JP2001343621A - 液晶表示装置の搬送方法および搬送システム - Google Patents
液晶表示装置の搬送方法および搬送システムInfo
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- JP2001343621A JP2001343621A JP2000161464A JP2000161464A JP2001343621A JP 2001343621 A JP2001343621 A JP 2001343621A JP 2000161464 A JP2000161464 A JP 2000161464A JP 2000161464 A JP2000161464 A JP 2000161464A JP 2001343621 A JP2001343621 A JP 2001343621A
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- crystal display
- glass substrate
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 人件費およびランニングコストを大幅に削減
できるように改良された液晶表示装置の搬送方法を提供
することを主要な目的とする。 【解決手段】 第１工場（Ａ工場）から第２工場（Ｂ工
場）までガラス基板を搬送する液晶表示装置の搬送方法
であって、ガラス基板の搬送を自動的に行なうことを特
徴とする。
できるように改良された液晶表示装置の搬送方法を提供
することを主要な目的とする。 【解決手段】 第１工場（Ａ工場）から第２工場（Ｂ工
場）までガラス基板を搬送する液晶表示装置の搬送方法
であって、ガラス基板の搬送を自動的に行なうことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、一般に、液晶表
示装置の搬送方法に関するものであり、より特定的に
は、液晶表示装置、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）
表示装置、プラズマ表示装置等の表示装置や、半導体集
積回路、イメージセンサ等、電子部品の製造方法におい
て、工程間をガラス基板カセットにて搬送する、液晶表
示装置の搬送方法に関する。この発明は、また、そのよ
うな搬送方法を実現できる液晶表示装置の搬送システム
に関する。
示装置の搬送方法に関するものであり、より特定的に
は、液晶表示装置、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）
表示装置、プラズマ表示装置等の表示装置や、半導体集
積回路、イメージセンサ等、電子部品の製造方法におい
て、工程間をガラス基板カセットにて搬送する、液晶表
示装置の搬送方法に関する。この発明は、また、そのよ
うな搬送方法を実現できる液晶表示装置の搬送システム
に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置を例とした場合、ＴＦＴ
（Thin film Transistor）基板の貼り合わせ工程の完了
の後、次工程の分断、注入、実装を行なう工程は、敷地
内外の別工場で行なわれる場合が多い。その場合、専用
の発泡ケースにＴＦＴ基板を、たとえば２０枚ずつ収納
して、発泡ケースをビニールラップで巻付け、クリーン
対策を行ない、フォークリフト移載用パレット上に、人
手で発泡ケースを所定数積載し、フォークリフトのみあ
るいは、フォークリフト等にて、トラックに積み込み、
次工程の工場へ搬送している。
（Thin film Transistor）基板の貼り合わせ工程の完了
の後、次工程の分断、注入、実装を行なう工程は、敷地
内外の別工場で行なわれる場合が多い。その場合、専用
の発泡ケースにＴＦＴ基板を、たとえば２０枚ずつ収納
して、発泡ケースをビニールラップで巻付け、クリーン
対策を行ない、フォークリフト移載用パレット上に、人
手で発泡ケースを所定数積載し、フォークリフトのみあ
るいは、フォークリフト等にて、トラックに積み込み、
次工程の工場へ搬送している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、ガラス基板を工程内カセットから発泡ケース
に移し替える必要がある。また、発泡ケース搬送では、
発泡ケースにビニールラップを巻付ける作業（クリーン
対策）の手間がある。トラックにより大量のバッチ搬送
を行なうため、基板が大型化した場合、発泡ケース等の
収納容器も大型化し、滞留させる大面積スペースが工場
側に必要となる。
方法では、ガラス基板を工程内カセットから発泡ケース
に移し替える必要がある。また、発泡ケース搬送では、
発泡ケースにビニールラップを巻付ける作業（クリーン
対策）の手間がある。トラックにより大量のバッチ搬送
を行なうため、基板が大型化した場合、発泡ケース等の
収納容器も大型化し、滞留させる大面積スペースが工場
側に必要となる。
【０００４】さらに、トラック搬送および積み下ろし時
に、基板への影響、割れ、欠けの発生が予想される。ま
た、トラックへの積み下ろしの手間がある。特に最近、
液晶では１ｍ角に近い基板を使用しているので、それに
より基板が大型化し、発泡ケース等の収納容器も大型化
するので、手では積み下ろしできなくなる。また、搬送
量等の管理業務の自動化が困難である。したがって、従
来の方法では、人件費およびランニングコストが膨大な
費用になるという問題があった。
に、基板への影響、割れ、欠けの発生が予想される。ま
た、トラックへの積み下ろしの手間がある。特に最近、
