KR102127113B1 - 카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 카세트 이송장치는 카세트에 마련된 단차부의 하측으로 진입하며 상측으로 이동하며 단차부를 지지하는 홀딩부를 포함하여, 카세트에 홀딩을 위한 추가 구성을 부착할 필요 없이 홀딩부의 상측에 카세트의 단차부가 얹혀지도록 함으로써 카세트를 간단하게 이동시킬 수 있다.

Description

카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법{CASSETTE TRANSFER APPARATUS AND CASSETTE TRANSFERRING METHOD USING THE SAME}
본 발명은 웨이퍼가 적재된 카세트를 안정적으로 지지하여 이송할 수 있는 카세트 이송장치 및 이를 이용한 카세트 이송방법에 관한 것이다.
반도체란 웨이퍼 상에 소정의 집적회로가 형성된 것을 의미한다. 반도체를 생산하기 위해서는, 웨이퍼에 산화막을 성장시키고 불순물을 침적시키며 침적된 불순물을 실리콘 웨이퍼 내로 원하는 깊이까지 침투시키는 확산공정, 식각이나 이온 주입이 될 부위의 보호 부위를 선택적으로 한정하기 위해 마스크나 레티클의 패턴을 웨이퍼 위에 형성시키는 포토 공정, 소정 부위에 성장되거나 침적 또는 증착된 박막들을 가스나 화학약품을 이용하여 선택적으로 제거하는 식각공정 및 화학기상증착이나 이온 주입 또는 금속 증착방법을 이용하여 특정한 막을 형성시키는 박막공정 등이 수행된다.
각 공정은 다수 번의 단위 공정이 시행될 수 있다. 예를 들어, 포토 공정은 웨이퍼 위에 감광제를 도포하는 공정, 정렬 및 노광 공정을 거친 웨이퍼의 표면 중 필요한 곳과 불필요한 부분을 구분하여 상을 형성하기 위해 현상액을 이용하여 소정 부위에 형성된 감광막을 제거하는 현상 공정, 스핀 코터에 의해 감광제가 도포된 웨이퍼를 가열 및 냉각시켜 감광제의 접착력을 증가시키는 베이킹 공정, 광학 렌즈를 이용하여 레티클의 패턴을 웨이퍼 위에 축소 노광하여 전사하는 노광 공정 등의 단위 공정이 시행된다.
이러한 단위 공정을 진행하는 각종 공정 장치들은 제품 수율을 향상시키기 위해 각 베이마다 다수 개가 구비되어 가동되고 있고, 어느 한 공정 장치에서 다른 공정 장치로의 웨이퍼의 반입 및 이송은 각종 공정 설비에 투여되는 20개 내지 25개의 단위 묶음인 로트(lot) 단위로 이루어지며, 로트 단위의 웨이퍼들은 카세트에 탑재되고 카세트 이송장치에 의해 각 베이의 각종 공정 장치로부터 이송된다.
본 발명의 일 측면은 카세트에 추가적인 구성을 부착하지 않고도 카세트에 일반적으로 형성되어 있는 단차부 형상을 통해서 카세트를 이송할 수 있는 카세트 이송장치 및 카세트 이송방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치는 내부에 웨이퍼가 수용되는 카세트를 홀딩하기 위한 홀딩유닛을 포함하며, 상기 카세트는 적어도 하나의 단차부를 포함하며, 상기 홀딩유닛은 상기 단차부가 상측에 얹혀지는 적어도 하나의 홀딩부를 포함한다.
또한 상기 적어도 하나의 단차부는 상기 카세트의 양측면에 마련되는 한 쌍의 단차부를 포함하며, 상기 적어도 하나의 홀딩부는 전후 방향으로 연장되며 상기 한 쌍의 단차부가 각각 상측에 얹혀지는 한 쌍의 홀딩부를 포함한다.
또한 상기 홀딩유닛은 상기 카세트의 하면을 지지하는 하면 지지부를 포함하며, 상기 한 쌍의 홀딩부는 상기 하면 지지부에 대해 상측으로 이동하며 상기 카세트의 전방측을 상측으로 들어 상기 카세트의 전방측이 후방측 보다 높은 위치에 위치하도록 한다.
