KR20100054085A - 운반 장치 - Google Patents

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KR20100054085A
KR20100054085A KR1020090101164A KR20090101164A KR20100054085A KR 20100054085 A KR20100054085 A KR 20100054085A KR 1020090101164 A KR1020090101164 A KR 1020090101164A KR 20090101164 A KR20090101164 A KR 20090101164A KR 20100054085 A KR20100054085 A KR 20100054085A
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마사나오 무라타
타카시 야마지
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무라텍 오토메이션 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 예컨대 반도체 장치 제조용 각종 기판을 수용하는 FOUP 등의 짐을 반송하는 운반 장치에 있어서 짐을 소형화하면서, 비교적 용이하게 해서 상기 짐을 경로 상으로부터 떼어내 운반한다.
[해결수단] 운반 장치(10)는 내부 공간을 규정함과 아울러 내부 공간이 외부 공간으로 개방되어 있는 개구를 규정하고, 개구를 통해서 외부 공간으로부터 내부 공간에 짐을 수용할 수 있는 본체부와, 본체부에 있어서의 내부 공간에 면하거나 또는 접하는 위치에 배치되어 있고 수용된 짐을 내부 공간 내에 유지할 수 있는 유지 수단(20)과, 본체부에 있어서의 외부 공간에 면하거나 또는 접하는 위치에 배치되어 있고 외부 공간측으로부터 파지할 수 있는 한개 또는 복수개의 손잡이(11)를 구비한다.
운반 장치

Description

운반 장치{TRANSPORTING APPARATUS}
본 발명은 예컨대 반도체 장치 제조용 각종 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod) 등의 용기인 짐을 운반하는 운반 장치의 기술분야에 관한 것이다.
이 종류의 용기로서 예컨대 구경이 300㎜인 반도체 웨이퍼를 복수매 수용할 수 있는 FOUP이 개시되어 있다(특허문헌 1 참조). 구체적으로는, 이러한 FOUP는 주로 경로에 따른 복수개의 공정간 또는 각 공정 내에서 반도체 웨이퍼를 반송하는 것에 사용된다. 이러한 FOUP에 있어서 인력에 의한 반송을 용이하게 하기 위해서 예컨대 특허문헌 1에 있어서의 도 2의 부호 3d로 나타내어지는 손잡이(예컨대, 「사이드 플랜지」라고 칭해짐)를 양 측면에 각각 설치하는 것이 일반적으로 되어 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 2007-123673호 공보
상술한 특허문헌 1의 용기에 의하면 수납되는 반도체 웨이퍼에 대해서 그 구경이 300㎜이지만 최근 300㎜보다 큰 대구경화가 도모되고 있다. 이것에 따라, 웨이퍼 케이스가 대형화 및 대중량화되어 있고, 예컨대 구경이 450㎜인 반도체 웨이퍼가 촉진되고 있다.
일반적으로는 알려져 있지 않지만 본원 발명자의 실험 또는 연구의 성과에 의하면, 그 구경의 사이즈에서는 보관 공간의 확보 등에 의해 웨이퍼 케이스의 사이즈를 최소한으로 하는 것이 바람직하다. 이 때문에, 손잡이는 부착하지 않는 것이 표준화되는 것으로 예상된다. 그러나, 예컨대 반송 시스템에 의해 반송 스케줄에 따라 반송이 자동화되어도 주행 수단의 고장, 장해물과의 충돌, 및 반송차의 탈선 등의 문제에 의해 반송 시스템이 긴급 정지된다. 이 경우에 반송차를 경로상으로부터 떼어내거나 떼어내진 반송차를 경로상으로 리턴되도록 웨이퍼 케이스를 운반하기 위한 손잡이 등을 구비하지 않고 있으면, 특히 대중량화된 웨이퍼 케이스를 맨손으로 유지했을 경우에 잘못해서 웨이퍼 케이스가 낙하되어 반도체 웨이퍼가 손괴될지도 모른다는 기술적 문제점이 있다.
본 발명은 예컨대 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 웨이퍼 케이스 등의 용기인 짐을 소형화하면서, 비교적 용이하게 해서 상기 짐을 경로상으로부터 떼어내서 운반하는 것을 가능하게 하는 운반 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 따른 운반 장치는 상기 과제를 해결하기 위해서, 내부 공간을 규 정함과 아울러 상기 내부 공간이 외부 공간으로 개방되어 있는 개구를 규정하고, 상기 개구를 통해서 상기 외부 공간으로부터 상기 내부 공간에 짐을 수용할 수 있는 본체부와, 상기 본체부에 있어서의 상기 내부 공간에 면하거나 또는 접하는 위치에 배치되어 있고 상기 수용된 짐을 상기 내부 공간 내에 유지할 수 있는 유지 수단과, 상기 본체부에 있어서의 상기 외부 공간에 면하거나 또는 접하는 위치에 배치되어 있고, 상기 외부 공간측으로부터 파지할 수 있는 한개 또는 복수개의 손잡이를 구비한다.