液晶では１ｍ角に近い基板を使用しているので、それに
より基板が大型化し、発泡ケース等の収納容器も大型化
するので、手では積み下ろしできなくなる。また、搬送
量等の管理業務の自動化が困難である。したがって、従
来の方法では、人件費およびランニングコストが膨大な
費用になるという問題があった。
【０００５】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたもので、人員の削減および、人件費の削
減とランニングコストの削減、基板への影響をなくし、
工場の配送スペースの縮小ができる、液晶表示装置の搬
送方法を提供することを目的とする。
ためになされたもので、人員の削減および、人件費の削
減とランニングコストの削減、基板への影響をなくし、
工場の配送スペースの縮小ができる、液晶表示装置の搬
送方法を提供することを目的とする。
【０００６】この発明の他の目的は、そのような搬送方
法を実現することのできる、液晶表示装置の搬送システ
ムを提供することにある。
法を実現することのできる、液晶表示装置の搬送システ
ムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の第１の局面に
従う方法は、第１工場から第２工場までガラス基板を搬
送する液晶表示装置の搬送方法に係る。上記ガラス基板
の搬送を自動的に行なうことを特徴とする。
従う方法は、第１工場から第２工場までガラス基板を搬
送する液晶表示装置の搬送方法に係る。上記ガラス基板
の搬送を自動的に行なうことを特徴とする。
【０００８】この発明の好ましい実施態様によれば、上
記ガラス基板の搬送は、該ガラス基板を複数枚収納可能
なカセットを用いて行なう。
記ガラス基板の搬送は、該ガラス基板を複数枚収納可能
なカセットを用いて行なう。
【０００９】この発明のさらに好ましい実施態様によれ
ば、上記ガラス基板の搬送は、クリーン度を保持して行
なわれる。
ば、上記ガラス基板の搬送は、クリーン度を保持して行
なわれる。
【００１０】この発明の好ましい実施態様によれば、上
記カセットを専用ボックスに収納して搬送する。
記カセットを専用ボックスに収納して搬送する。
【００１１】この発明の第２に局面に従う搬送システム
は、第１工場から第２工場まで、ガラス基板を搬送する
液晶表示装置の搬送システムに係る。当該搬送システム
は、上記ガラス基板を上記第１工場から上記第２工場ま
で自動的に搬送する自動搬送手段を備える。
は、第１工場から第２工場まで、ガラス基板を搬送する
液晶表示装置の搬送システムに係る。当該搬送システム
は、上記ガラス基板を上記第１工場から上記第２工場ま
で自動的に搬送する自動搬送手段を備える。
【００１２】この発明の好ましい実施態様によれば、当
該搬送システムは、上記ガラス基板を、複数枚収納可能
なカセットを備える。
該搬送システムは、上記ガラス基板を、複数枚収納可能
なカセットを備える。
【００１３】上記自動搬送手段は、上記カセットを収納
する専用ボックスと、上記専用ボックスを上記第１工場
から上記第２工場まで移動する移動手段とを含むのが好
ましい。
する専用ボックスと、上記専用ボックスを上記第１工場
から上記第２工場まで移動する移動手段とを含むのが好
ましい。
【００１４】また、上記専用ボックスは、自動搬送の際
の運動で、上記ガラス基板が微動することのないよう
に、上記カセットを安定して保持する機構を有している
のが好ましい。
の運動で、上記ガラス基板が微動することのないよう
に、上記カセットを安定して保持する機構を有している
のが好ましい。
【００１５】また、上記専用ボックスは、自動搬送の際
の運動で発生する振動を減衰させる機構を有するのが好
ましい。
の運動で発生する振動を減衰させる機構を有するのが好
ましい。
【００１６】さらに、上記専用ボックスは、自動搬送の
際の運動で上記ガラス基板が微動することのないよう
に、上記カセットを安定して保持する機構と、自動搬送
の際の運動で発生する振動を減衰させる機構と、を有し
ているのが好ましい。
際の運動で上記ガラス基板が微動することのないよう
に、上記カセットを安定して保持する機構と、自動搬送
の際の運動で発生する振動を減衰させる機構と、を有し
ているのが好ましい。
【００１７】さらに、上記移動手段は、上記専用ボック
スを、屋内、屋外を問わず搬送するのが好ましい。
スを、屋内、屋外を問わず搬送するのが好ましい。
【００１８】上記専用ボックスは、上記移動手段に接続
固定する機構を有するのが好ましい。
固定する機構を有するのが好ましい。
【００１９】また、上記専用ボックスは、クリーン度を
保つ機能を備えるのが好ましい。さらに、上記専用ボッ
クスは、上記カセットをクリーン度を保った室内へ移動
するための気密開閉扉を有するのが好ましい。
保つ機能を備えるのが好ましい。さらに、上記専用ボッ
クスは、上記カセットをクリーン度を保った室内へ移動
するための気密開閉扉を有するのが好ましい。
【００２０】さらに、当該搬送システムは、上記専用ボ
ックスと工場側受渡口を密着させる機構をさらに備える
のが好ましい。
ックスと工場側受渡口を密着させる機構をさらに備える
のが好ましい。
【００２１】また、上記専用ボックスは、露防止のヒー
タ機能を有するのが好ましい。さらに、この発明の好ま
しい実施態様によれば、当該搬送システムは、上記カセ
ットに付随する管理コードを自動で読取る管理機能を有
するのが好ましい。
タ機能を有するのが好ましい。さらに、この発明の好ま
しい実施態様によれば、当該搬送システムは、上記カセ
ットに付随する管理コードを自動で読取る管理機能を有
するのが好ましい。
【００２２】この発明によれば、ガラス基板を発泡ケー