또한 상기 홀딩유닛은 상기 한 쌍의 홀딩부와, 상기 한 쌍의 홀딩부를 연결하는 연결부를 포함하는 홀딩부재와, 상기 홀딩부재가 승강하도록 하는 승강장치를 포함한다.
또한 상기 카세트는 상기 한 쌍의 단차부에 각각 마련된 서포트부를 포함하며, 상기 측면 지지부는 상기 암에 배치되어 상기 서포트부와 맞물리는 서포터를 포함한다.
또한 상기 서포트부는 상기 단차부로부터 하측으로 돌출되어 형성되며, 상기 서포터는 오목 형성되어 상기 서포트부가 안착되는 안착홈을 포함한다.
또한 상기 서포터는 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 마련되어 상기 서포트부를 상기 안착홈으로 안내하는 적어도 하나의 가이드면을 포함한다.
또한 상기 적어도 하나의 가이드면은 상기 안착홈의 측방에 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 마련된 측방 가이드면과, 상기 안착홈의 전방측에 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 마련된 전방 가이드면과, 상기 안착홈의 후방측에 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 마련된 후방 가이드면을 포함한다.
또한 상기 안착홈 상면과 상기 하면 지지부 상면 사이의 높이 차가 상기 단차부 하면과 상기 카세트 하면의 높이 차와 동일한 제 1 위치와 상기 안착홈 상면과 상기 하면 지지부 상면 사이의 높이 차가 상기 단차부 하면과 상기 카세트 하면의 높이 차 보다 큰 제 2 위치 사이를 이동한다.
또한 상기 홀딩유닛은 상하로 이동 가능하게 설치되어 상기 카세트의 상면을 탄성 지지하는 상면 지지부를 포함한다.
또한 상기 홀딩유닛은 상하로 연장되어 상부에 상기 상면 지지부가 이동 가능하게 설치되고, 하부에 상기 하면 지지부가 형성되는 지지부재를 포함한다.
또한 상기 카세트는 그 상부에 설치되는 플랜지를 포함하며, 상기 플랜지의 양측 단부 및 후방측 단부가 상기 카세트의 상면과 이격되어 상기 플랜지의 양측 단부 및 후방측 단부가 상기 단차부를 형성한다.
또한 상기 카세트는 그 전면을 개폐하는 도어를 포함한다.
또한 상기 적어도 하나의 홀딩부는 상기 플랜지의 양측 단부 및 후방측 단부와 대응하도록 대응하도록 U자 형상으로 형성되는 하나의 홀딩부를 포함한다.
또한 상기 홀딩부는 상기 플랜지의 양측 단부 및 후방측 단부와 대응하도록 U자 형상으로 형성되어 상기 플랜지의 양측 단부 및 후방측 단부가 안착되는 안착홈을 포함한다.
또한 상기 홀딩부는 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 연장되는 가이드면을 포함한다.
또한 몸체를 더 포함하며, 상기 홀딩유닛은 상기 몸체로부터 상측으로 연장되어 상기 몸체와 상기 홀딩부를 연결하는 연결 암을 포함한다.
또한 상기 홀딩유닛은 상기 연결 암 상부에 설치되어 상기 홀딩부에 안착된 상기 플랜지를 탄성 지지하는 탄지유닛을 더 포함한다.
또한 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송방법은 카세트에 마련된 단차부의 하면을 지지하기 위한 홀딩부와, 상기 카세트의 하면을 지지하기 위한 하면 지지부를 포함하며, 상기 홀딩부가 상기 홀딩부 상면과 상기 하면 지지부 상면 사이의 높이 차가 상기 단차부 하면과 상기 카세트 하면의 높이 차와 동일하게 되는 제 1 위치로 이동하고, 상기 홀딩부 및 상기 지지부가 수평 이동하여 상기 홀딩부가 상기 단차부의 하측으로 이동함과 동시에 상기 하면 지지부가 상기 카세트 하면 하측으로 이동하고, 상기 홀딩부 및 상기 지지부가 상승하여 상기 홀딩부 상면에 상기 단차부 하면에 지지되고 상기 하면 지지부 상면에 상기 카세트 하면에 지지된다.
