JP2008010567A - クリーンルーム内で使用するための物品搬送用ポッド、及びこれを採用した物品搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】物品大量搬送を可能にするとともに、搬送途中において底蓋が開いてしまうことを防止することができ、物品が落下してしまう等の不具合がなく、物品のセッティングや搬送効率を上げることのできる物品搬送用ポッドを提供すること。
【解決手段】物品３０を収容する収容部１１を備えて、底蓋１２を開けて物品３０が出し入れされ、かつ搬送装置によって搬送される物品搬送用ポッド１０であって、底蓋１２に、搬送装置のアームまたは係止突起によって支持される支持手段４０を設けたこと。
【選択図】図４

Description

本発明は、クリーンルーム内の搬送環境内にて、ガラス板やシリコンウエハー等の物品を搬送し、種々な装置環境と搬送環境との間にあるゲート口から物品を受け渡す際に使用される物品搬送用ポッドに関するものである。

一般的に、クリーンルームでは、空気を循環させながらフィルターでゴミやチリ（パーティクル）を除去してクリーン度を保つようになっており、クリーンルーム内に設置されて、シリコンウエハーやガラス板等の搬送や各種加工を行う装置も、それ自身の内部で空気を循環させながらフィルターで空気を清浄化していて、クリーンルーム内にゴミやチリを撒き散らさないようになっている。つまり、クリーンルームは、大掛かりな管理の下に、その内部クリーン度の維持や調整を行わなければならないものであり、もしこのクリーンルームの設定されたクリーン度が低下すると、製品に多大な悪影響を及ぼすことになる。

また、クリーンルーム内では、物品の搬送環境や、物品に対する加工を行うため等の様々な装置（作業）環境が併設されており、各環境において搬送や受け渡しすべき物品の数あるいは量は異なっているものである。例えば、物品としてシリコンウエハーを考えた場合、これを搬送する搬送環境では、多数の各装置環境に向けて物品を送らなければならないから、大量の物品が同時に動くことになる。勿論、各装置環境では、それぞれの物品に加工を施すため、枚葉（一枚宛）の受け渡しや搬送がなされることが多い。

搬送環境内にて大量の物品を搬送するとともに、種々な装置環境と搬送環境との間にあるゲート口から物品を受け渡す物品搬送用ポッドが必要になってくるのであるが、このような、搬送環境や装置環境での物品の搬送を行うための様々な技術が、例えば、特許文献１や特許文献２等にて提案されている。
特開２０００−２１６１２４号公報、要約 特開２００６−３５１８号公報、要約

特許文献１には、「搬送時のウエハの破損率が小さい、かつ、長期使用においても電機系統の故障の少ない信頼性のある研削装置の提供」を目的とした「研削装置およびウエハの研削方法」が提案されている。

この特許文献１の「研削装置およびウエハの研削方法」は、図１０に示すように、「ウエハを搬送するロボットを天井吊り下げ型とし、かつ、左右方向に移動可能にし、研削時に生じた破砕傷を取り除くための研磨盤をインライン据付し」たものであり、これにより、「装置のコンパクト化を図る」ものであると考えられる。

しかしながら、この特許文献１の「研削装置およびウエハの研削方法」は、枚葉宛の作業を行うことしているため、大量生産を行うには非常にコストが掛かり、生産効率も悪いと考えられる。

一方、特許文献２には、「露光装置においてレチクル，ウエハ，マスク等の基板を搬送する基板搬送装置に関し、基板をステージ装置に吊り下げて保持する場合において、基板をチャックに確実にロードまたはアンロードすること」を目的としてなされた「基板搬送装置および露光装置」が示されている。

この特許文献２にて提案されている「基板搬送装置および露光装置」は、図１１に示すように、「ステージに配置され基板を吸着する吸着面を下向きに有するチャックと、前記チャックの下側から前記基板の搬入または搬出を行う搬送アームと、前記搬送アーム側に配置され前記基板の前記チャックへの吸着または離脱時に前記基板を前記吸着面に弾性的に押圧する付勢手段とを有することを特徴とする。また、前記チャックに配置され前記基板の前記チャックからの離脱時に前記基板を前記搬送アーム側に押し出す押出機構を有することを特徴とする」ものであり、これにより、「基板をステージ装置に吊り下げて保持する場合において、基板をチャックに確実にロードまたはアンロードすること」ことができるものと考えられる。