スに移し替えることなく、ガラス基板カセット状態での
搬送を、クリーン度が確保できる専用ボックスに収納し
て、自動により搬送することができる。そのため、人員
の削減および人件費の削減とランニングコストの削減が
図れる。また、基板への影響をなくし、工場の配送スペ
ースの縮小ができる。
スに移し替えることなく、ガラス基板カセット状態での
搬送を、クリーン度が確保できる専用ボックスに収納し
て、自動により搬送することができる。そのため、人員
の削減および人件費の削減とランニングコストの削減が
図れる。また、基板への影響をなくし、工場の配送スペ
ースの縮小ができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
について説明する。
について説明する。
【００２４】実施の形態１ 図１は、本発明の搬送システムの全体図である。
【００２５】図１を参照して、本発明の実施の形態を、
順を追って説明する。Ａ工場にて、ＴＦＴ基板の貼り合
わせを完了した後、基板を複数枚（たとえば２０枚）収
納したガラス基板カセット１を、クリーンルーム２より
搬送コンベア３により、ガラス基板カセット移載ステー
ションドア４の手前まで搬送する。
順を追って説明する。Ａ工場にて、ＴＦＴ基板の貼り合
わせを完了した後、基板を複数枚（たとえば２０枚）収
納したガラス基板カセット１を、クリーンルーム２より
搬送コンベア３により、ガラス基板カセット移載ステー
ションドア４の手前まで搬送する。
【００２６】ガラス基板カセット移載ステーション５は
パスボックス形式となっている。ガラス基板カセット移
載ステーションドア４の前で、ガラス基板カセット１の
管理ナンバー（２Ｄバーコード等）を自動読取する。
パスボックス形式となっている。ガラス基板カセット移
載ステーションドア４の前で、ガラス基板カセット１の
管理ナンバー（２Ｄバーコード等）を自動読取する。
【００２７】専用ボックス６を、ガラス基板カセット移
載ステーション受渡口７に気密的に密着させる。
載ステーション受渡口７に気密的に密着させる。
【００２８】専用ボックス６とガラス基板カセット移載
ステーション５を密着させる機構（プッシュ式、プル
式）により、専用ボックス６とガラス基板カセット移載
ステーション５とを密着させ、これにより、クリーン度
が保たれる。
ステーション５を密着させる機構（プッシュ式、プル
式）により、専用ボックス６とガラス基板カセット移載
ステーション５とを密着させ、これにより、クリーン度
が保たれる。
【００２９】ガラス基板カセット移載ステーションドア
４を開け、ケース移載ロボット１４により、クリーンル
ーム２側のガラス基板カセット１を保持して、ガラス基
板カセット移載ステーション５内へ移載する。ガラス基
板カセット移載ステーションドア４を閉じる。
４を開け、ケース移載ロボット１４により、クリーンル
ーム２側のガラス基板カセット１を保持して、ガラス基
板カセット移載ステーション５内へ移載する。ガラス基
板カセット移載ステーションドア４を閉じる。
【００３０】ガラス基板カセット移載ステーション受渡
側オートドア１３を開け、専用ボックス６とガラス基板
カセット移載ステーション受渡口７の隙間のクリーン度
を確保する。専用ボックス側オートドア１１を開ける。
側オートドア１３を開け、専用ボックス６とガラス基板
カセット移載ステーション受渡口７の隙間のクリーン度
を確保する。専用ボックス側オートドア１１を開ける。
【００３１】ガラス基板カセット移載ロボット１４によ
り、ガラス基板カセット１を専用ボックス６内に移載す
る。
り、ガラス基板カセット１を専用ボックス６内に移載す
る。
【００３２】ガラス基板カセット移載ステーション受渡
側オートドア１３を閉じ、次に専用ボックス側オートド
ア１１を閉じる。
側オートドア１３を閉じ、次に専用ボックス側オートド
ア１１を閉じる。
【００３３】ガラス基板カセット１の移載が完了した専
用ボックス６の密着状態を解除して、垂直リフタ１５に
て所定の高さまで搬送する。
用ボックス６の密着状態を解除して、垂直リフタ１５に
て所定の高さまで搬送する。
【００３４】ここで、所定の高さまで、垂直リフタ１５
により、搬送する理由を説明する。工場間を、自動搬送
手段（ＡＧＶ、ＲＧＶ等）にて搬送する場合、工場敷地
内の自動車道３５（後述する図７参照）や歩道を横断す
る場合の交通システムに大きな負担が掛かる。そのた
め、トラック１６や人を回避した高さに搬送経路を持た
せることにより、搬送システム制御の負担を軽減する。
そのために、所定の高さまで搬送するのである。
により、搬送する理由を説明する。工場間を、自動搬送
手段（ＡＧＶ、ＲＧＶ等）にて搬送する場合、工場敷地
内の自動車道３５（後述する図７参照）や歩道を横断す
る場合の交通システムに大きな負担が掛かる。そのた
め、トラック１６や人を回避した高さに搬送経路を持た
せることにより、搬送システム制御の負担を軽減する。
そのために、所定の高さまで搬送するのである。
【００３５】垂直リフタ１５により所定の高さまで搬送
された専用ボックス６を、コンベア１７により、自動搬
送手段受渡ステーション１８まで搬送する。
された専用ボックス６を、コンベア１７により、自動搬
送手段受渡ステーション１８まで搬送する。
【００３６】自動搬送手段受渡ステーション１８にて、
専用ボックス６を自走式吊り下げモノレール１９に、移
載保持機構９（後述する図２参照）を用いて専用ボック
ス６の保持を行なう。
専用ボックス６を自走式吊り下げモノレール１９に、移
載保持機構９（後述する図２参照）を用いて専用ボック
ス６の保持を行なう。
【００３７】本実施の形態は、自動搬送手段を、自走式