본 발명의 운반 장치에 의하면, 상기 운반 장치는 예컨대 FOUP 등의 짐을 수용함과 아울러, 상기 수용된 짐을 인력에 의해 운반하기 위한 장치이다. 여기서 「짐」은 예컨대 운송 수단, OHT(Overhead Hoist Transport) 등의 반송차에 의해 공장 등 내에 부설된 경로에 따라 반송된다. 이 경로상에는 예컨대 스토커, 제조 장치 등과의 사이에서 입출고하기 위한 포트가 설치되어 있다. 예컨대, 반송차에 의한 반송 중에 포트 등의 고장에 의해 경로상에서 짐이 오도가도 못해 버린다.
이러한 경우에, 예컨대 반송 시스템의 관리자 등의 인력에 의해 한개 또는 복수개의 손잡이가 파지되고, 본체부가 외부 공간에 있는 짐의 상방 또는 측방으로 이동됨과 아울러, 짐을 덮도록 짐을 향해서 이동되고, 개구를 통해서 짐을 내부 공간에 수용한다. 여기서 「본체부」는 예컨대 면을 갖는 케이스체, 또는 면을 가지지 않고 골조만을 갖는 프레임 등을 의미한다. 이러한 본체부에 규정되는 「내부 공간」은 예컨대 짐을 푹 둘러싸는 것이 가능한 공간이며 본체부의 내측의 공간을 의미한다. 한편, 내부 공간에 대한 「외부 공간」은 예컨대 본체부보다 외측의 공 간을 의미한다. 또한 「개구」는 예컨대 내부 공간이 외부 공간에 대하여 개방되어 있고 내부 공간과 외부 공간의 경계가 되는 개구로서 내부 공간과 외부 공간 사이에서 짐을 상호 통과시킬 수 있는 사이즈를 갖는다. 계속해서, 짐이 내부 공간에 수용되면 예컨대 유지 수단이 짐을 유지하도록 구동되어 짐이 내부 공간에 의해 유지된다. 여기서 「유지 수단」은 예컨대 호이스트 기구 등의 유지 기구를 의미한다. 상기 유지 수단은 본체부에 있어서의 내부 공간에 대향하는 천장벽 또는 내벽 등에 배치되어 있다. 짐이 내부 공간에 의해 유지된 상태에서 인력에 의해 다시 한개 또는 복수개의 손잡이가 파지되고, 본체부 및 상기 본체부에 수용된 짐이 자유롭게 운반된다. 이것에 의해, 경로상에서 오도가도 못하고 있는 짐이 경로 밖으로 이동된다.
이 후에, 인력에 의해 짐이 수용된 본체부가 예컨대 공장 등 내에 설치된 소정의 선반 상으로 이동된다. 그러면, 유지 수단이 짐을 해방하도록 구동되어 짐 및 본체부가 분리된다.
이상과 같이, 짐에 손잡이를 직접적으로 부착하지 않고 손잡이가 부착된 상기 운반 장치를 이용해서 관리자 등이 자유롭게 왕래할 수 있는 장소로 짐이 이동된다. 따라서, 짐을 소형화하면서, 경로상으로부터 떼어내서 운반하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 운반 장치의 일실시형태에서는, 상기 개구는 적어도 하방으로 개방되어 있고, 상기 본체부는 상기 짐이 상기 개구를 통해서 상기 하방으로부터 수용되도록 구성되어 있다.
이 실시형태에 의하면 개구는 내부 공간의 하방에 개방되어 있다. 예컨대, 경로상에서 짐이 오도가도 못해 버렸을 경우에 인력에 의해 본체부가 외부 공간에 있는 짐의 상방으로 이동됨과 아울러, 짐을 덮도록 짐을 향해서 하방으로 이동된다. 이것에 의해, 짐이 개구를 통해서 내부 공간의 하방으로부터 내부 공간에 수용된다.
이 실시형태에서는, 상기 유지 수단은 상기 짐을 지지하는 지지 위치 및 상기 짐을 해방하는 해방 위치 사이에서 변위하는 지지부와, 상기 지지부를 변위시킬 때에 조작되는 조작부와, 상기 조작부 및 상기 지지부 사이에 배치되고 상기 조작부의 조작에 따라 상기 지지부가 변위되도록 상기 조작부 및 상기 지지부를 연결하는 연결부를 구비해도 좋다.