しかしながら、この特許文献２の「基板搬送装置および露光装置」では、当該文献２の段落００１６に記載されているように、「露光装置のステージ１７の下面に配置される静電チャック１９を有している。静電チャック１９の下面は、レチクル等の基板２１を吸着する吸着面１９ａとされている。そして、静電チャック１９の吸着面１９ａに基板２１を当接させた状態で静電チャック１９の電極に所定電圧を印加すると、静電チャック１９と基板２１との間にクーロン力が発生し、基板２１は静電チャック１９の吸着面１９ａに吸着され吊り下げ状態で保持される」ようにしなければならないものであり、構成が非常に複雑であり、搬送効率（単位時間当たりの搬送数を多くすること）が非常に悪いのではないかと考えられる。

そこで、本発明者等は、物品搬送用ポッドについて、物品大量搬送を可能にするとともに、これからの枚葉取出しが行え、しかも搬送途中において物品が落下してしまう等の不具合がないようにするにはどうしたらよいか、について種々検討を重ねてきた結果、物品搬送用ポッドの底蓋を開閉自在にするとともに、この底蓋上に多数の物品を重ねるようにすると良い結果が得られることに気付き、本発明を完成したのである。

すなわち、本発明の目的とするところは、物品大量搬送を可能にするとともに、これからの枚葉取出しが行えて、搬送途中において底蓋が開いてしまうことを防止することができ、物品が落下してしまう等の不具合がなく、物品のセッティングや搬送効率を上げることのできる物品搬送用ポッド、及びこれを採用した物品搬送システムを、簡単な構成によって提供することにある。

以上の課題を解決するために、まず、請求項１に係る発明の採った手段は、後述する最良形態の説明中で使用する符号を付して説明すると、
「物品３０を収容する収容部１１を備えて、底蓋１２を開けて物品３０が出し入れされ、かつ搬送装置２０によって搬送される物品搬送用ポッド１０であって、
底蓋１２に、搬送装置２０のアーム２１または係止突起２３ａによって支持される支持手段４０を設けたことを特徴とする物品搬送用ポッド１０」
である。

すなわち、この請求項１に係る物品搬送用ポッド１０は、図１〜図３に示すようなクリーンルーム５０において、例えばガラス板やシリコンウエハー等の物品３０を搬送するものであるが、図４〜図９に示すように、底蓋１２の上に物品３０のための収容部１１を構成したものである。つまり、この物品搬送用ポッド１０は、底蓋１２上に多数の物品３０を載置して、この状態で搬送環境５１や装置環境５２内にて、各物品３０を、枚葉搬入（一枚宛入れること）か複数枚搬入かを問わず、適宜箇所に搬送するものである。

また、この物品搬送用ポッド１０は、その一個一個を搬送装置２０によって搬送することもあるが、図２及び図３にも示すように、これらを上下に複数積み上げた状態で搬送されるものでもある。これらいずれの場合も、各物品搬送用ポッド１０の底蓋１２は、文字通り「底」に位置する状態にされる。

さて、この物品搬送用ポッド１０は、搬送環境５１側から装置環境５２内の種々な加工装置５３側に受け渡すためにも使用されるものであり、搬送環境５１内、あるいはこの搬送環境５１側から各装置環境５２内への配分は主として搬送装置２０によってなされ、各物品搬送用ポッド１０からの物品３０の装置環境５２内での枚葉取り出しは、その箇所に適した取出アーム５４によって行われるものである。

ここで、クリーンルーム５０について見てみると、図２及び図３に示すように、装置環境５２は搬送環境５１に対して明確に区画されており、例えば図２、図３、図７及び図８に示すように、搬送環境５１と装置環境５２との境界部分に形成してあるゲート口５２ａから、物品３０を受け渡すようになっている。この装置環境５２内での物品３０の受け渡しは、枚葉搬入によって行うのが一般的であるが、複数枚纏めて搬入されることもある。

