KR20180065876A - 이송기 - Google Patents

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KR20180065876A
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히로시 사카타
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Abstract

천정(90)측에 설치되는 레일(91)을 따라 주행하는 주행부(20)와, 주행부(20)에 설치되는 카세트(80)를 승강가능하게 지지하는 승강부(30)를 구비하는 이송기(10)로서, 승강부(30)는 승강부 본체(31)와, 승강부 본체(31)에 대해 승강가능하며 또한 카세트(80)를 지지하는 승강 케이지(34)를 구비하고, 카세트(80)는 승강 케이지(34)와 맞물리는 복수의 플랜지부(81)를 구비하고, 플랜지부(81)는 승강 케이지(34)과의 맞물림 부분이 카세트(80)의 내측을 향해 형성되고, 승강 케이지(34)는 플랜지부(81)와 맞물리는 맞물림부(36)를 구비하고, 맞물림부(36)는 복수의 플랜지부(81)마다 설치됨과 아울러 승강 케이지(34)의 중심측으로부터 플랜지부(81)를 향해 승강 케이지(34)에 대해 선회가능하게 구성되는 것이다.

Description

이송기{TRANSFER MACHINE}
본 발명은 천정측에 설치되는 레일을 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 설치되어 피반송물을 승강가능하게 지지하는 승강부를 구비하는 이송기에 관한 것이다.
종래의 이송기로서는 천정측에 설치되는 레일에 상기 레일 상을 주행하는 주행 대차(주행부)를 설치하고, 주행 대차를 승강 장치(승강부)를 통해 피반송물을 유지해서 매다는 것이 알려져 있다. 이러한 이송기에 있어서의 승강 장치에는 승강부 본체와, 승강부 본체에 대해 승강가능하며 또한 피반송물을 지지하기 위한 승강 케이지가 설치된다. 상기 승강 케이지에는 피반송물을 지지하는 맞물림부가 설치된다. 승강 케이지는 맞물림부를 동작시킴으로써 피반송물의 파지 또는 파지의 해제를 행한다. 예를 들면, 특허문헌 1에 나타내는 이송기에 있어서는 피반송물을 지지하는 한 쌍의 척부(맞물림부)가 피반송물의 상방으로부터 하강하여 피반송물의 플랜지부를 수평방향으로부터 닫음으로써 피반송물을 파지한다.
일본특허공개 2016-163001호 공보
그러나, 상기 이송기에 있어서는 맞물림부를 피반송물의 외측으로부터 내측으로 이동시켜서 피반송물을 지지하기 때문에 맞물림부의 가동역이 피반송물의 플랜지부가 설치되는 위치보다 외측이 된다. 그 때문에 피반송물의 플랜지부가 설치되는 위치보다 외측에 있어서 맞물림부를 이동시킬 필요가 있으며, 따라서 승강 장치(승강 케이지)가 대형화된다는 문제가 있었다.
그래서, 본 발명은 맞물림부의 가동역을 피반송물의 플랜지부가 설치되는 위치보다 내측으로 해서 승강 장치(승강 케이지)의 소형화를 가능하게 하는 이송기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 해결하려고 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 발명의 구성을 설명한다.
즉, 본 발명의 이송기는 천정측에 설치되는 레일을 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 설치되어 피반송물을 승강가능하게 지지하는 승강부를 구비하는 이송기로서, 상기 승강부는 승강부 본체와, 상기 승강부 본체에 대해 승강가능하며 또한 피반송물을 지지하는 승강 케이지를 구비하고, 상기 피반송물은 상기 승강 케이지와 맞물리는 복수의 플랜지부를 구비하고, 상기 플랜지부는 상기 승강 케이지와의 맞물림 부분이 상기 피반송물의 내측을 향해 형성되고, 상기 승강 케이지는 상기 플랜지부와 맞물리는 맞물림부를 구비하고, 상기 맞물림부는 상기 복수의 플랜지부마다 설치됨과 아울러 상기 승강 케이지의 중심측으로부터 상기 플랜지부를 향해 상기 승강 케이지에 대해 선회가능하게 구성되는 것이다.