吊り下げモノレール１９にした場合である。
吊り下げモノレール１９にした場合である。
【００３８】自動搬送手段は、コンベア、間欠送り、ト
ラック等でもよいが、吊り下げモノレール１９の場合で
は、架橋指示部等の構成が軽量かつ簡素で、搬入待ち時
間の調整が容易であるという利点がある。
ラック等でもよいが、吊り下げモノレール１９の場合で
は、架橋指示部等の構成が軽量かつ簡素で、搬入待ち時
間の調整が容易であるという利点がある。
【００３９】移載が完了した自走式吊り下げモノレール
１９は、次工程のＢ工場へ自動的に搬送を行なう。
１９は、次工程のＢ工場へ自動的に搬送を行なう。
【００４０】自走式吊り下げモノレール１９の架橋部２
３は、レール部分の保持とレールを保護（雨、雪等）す
る屋根２４程度の設置で、壁等の設置は必要ないため、
建設コストが削減できる。
３は、レール部分の保持とレールを保護（雨、雪等）す
る屋根２４程度の設置で、壁等の設置は必要ないため、
建設コストが削減できる。
【００４１】次工程のＢ工場へ搬送を完了した後、次工
程Ｂ工場側の受渡ステーション２５にて自走式吊り下げ
モノレール１９から専用ボックス６を分離する。
程Ｂ工場側の受渡ステーション２５にて自走式吊り下げ
モノレール１９から専用ボックス６を分離する。
【００４２】分離された専用ボックス６は、搬送コンベ
ア２７により、ガラス基板カセット移載ステーション２
８のドア手前まで搬送する。ガラス基板カセット移載ス
テーション２８は、パスボックス形式となっている。
ア２７により、ガラス基板カセット移載ステーション２
８のドア手前まで搬送する。ガラス基板カセット移載ス
テーション２８は、パスボックス形式となっている。
【００４３】専用ボックス６を、ガラス基板カセット移
載ステーション受渡口２９に密着させる機構により、気
密的に密着させる。
載ステーション受渡口２９に密着させる機構により、気
密的に密着させる。
【００４４】ガラス基板カセット移載ステーション受渡
側オートドア３０を開け、専用ボックス６とガラス基板
カセット移載ステーション受渡口２９の隙間のクリーン
度を確保する。専用ボックス側オートドア１０を開け
る。
側オートドア３０を開け、専用ボックス６とガラス基板
カセット移載ステーション受渡口２９の隙間のクリーン
度を確保する。専用ボックス側オートドア１０を開け
る。
【００４５】ケース移載ロボット３１により、専用ボッ
クス６側のガラス基板カセット１を保持して、ガラス基
板カセット移載ステーション２８内へ移載する。専用ボ
ックス６側のオートドア１０を閉じる。
クス６側のガラス基板カセット１を保持して、ガラス基
板カセット移載ステーション２８内へ移載する。専用ボ
ックス６側のオートドア１０を閉じる。
【００４６】ガラス基板カセット移載ステーション受渡
側オートドア３０を閉じる。ガラス基板カセット移載ス
テーションドア３２を開け、次工程Ｂ工場内のクリーン
ルーム３３に、ガラス基板カセット１をケース移載ロボ
ット３１により移載する。
側オートドア３０を閉じる。ガラス基板カセット移載ス
テーションドア３２を開け、次工程Ｂ工場内のクリーン
ルーム３３に、ガラス基板カセット１をケース移載ロボ
ット３１により移載する。
【００４７】次に、空になったガラス基板カセットがあ
る場合、上記搬送手段を用いて、前工程Ａ工場内に送り
返される。
る場合、上記搬送手段を用いて、前工程Ａ工場内に送り
返される。
【００４８】管理システムとしては、ガラス基板カセッ
トの管理ナンバーを自動で読取ることや、搬送経路内す
べてのガラス基板カセットの場所を管理／モニタできる
ものが好ましい。また、工場内のＣＩＭホストに可動／
トラブル状況等の必要情報を伝達できるものが好まし
い。
トの管理ナンバーを自動で読取ることや、搬送経路内す
べてのガラス基板カセットの場所を管理／モニタできる
ものが好ましい。また、工場内のＣＩＭホストに可動／
トラブル状況等の必要情報を伝達できるものが好まし
い。
【００４９】図２は、本発明に用いられる専用ボックス
の斜視図である。図２を参照して、専用ボックス６は、
ボックス内のクリーン度を保つためのＨＰ用フィルタ８
を搭載している。結露防止のため、ヒータ機能を搭載
し、ヒータ機能駆動用のバッテリを搭載している。自動
搬送手段（ＡＧＶ、ＲＢＶ、モノレール等）に移載して
いる間に、自動搬送手段より給電され充電が行なわれ
る。専用ボックス６は、自動搬送手段および垂直リフタ
搬送時に必要な移載保持機構９，１０を有している。専
用ボックス６に付属しているオートドア１１の周辺に
は、密着性を保つシール材１２が設けられている。
の斜視図である。図２を参照して、専用ボックス６は、
ボックス内のクリーン度を保つためのＨＰ用フィルタ８
を搭載している。結露防止のため、ヒータ機能を搭載
し、ヒータ機能駆動用のバッテリを搭載している。自動
搬送手段（ＡＧＶ、ＲＢＶ、モノレール等）に移載して
いる間に、自動搬送手段より給電され充電が行なわれ
る。専用ボックス６は、自動搬送手段および垂直リフタ
搬送時に必要な移載保持機構９，１０を有している。専
用ボックス６に付属しているオートドア１１の周辺に
は、密着性を保つシール材１２が設けられている。
【００５０】図３は、本発明に用いられる自走式吊り下
げモノレール１９の機構の一例を示す斜視図である。専
用ボックス６には、保持用取手ベース２０があり、そこ
に移載保持機構９がある。自走式吊り下げモノレール１
９には、保持用フック２１が設けられている。
げモノレール１９の機構の一例を示す斜視図である。専
用ボックス６には、保持用取手ベース２０があり、そこ
に移載保持機構９がある。自走式吊り下げモノレール１
９には、保持用フック２１が設けられている。