さて、この請求項１に係る物品搬送用ポッド１０は、第１実施例を例示する図４〜図５、第２実施例を例示する図７及び図８、及び第３実施例を例示する図９に示すように、物品３０あるいはこの物品３０を入れたトレー３１の複数を積み重ねて収容する収容部１１を備えている。この収容部１１は、第１実施例及び第３実施例では枠体１１ａによって構成され、図７〜図８に示した第２実施例では箱体によって構成される。そして、この収容部１１の図示下方は、物品３０またはこれを入れたトレー３１が載置される底蓋１２によって覆蓋されている。

この底蓋１２は、上述したように、その上に多数の物品３０あるいはこれを収納したトレー３１を載置するものであり、その周囲を、図５及び図９に示すような枠体１１ａ、あるいは、図７及び図８に示すような箱体によって包み込むことにより、多数の物品３０あるいはこれを収納したトレー３１を収容する収容部１１を形成する言わば「土台」となるものである。なお、この底蓋１２と、枠体１１ａまたは箱体の下端部内面との間には、種々な一体化手段が講じられて、底蓋１２から枠体１１ａまたは箱体が簡単には外れないようになされることは当然である。

また、この底蓋１２は、例えば図７及び図８に示すように、昇降テーブル５５等によって外されて、装置環境５２のゲート口５２ａから装置環境５２内に移動されるものであり、この底蓋１２の移動に伴ってその上にある物品３０の装置環境５２側への受け渡しがなされるのである。

そして、この底蓋１２の下面には、図４に示すように、搬送装置２０のアーム２１が係合することになる支持手段４０が形成してある。この支持手段４０は、図４に示したような嵌合穴４１であってもよいが、嵌合穴４１とは逆の突起であってもよく、さらには単なる平面的なものであってもよいものである。何故なら、この支持手段４０は、物品搬送用ポッド１０の搬送装置２０による搬送時に、この搬送装置２０のアーム２１が底蓋１２の下面を支持して物品搬送用ポッド１０全体が搬送装置２０に対して位置ズレしたり、搬送装置２０から落下してしまわないようにするものだからである。

搬送装置２０としても種々考えられるが、一般的には、図２に示すような天井に搬送レール２２を張り巡らしたタイプ、あるいは図３に示すように、床上に敷設したコンベア２３が考えられる。勿論、この搬送装置２０としては、図２、図３、図７、及び図８に示すような、上下動したり回転したりするアーム２１を有したものも考えられる。何れにしても、この搬送装置２０としては、物品搬送用ポッド１０をどのように動かすのかに応じて種々なタイプのものが考えられるが、この搬送装置２０には、物品搬送用ポッド１０の底蓋１２に設けた支持手段４０に係合する何らかの手段を有している。

図２に示した搬送レール２２に吊り下げられる搬送装置２０では、図４の（ａ）に示すように、その下端に物品搬送用ポッド１０の底蓋１２を支持する内向きのアーム２１が設けられており、このアーム２１の内側上面には係止突起２１ａが形成してある。この係止突起２１ａは、底蓋１２に形成した支持手段４０を嵌合穴４１とすることにより、この嵌合穴４１内に係合されるものである。このように、物品搬送用ポッド１０の底蓋１２に、搬送装置２０によって支持される支持手段４０を設けて、物品搬送用ポッド１０の下面を搬送装置２０によって支持するようにしたので、当該物品搬送用ポッド１０の搬送や移動時にその底蓋１２が外れてしまうことがないことは当然として、物品搬送用ポッド１０及びその収容部１１内の物品３０を各装置環境５２に安全に搬送することができるのである。