상기 구성에서는 맞물림부가 승강 케이지의 중심측으로부터 플랜지부를 향해 승강 케이지에 대해 선회함으로써 피반송물의 내측을 향해 형성되는 플랜지부와 맞물린다.
본 발명의 이송기는 상기 이송기에 있어서, 상기 맞물림부는 상기 플랜지부를 적재하는 적재면을 갖고, 상기 적재면이 상기 승강 케이지의 중심측으로부터 상기 플랜지부를 향해 선회가능하게 구성되는 것이다.
상기 구성에서는 맞물림부의 적재면이 승강 케이지의 중심측으로부터 플랜지부를 향해 승강 케이지에 대해 선회함으로써 피반송물의 내측을 향해 형성되는 플랜지부와 맞물린다.
본 발명의 이송기는 상기 이송기에 있어서, 상기 맞물림부를 선회시키는 선회 기구를 구비하고, 상기 선회 기구는 복수의 상기 맞물림부 중 적어도 한 쌍의 맞물림부를 연결하여 선회시키는 것이다.
상기 구성에서는 복수의 맞물림부 중 적어도 한 쌍의 맞물림부를 연결하여 선회시킴으로써 한 쌍의 결합부를 동기시켜서 플랜지부와 맞물리게 한다.
본 발명의 이송기는 상기 이송기에 있어서, 상기 맞물림부는 상기 승강 케이지 에 대한 상기 피반송물의 위치 결정을 행하는 위치 결정 부재를 구비하고, 상기 위치 결정 부재는 상기 피반송물의 연직축 방향에 대해 직교하는 X축 방향으로의 상기 피반송물의 이동을 규제하는 X축 방향 규제부와, 상기 피반송물의 연직축 방향 및 상기 X축 방향에 대해 직교하는 Y축 방향으로의 상기 피반송물의 이동을 규제하는 Y축 방향 규제부를 구비하고, 상기 X축 방향 규제부 및 상기 Y축 방향 규제부는 상기 맞물림부의 선회방향으로부터 상기 플랜지부에 접촉함으로써 상기 피반송물의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 이동을 규제하는 것이다.
상기 구성에서는 맞물림부가 플랜지부와 맞물릴 때에 위치 결정 부재가 맞물림부의 선회방향으로부터 플랜지부에 접촉함으로써 피반송물의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 이동을 규제한다.
본 발명의 이송기는 상기 이송기에 있어서, 상기 위치 결정 부재는 상기 X축 방향 규제부와 상기 Y축 방향 규제부를 상기 적재면 상에서 직각으로 배치하여 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성되는 것이다.
상기 구성에서는 맞물림부가 플랜지부와 맞물릴 때에, 평면으로 볼 때 L자 형상의 위치 결정 부재가 맞물림부의 선회방향으로부터 플랜지부에 접촉함으로써 피반송물의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 이동을 규제한다.
(발명의 효과)
본 발명의 이송기에 의하면 맞물림부를 승강 케이지의 중심측으로부터 플랜지부를 향해 선회시킴으로써 맞물림부가 플랜지부와 맞물리기 때문에 맞물림부의 가동역이 피반송물에 있어서 플랜지부가 설치되는 위치보다 내측이 되고, 맞물림부와 플랜지부의 맞물림을 피반송물의 내측에서 행할 수 있다. 그 때문에 승강 장치(승강 케이지)를 소형화할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 이송기의 측면도이다.
도 2는 본발명에 의한 이송기의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 이송기의 승강 케이지의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 의한 이송기의 승강 케이지의 평면도이다.
도 5a는 본 발명에 의한 이송기의 승강 케이지의 맞물림부의 선회 상태를 나타내는 평면 개략도이며, 맞물림부가 카세트의 플랜지부와의 맞물림을 해제하고 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5b는 본 발명에 의한 이송기의 승강 케이지의 맞물림부의 선회 상태를 나타내는 평면 개략도이며, 맞물림부가 카세트의 플랜지부와 맞물려 있는 상태를 나타내는 도면이다.
