマスク容器５０の位置に移動させる上下移動手段５
５と、前側板開放手段５３と水平スライド手段５４とが
所望のマスク容器５０の位置に停止した後に、前側板開
放手段５３から係合片（図示せず）が出て前記前側板３
２の係合溝３６と係合し、前側板３２を開く。前側板３
２が開かれると、前記とは逆に、バネ３３の引張力がバ
ネ３５の引張力よりも大きくなり、凸部３４′がバネ３
３に引かれてバネ３３の方向に立ち上がり、凸部３４″
が倒れてマスク押さえは解除されて、マスクは取り出し
可能になる。この状態で、マスクハンドラー５２が水平
スライド手段５４によって、前記の開かれた前側板３２
の開口部からマスク容器５０内のマスクの下方に入り込
んで、マスクを持ち上げ真空吸着口５６で真空吸着して
マスクを保持してマスク容器５０から取り出す。
５１及びマスクハンドラー５２は、マスク容器５０の容
器３０の前記突出部３７を載せるマスク容器保管棚５１
と、マスク容器５０の前側板開放手段５３と水平スライ
ド手段５４とを上下方向に移動して所望のマスクを収容
したマスク容器５０の位置に移動させる上下移動手段５
５と、前側板開放手段５３と水平スライド手段５４とが
所望のマスク容器５０の位置に停止した後に、前側板開
放手段５３から係合片（図示せず）が出て前記前側板３
２の係合溝３６と係合し、前側板３２を開く。前側板３
２が開かれると、前記とは逆に、バネ３３の引張力がバ
ネ３５の引張力よりも大きくなり、凸部３４′がバネ３
３に引かれてバネ３３の方向に立ち上がり、凸部３４″
が倒れてマスク押さえは解除されて、マスクは取り出し
可能になる。この状態で、マスクハンドラー５２が水平
スライド手段５４によって、前記の開かれた前側板３２
の開口部からマスク容器５０内のマスクの下方に入り込
んで、マスクを持ち上げ真空吸着口５６で真空吸着して
マスクを保持してマスク容器５０から取り出す。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来例では、
マスク容器保管棚５１及びマスクハンドラー５２が限ら
れたスペースの中でマスクを取り出す機構の都合で、マ
スク容器５０の容器３０は前側面が開放されており、こ
の開放部を閉じる前側板３２は、上蓋３１の前端に回動
可能に枢着されバネ３３の引張力だけで閉じ位置に保持
されているだけで、ロックされていないので、密閉度が
不充分になることがあり、且つ、マスク容器５０を運搬
中に、何かが前側板３２に引っ掛かって、前側板３２が
開かれることがあり、前側板３２が開くと前述のように
凸部３４″によるマスク押さえも解除されるので、取扱
の誤りで、マスクが落下し、高価なマスクを損傷させる
という問題点がある。
マスク容器保管棚５１及びマスクハンドラー５２が限ら
れたスペースの中でマスクを取り出す機構の都合で、マ
スク容器５０の容器３０は前側面が開放されており、こ
の開放部を閉じる前側板３２は、上蓋３１の前端に回動
可能に枢着されバネ３３の引張力だけで閉じ位置に保持
されているだけで、ロックされていないので、密閉度が
不充分になることがあり、且つ、マスク容器５０を運搬
中に、何かが前側板３２に引っ掛かって、前側板３２が
開かれることがあり、前側板３２が開くと前述のように
凸部３４″によるマスク押さえも解除されるので、取扱
の誤りで、マスクが落下し、高価なマスクを損傷させる
という問題点がある。
【０００９】又、マスク容器保管棚５１及びマスクハン
ドラー５２が限られたスペースの中でマスクを取り出す
機構の都合で、マスク容器５０の前側板３２を開いて、
マスク容器５０の前から、マスクハンドラー５２がマス
ク容器５０内のマスクの下に入り込んで、真空吸着でマ
スクを保持して取り出しているが、何らかの条件で、真
空吸着口５６の吸着作用が不充分になることがあり、マ
スク搬送の信頼性が低いという問題点がある。
ドラー５２が限られたスペースの中でマスクを取り出す
機構の都合で、マスク容器５０の前側板３２を開いて、
マスク容器５０の前から、マスクハンドラー５２がマス