図３に示したコンベア２３によって物品搬送用ポッド１０を搬送する搬送装置２０では、図４の（ｂ）に示すように、その上面に物品搬送用ポッド１０の底蓋１２を支持する係止突起２３ａが形成してある。この係止突起２３ａは、底蓋１２に形成した支持手段４０を嵌合穴４１とすることにより、この嵌合穴４１内に係合されるものである。このように、物品搬送用ポッド１０の底蓋１２に、搬送装置２０によって支持される支持手段４０を設けて、物品搬送用ポッド１０の下面をコンベア２３上の係止突起２３ａによって支持するようにしたので、当該物品搬送用ポッド１０の搬送や移動時にその底蓋１２が外れてしまうことがないことは当然として、物品搬送用ポッド１０及びその収容部１１内の物品３０を各装置環境５２に安全に搬送することができるのである。

なお、図９に示す第３実施例にあっては、収容部１１の内圧が低下しようとする際に、枠体１１ａを覆っているシート体１１ｂが自由に撓んで収容部１１内に入り込むから、このシート体１１ｂの外側になっている搬送環境５１の内圧と、シート体１１ｂの内側になっている装置環境５２の内圧との間に差がないように維持する。従って、底蓋１２を開けて物品３０を取り出す際に空気の流れは発生せず、装置環境５２側のクリーン度を低下させるパーティクルが物品搬送用ポッド１０内に存在していたとしても、これが装置環境５２側に入り込むことはない。

従って、この請求項１に係る物品搬送用ポッド１０によれば、物品大量搬送を可能にするとともに、これからの枚葉取出しが行えて、搬送途中において底蓋１２が開いてしまうことを防止することができ、物品が落下してしまう等の不具合がなく、物品のセッティングや搬送効率を上げることができるのである。

また、上記課題を解決するために、請求項２に係る発明の採った手段は、上記請求項１に記載の物品搬送用ポッド１０について、
「支持手段４０は、搬送装置２０側の一部が嵌合される嵌合穴４１であること」
である。

すなわち、この請求項２に係る物品搬送用ポッド１０では、図４〜図９に示すように、支持手段４０を嵌合穴４１としたものであるが、この嵌合穴４１には搬送装置２０側の一部が嵌合されるのである。この場合、搬送装置２０側の一部とは、搬送装置２０が図２に示す搬送レール２２に吊下されるものであるときには、その下端の各アーム２１上の係止突起２１ａであり、搬送装置２０が図３に示すコンベア２３を有するものであるときには、このコンベア２３上の係止突起２３ａである。

このように、支持手段４０を嵌合穴４１としたときには、この嵌合穴４１の底蓋１２下面への形成が非常に簡単になるだけでなく、搬送装置２０に対する物品搬送用ポッド１０の位置決めも簡単に行える。それだけでなく、搬送装置２０の一部が嵌合穴４１に係合することにより、物品搬送用ポッド１０の移動あるいは搬送時における搬送装置２０からのズレや落下が確実に防止され、物品３０の搬送を安全に行えるのである。

従って、この請求項２に係る物品搬送用ポッド１０によれば、上記請求項１のそれと同様な機能を発揮する他、搬送途中における物品搬送用ポッド１０の落下を防止することができるだけでなく、搬送装置２０に対する物品搬送用ポッド１０の位置決めを確実に行えるものとなっているのである。

さらに、上記課題を解決するために、請求項３に係る発明の採った手段は、上記請求項１または請求項２に記載の物品搬送用ポッド１０について、
「底蓋１２に、他の物品搬送用ポッド１０の上部に設けた位置決めピン１３が嵌合する位置決め穴１４を設けたこと」
である。

すなわち、この請求項３の物品搬送用ポッド１０は、図４に示すように、その上端に位置決めピン１３を形成するとともに、底蓋１２の下面であって、位置決めピン１３に対応する部分に、他の物品搬送用ポッド１０の位置決めピン１３が係合する位置決め穴１４を形成したものである。この場合、位置決め穴１４及び位置決めピン１３をそれぞれ複数形成しておけば、各物品搬送用ポッド１０を積み上げるときの位置決めを確実に行うことができることになる。