또한 상기 홀딩부 및 상기 지지부가 상승하는 과정에서 상기 단차부로부터 하측으로 돌출된 서포트부가 상기 홀딩부에 마련된 서포터와 맞물린다.
또한 상기 서포트부와 상기 서포터가 맞물린 후 상기 카세트가 상기 홀딩부 및 상기 지지부와 함께 상승한다.
또한 상기 홀딩부가 상기 홀딩부 상면과 상기 하면 지지부 상면 사이의 높이 차가 상기 단차부 하면과 상기 카세트 하면의 높이 차 보다 큰 제 2 위치로 이동하여 상기 카세트의 전방측이 상측으로 들리도록 한다.
또한 상기 상면 지지부가 하강하여 상기 카세트의 상면에 탄성 지지된다.
상술한 바와 같이 카세트 이송장치는 카세트에 일반적으로 마련되어 있는 단차부에 홀딩부를 통해 힘을 가해 카세트를 이송시킬 수 있으므로, 카세트에 이송을 위한 추가 구성을 설치할 필요가 없어진다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치에 의해 이송되는 포스비 타입 카세트의 사시도이다.
도 3은 도 1의 A부 확대도이다.
도 4 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치에 의한 카세트 홀딩 과정을 차례로 보인 측면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 카세트 이송장치에 의해 이송되는 풉 타입 카세트의 사시도이다.
도 11은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 카세트 이송장치의 사시도이다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 카세트 이송장치가 풉 타입의 카세트를 홀딩한 상태를 보인 사시도이다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치(10)는 카세트(20)를 홀딩하여 이송하기 위한 것으로, 몸체(11)와, 몸체(11)에 연결되어 카세트(20)를 홀딩하는 홀딩유닛(12)을 포함한다.
카세트(20)는 전면이 개방되어 있는 함체 형상으로 형성되어, 개방되어 있는 카세트(20)의 전면을 통해 복수의 웨이퍼(W)를 카세트(20) 내부의 수용부(20a)에 수용할 수 있다. 카세트(20)의 양측면에는 후술할 홀딩부(121a)에 얹혀지는 단차부(21)가 단차지게 형성된다. 또한 단차부(21)의 전방측에는 후술할 서포터(124)에 맞물리는 서포트부(22)가 하측으로 돌출된다. 본 실시예에서 카세트(20)는 수용부(20a)의 전방측이 개방된 상태에서 이송되는 포스비(FOSB:Front Opening Shipping Box) 타입의 카세트(20)가 사용된다.
카세트(20)는 도 4에 도시한 바와 같이 작업대(30) 등에 얹혀지는데, 작업대(30)에는 카세트(20)의 하면과 작업대(30) 상면 사이가 이격된 상태가 되도록 복수의 핀(31)들이 배치되어 카세트(20)가 복수의 핀(31)들을 통해 간접적으로 작업대(30) 위에 얹혀진다.
도 1에 도시한 바와 같이 홀딩유닛(12)은 카세트(20)를 홀딩하여 이송할 수 있도록 하는 홀딩부재(121)와, 홀딩부재(121)에 의해 홀딩되어 있는 카세트(20)를 지지하기 위한 지지부재(122)를 포함한다. 본 실시예에서 홀딩부재(121)는 홀딩부재(121)의 승강을 안내하는 승강장치(123)를 통해 지지부재(122)에 상하로 이동 가능하게 설치된다.
홀딩부재(121)는 서로 평행하게 전방측으로 연장되며 좌우로 서로 이격되어 상측에 상술한 단차부(21)가 상측에 얹혀지는 한 쌍의 홀딩부(121a)와, 좌우 방향으로 연장되어 두 홀딩부(121a)를 서로 연결하며 승강장치(123)를 통해 지지부재(122)에 상하로 이동 가능하게 설치되는 연결부(121b)를 포함하여, 대략 U자 형상으로 형성된다.