【００５１】図４は、自走式吊り下げモノレール１９
に、専用ボックス６が移載された状態を示す斜視図であ
る。ここで、まず、移載動作を説明する。
に、専用ボックス６が移載された状態を示す斜視図であ
る。ここで、まず、移載動作を説明する。
【００５２】図１と図２と図４を参照して、専用ボック
ス６を上下動の可能なステージ２２（コンベア自体でも
よい）に載せ、自走式吊り下げモノレール１９について
いる保持用フック２１と干渉しない位置まで上昇させ
る。自走式吊り下げモノレール１９が設定の位置まで自
動で移動する。専用ボックス６を上昇させていたステー
ジ２２を下降させ、専用ボックス６と離脱する位置まで
ステージ２２を下降させ、専用ボックス６側の保持用取
手ベース２０の移載保持機構９と自走式吊り下げモノレ
ール１９の保持用フックを接合させ、移載動作を完了さ
せる。
ス６を上下動の可能なステージ２２（コンベア自体でも
よい）に載せ、自走式吊り下げモノレール１９について
いる保持用フック２１と干渉しない位置まで上昇させ
る。自走式吊り下げモノレール１９が設定の位置まで自
動で移動する。専用ボックス６を上昇させていたステー
ジ２２を下降させ、専用ボックス６と離脱する位置まで
ステージ２２を下降させ、専用ボックス６側の保持用取
手ベース２０の移載保持機構９と自走式吊り下げモノレ
ール１９の保持用フックを接合させ、移載動作を完了さ
せる。
【００５３】次に、分離方法について説明する。図１と
図２と図４を参照して、専用ボックス６を上下動の可能
なステージ２６（コンベア自体でもよい）により、上昇
させ、自走式吊り下げモノレール１９についている保持
用フック２１と専用ボックス保持取手ベース２０の移載
保持機構９が分離する位置まで上昇させる。自走式吊り
下げモノレール１９が所定の位置まで、自動で移動す
る。専用ボックス６を上昇させていたステージ２６を下
降させ、分離動作が完了する。
図２と図４を参照して、専用ボックス６を上下動の可能
なステージ２６（コンベア自体でもよい）により、上昇
させ、自走式吊り下げモノレール１９についている保持
用フック２１と専用ボックス保持取手ベース２０の移載
保持機構９が分離する位置まで上昇させる。自走式吊り
下げモノレール１９が所定の位置まで、自動で移動す
る。専用ボックス６を上昇させていたステージ２６を下
降させ、分離動作が完了する。
【００５４】図５は、図１におけるＢ工場側の専用ボッ
クスとガラス基板カセット移載ステーションが密着して
いる様子を示す図である。図中、１はガラス基板カセッ
ト、８はＨＥＰＡ用フィルタ、１１はオートドア、１２
はシール材、２７は搬送コンベア、２８はガラス基板カ
セット移載ステーション、３０はガラス基板カセット移
載ステーション受渡側オートドア、３１はケース移載ロ
ボットである。
クスとガラス基板カセット移載ステーションが密着して
いる様子を示す図である。図中、１はガラス基板カセッ
ト、８はＨＥＰＡ用フィルタ、１１はオートドア、１２
はシール材、２７は搬送コンベア、２８はガラス基板カ
セット移載ステーション、３０はガラス基板カセット移
載ステーション受渡側オートドア、３１はケース移載ロ
ボットである。
【００５５】図６は、図１におけるＢ工場側の専用ボッ
クスからガラス基板カセット移載ステーションへの移載
方法を示す図である。図中、１はガラス基板カセット、
６は専用ボックス、８はＨＥＰＡ用フィルタ、１２はシ
ール材、２７は搬送コンベア、２８はガラス基板カセッ
ト移載ステーション、３０はガラス基板カセット移載ス
テーション受渡側オートドア、３１はケース移載ロボッ
トである。
クスからガラス基板カセット移載ステーションへの移載
方法を示す図である。図中、１はガラス基板カセット、
６は専用ボックス、８はＨＥＰＡ用フィルタ、１２はシ
ール材、２７は搬送コンベア、２８はガラス基板カセッ
ト移載ステーション、３０はガラス基板カセット移載ス
テーション受渡側オートドア、３１はケース移載ロボッ
トである。
【００５６】図７は、図１におけるＡ工場とＢ工場の間
の搬送経路の一例を示す図である。自走式吊り下げモノ
レール１９の搬送経路はループ方式で構成し、入りガラ
ス基板カセット搬送と空ガラス基板カセット搬送のロス
がでないようになっている。搬送能力の向上は、自動搬
送手段の能力向上が限界になったとしても、自動搬送手
段を追加することにより簡単に行なえる。
の搬送経路の一例を示す図である。自走式吊り下げモノ
レール１９の搬送経路はループ方式で構成し、入りガラ
ス基板カセット搬送と空ガラス基板カセット搬送のロス
がでないようになっている。搬送能力の向上は、自動搬
送手段の能力向上が限界になったとしても、自動搬送手
段を追加することにより簡単に行なえる。
【００５７】実施の形態２ 図８は、ガラス基板カセットを、自動搬送の際の運動で
ガラス基板が微動することなく安定して保持する機構の
一例を示す図である。
ガラス基板が微動することなく安定して保持する機構の
一例を示す図である。
【００５８】ガラス基板カセット１が、専用ボックス６
内に保持される場合において、自走式吊り下げモノレー
ル１９の進行方向に対する角度３６（α）、および左右
方向に対する角度３７（β）を持たせることにより、自
走式吊り下げモノレール１９の移動で生じる加速度によ
って、ガラス基板カセット１内でガラス基板が微動もせ
ず、ガラス基板の破損、傷、汚れを防ぐことができる。
なお、図８に示す実施例では、ガラス基板カセット１内
に、ガラス基板が水平に挿入されている例が示されてい
る。
内に保持される場合において、自走式吊り下げモノレー
ル１９の進行方向に対する角度３６（α）、および左右