以上の結果、図６に示すように、複数の物品搬送用ポッド１０を積み上げる際に、下側の物品搬送用ポッド１０に形成してある位置決めピン１３に、上側の物品搬送用ポッド１０の底蓋１２に形成してある位置決め穴１４を係合させることにより、両者の物品搬送用ポッド１０の位置決めが確実になされるとともに、上側の物品搬送用ポッド１０が下側のそれから滑り落ちることが防止されるのである。このため、図５にも示すように、多数の物品搬送用ポッド１０を積み上げることができて、収容部１１内に収容した多数の物品３０の搬送効率を遙かに高めることができるのである。

また、底蓋１２の下面に位置決め穴１４を形成することによって、位置決め穴１４下面に突起物がないようにすることができるから、当該物品搬送用ポッド１０を搬送装置２０のアーム２１やコンベア２３上に載置する場合に邪魔者がない状態になって、当該物品搬送用ポッド１０の搬送を安定した状態で行えることになる。

さらに、底蓋１２に形成した位置決め穴１４を、図７及び図８に示すように、支持手段４０の嵌合穴４１として使用するように実施してもよい。この場合には、物品搬送用ポッド１０の搬送装置２０による安定支持を行う嵌合穴４１と、各物品搬送用ポッド１０間のズレ防止を行う位置決めピン１３とを同一のもので形成できることになる。

従って、この請求項３に係る物品搬送用ポッド１０は、上記請求項１または請求項２のそれと同様な機能を発揮する他、複数のそれを安定した状態で積み上げて搬送することができるものとなっているのである。

最後に、上記課題を解決するために、請求項４に係る発明の採った手段は、
「物品３０を収容する収容部１１を備えて、底蓋１２を開けて物品３０が出し入れされる物品搬送用ポッド１０と、この物品搬送用ポッド１０を搬送する搬送装置２０とを備えた物品搬送システムであって、
搬送装置２０をアーム２１または係止突起２３ａを備えたものとするとともに、
物品搬送用ポッド１０の底蓋１２に、アーム２１または係止突起２３ａによって支持される支持手段４０を設けたことを特徴とする物品搬送システム」
である。

すなわち、この請求項４に係る物品搬送システムは、上述してきた物品搬送用ポッド１０と、この物品搬送用ポッド１０を搬送する搬送装置２０とを備えたものであり、これらの物品搬送用ポッド１０及び搬送装置２０の各構成及び作用についても、上記で詳しく述べた。

従って、この請求項４に係る物品搬送システムは、上述した物品搬送用ポッド１０を採用することによって、物品３０の大量搬送を可能にするとともに、物品３０の枚葉取出しが行えて、搬送途中において底蓋１２が開いてしまうことを防止することができ、物品３０が落下してしまう等の不具合がなく、物品３０のセッティングや搬送効率を上げることのできるのである。

以上、説明した通り、本発明においては、
「物品３０を収容する収容部１１を備えて、底蓋１２を開けて物品３０が出し入れされ、かつ搬送装置２０によって搬送される物品搬送用ポッド１０であって、
底蓋１２に、搬送装置２０によって支持される支持手段４０を設けた」
ことに、その構成上の主たる特徴があり、これにより、物品大量搬送を可能にするとともに、これからの枚葉取出しが行えて、搬送途中において底蓋１２が開いてしまうことを防止することができ、物品が落下してしまう等の不具合がなく、物品３０のセッティングや搬送効率を上げることができる物品搬送用ポッド１０を、簡単な構成によって提供することができるのである。

次に、上記のように構成した各請求項に係る発明を図面に示した最良の形態である物品搬送用ポッド１０について説明するが、この物品搬送用ポッド１０は、図１〜図３に示したクリーンルーム５０において、ガラス板やシリコンウエハー等の物品３０を、枚葉搬入（一枚宛入れること）か複数枚搬入かを問わず、搬送環境５１内で種々な装置環境５２に向けて搬送したり、あるいはこの搬送環境５１側から装置環境５２内の種々な加工装置５３側に受け渡すために使用するものである。