이렇게 구성하면, 유지 수단에 의해 짐이 유지될 때에 본체부가 짐을 덮은 상태에서 인력에 의해 조작부가 조작된다. 그러면, 연결부를 통해서 지지부가 지지 위치로 변위된다. 한편, 유지 수단에 의해 짐이 해방될 때에 인력에 의해 조작부가 조작되면 연결부를 통해서 지지부가 해방 위치로 변위된다. 여기서 「연결부」는 예컨대 일련의 복수개의 기어를 포함하고 있고 구동된 조작부의 동력을 지지부에 전달하는 기구를 의미한다. 구체적으로는, 예컨대 일련의 복수개의 기어 중 일단의 기어의 톱니가 조작부의 구동축에 맞물려져 있고, 타단의 기어의 톱니가 지지부의 구동축에 맞물려져 있어도 된다. 이렇게 해서 유지 수단을 구성함으로써 인력으로도 용이하게 해서 짐 및 본체부를 고정 또는 분리시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 지지부는 본체부 내부(바꿔 말하면, 내부 공간)에 의해 유지 가능하게, 예컨대 본체부 내부의 천장벽 또는 측벽에 배치되어 있어도 된다. 또한, 조작부는 인력에 의해 본체부 외부측(바꿔 말하면, 외부 공간측)으로부터 조작 가능하게, 예컨대 본체부의 상면 또는 측면에 배치되어 있어도 좋다.
이 실시형태에서는, 상기 지지부는 상기 짐의 상면에 부착된 볼록 형상의 걸림부, 또는 상기 짐의 상부에 형성된 오목 형상의 걸림부를 지지해도 좋다.
이렇게 구성하면, 유지 수단에 의해 짐이 유지될 때에 지지부에 의해 짐에 있어서의 볼록 형상의 걸림부, 또는 오목 형상의 걸림부(상세하게는, 예컨대 플랜지부분)가 직접적으로 지지된다. 여기서 「볼록 형상의 걸림부」는 예컨대 FOUP에 있어서의 외측 플랜지를 의미한다. 구체적으로는, 상기 볼록 형상의 걸림부는 예컨대 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP 본체의 상면에 부착된 T자형의 돌기로서, 지지부에 의해 양측 단부를 하면측으로부터 지지되어도 좋다. 「오목 형상의 걸림부」는 예컨대 FOUP에 있어서의 내측 플랜지를 의미한다. 구체적으로는, 상기 오목 형상의 걸림부는 예컨대 FOUP 본체의 상부에 형성된 역 T자형의 개구로서, 지지부가 양측부에 위치함으로써 지지되어도 좋다. 이러한 여러가지 형체의 걸림부에 대해서 지지부를 적용하는 것이 가능하다. 특히, 오목 형상의 걸림부에 적용되는 지지부를 포함하는 상기 운반 장치에 대해서 볼록 형상의 걸림부의 경우보다 걸림부를 지지하는 지지 위치가 내려진 만큼 소형화하는 것이 가능하다.
본 발명의 운반 장치의 다른 실시형태에서는 상기 개구는 적어도 측방으로 개방되어 있고, 상기 본체부는 상기 짐이 상기 개구를 통해서 상기 측방으로부터 수용되도록 구성되어 있다.
이 실시형태에 의하면 개구는 내부 공간의 측방에 개방되어 있다. 예컨대, 경로상에서 짐이 오도가도 못해 버렸을 경우에 인력에 의해 본체부가 외부 공간에 있는 짐의 측방으로 이동됨과 아울러, 짐을 덮도록 짐을 향해서 수평 방향으로 이동된다. 이 때에 짐이 유지 수단에 인도되고, 개구를 통해서 내부 공간의 측방으로부터 내부 공간에 수용되면, 짐이 내부 공간에 의해 유지되어 있다. 여기서 「유지 수단」은 예컨대 짐을 현가할 수 있는 현가 기구를 의미한다. 구체적으로는, 예컨대 현가 기구에 있어서의 현가부(바꿔 말하면, 지지부)는 짐에 있어서의 예컨대 외측 플랜지 또는 내측 플랜지 등의 걸림부에 맞물림 가능하게, 예컨대 본체부 내부의 천장벽 또는 측벽에 배치되거나 또는 본체부의 상면에 일체로 형성되어도 좋다. 짐이 내부 공간에 의해 유지된 상태에서 인력에 의해 계속해서 한개 또는 복수개의 손잡이가 파지되고, 본체부 및 상기 본체부에 수용된 짐이 자유롭게 운반된다. 이것에 의해, 경로상에서 오도가도 못하고 있는 짐이 경로 밖으로 이동된다.
이상과 같이, 개구가 내부 공간의 하방에 개방되어 있는 경우와 마찬가지로 해서 짐에 손잡이를 직접적으로 부착하지 않고 손잡이 부착된 상기 운반 장치를 이용해서 관리자 등이 자유롭게 왕래할 수 있는 장소로 짐이 이동된다. 따라서, 개구가 내부 공간의 측방에 개방되어 있는 경우도 마찬가지로 해서 짐을 소형화하면서, 경로상으로부터 떼어내서 운반하는 것이 가능하게 된다.