ク容器５０内のマスクの下に入り込んで、真空吸着でマ
スクを保持して取り出しているが、何らかの条件で、真
空吸着口５６の吸着作用が不充分になることがあり、マ
スク搬送の信頼性が低いという問題点がある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のマスク容器とマ
スクライブラリーは、上記の課題を解決するために、上
面を開放口として半導体露光用のマスクを収納する容器
と、この容器の開放口の周縁に一端を枢着されこの開放
口を開閉可能に密閉する上蓋とを有するマスク容器と、
複数のマスク容器を整列載置する棚を有する保管棚と、
この保管棚から所望のマスク容器を前方に引き出しその
マスク容器からマスクを取り出せるようにするマスク容
器ハンドラーと、マスク容器からマスクを取り出すマス
クハンドラーとを備えたマスク保管装置において、マス
ク容器に保管棚の棚に移動可能に載る突出部を設け、マ
スク容器と保管棚間に、マスク容器を所定以上の力で前
方に引くことによって取り出し可能に棚上に固定する棚
ロック手段を設け、マスク容器とマスク容器ハンドラー
間に、マスク容器ハンドラーがマスク容器を前方に引き
出す際に相互に係合し合う係合部を設け、マスク容器と
上蓋間に、上蓋を閉じたときに上蓋をロックする蓋ロッ
ク手段を設けると共に、マスク容器ハンドラーに、マス
ク容器を棚から前方に引き出すときに、この蓋ロック手
段を解除する蓋ロック解除手段を設け、マスク容器の上
蓋に、上蓋開放用係合部を設けると共に、マスク容器ハ
ンドラーに、マスク容器を棚から前方に引き出すとき
に、前記上蓋開放用係合部と係合状態になり、マスク容
器がマスク容器ハンドラーによって前方に引き出される
ときに前記蓋ロック解除手段によってロックを解除され
た上蓋を開くようにする上蓋開放手段を設け、上蓋が開
かれたマスク容器からマスクハンドラーがマスクを把持
して取り出すことを特徴とする。
スクライブラリーは、上記の課題を解決するために、上
面を開放口として半導体露光用のマスクを収納する容器
と、この容器の開放口の周縁に一端を枢着されこの開放
口を開閉可能に密閉する上蓋とを有するマスク容器と、
複数のマスク容器を整列載置する棚を有する保管棚と、
この保管棚から所望のマスク容器を前方に引き出しその
マスク容器からマスクを取り出せるようにするマスク容
器ハンドラーと、マスク容器からマスクを取り出すマス
クハンドラーとを備えたマスク保管装置において、マス
ク容器に保管棚の棚に移動可能に載る突出部を設け、マ
スク容器と保管棚間に、マスク容器を所定以上の力で前
方に引くことによって取り出し可能に棚上に固定する棚
ロック手段を設け、マスク容器とマスク容器ハンドラー
間に、マスク容器ハンドラーがマスク容器を前方に引き
出す際に相互に係合し合う係合部を設け、マスク容器と
上蓋間に、上蓋を閉じたときに上蓋をロックする蓋ロッ
ク手段を設けると共に、マスク容器ハンドラーに、マス
ク容器を棚から前方に引き出すときに、この蓋ロック手
段を解除する蓋ロック解除手段を設け、マスク容器の上
蓋に、上蓋開放用係合部を設けると共に、マスク容器ハ
ンドラーに、マスク容器を棚から前方に引き出すとき
に、前記上蓋開放用係合部と係合状態になり、マスク容
器がマスク容器ハンドラーによって前方に引き出される
ときに前記蓋ロック解除手段によってロックを解除され
た上蓋を開くようにする上蓋開放手段を設け、上蓋が開
かれたマスク容器からマスクハンドラーがマスクを把持
して取り出すことを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明のマスク保管装置は、マスク容器が上面
を開放口としているので、従来例のマスク容器がその前
側面を開放口としているのに比較して、マスクをマスク
容器に収納して作業者が運搬中に、マスクがマスク容器
から落下する可能性が極めて小さくなる。
を開放口としているので、従来例のマスク容器がその前
側面を開放口としているのに比較して、マスクをマスク