また、この物品搬送用ポッド１０は、図６に示すように、その複数を積み重ねて、各装置環境５２毎に配分されることもあり、この配分や各物品搬送用ポッド１０からの物品３０の枚葉毎の取り出しは、その箇所に適した搬送装置２０あるいは取出アーム５４によってなされる。

さらに、本発明に係る物品搬送用ポッド１０としては、図５〜図６にその第１実施例が、図７及び図８にその第２実施例が、そして図９にはその第３実施例が、それぞれ示してある。そして、この物品搬送用ポッド１０は、図４あるいは図７に示したように、物品３０あるいはこの物品３０を入れたトレー３１の複数を積み重ねて収容する収容部１１を備えている。

そして、この収容部１１は、図５に示した第１実施例及び図９に示した第３実施例では、枠体１１ａによって構成され、図７及び図８に示した第２及び第３実施例では箱体によって構成される。そして、この収容部１１の図示下方は、物品３０またはこれを入れたトレー３１が載置される底蓋１２によって覆蓋されている。

底蓋１２は、例えば図７及び図８に示すように、アーム２１等によって外されて、装置環境５２のゲート口５２ａから装置環境５２内に移動されるものであり、この底蓋１２の移動に伴ってその上にある物品３０の装置環境５２側への受け渡しがなされるのである。この底蓋１２は、収容部１１内を閉止しているから、この底蓋１２を開けることにより、物品３０の取り出しあるいは受け渡しがなされる。

（第１実施例）
図５〜図６に示した第１実施例に係る物品搬送用ポッド１０は、図５の（ｂ）に示したように、四角形状の枠体１１ａ内に収容部１１を構成するようにしたもので、この枠体１１ａには収容部１１内が外部と連通しないような加工がしてあり、また、取手１５が取り付けてある。そして、この枠体１１ａの下端には、この枠体１１ａの平面視形状より大きい形状の底蓋１２が着脱自在に取り付けてある。

また、この物品搬送用ポッド１０を構成している上記枠体１１ａの上端には、複数の位置決めピン１３が形成してあり、一方、底蓋１２の下面の、上記各位置決めピン１３に対応する部分には、各位置決めピン１３を嵌合し得る位置決め穴１４が形成してある。これらの位置決めピン１３及び位置決め穴１４を利用することにより、図６に示したように、複数の物品搬送用ポッド１０の積み上げを、各物品搬送用ポッド１０がズレたり、落ちたりしないように行えるものである。

さらに、この物品搬送用ポッド１０を構成している底蓋１２の下面には、図５の（ａ）にて示したように、上記位置決め穴１４とは異なる位置に嵌合穴４１が形成してあるが、このアーム２１は、請求項１で述べている支持手段４０に該当するものである。つまりこの支持手段４０である嵌合穴４１によって、例えば、図４の（ａ）に示したように、搬送装置２０のアーム２１に設けた係合突起２１ａが係合するのであり、図４の（ｂ）に示したように、搬送装置２０のコンベア２３に設けた係合突起２３ａが係合するのであって、物品搬送用ポッド１０の搬送装置２０による搬送が底蓋１２の外れを防止しながら行える。

（第２実施例）
図７及び図８に示した物品搬送用ポッド１０は、上記第１実施例における枠体１１ａに代えて箱体を採用したものであり、この箱体内に収容部１１が形成される。また、この物品搬送用ポッド１０の底蓋１２は、図示したように、昇降テーブル５５上に直接載置されることもあるものであり、この底蓋１２の下面に形成してあるべき位置決め穴１４は、嵌合穴４１である支持手段４０と共通するものである。その他の構成は、上記第１実施例と同様である。

（第３実施例）
図９に示した第３実施例に係る物品搬送用ポッド１０は、底蓋１２の上に例えばアングル材によって形成した枠体１１ａを組み付け、この枠体１１ａに可撓性を有するシート体１１ｂを溶着等の手段によって取り付けたものである。当然のことながら、この枠体１１ａは、各アングル材の間に、収容部１１となる所定の空間を有しており、各アングル材間は、当該収容部１１内と外部の搬送環境５１とを連通させる開口となっている。