본 발명에 의한 이송기(10)에 대해 설명한다. 또한, 이하에 있어서는 이송기(10)의 차체 주행방향(이송기(10)의 길이방향)을 전후방향, 이송기(10)의 차체 주행방향에 대해 수평방향으로 직교하는 방향(이송기(10)의 폭방향)을 좌우방향, 이송기(10)의 차체 주행방향에 대해 연직방향으로 직교하는 방향(이송기(10)의 높이방향)을 상하방향으로 하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 이송기(10)는 예를 들면, 반도체 기판의 제조 공장 내에 설치되고, 상기 제조 공장 내에 설치되는 주행 레일을 따라 주행하는 천정 반송차(도시하지 않음)와, 반도체 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리 장치(도시하지 않음) 사이에서 반도체 기판을 수납한 카세트(80)(「피반송물」의 일례)을 이송하는 것이다.
이송기(10)는 천정(90)에 설치되는 레일(91)을 따라 주행한다. 레일(91)은 천정(90)측으로부터 매달아 볼트(92) 등에 의해 매달린 상태에서 지지되고, 이송기(10)가 상기 천정 반송차로부터 카세트(80)를 수취하는 수취 위치와, 이송기(10)가 카세트(80)를 승강시켜서 상기 처리 장치로 이송하는 승강 위치 사이에서 직선 형상으로 연장 설치된다. 레일(91)에는 이송기(10)에 전력을 공급하기 위한 급전 선(도시하지 않음)이 설치되어 있다.
이송기(10)는 레일(91)을 따라 주행하는 주행부(20)와, 카세트(80)를 승강가능하게 지지하는 승강부(30)로 주로 구성되어 있다.
주행부(20)는 레일(91)을 주행하기 위한 좌우 양측의 주행차륜(21)을 일체적으로 회전하도록 구비하고, 상기 좌우 양측의 주행차륜(21)이 전후에 한 쌍 설치되어 있다. 주행부(20)는 전후 일방측의 주행차륜(21)을 구동하는 구동 모터(도시하지 않음)를 구비하고, 전후 일방측의 주행차륜(21)을 구동륜으로 하고, 전후 타방측의 주행차륜(21)을 종동륜으로 하여 상기 구동 모터의 구동에 의해 전후 일방측의 주행차륜(21)을 회전시켜서 레일(91)을 따라 주행하도록 구성되어 있다.
승강부(30)는 주행부(20)의 하방에 설치되고, 승강부 본체(31)와, 승강 케이지(34)로 주로 구성되어 있다.
승강부 본체(31)는 승강부(30)의 본체 부분이며, 주행부(20)에 대해 매달린 상태에서 지지된다. 승강부 본체(31)는 승강 벨트(32)에 의해 승강 케이지(34)를 매단 상태에서 지지한다. 승강 벨트(32)는 이송기(10)의 좌우 양측(이송기(10)의 폭방향의 양측)의 승강 벨트(32)를 일체적으로 권취 및 권출하도록 구비하고, 이송기(10)의 좌우 양측의 승강 벨트(32)가 이송기(10)의 전후(이송기(10)의 길이방향)에 한 쌍 설치되어 있다.
승강부 본체(31)는 승강 케이지(34)를 승강하기 위한 승강 모터(33)를 구비하고, 승강 모터(33)의 구동에 의해 승강 벨트(32)를 승강부 본체(31)에 대해 권취 및 권출함으로써 승강 케이지(34)를 승강시킨다.
승강 케이지(34)는 승강부 본체(31)에 대해 승강가능하게 설치되어서 카세트(80)를 지지하는 부분이다.
도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이 승강 케이지(34)가 지지하는 카세트(80)는 그 내부에 반도체 기판을 수납가능한 상자체이다. 카세트(80)는 그 상면에 승강 케이지(34)와 맞물리는 플랜지부(81)가 설치된다. 카세트(80)는 플랜지부(81)가 승강 케이지(34)와 맞물림으로써 승강 케이지(34)에 의해 매달린 상태에서 지지된다.