홀딩부(121a)는 카세트 이송장치(10)가 상측으로 이동함에 따라 카세트(20)의 두 단차부(21)를 통해 힘을 가해 카세트(20)가 상측으로 이동하도록 하여, 카세트(20)의 하면이 작업대(30) 등으로부터 이격되도록 하여 카세트(20)가 이동할 수 있는 상태가 되도록 한다.
본 실시예에서 이러한 홀딩부(121a)가 마련된 홀딩부재(121)는 상술한 바와 같이 승강장치(123)를 통해 상하로 이동 가능하게 설치된다. 이는 홀딩부(121a)가 후술할 하면 지지부(122c)에 대해 상측으로 이동하도록 하여, 홀딩부(121a)에 의해 카세트(20)가 회전하며 카세트(20)의 전방측이 상측으로 들어 올려지도록 함으로써, 카세트(20)의 전방측이 카세트(20)의 후방측 보다 높은 위치에 위치하도록 하기 위한 것이다.
상술한 구성을 통해 카세트(20)의 전방측이 카세트(20)의 후방측 보다 높아지도록 하면, 카세트(20) 내에 수용된 웨이퍼(W) 또한 후방 하측을 향해 경사지게 배치되게 되므로, 카세트(20)를 이송하는 과정에서 웨이퍼(W)가 개방되어 있는 수용부(20a)의 전방측을 통해 이탈하는 것은 예방된다.
두 홀딩부(121a)의 전단에는 카세트(20)의 서포트부(22)와 맞물려 카세트(20)가 홀딩부(121a)에 얹혀져 있는 상태를 안정적으로 유지하도록 하는 서포터(124)가 각각 설치된다.
서포터(124)는 도 3에 도시한 바와 같이 서포트부(22)와 대응하는 형상으로 형성되어 서포트부(22)가 안착되는 안착홈(124a)과, 안착홈(124a)을 향해 하향 경사지게 연결되어 서포트부(22)를 안착홈(124a)으로 안내하는 복수의 가이드면(124b, 124c, 124d)을 포함한다. 본 실시예에서 복수의 가이드면(124b, 124c, 124d)은 안착홈(124a)의 측방에 마련되며 안착홈(124a)을 향해 하향 경사지게 마련된 측방 가이드홈(124b)과, 안착홈(124a)의 전방측에 마련되며 안착홈(124a)을 향해 하향 경사지게 마련된 전방 가이드홈(124c)과, 안착홈(124a)의 후방측에 마련되며 안착홈(124a)을 향해 하향 경사지게 마련된 후방 가이드홈(124d)을 각각 포함한다. 본 실시예에서 서포트부(22)는 웨이퍼(W)가 내부에 수용된 상태의 카세트(20) 무게 중심 보다 전방측에 위치하도록 설계된다.
따라서, 서포트부(22)가 안착홈(124a)에 안착되는 과정에서 카세트(20)는 서포터(124)에 마련된 두 측방 가이드홈(124b)에 의해 좌우로 정렬되고, 서포터(124)에 마련된 전방 가이드홈(124c) 및 후방 가이드홈(124d)에 의해 전후로 정렬되어 홀딩부(121a)에 의한 카세트(20)의 홀딩이 정확한 위치에서 이루어진다.
도 1에 도시한 바와 같이 지지부재(122)는 수직 방향으로 연장되어 몸체(11)에 설치되는 연장부(122a)와, 연장부(122a)의 상부로부터 전방측으로 연장되어 카세트(20)의 상면을 지지하는 상면 지지부(122b)와, 연장부(122a)의 하부로부터 전방측으로 연장되어 카세트(20)의 하면을 지지하는 하면 지지부(122c)를 포함한다.
상면 지지부(122b)는 연장부(122a)에 상하로 이동 가능하게 설치되어 카세트(20)의 상면을 탄성 지지한다.
하면 지지부(122c)는 카세트(20)의 하면을 지지하여 상술한 카세트(20)의 회전이 일정 각도 내에서 제한적으로 이루어질 수 있도록 한다.