この枠体１１ａが有している開口は、可撓性を有したシート体１１ｂによって覆われているから、このシート体１１ｂの内外に圧力の変化があってシート体１１ｂが圧力の低い方へ撓めば、このシート体１１ｂの撓みを許容するものとなる。つまり、このシート体１１ｂによって覆われた空間が、収容部１１と連通する伸縮自在な空気室となっているのである。

なお、シート体１１ｂについては、透明な合成樹脂シートを採用することにより、物品搬送用ポッド１０内の視認を容易に行えるようにするとともに、このシート体１１ｂの枠体１１ａに対する溶着を行い易くしてある。

（その他の実施例）
搬送装置２０のアーム２１は勿論、アーム２１やコンベア２３上の各係止突起の構成は、前述したものの他、種々なものが考えられるものである。この形状あるいは構成の変更は、その搬送作業を行う状況や装置の形状や大きさによって適宜決定される。

勿論、底蓋１２に形成してある位置決めピン１３や位置決め穴１４についても、互いの状態あるいは搬送装置２０の状況によって、種々変更できるものである。例えば、上記の位置決めピン１３と位置決め穴１４とを交互に変更したり、「溝」と「突条」にしたりする等、必要に応じた変更が行えるものである。
周囲環境

本発明に係る物品搬送用ポッドが使用されるクリーンルームの部分平面図である。 同クリーンルームであって、搬送装置として天井吊り下げタイプのものを採用したときの部分縦断面図である。 同クリーンルームであって、搬送装置としてコンベアを採用したときの部分縦断面図である。 同物品搬送用ポッドの搬送状態を示すもので、（ａ）は吊り下げ式の搬送装置による場合を示す部分破断拡大正面図、（ｂ）はコンベアによる場合を示す部分破断拡大正面図である。 本発明の第１実施例に係る物品搬送用ポッドを示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。 同物品搬送用ポッドの複数を積み上げたときの正面図である。 第２実施例に係る物品搬送用ポッドを示すもので、底蓋１２が閉じられているときの部分破断正面図である。 同物品搬送用ポッドを示すもので、多数の物品を底蓋とともに装置環境側に移動させたときの縦断面図である。 第３実施例に係る物品搬送用ポッドを示す正面図である。 従来の技術を示す側面図である。 従来の他の技術を示す部分拡大縦断面図である。

符号の説明

１０ 物品搬送用ポッド
１１ 収容部
１１ａ 枠体
１１ｂ シート体
１２ 底蓋
１３ 位置決めピン
１４ 位置決め穴
１５ 取手
２０ 搬送装置
２１ アーム
２１ａ 係止突起
２２ 搬送レール
２３ コンベア
２３ａ 係止突起
３０ 物品
３１ トレー
４０ 支持手段
４１ 嵌合穴
５０ クリーンルーム
５１ 搬送環境
５２ 装置環境
５２ａ ゲート口
５３ 加工装置
５４ 取出アーム
５５ 昇降テーブル

Claims (4)

1. 物品を収容する収容部を備えて、底蓋を開けて前記物品が出し入れされ、かつ搬送装置によって搬送される物品搬送用ポッドであって、
   前記底蓋に、前記搬送装置のアームまたは係止突起によって支持される支持手段を設けたことを特徴とする物品搬送用ポッド。
2. 前記支持手段は、前記搬送装置側の一部が嵌合される嵌合穴であることを特徴とする請求項１に記載の物品搬送用ポッド。
3. 前記底蓋に、他の物品搬送用ポッドの上部に設けた位置決めピンが嵌合する位置決め穴を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の物品搬送用ポッド。
4. 物品を収容する収容部を備えて、底蓋を開けて前記物品が出し入れされる物品搬送用ポッドと、この物品搬送用ポッドを搬送する搬送装置とを備えた物品搬送システムであって、
   前記搬送装置をアームまたは係止突起を備えたものとするとともに、
   前記物品搬送用ポッドの底蓋に、前記アームまたは係止突起によって支持される支持手段を設けたことを特徴とする物品搬送システム。

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