方向に対する角度３７（β）を持たせることにより、自
走式吊り下げモノレール１９の移動で生じる加速度によ
って、ガラス基板カセット１内でガラス基板が微動もせ
ず、ガラス基板の破損、傷、汚れを防ぐことができる。
なお、図８に示す実施例では、ガラス基板カセット１内
に、ガラス基板が水平に挿入されている例が示されてい
る。
【００５９】実施の形態３ 図９は、ガラス基板カセット１を、自動搬送の際の運動
で、ガラス基板が微動することなく安定して保持する機
構の別の一例を示す図である。図９の実施例では、ガラ
ス基板カセット１内にガラス基板が垂直に挿入されてい
る。
で、ガラス基板が微動することなく安定して保持する機
構の別の一例を示す図である。図９の実施例では、ガラ
ス基板カセット１内にガラス基板が垂直に挿入されてい
る。
【００６０】実施の形態４ 図１０は、ガラス基板カセットに、自動搬送運動で発生
する振動を減衰させる機構の一例を示す図である。ガラ
ス基板カセット１が、専用ボックス６内において、自在
継手３９を介し、ばね機構や空気圧、油圧機構を用いた
減衰機３８によって吊り下げられる機構を有するもの
で、自走式吊り下げモノレール１９が移動する際に生じ
る振動のガラス基板カセット１への伝達を防止すること
により、ガラス基板の破損、傷、汚れを防ぐことができ
る。
する振動を減衰させる機構の一例を示す図である。ガラ
ス基板カセット１が、専用ボックス６内において、自在
継手３９を介し、ばね機構や空気圧、油圧機構を用いた
減衰機３８によって吊り下げられる機構を有するもの
で、自走式吊り下げモノレール１９が移動する際に生じ
る振動のガラス基板カセット１への伝達を防止すること
により、ガラス基板の破損、傷、汚れを防ぐことができ
る。
【００６１】実施の形態５ 図１１は、ガラス基板カセットに、自動搬送運動で発生
する振動を減衰させる機構の別の一例を示す図である。
ガラス基板カセット１は、専用ボックス６内において、
ばね機構や空気圧、油圧機構を用いた減衰機３８によっ
て支えられる機構を有するもので、自走式吊り下げモノ
レール１９が移動する際に生じる振動のガラス基板カセ
ットへの伝達を防止することにより、ガラス基板の破
損、傷、汚れを防ぐことができる。
する振動を減衰させる機構の別の一例を示す図である。
ガラス基板カセット１は、専用ボックス６内において、
ばね機構や空気圧、油圧機構を用いた減衰機３８によっ
て支えられる機構を有するもので、自走式吊り下げモノ
レール１９が移動する際に生じる振動のガラス基板カセ
ットへの伝達を防止することにより、ガラス基板の破
損、傷、汚れを防ぐことができる。
【００６２】実施の形態６ 図１２は、自動搬送の際の運動でガラス基板が微動する
ことのないように、ガラス基板カセットを安定して保持
する機構と、自動搬送の際の運動で発生する振動を減衰
させる機構の双方を有している一例を示す図である。
ことのないように、ガラス基板カセットを安定して保持
する機構と、自動搬送の際の運動で発生する振動を減衰
させる機構の双方を有している一例を示す図である。
【００６３】ガラス基板カセット１は、専用ボックス６
内において、図８に示すガラス基板カセットを自動搬送
の際の運動でガラス基板が微動することなく安定して保
持する機構と、図１１に示すガラス基板カセットを自動
搬送運動で発生させる振動を減衰させる機構の両方を有
することにより、自走式吊り下げモノレール１９の移動
で生じる加速度によるガラス基板カセット内でガラス基
板の微動、および、自走式吊り下げモノレール１９が移
動する際に生じる振動の、ガラス基板カセット１への伝
達の両方を防止することにより、ガラス基板の破損、
傷、汚れを防ぐ効果を高めることができる。
内において、図８に示すガラス基板カセットを自動搬送
の際の運動でガラス基板が微動することなく安定して保
持する機構と、図１１に示すガラス基板カセットを自動
搬送運動で発生させる振動を減衰させる機構の両方を有
することにより、自走式吊り下げモノレール１９の移動
で生じる加速度によるガラス基板カセット内でガラス基
板の微動、および、自走式吊り下げモノレール１９が移
動する際に生じる振動の、ガラス基板カセット１への伝
達の両方を防止することにより、ガラス基板の破損、
傷、汚れを防ぐ効果を高めることができる。
【００６４】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【００６５】
【発明の効果】この発明によれば、ガラス基板をガラス
基板カセットから発泡ケースに移し替える必要がなくな
り、時間および作業の短縮および軽減が可能となり、さ
らにクリーン度の保持が容易となる。また、逐次搬送す
るため、ガラス基板カセットの滞留させるスペースが大
幅に削減される。また、積み下ろし時に、基板への影
響、割れ欠けが自動化等によりなくなる。さらに、基板
大型化への対応も可能で、１ｍ角級あるいはそれ以上の
基板サイズに対しても、特に梱包装置や移載装置の必要
がない。また、搬送量等の管理がコンピュータ管理によ
り容易になる。その結果、人件費およびランニングコス
トが大幅に削減できるという効果を奏する。
基板カセットから発泡ケースに移し替える必要がなくな
り、時間および作業の短縮および軽減が可能となり、さ
らにクリーン度の保持が容易となる。また、逐次搬送す
るため、ガラス基板カセットの滞留させるスペースが大
幅に削減される。また、積み下ろし時に、基板への影
響、割れ欠けが自動化等によりなくなる。さらに、基板
大型化への対応も可能で、１ｍ角級あるいはそれ以上の
基板サイズに対しても、特に梱包装置や移載装置の必要
がない。また、搬送量等の管理がコンピュータ管理によ
り容易になる。その結果、人件費およびランニングコス