플랜지부(81)는 카세트(80)의 상면의 외측 가장자리를 따라 복수(도 3에서는 4개) 설치되어 있다. 구체적으로는 플랜지부(81)는 카세트(80)의 상면의 네 모퉁이 근방 각각에 설치된다. 즉, 카세트(80)는 그 상면의 네 모퉁이 4점에 있어서 승강 케이지(34)에 의해 지지된다. 플랜지부(81)는 승강 케이지(34)와의 맞물림 부분이 카세트(80)의 내측(중앙측)을 향해 형성된다. 구체적으로는 플랜지부(81)는 그 대향하는 플랜지부(81)에 있어서의 승강 케이지(34)와의 맞물림 부분과 마주보도록 승강 케이지(34)와의 맞물림 부분이 형성된다.
도 3에 나타내는 바와 같이 플랜지부(81)는 측면에서 볼 때 대략 Z자 형상의 부재에 의해 형성된다. 플랜지부(81)는 승강 케이지(34)와 맞물리는 평면 형상의 맞물림 부분(84)을 갖는다. 맞물림 부분(84)은 수평방향으로 카세트(80)의 내측(중앙측)을 향해 돌출되어 형성되고, 그 하면 부분에서 승강 케이지(34)와 맞물린다.
도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이 승강 케이지(34)는 승강 케이지 본체(35)와, 맞물림부(36)와, 선회 기구(37)로 주로 구성되어 있다.
승강 케이지 본체(35)는 승강 케이지(34)의 본체 부분이며, 승강부 본체(31)에 대해 승강가능하게 지지된다. 승강 케이지 본체(35)는 상자체에 의해 형성되고 그 내부에 지지 부재(38)를 구비한다.
도 3에 나타내는 바와 같이 지지 부재(38)는 사각형으로 형성되는 프레임체이며, 맞물림부(36) 및 선회 기구(37)를 지지한다. 지지 부재(38)는 그 하면에 맞물림부(36)가 설치됨과 아울러 그 상면에 선회 기구(37)가 설치된다.
도 1에 나타내는 바와 같이 승강 케이지 본체(35)는 그 상면에 승강부 본체(31)와 승강 케이지(34)의 위치 맞춤을 행하는 위치 맞춤 수단(70)을 구비한다. 위치 맞춤 수단(70)은 승강 케이지(34)가 승강부 본체(31)에 대해 상승하여 승강부 본체(31)와 승강 케이지(34)가 접근했을 때에 승강 케이지(34)를 승강부 본체(31)에 대해 소정의 위치에서 유지하기 위한 위치 맞춤 기구이다. 위치 맞춤 수단(70)은 승강 케이지(34)측에 설치되어서 상방을 향해 돌출되는 볼록 형상의 돌출부(71)와, 승강부 본체(31)측에 설치되어서 돌출부(71)의 볼록 형상 부분을 받치는 오목 형상의 받침부(72)로 구성된다. 위치 맞춤 수단(70)은 승강 케이지(34)가 승강부 본체(31)에 대해 상승하여 승강부 본체(31)와 승강 케이지(34)가 접근했을 때에 돌출부(71)의 볼록 형상 부분이 받침부(72)의 오목 향상 부분으로부터 약간 벗어난 위치에 있어도 돌출부(71)의 볼록 형상 부분을 받침부(72)의 오목 형상 부분으로 끌어들이도록 구성되고, 돌출부(71)와 받침부(72)가 맞물림으로써 승강부 본체(31)에 대한 승강 케이지(34)의 위치를 맞춘다.