容器に収納して作業者が運搬中に、マスクがマスク容器
から落下する可能性が極めて小さくなる。
【００１２】マスク容器の上面を開放口にできるのは、
マスク容器に保管棚の棚に移動可能に載る突出部を設
け、マスク容器と保管棚間に、マスク容器を所定以上の
力で前方に引くことによって取り外し可能に棚上に固定
する棚ロック手段を設け、マスク容器と上蓋間に、上蓋
を閉じたときに上蓋をロックする蓋ロック手段を設ける
と共に、マスク容器ハンドラーに、マスク容器を棚から
引き出すときに、この蓋ロック手段を解除する蓋ロック
解除手段を設け、マスク容器の上蓋に、上蓋開放用係合
部を設けると共に、マスク容器ハンドラーに、マスク容
器を棚から引き出すときに、上蓋開放用係合部と係合状
態になり、マスク容器がマスク容器ハンドラーによって
前方に引き出されるときに前記蓋ロック手段によってロ
ックを解除された上蓋を開くようにする上蓋開放手段
が、上蓋を開放するからである。
マスク容器に保管棚の棚に移動可能に載る突出部を設
け、マスク容器と保管棚間に、マスク容器を所定以上の
力で前方に引くことによって取り外し可能に棚上に固定
する棚ロック手段を設け、マスク容器と上蓋間に、上蓋
を閉じたときに上蓋をロックする蓋ロック手段を設ける
と共に、マスク容器ハンドラーに、マスク容器を棚から
引き出すときに、この蓋ロック手段を解除する蓋ロック
解除手段を設け、マスク容器の上蓋に、上蓋開放用係合
部を設けると共に、マスク容器ハンドラーに、マスク容
器を棚から引き出すときに、上蓋開放用係合部と係合状
態になり、マスク容器がマスク容器ハンドラーによって
前方に引き出されるときに前記蓋ロック手段によってロ
ックを解除された上蓋を開くようにする上蓋開放手段
が、上蓋を開放するからである。
【００１３】又、上記によって、上蓋が開かれたマスク
容器からマスクを取り出せるので、マスクハンドラーが
上方からマスクを把持して取り出すことができ、従来例
がマスク容器を棚に積み重ねた状態のままで、マスク容
器の前側面を開いて、ここからマスクハンドラーを挿入
して真空吸着でマスクを取り出すのに比較して、取り出
し搬送の信頼性が高くなる。
容器からマスクを取り出せるので、マスクハンドラーが
上方からマスクを把持して取り出すことができ、従来例
がマスク容器を棚に積み重ねた状態のままで、マスク容
器の前側面を開いて、ここからマスクハンドラーを挿入
して真空吸着でマスクを取り出すのに比較して、取り出
し搬送の信頼性が高くなる。
【００１４】そして、上記のように、マスク容器ハンド
ラーが、マスク容器を棚から前方に引き出すときに、蓋
ロック手段を開放して上蓋を開けるので、マスク取扱の
作業性を低下すること無く、上蓋を閉じ状態でロックす
る蓋ロック手段を設けることができるので、マスク容器
を運搬中に、誤って上蓋が開かれることが無くなり、マ
スクを落下させて、高価なマスクを破損させる問題点が
解決され、密閉度も向上する。
ラーが、マスク容器を棚から前方に引き出すときに、蓋
ロック手段を開放して上蓋を開けるので、マスク取扱の
作業性を低下すること無く、上蓋を閉じ状態でロックす
る蓋ロック手段を設けることができるので、マスク容器
を運搬中に、誤って上蓋が開かれることが無くなり、マ
スクを落下させて、高価なマスクを破損させる問題点が
解決され、密閉度も向上する。
【００１５】
【実施例】本発明の一実施例を図１、図２に基づいて説
明する。
明する。
【００１６】図１において、本実施例のマスク容器２０
は、上面を開放口とし底板２と３枚の側板部３からなる
直方体形の容器２０′と、この容器２０′の開放口の周
縁に一端を枢着されこの開放口を開閉可能に密閉する上
蓋４と、直方体形の容器２０′の底部２に設けられて収
納したマスク１の下面の位置を規制する４本のピンとマ
スクの側面の位置を規制する８本のピンとからなるマス
ク支持手段５と、上蓋４の内側に設けられて上蓋４が閉
じたときにマスク１をマスク支持手段５のマスクの下面
の位置を規制する４本のピンの方向にバネ力で付勢して