トが大幅に削減できるという効果を奏する。
【図１】 本発明に係る搬送システムの全体図である。
【図２】 本発明に用いる専用ボックスの斜視図であ
る。
る。
【図３】 本発明に用いる吊り下げモノレールの斜視図
である。
である。
【図４】 専用ボックス移載時の吊り下げモノレールの
斜視図である。
斜視図である。
【図５】 第２工場側における、専用ボックスとガラス
基板カセット移載ステーションの密着の様子を示す図で
ある。
基板カセット移載ステーションの密着の様子を示す図で
ある。
【図６】 第２工場側における、専用ボックスからガラ
ス基板カセット移載ステーションへの移載方法を示す図
である。
ス基板カセット移載ステーションへの移載方法を示す図
である。
【図７】 搬送経路の例を示す図である。
【図８】 専用ボックス内における、ガラス基板カセッ
トを保持する機構の一例を示す図である。
トを保持する機構の一例を示す図である。
【図９】 専用ボックス内における、ガラス基板カセッ
トを保持する機構の他の一例を示す図である。
トを保持する機構の他の一例を示す図である。
【図１０】 専用ボックス内における、ガラス基板カセ
ットを保持する機構の他の一例を示す図である。
ットを保持する機構の他の一例を示す図である。
【図１１】 専用ボックス内における、ガラス基板カセ
ットを保持する機構の他の一例を示す図である。
ットを保持する機構の他の一例を示す図である。
【図１２】 専用ボックス内における、ガラス基板カセ
ットを保持するさらに他の機構を示す図である。
ットを保持するさらに他の機構を示す図である。
１ ガラス基板カセット、２ クリーンルーム、３ 搬
送コンベア、６ 専用ボックス、１９ 自走式吊り下げ
モノレール。
送コンベア、６ 専用ボックス、１９ 自走式吊り下げ
モノレール。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｔ
Claims (17)
- 【請求項１】 第１工場から第２工場までガラス基板を
搬送する液晶表示装置の搬送方法であって、 前記ガラス基板の搬送を自動的に行なうことを特徴とす
る液晶表示装置の搬送方法。 - 【請求項２】 前記ガラス基板の搬送は、該ガラス基板
を複数枚収納可能なカセットを用いて行なう、請求項１
に記載の液晶表示装置の搬送方法。 - 【請求項３】 前記ガラス基板の搬送は、クリーン度を
保持して行なわれる、請求項１に記載の液晶表示装置の
搬送方法。 - 【請求項４】 前記カセットを専用ボックスに収納して
搬送する、請求項２に記載の液晶表示装置の搬送方法。 - 【請求項５】 第１工場から第２工場まで、ガラス基板
を搬送する液晶表示装置の搬送システムであって、 前記ガラス基板を前記第１工場から前記第２工場まで自
動的に搬送する自動搬送手段を備える、液晶表示装置の
搬送システム。 - 【請求項６】 前記ガラス基板を、複数枚収納可能なカ
セットを備える、請求項５に記載の液晶表示装置の搬送
システム。 - 【請求項７】 前記自動搬送手段は、 前記カセットを収納する専用ボックスと、 前記専用ボックスを前記第１工場から前記第２工場まで
移動する移動手段とを含む、請求項５に記載の液晶表示
装置の搬送システム。 - 【請求項８】 前記専用ボックスは、自動搬送の際の運
動で、前記ガラス基板が微動することのないように、前
記カセットを安定して保持する機構を有している、請求
項７に記載の液晶表示装置の搬送システム。 - 【請求項９】 前記専用ボックスは、自動搬送の際の運
動で発生する振動を減衰させる機構を有している、請求
項７に記載の液晶表示装置の搬送システム。 - 【請求項１０】 前記専用ボックスは、自動搬送の際の
運動で前記ガラス基板が微動することのないように、前
記カセットを安定して保持する機構と、 自動搬送の際の運動で発生する振動を減衰させる機構
と、を有している、請求項７に記載の液晶表示装置の搬
送システム。 - 【請求項１１】 前記移動手段は、前記専用ボックス
を、屋内、屋外を問わず搬送する、請求項７に記載の液
晶表示装置の搬送システム。 - 【請求項１２】 前記専用ボックスは、前記移動手段に
接続固定する機構を有する、請求項７に記載の液晶表示
装置の搬送システム。 - 【請求項１３】 前記専用ボックスは、クリーン度を保
つ機能を備える、請求項７に記載の液晶表示装置の搬送
システム。 - 【請求項１４】 前記専用ボックスは、前記カセットを
クリーン度を保った室内へ移動するための気密開閉扉を
有する、請求項７に記載の液晶表示装置の搬送システ
ム。 - 【請求項１５】 前記専用ボックスと工場側受渡口を密
着させる機構をさらに備える、請求項７に記載の、液晶
表示装置の搬送システム。 - 【請求項１６】 前記専用ボックスは、結露防止のヒー
タ機能を有する、請求項７に記載の液晶表示装置の搬送
システム。 - 【請求項１７】 前記カセットに付随する管理コードを
自動で読取る管理機能を有する、請求項６に記載の液晶
表示装置の搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000161464A JP2001343621A (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 液晶表示装置の搬送方法および搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000161464A JP2001343621A (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 液晶表示装置の搬送方法および搬送システム |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004329359A Division JP4286210B2 (ja) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | ガラス基板の搬送方法および搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001343621A true JP2001343621A (ja) | 2001-12-14 |