도 3에 나타내는 바와 같이 맞물림부(36)는 플랜지부(81)와 맞물리는 부분이며, 승강 케이지 본체(35)의 지지 부재(38)의 하면에 있어서의 네 모퉁이 근방 각각에 설치된다. 즉, 승강 케이지(34)는 4개의 맞물림부(36)가 카세트(80)의 4개의 플랜지부(81)와 각각 맞물림으로써 카세트(80)를 지지한다. 맞물림부(36)는 승강 케이지 본체(35)의 지지 부재(38)에 대해 선회함으로써 플랜지부(81)와 맞물리는 맞물림 상태와, 플랜지부(81)와의 맞물림을 해제하는 맞물림 해제 상태로 플랜지부(81)와의 맞물림 상태를 스위칭한다.
맞물림부(36)는 측면에서 볼 때 대략 Z자 형상의 부재에 의해 형성된다. 맞물림부(36)는 플랜지부(81)와 맞물리는 평면 형상의 적재 부분(41)을 갖는다. 적재 부분(41)은 수평방향으로 카세트(80)의 외측(외측 가장자리측)을 향해 돌출되어 형성되고, 그 상면 부분을 적재면으로 해서 플랜지부(81)의 맞물림 부분(84)을 적재함으로써 플랜지부(81)와 맞물린다.
맞물림부(36)는 승강 케이지(34)에 대한 카세트(80)의 위치 결정을 행하는 위치 결정 부재(43)를 구비한다. 위치 결정 부재(43)는 맞물림부(36)의 적재 부분(41)의 상면에 설치된다. 위치 결정 부재(43)는 카세트(80)의 연직축 방향에 대해 직교하는 X축 방향(60)(이하, X축 방향(60)이라고 한다)으로의 카세트(80)의 이동과, 카세트(80)의 연직축 방향 및 X축 방향(60)에 대해 직교하는 Y축 방향(61) (이하, Y축 방향(61)이라고 한다)으로의 카세트(80)의 이동을 규제한다. 여기서, X축 방향(60)이란 카세트(80)의 높이방향(상하방향)에 대해 수직인 평면 상에 있어서 일방향을 규정하는 것이며, Y축 방향(61)이란 동평면 상에 있어서 X축 방향(60)에 직교하는 방향을 규정하는 것이다. 구체적으로는 카세트(80)를 평면으로 볼 때에 있어서 카세트(80)의 중심(P)과, 카세트(80)의 네 변 중 한 변의 중점을 연결하는 직선의 방향을 X축 방향(60)으로 하고, 상기 직선과 카세트(80)의 중심에서 직교하는 직선의 방향을 Y축 방향(61)으로 한다. 또한, X축 방향(60) 및 Y축 방향(61)은 정부(正負) 양방향을 포함하는 방향이다.
위치 결정 부재(43)는 X축 방향(60)으로의 카세트(80)의 이동을 규제하는 X축 방향 규제부(44)와, Y축 방향(61)으로의 카세트(80)의 이동을 규제하는 Y축 방향 규제부(45)로 구성된다.
X축 방향 규제부(44)는 맞물림부(36)의 적재 부분(41)의 상면으로부터 상방으로 돌출되어 설치되는 평면 형상의 블록 부재이며, X축 방향(60)으로부터 플랜지부(81)의 맞물림 부분(84)의 측면에 접촉함으로써 카세트(80)의 X축 방향(60)으로의 이동을 규제한다.
Y축 방향 규제부(45)는 맞물림부(36)의 적재 부분(41)의 상면으로부터 상방으로 돌출되어 설치되는 평면 형상의 부재이며, Y축 방향(61)으로부터 플랜지부(81)의 맞물림 부분(84)의 측면에 접촉함으로써 카세트(80)의 Y축 방향(61)으로의 이동을 규제한다.
X축 방향 규제부(44)와 Y축 방향 규제부(45)는 평면으로 볼 때 L자 형상으로 직각으로 접하도록 맞물림부(36)의 적재 부분(41)의 상면(적재면)에 배치된다. 구체적으로는 X축 방향 규제부(44)는 평면으로 볼 때 그 길이방향이 Y축 방향(61)이 되도록 배치되고, Y축 방향 규제부(45)는 그 일단부가 X축 방향 규제부(44)와 직각으로 접하도록 평면으로 볼 때 그 길이방향이 X축 방향(60)이 되도록 배치된다.