マスクを安定支持するマスク付勢手段６とを有する。
は、上面を開放口とし底板２と３枚の側板部３からなる
直方体形の容器２０′と、この容器２０′の開放口の周
縁に一端を枢着されこの開放口を開閉可能に密閉する上
蓋４と、直方体形の容器２０′の底部２に設けられて収
納したマスク１の下面の位置を規制する４本のピンとマ
スクの側面の位置を規制する８本のピンとからなるマス
ク支持手段５と、上蓋４の内側に設けられて上蓋４が閉
じたときにマスク１をマスク支持手段５のマスクの下面
の位置を規制する４本のピンの方向にバネ力で付勢して
マスクを安定支持するマスク付勢手段６とを有する。
【００１７】図２において、本実施例のマスク保管装置
は、複数のマスク容器２０を垂直方向に整列載置するた
めの２個のベアリング２１Ａを有するマスク保管棚２１
と、この保管棚２１の前面に上下方向に可動に取り付け
られ所望のマスク容器２０の位置に移動しその所望のマ
スク容器２０を前方に引き出しそのマスク容器２０から
マスク１を取り出せるようにするマスク容器ハンドラー
２３と、マスク容器ハンドラー２３を上下に移動させる
ために、マスク容器ハンドラー２３を保持して上下に移
動する上下機構２２と、この上下機構２２を上下にガイ
ドするガイドレール２２Ａと、動力伝達手段２２Ｃを介
して上下機構２２を上下に移動させる上下移動用モータ
２２Ｂとを有する。
は、複数のマスク容器２０を垂直方向に整列載置するた
めの２個のベアリング２１Ａを有するマスク保管棚２１
と、この保管棚２１の前面に上下方向に可動に取り付け
られ所望のマスク容器２０の位置に移動しその所望のマ
スク容器２０を前方に引き出しそのマスク容器２０から
マスク１を取り出せるようにするマスク容器ハンドラー
２３と、マスク容器ハンドラー２３を上下に移動させる
ために、マスク容器ハンドラー２３を保持して上下に移
動する上下機構２２と、この上下機構２２を上下にガイ
ドするガイドレール２２Ａと、動力伝達手段２２Ｃを介
して上下機構２２を上下に移動させる上下移動用モータ
２２Ｂとを有する。
【００１８】次に、マスク保管装置の動作を説明する。
【００１９】マスク容器２０の両側面に保管棚２１の棚
を構成するベアリング２１Ａに移動可能に載る突出部１
１を設けると共に、この突出部１１と保管棚２１間に、
マスク容器２０を所定以上の力で前方に引くことによっ
て取り外し可能に保管棚２１上に固定する棚ロック手段
として突出部１１に溝１１Ａを設け保管棚２１にバネで
付勢されてこの溝１１Ａに係合するベアリング２１Ｂを
設け、更に、この突出部１１に、前記マスク容器ハンド
ラー２３に設けたマスク容器引き出し用の係合突起２３
Ａが、上下に移動する際には通過し、マスク容器を引き
出す際には係合する切込部１１Ｂを設け、マスク容器２
０内の上蓋４とマスク容器２０の前側面部３間に上蓋４
を閉じたときに上蓋４をバネ力で係合してロックする蓋
ロック手段として上蓋４の下面に半円形の凹部を有する
係合部材７を設けマスク容器２０の前側面部３の内面に
回動可能に枢着され一端に取り付けられたベアリング８
をバネ１０で付勢されて前記係合部材７に係合して上蓋
４を閉じ状態にロックするレバー９をその一部を外部に
出して設けると共に、マスク容器ハンドラー２３に、こ
のマスク容器ハンドラー２３を保管棚２１に載置された
所望のマスク容器２０の下方に前方から挿入したとき
に、この蓋ロック手段を解除する蓋ロック解除手段２４
を設け、マスク容器２３の上蓋４の前方端縁の片端に張
出部４Ａを設けると共に、マスク容器ハンドラー２３
に、このマスク容器ハンドラー２３を棚を構成するベア
リング２１Ａに載置された所望のマスク容器２０の下方
に前方から挿入したときに、この張出部４Ａに係合状態
になる上蓋係合部２５Ａを設け、この係合状態で、引き
出し用の係合突起２３Ａがマスク容器２０を矢印Ａ方向
に前方に引き出したときに、張出部４Ａと上蓋係合部２
５Ａとの係合部を矢印Ｂ方向に回動して、前記蓋ロック
解除手段２４によってロックを解除された上蓋４を、９