이때, 상기와 같이 홀딩부(121a)가 하면 지지부(122c)에 대해 상측으로 이동함에 따라 카세트(20)의 전방측이 들리도록 하기 위해, 홀딩부(121a)는 도 4에 도시한 바와 같이 안착홈(124a) 상면과 하면 지지부(122c) 상면 사이의 높이 차(h1)가 단차부(21) 하면과 카세트(20) 하면의 높이 차(h1)와 동일한 제 1 위치와, 안착홈(124a) 상면과 하면 지지부(122c) 상면 사이의 높이 차(h1)가 단차부(21) 하면과 카세트(20) 하면의 높이 차(h2) 보다 큰 제 2 위치 사이를 이동하도록 되어 있다. 따라서 홀딩부(121a)가 제 1 위치일 경우 카세트(20)는 전방측과 후방측이 동일한 높이에 위치하다가 홀딩부(121a)가 제 2 위치로 이동할 경우 카세트(20)가 회전하며 카세트(20)의 전방측이 상측으로 들려 카세트(20)의 전방측이 후방측에 비해 높은 위치에 위치하게 된다.
본 실시예에서는 카세트(20)의 정렬 및 보다 안정적인 카세트(20)의 홀딩을 위해 서로 맞물리는 카세트(20)에 서포트부(22)가 마련되고 홀딩부(121a)에 서포터(124)사 배치되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 홀딩부가 직접 단차부를 지지하도록 하는 것도 가능하다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송장치의 동작을 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
먼저 도 4에 도시한 바와 같이 홀딩부재(121)의 홀딩부(121a)가 제 1 위치에 위치하도록 하고, 이러한 상태에서 카세트 이송장치(10)가 카세트(20)의 후방측으로부터 전방측으로 수평 이동하도록 한다. 이에 따라 도 5에 도시한 바와 같이 홀딩부(121a)는 단차부(21) 하측으로 진입하고, 하면 지지부(122c)는 작업대(30)의 핀(31)들 사이의 공간을 통해 카세트(20) 하면의 하측으로 진입한다.
이러한 상태에서 카세트 이송장치(10)가 상측으로 이동하게 하면, 도 6에 도시한 바와 같이 홀딩부(121a)에 마련된 서포터(124)와 서포트부(22)가 서로 맞물려 카세트(20)가 홀딩부(121a)에 홀딩된 상태가 된다. 이때, 서포터(124)와 서포트부(22)가 맞물리는 과정에서 서포트부(22)는 가이드면(124b, 124c, 124d)들에 의해 안착홈(124a)으로 안내되므로, 카세트(20)는 전후 및 좌우 방향으로 정렬된다.
계속해서 카세트 이송장치(10)가 상측으로 이동하도록 하면, 카세트(20)가 도 7에 도시한 바와 같이 상측으로 이동하면서 카세트(20)의 하면이 작업대(30)의 핀(31)으로부터 이격된다.
이러한 상태에서 승강장치(123)를 통해 홀딩부(121a)를 제 2 위치로 이동시켜 홀딩부(121a)가 하면 지지부(122c)에 대해 상측으로 이동하도록 하면, 카세트(20)는 도 8에 도시한 바와 같이 서포트부(22)를 중심으로 회전하여 카세트(20)의 전방측이 상측으로 들리게 되는데, 이는 카세트(20)의 무게 중심이 상술한 바와 같이 서포트부(22) 보다 후방측에 위치하고 있기 때문이다.
상기와 같이 카세트(20)가 회전하는 과정에서 카세트(20)의 하면에는 상술한 바와 같이 하면 지지부(122c)에 지지되어 있는 상태이므로 카세트(20)의 회전은 하면 지지부(122c)에 의해 일정 이하로 제한된다.
이와 같이 카세트(20)의 전방측이 들린 상태에서는 카세트(20) 내에 수용되어 있는 웨이퍼(W) 또한 후방 하측을 향해 경사지게 배치되므로 카세트(20)를 이송하는 과정에서 웨이퍼(W)가 개방되어 있는 카세트(20) 전방측을 통해 이탈되는 것은 방지된다.