도 5에 나타내는 바와 같이 X축 방향 규제부(44) 및 Y축 방향 규제부(45)는 맞물림부(36)의 적재 부분(41)의 상면이며, 맞물림부(36)의 선회 중심과 반대측의 대각 위치에 설치된다. 즉, X축 방향 규제부(44) 및 Y축 방향 규제부(45)는 맞물림부(36)의 선회 중심보다 외측이며, 맞물림부(36)의 선회방향으로부터 플랜지부(81)에 접촉가능한 위치에 설치된다.
도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이 선회 기구(37)는 맞물림부(36)를 승강 케이지 본체(35)의 지지 부재(38)에 대해 선회하는 기구이며, 지지 부재(38)의 상면에 설치된다. 선회 기구(37)는 2개(한 쌍)의 맞물림부(36) 사이에 설치되고, 그 2개(한 쌍)의 맞물림부(36)를 연결하도록 구성된다. 즉, 승강 케이지(34)에 있어서는 4개의 맞물림부(36)에 대해 2개의 선회 기구(37)가 설치된다.
선회 기구(37)는 지지 부재(38)의 일단 가장자리측을 따라 배치되는 2개(한 쌍)의 맞물림부(36)를 평면으로 볼 때 대략 ヘ자 형상으로 굴곡되는 암(46)을 통해 연결하여 선회시킴으로써 2개(한 쌍)의 맞물림부(36)를 동기시켜서 카세트(80)의 플랜지부(81)와 맞물리게 한다. 이것에 의해 맞물림부(36)를 선회시키는 기구를 맞물림부(36)마다 설치할 필요가 없어(4개의 맞물림부(36)에 대해 4개의 선회 기구를 설치할 필요가 없어) 선회 기구의 부품점수를 삭감할 수 있고, 승강 케이지(34)의 구성을 간소화할 수 있다.
다음에 승강 케이지(34)의 맞물림부(36)의 선회 동작에 대하여 설명한다.
도 5a에 나타내는 바와 같이 승강 케이지(34)는 카세트(80)를 지지(파지)할 때에는 맞물림부(36)의 선단 부분을 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)을 향한 상태에서 카세트(80)에 근접한다. 도 5b에 나타내는 바와 같이 승강 케이지(34)가 카세트(80)에 근접하면 선회 기구(37)의 구동에 의해 맞물림부(36)가 선회한다. 이 때, 맞물림부(36)는 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)으로부터 카세트(80)의 플랜지부(81)를 향해 선회한다. 여기서, 선회 기구(37)에 연결되는 한 쌍의 맞물림부(36)는 선회 기구(37)의 구동에 의해 동기하여 선회한다. 이 때, 한 쌍의 맞물림부(36)는 대향하는 맞물림부(36)의 적재 부분(41)끼리를 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)으로부터 카세트(80)의 플랜지부(81)를 향해 좌우 여닫이식으로 열린 상태가 되도록 회동한다. 맞물림부(36)가 플랜지부(81)를 향해 선회함으로써 4개의 맞물림부(36) 각각이 4개의 플랜지부(81)와 맞물리고 승강 케이지(34)가 카세트(80)를 지지(파지)한다.
한편으로, 승강 케이지(34)가 카세트(80)의 지지(파지)를 해제할 때에는 맞물림부(36)가 카세트(80)의 플랜지부(81)로부터 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)을 향해 선회한다. 여기서, 선회 기구(37)에 연결되는 한 쌍의 맞물림부(36)는 승강 케이지(34)(카세트(80))의 외측을 향한 맞물림부(36)의 적재 부분(41)끼리를 카세트(80)의 플랜지부(81)로부터 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)을 향해 좌우 여닫이식으로 닫힌 상태가 되도록 회동한다. 맞물림부(36)가 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)을 향해 선회함으로써 4개의 맞물림부(36) 각각이 4개의 플랜지부(81)와의 맞물림을 해제하고, 승강 케이지(34)가 카세트(80)의 지지(파지)를 해제한다.