０度以上開くようにする上蓋開放手段２５を設け、上蓋
４が開かれたマスク容器２０からマスクハンドラー２５
が矢印Ｃ方向に降下して把持手段２６Ａによってマスク
１を把持し、矢印Ｄ方向に上昇してマスク１を取り出
し、所定の場所に搬送する。
を構成するベアリング２１Ａに移動可能に載る突出部１
１を設けると共に、この突出部１１と保管棚２１間に、
マスク容器２０を所定以上の力で前方に引くことによっ
て取り外し可能に保管棚２１上に固定する棚ロック手段
として突出部１１に溝１１Ａを設け保管棚２１にバネで
付勢されてこの溝１１Ａに係合するベアリング２１Ｂを
設け、更に、この突出部１１に、前記マスク容器ハンド
ラー２３に設けたマスク容器引き出し用の係合突起２３
Ａが、上下に移動する際には通過し、マスク容器を引き
出す際には係合する切込部１１Ｂを設け、マスク容器２
０内の上蓋４とマスク容器２０の前側面部３間に上蓋４
を閉じたときに上蓋４をバネ力で係合してロックする蓋
ロック手段として上蓋４の下面に半円形の凹部を有する
係合部材７を設けマスク容器２０の前側面部３の内面に
回動可能に枢着され一端に取り付けられたベアリング８
をバネ１０で付勢されて前記係合部材７に係合して上蓋
４を閉じ状態にロックするレバー９をその一部を外部に
出して設けると共に、マスク容器ハンドラー２３に、こ
のマスク容器ハンドラー２３を保管棚２１に載置された
所望のマスク容器２０の下方に前方から挿入したとき
に、この蓋ロック手段を解除する蓋ロック解除手段２４
を設け、マスク容器２３の上蓋４の前方端縁の片端に張
出部４Ａを設けると共に、マスク容器ハンドラー２３
に、このマスク容器ハンドラー２３を棚を構成するベア
リング２１Ａに載置された所望のマスク容器２０の下方
に前方から挿入したときに、この張出部４Ａに係合状態
になる上蓋係合部２５Ａを設け、この係合状態で、引き
出し用の係合突起２３Ａがマスク容器２０を矢印Ａ方向
に前方に引き出したときに、張出部４Ａと上蓋係合部２
５Ａとの係合部を矢印Ｂ方向に回動して、前記蓋ロック
解除手段２４によってロックを解除された上蓋４を、９
０度以上開くようにする上蓋開放手段２５を設け、上蓋
４が開かれたマスク容器２０からマスクハンドラー２５
が矢印Ｃ方向に降下して把持手段２６Ａによってマスク
１を把持し、矢印Ｄ方向に上昇してマスク１を取り出
し、所定の場所に搬送する。
【００２０】そして、マスク１のマスク容器２０への収
納は、上記と逆の手順で行われる。
納は、上記と逆の手順で行われる。
【００２１】本発明のマスク保管装置は、上記の実施例
に限らず種々の態様が可能である。
に限らず種々の態様が可能である。
【００２２】マスク容器２０の構造、保管棚２１の構
造、上下機構２２の構造、マスク容器ハンドラー２３の
構造、蓋ロック手段７、８、９、１０の構造、蓋ロック
解除手段２４の構造、上蓋開閉手段２５の構造、マスク
ハンドラー２６の構造等の設計は、実施例の構成に限ら
ず、本発明の必要機能を有するように自由に設計でき
る。
造、上下機構２２の構造、マスク容器ハンドラー２３の
構造、蓋ロック手段７、８、９、１０の構造、蓋ロック
解除手段２４の構造、上蓋開閉手段２５の構造、マスク
ハンドラー２６の構造等の設計は、実施例の構成に限ら
ず、本発明の必要機能を有するように自由に設計でき
る。
【００２３】
【発明の効果】本発明のマスク保管装置管は、収納・保
管・取出しにおいて、傷が付くのを防ぎ異物が付くのを
防ぐ必要がある半導体露光用マスクの取扱条件と、限ら
れたスペースにできるだけ多くのマスク容器を整理保管
し、手順良く収納・保管・取出しができるという要件に
合わせて、マスク保管装置に、マスク容器をマスク保管
棚から前方に引き出すマスク容器ハンドラーを設け、マ
スク容器の蓋ロック手段と蓋ロック解除手段とを設け、
上蓋開放手段２５とこの上蓋開放手段に係合するマスク
容器上蓋の張出部４Ａとを設け、マスクを上方から把持
して搬送するマスクハンドラーを設けたことによって、
マスク容器は上面のみが開放口になり、マスク容器の上