계속해서 상면 지지부(122b)는 하측으로 이동하여 도 9에 도시한 바와 같이 카세트(20)의 상면을 탄성 지지한다. 따라서 상면 지지부(122b)는 카세트(20)의 이동 중 발생할 수 있는 카세트(20)의 진동을 감소시킨다.
상기와 같은 과정을 통해 카세트 이송장치(10)에 의한 카세트(20)의 홀딩은 완료되어, 카세트 이송장치(10)를 이동시킴으로써 카세트(20)의 이송은 안정적으로 이루어질 수 있다.
상기에서는 포스비 타입의 카세트(20)를 이송시키기 위한 카세트 이송장치(10)를 예로써 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 도 10 내지 도 12에 도시한 바와 같이 개방되어 있는 카세트(40)의 전방측을 개폐하기 위한 도어(41)가 마련되어 있는 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod) 타입의 카세트(40)를 이송하기 위한 카세트 이송장치(50)에도 동일한 방식을 적용할 수 있다.
풉 타입의 카세트(40)의 경우 개방되어 있는 카세트(40)의 전방측이 도어(41)에 의해 폐쇄되며, 카세트(40)의 상부에는 대략 사각 판 형상으로 형성된 플랜지(42)가 배치된다. 플랜지(42)의 양측 단부와 플랜지(42)의 후방측 단부는 카세트(20)의 상면과 이격되도록 카세트(40)에 이격 설치되어 플랜지(42)의 양측 단부와 후방측 단부가 카세트 이송장치(50)에 의해 홀딩되는 단차부(42a)로 사용된다.
풉 타입의 카세트(40)를 이송하기 위한 카세트 이송장치(50)는 몸체(51)와, 플랜지(42)의 단차부(42a)를 홀딩하는 하나의 홀딩부(52)와, 몸체(51)로부터 전방 상측으로 연장되어 몸체(51)와 홀딩부(52)를 연결하는 연결 암(53)을 포함한다.
홀딩부(52)는 플랜지(42)의 양측 단부 및 후방측 단부와 대응하도록 U자 형상으로 형성되며, 홀딩부(52) 내측에는 플랜지(42)의 양측 단부 및 후방측 단부가 안착되는 안착홈(52a)이 오목하게 마련된다. 또한 홀딩부(52)에는 안착홈(52a)을 향해 하향 경사지게 형성된 가이드면(52b)이 마련되어 플랜지(42)를 안착홈(52a)으로 안내할 수 있도록 되어 있다.
연결 암(53)에는 홀딩부(52)에 홀딩되어 있는 플랜지(42)를 탄성 지지하는 탄지유닛(54)에 배치되어, 이송 중 발생할 수 있는 카세트(40)의 진동을 감소시킬 수 있도록 되어 있다.
상기에서는 본 발명의 실시예들을 도시하고 설명하였으나 본 발명은 상기에 기재된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 수정 및 변형할 수 있다는 점은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10: 카세트 이송장치 11: 몸체
12: 홀딩유닛 121: 홀딩부재
121a: 홀딩부 121b: 연결부
122: 지지부재 122a: 연장부
122b: 상면 지지부 122c: 하면 지지부
123: 승강장치 124: 서포터
124a: 안착홈 124b: 측방 가이드면
124c: 전방 가이드면 124d: 후방 가이드면
20: 카세트 21: 단차부
22: 서포트부

Claims (23)

  1. 내부에 웨이퍼가 수용되는 카세트를 홀딩하기 위한 홀딩유닛을 포함하며,
    상기 카세트는 적어도 하나의 단차부를 포함하며,
    상기 홀딩유닛은 상기 단차부가 상측에 얹혀지는 적어도 하나의 홀딩부를 포함하며,
    상기 적어도 하나의 단차부는 상기 카세트의 양측면에 마련되는 한 쌍의 단차부를 포함하며,
    상기 적어도 하나의 홀딩부는 전후 방향으로 연장되며 상기 한 쌍의 단차부가 각각 상측에 얹혀지는 한 쌍의 홀딩부를 포함하며,
    상기 홀딩유닛은 상기 카세트의 하면을 지지하는 하면 지지부를 포함하며,
    상기 한 쌍의 홀딩부는 상기 하면 지지부에 대해 상측으로 이동하며 상기 카세트의 전방측을 상측으로 들어 상기 카세트의 전방측이 후방측 보다 높은 위치에 위치하도록 하는 카세트 이송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 홀딩유닛은 상기 한 쌍의 홀딩부와, 상기 한 쌍의 홀딩부를 연결하는 연결부를 포함하는 홀딩부재와, 상기 홀딩부재가 승강하도록 하는 승강장치를 포함하는 카세트 이송장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트는 상기 한 쌍의 단차부에 각각 마련된 서포트부를 포함하며,