이렇게, 승강 케이지(34)는 맞물림부(36)의 선회역이 카세트(80)에 있어서 플랜지부(81)가 설치되어 있는 위치보다 내측(카세트(80)의 중심측)이 되도록 구성되어 있다. 또한, 승강 케이지(34)는 카세트(80)를 지지(파지)할 때에는 맞물림부(36)의 적재 부분(41)을 승강 케이지(34)(카세트(80))의 외측을 향한 자세(좌우 여닫이식 열린 상태)로 하고, 카세트(80)의 지지(파지)를 해제할 때에는 맞물림부(36)의 적재 부분(41)을 승강 케이지(34)(카세트(80))의 내측을 향한 자세(좌우 여닫이식 닫힌 상태)로 하여 맞물림부(36)의 자세를 맞물림부(36)의 선회에 의해 스위칭한다.
다음에 맞물림부(36)의 위치 결정 부재(43)에 의한 승강 케이지(34)에 대한 카세트(80)의 위치 결정 동작에 대하여 설명한다.
도 5에 나타내는 바와 같이 맞물림부(36)가 플랜지부(81)와 맞물릴 때에는 맞물림부(36)가 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)으로부터 카세트(80)의 플랜지부(81)를 향해 선회한다. 마찬가지로, 위치 결정 부재(43)는 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)으로부터 카세트(80)의 플랜지부(81)를 향해 이동한다. 그리고, 위치 결정 부재(43)는 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)으로부터 플랜지부(81)의 맞물림 부분(84)의 측면에 접촉한다. 구체적으로는 위치 결정 부재(43)의 X축 방향 규제부(44)가 플랜지부(81)의 맞물림 부분(84)의 측면 중 X축 방향(60)으로 향해 있는 측면에 접촉하고, 위치 결정 부재(43)의 Y축 방향 규제부(45)가 플랜지부(81)의 맞물림 부분(84)의 측면 중 Y축 방향(61)으로 향해 있는 측면에 접촉한다.즉, 위치 결정 부재(43)는 플랜지부(81)의 맞물림 부분(84)에 있어서의 카세트(80)의 중심측(중앙측)의 각부 측면에 접촉한다.
또한, 위치 결정 부재(43)는 맞물림부(36)의 선회에 의해 플랜지부(81)에 접촉한 상태에서 이동함으로써 승강 케이지(34)에 대한 플랜지부(81)의 X축 방향(60) 및 Y축 방향(61)의 이동을 규제한다. 이 때, 위치 결정 부재(43)는 플랜지부(81)의 X축 방향(60) 및 Y축 방향(61)의 이동을 동시에 규제한다.
이렇게, 위치 결정 부재(43)는 맞물림부(36)의 선회에 의해 플랜지부(81)의 맞물림 부분(84)에 있어서의 카세트(80)의 중심측(중앙측)의 각부 측면에 접촉한 상태에서 이동함으로써 승강 케이지(34)에 대한 카세트(80)의 위치 결정을 행한다.
이상과 같이 이송기(10)에 있어서는 맞물림부(36)를 승강 케이지(34)의 중심측으로부터 플랜지부(81)를 향해 선회시킴으로써 맞물림부(36)가 플랜지부(81)와 맞물리기 때문에 맞물림부(36)의 가동역이 카세트(80)에 있어서 플랜지부(81)가 설치되는 위치보다 내측이 되고, 맞물림부(36)와 플랜지부(81)의 맞물림을 카세트(80)의 내측에서 행할 수 있다. 그 때문에 승강부(30)(승강 케이지(34))를 소형화할 수 있다.