蓋を閉じ状態でロックできるので、密閉性が向上し異物
がマスク容器に入り難くなると共に、作業者がマスク容
器を持ち運び中に、誤ってマスクを落下させて、高価な
マスクを破損させることを防止できるという効果を奏す
る。
管・取出しにおいて、傷が付くのを防ぎ異物が付くのを
防ぐ必要がある半導体露光用マスクの取扱条件と、限ら
れたスペースにできるだけ多くのマスク容器を整理保管
し、手順良く収納・保管・取出しができるという要件に
合わせて、マスク保管装置に、マスク容器をマスク保管
棚から前方に引き出すマスク容器ハンドラーを設け、マ
スク容器の蓋ロック手段と蓋ロック解除手段とを設け、
上蓋開放手段２５とこの上蓋開放手段に係合するマスク
容器上蓋の張出部４Ａとを設け、マスクを上方から把持
して搬送するマスクハンドラーを設けたことによって、
マスク容器は上面のみが開放口になり、マスク容器の上
蓋を閉じ状態でロックできるので、密閉性が向上し異物
がマスク容器に入り難くなると共に、作業者がマスク容
器を持ち運び中に、誤ってマスクを落下させて、高価な
マスクを破損させることを防止できるという効果を奏す
る。
【００２４】又、本発明のマスク保管装置は、上蓋を９
０度以上開いたマスク容器から、マスクハンドラーがマ
スクを直接把持して搬送するので、従来例の真空吸着に
比較して搬送の信頼性が向上するという効果を奏する。
０度以上開いたマスク容器から、マスクハンドラーがマ
スクを直接把持して搬送するので、従来例の真空吸着に
比較して搬送の信頼性が向上するという効果を奏する。
【図１】本発明のマスク容器の一実施例の斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明のマスク保管装置の一実施例の斜視図で
ある。
ある。
【図３】従来例のマスク容器の斜視図である。
【図４】従来例のマスク保管装置の斜視図である。
１ マスク ２ 底部 ３ 側面部 ４ 上蓋 ４Ａ 張出部 ５ マスク支持手段 ６ マスク付勢手段 ７ 係合部材 ８ ベアリング ９ レバー １０ バネ １１ 突出部 １１Ａ 溝 １１Ｂ 切込部 ２０ マスク容器 ２０′容器 ２１ 保管棚 ２１Ａ ベアリング ２１Ｂ ベアリング ２２ 上下機構 ２２Ａ ガイドレール ２２Ｂ 上下移動用モータ ２２Ｃ 動力伝達手段 ２３ マスク容器ハンドラー ２３Ａ 係合突起 ２４ ロック解除手段 ２５ 上蓋開閉手段 ２５Ａ 上蓋係合部 ２６ マスクハンドラー ２６Ａ 把持手段
Claims (1)
- 【請求項１】 上面を開放口として半導体露光用のマス
クを収納する容器と、この容器の開放口の周縁に一端を
枢着されこの開放口を開閉可能に密閉する上蓋とを有す
るマスク容器と、複数のマスク容器を整列載置する棚を
有する保管棚と、この保管棚から所望のマスク容器を前
方に引き出しそのマスク容器からマスクを取り出せるよ
うにするマスク容器ハンドラーと、マスク容器からマス
クを取り出すマスクハンドラーとを備えたマスク保管装
置において、マスク容器に保管棚の棚に移動可能に載る
突出部を設け、マスク容器と保管棚間に、マスク容器を
所定以上の力で前方に引くことによって取り出し可能に
棚上に固定する棚ロック手段を設け、マスク容器とマス
ク容器ハンドラー間に、マスク容器ハンドラーがマスク
容器を前方に引き出す際に相互に係合し合う係合部を設
け、マスク容器と上蓋間に、上蓋を閉じたときに上蓋を
ロックする蓋ロック手段を設けると共に、マスク容器ハ
ンドラーに、マスク容器を棚から前方に引き出すとき
に、この蓋ロック手段を解除する蓋ロック解除手段を設
け、マスク容器の上蓋に、上蓋開放用係合部を設けると
共に、マスク容器ハンドラーに、マスク容器を棚から前
方に引き出すときに、前記上蓋開放用係合部と係合状態
になり、マスク容器がマスク容器ハンドラーによって前
方に引き出されるときに前記蓋ロック解除手段によって
ロックを解除された上蓋を開くようにする上蓋開放手段
を設け、上蓋が開かれたマスク容器からマスクハンドラ
ーがマスクを把持して取り出すことを特徴とするマスク
保管装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33805291A JPH05175092A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | マスク保管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33805291A JPH05175092A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | マスク保管装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05175092A true JPH05175092A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18314463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33805291A Pending JPH05175092A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | マスク保管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05175092A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108181784A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-19 | 武汉华星光电技术有限公司 | 光罩存储装置 |
| US20190333797A1 (en) * | 2018-04-30 | 2019-10-31 | Stek Co., Ltd | Apparatus and method for opening snap-shot cases |
| CN111349888A (zh) * | 2020-04-28 | 2020-06-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种金属掩膜板 |
| CN113140492A (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-20 | 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 | 掩模容器 |
-
1991
- 1991-12-20 JP JP33805291A patent/JPH05175092A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108181784A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-19 | 武汉华星光电技术有限公司 | 光罩存储装置 |
| US20190333797A1 (en) * | 2018-04-30 | 2019-10-31 | Stek Co., Ltd | Apparatus and method for opening snap-shot cases |
| CN113140492A (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-20 | 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 | 掩模容器 |
| CN111349888A (zh) * | 2020-04-28 | 2020-06-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种金属掩膜板 |
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