    상기 한 쌍의 홀딩부의 전단에 배치되어 상기 서포트부와 맞물리는 서포터를 포함하는 카세트 이송장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 서포트부는 상기 단차부로부터 하측으로 돌출되어 형성되며,
    상기 서포터는 오목 형성되어 상기 서포트부가 안착되는 안착홈을 포함하는 카세트 이송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 서포터는 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 마련되어 상기 서포트부를 상기 안착홈으로 안내하는 적어도 하나의 가이드면을 포함하는 카세트 이송장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 가이드면은 상기 안착홈의 측방에 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 마련된 측방 가이드면과, 상기 안착홈의 전방측에 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 마련된 전방 가이드면과, 상기 안착홈의 후방측에 상기 안착홈을 향해 하향 경사지게 마련된 후방 가이드면을 포함하는 카세트 이송장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 안착홈 상면과 상기 하면 지지부 상면 사이의 높이 차가 상기 단차부 하면과 상기 카세트 하면의 높이 차와 동일한 제 1 위치와 상기 안착홈 상면과 상기 하면 지지부 상면 사이의 높이 차가 상기 단차부 하면과 상기 카세트 하면의 높이 차 보다 큰 제 2 위치 사이를 이동하는 카세트 이송장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 홀딩유닛은 상하로 이동 가능하게 설치되어 상기 카세트의 상면을 탄성 지지하는 상면 지지부를 포함하는 카세트 이송장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 홀딩유닛은 상하로 연장되어 상부에 상기 상면 지지부가 이동 가능하게 설치되고, 하부에 상기 하면 지지부가 형성되는 지지부재를 포함하는 카세트 이송장치.
  12. 삭제
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  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 카세트에 마련된 단차부의 하면을 지지하기 위한 홀딩부와, 상기 카세트의 하면을 지지하기 위한 하면 지지부를 포함하며,
    상기 홀딩부가 상기 홀딩부 상면과 상기 하면 지지부 상면 사이의 높이 차가 상기 단차부 하면과 상기 카세트 하면의 높이 차와 동일하게 되는 제 1 위치로 이동하고,
    상기 홀딩부 및 상기 하면 지지부가 수평 이동하여 상기 홀딩부가 상기 단차부의 하측으로 이동함과 동시에 상기 하면 지지부가 상기 카세트 하면 하측으로 이동하고,
    상기 홀딩부 및 상기 하면 지지부가 상승하여 상기 홀딩부 상면에 상기 단차부 하면에 지지되고 상기 하면 지지부 상면에 상기 카세트 하면에 지지되고,
    상기 홀딩부가 상기 홀딩부 상면과 상기 하면 지지부 상면 사이의 높이 차가 상기 단차부 하면과 상기 카세트 하면의 높이 차 보다 큰 제 2 위치로 이동하여 상기 카세트의 전방측이 상측으로 들리도록 하는 카세트의 이송방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 홀딩부 및 상기 하면 지지부가 상승하는 것은,
    상기 홀딩부 및 상기 하면 지지부가 상승하는 과정에서 상기 단차부로부터 하측으로 돌출된 서포트부가 상기 홀딩부에 마련된 서포터와 맞물리고,
    상기 서포트부와 상기 서포터가 맞물린 후 상기 카세트가 상기 홀딩부 및 상기 지지부와 함께 상승하는 것을 포함하는 카세트의 이송방법
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