이송기(10)에 있어서는 위치 결정 부재(43)가 카세트(80)의 내측으로부터 카세트(80)의 X축 방향(60) 및 Y축 방향(61)으로의 이동을 규제할 수 있기 때문에 소형화한 승강 케이지(34)에 의해 카세트(80)를 확실히 소정의 위치에서 유지할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 4개의 맞물림부(36)에 대해 2개의 선회 기구(37)를 구비한 구성으로 되어 있지만 이것에 한정되는 것이 아니고 4개의 맞물림부(36) 각각이 승강 케이지(34)의 중심(P)측(중앙측)으로부터 카세트(80)의 플랜지부(81)를 향해 선회하는 구성이면, 예를 들면 4개의 맞물림부(36)에 대해 1개의 선회 기구를 구비한 구성이어도 좋고, 또한 4개의 맞물림부(36) 각각에 대해 선회 기구를 구비한 구성이어도 상관없다.
본 실시형태에 있어서는 위치 결정 부재(43)를 평면 형상의 블록 부재에 의해 구성하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고 카세트(80)의 X축 방향 및 Y축 방향의 이동을 규제가능한 구성이면, 예를 들면 위치 결정 부재를 둥근 모양의 블록 부재에 의해 구성해도 상관없다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 위치 결정 부재(43)를 4개의 맞물림부(36)마다 설치하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 카세트(80)의 X축 방향 및 Y축 방향의 이동을 규제가능한 구성이면, 예를 들면 위치 결정 부재(43)를 카세트(80)의 대각에 위치하는 한 쌍의 맞물림부(36)에만 설치해도 상관없다.
10 이송기 20 주행부
30 승강부 31 승강부 본체
34 승강 케이지 36 맞물림부
37 선회 기구 43 위치 결정 부재
44 X축 방향 규제부 45 Y축 방향 규제부
80 카세트(피반송물) 81 플랜지부
90 천정 91 레일

Claims (5)

  1. 천정측에 설치되는 레일을 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 설치되어 피반송물을 승강가능하게 지지하는 승강부를 구비하는 이송기로서,
    상기 승강부는,
    승강부 본체와,
    상기 승강부 본체에 대해 승강가능하며 또한 피반송물을 지지하는 승강 케이지를 구비하고,
    상기 피반송물은 상기 승강 케이지와 맞물리는 복수의 플랜지부를 구비하고,
    상기 플랜지부는 상기 승강 케이지와의 맞물림 부분이 상기 피반송물의 내측을 향해 형성되고,
    상기 승강 케이지는 상기 플랜지부와 맞물리는 맞물림부를 구비하고,
    상기 맞물림부는 상기 복수의 플랜지부마다 설치됨과 아울러 상기 승강 케이지의 중심측으로부터 상기 플랜지부를 향해 상기 승강 케이지에 대해 선회가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 이송기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 맞물림부는,
    상기 플랜지부를 적재하는 적재면을 갖고,
    상기 적재면이 상기 승강 케이지의 중심측으로부터 상기 플랜지부를 향해 선회가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 이송기.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 맞물림부를 선회시키는 선회 기구를 구비하고,
    상기 선회 기구는 복수의 상기 맞물림부 중 적어도 한 쌍의 맞물림부를 연결하여 선회시키는 것을 특징으로 하는 이송기.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 맞물림부는 상기 승강 케이지에 대한 상기 피반송물의 위치 결정을 행하는 위치 결정 부재를 구비하고,
    상기 위치 결정 부재는,
    상기 피반송물의 연직축 방향에 대해 직교하는 X축 방향으로의 상기 피반송물의 이동을 규제하는 X축 방향 규제부와,
    상기 피반송물의 연직축 방향 및 상기 X축 방향에 대해 직교하는 Y축 방향으로의 상기 피반송물의 이동을 규제하는 Y축 방향 규제부를 구비하고,
    상기 X축 방향 규제부 및 상기 Y축 방향 규제부는 상기 맞물림부의 선회방향으로부터 상기 플랜지부에 접촉함으로써 상기 피반송물의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 이동을 규제하는 것을 특징으로 하는 이송기.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 위치 결정 부재는 상기 X축 방향 규제부와 상기 Y축 방향 규제부를 상기 적재면 상에서 직각으로 배치하여 평면으로 볼 때 L자 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이송기.
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