Family
ID=18665484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000161464A Pending JP2001343621A (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 液晶表示装置の搬送方法および搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001343621A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004094263A1 (en) * | 2003-04-01 | 2004-11-04 | Corning Incorporated | Packing of thin glass sheets |
| JP2007001598A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Fujitsu Ltd | 回路板収容バッグ及びその収納棚 |
| CN100376936C (zh) * | 2004-05-28 | 2008-03-26 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 液晶显示器生产***及其控制方法 |
| JP2010118535A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Muratec Automation Co Ltd | 運搬装置 |
| KR20170058247A (ko) * | 2015-11-18 | 2017-05-26 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 설비 |
-
2000
- 2000-05-31 JP JP2000161464A patent/JP2001343621A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004094263A1 (en) * | 2003-04-01 | 2004-11-04 | Corning Incorporated | Packing of thin glass sheets |
| CN100406362C (zh) * | 2003-04-01 | 2008-07-30 | 康宁股份有限公司 | 薄玻璃板的包装及包装方法 |
| CN100376936C (zh) * | 2004-05-28 | 2008-03-26 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 液晶显示器生产***及其控制方法 |
| JP2007001598A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Fujitsu Ltd | 回路板収容バッグ及びその収納棚 |
| JP2010118535A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Muratec Automation Co Ltd | 運搬装置 |
| KR20170058247A (ko) * | 2015-11-18 | 2017-05-26 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 설비 |
| JP2017095183A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | 株式会社ダイフク | 搬送設備 |
| KR102445043B1 (ko) | 2015-11-18 | 2022-09-20 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 설비 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040301 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040309 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040422 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040928 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041112 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050215 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050415 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050823 |