이 실시형태에서는, 상기 유지 수단은 상기 짐의 상면에 부착된 볼록 형상의 걸림부, 또는 상기 짐의 상부에 형성된 오목 형상의 걸림부를 지지하는 지지부를 가져도 좋다.
이렇게 구성하면, 유지 수단에 의해 짐이 유지될 때에 지지부에 의해 짐에 있어서의 볼록 형상의 걸림부, 또는 오목 형상의 걸림부(상세하게는 예컨대 플랜지부분)가 직접적으로 지지된다. 여기서 「지지부」는 예컨대 본체부 내부의 천장벽에 고정된 1쌍의 평면 부재의 선단 부분을 각각 내측 또는 외측으로 굴곡시킨 부재를 의미한다. 구체적으로는 예컨대 굴곡된 선단 부분에 의해 예컨대 상술한 외측 플랜지 또는 내측 플랜지가 지지되어도 좋다. 이러한 지지부는 여러가지 형체의 걸림부에 적용하는 것이 가능하다. 특히, 개구가 내부 공간의 측방에 개방되어 있을 경우에 적용되는 현가 기구 등의 유지 수단은 인력에 의한 조작의 수고가 생략되므로 사용의 편리함이 좋고, 상술한 조작부 및 연결부 등의 복잡한 기구를 구비하는 유지 수단과 비교해서 저비용으로 구성하는 것이 가능하다.
이 실시형태에서는, 상기 한개 또는 복수개의 손잡이는 상기 본체부에 있어서 상기 측방보다 다른 복수개의 측방에 대응하는 복수개의 측면 각각에 부착되어 있어도 좋다.
이 실시형태에 의하면, 한개 또는 복수개의 손잡이는 예컨대 본체부가 복수개의 면을 가질 경우에 개구에 각각 서로 이웃하는 2개의 측면에 부착되어 있다. 이 경우에, 예컨대 2명의 관리자 등에 의해 2개의 측면의 한개 또는 복수개의 손잡이가 각각 파지되어 본체부(바꿔 말하면, 본체부 내부의 짐)가 운반되어도 좋다. 또한, 한개 또는 복수개의 손잡이는 예컨대 상술한 2개의 측면에 추가해서, 개구에 대향하는 1개의 측면에 부착되어 있을 경우에 예컨대 3명의 관리자 등에 의해 3개의 측면의 한개 또는 복수개의 손잡이가 각각 파지되어 본체부가 운반되어도 좋다. 이와 같이, 손잡이는 예컨대 짐의 중량 등에 따라 복수개, 복수면에 부착하는 것도 가능하다. 따라서, 상기 운반 장치를 보다 사용의 편리함이 좋게 구성하는 것이 가능하다.
이 실시형태에서는, 상기 한개 또는 복수개의 손잡이는 상기 복수개의 측면에 추가해서 상기 본체부의 상면에 부착되어 있어도 좋다.
이렇게 구성하면, 예컨대 한사람의 관리자 등에 의해 본체부의 상면의 한개 또는 복수개의 손잡이가 파지되어 본체부가 운반되어도 좋다. 이것에 의해, 예컨대 관리자 등의 인력이 적을 경우 등에 한사람으로도 용이하게 본체부를 이동시키는 것이 가능하다. 따라서, 상기 운반 장치를 더욱 사용의 편리함이 좋게 구성하는 것이 가능하다. 본 발명의 작용 및 다른 이득은 이어서 설명하는 실시하기 위한 최량의 형태로부터 명확하게 된다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
<제 1 실시형태>
우선, 제 1 실시형태에 따른 운반 장치의 구성에 대해서 도 1~도 3을 참조해서 설명한다. 여기서 도 1은 제 1 실시형태에 따른 운반 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이고, 도 2는 제 1 실시형태의 유지 수단을 상면측으로부터 바라본 상면도이며, 도 3은 특히 도 2의 연결부를 상면측으로부터 바라본 상면도이다. 또한, 도 1 (a), 도 2(a) 및 도 3(a)는 제 1 실시형태에 따른 지지부에 있어서의 지지 위치를 나타내고, 도 1(b), 도 2(b) 및 도 3(b)는 상기 지지부의 해방 위치를 나타낸 다.
도 1에 있어서 본 실시형태의 운반 장치(10)는 본체부(10a), 유지부(20), 및 손잡이(11)를 구비한다. 운반 장치(10)는 본체부(10a) 내부에 FOUP(3)를 수용함과 아울러, 수용된 FOUP(3)를 이동시키기 위한 장치이다. FOUP(3)는 본 발명에 따른 「짐」의 일례로서, 본 실시형태에서는 상면에 T자형의 플랜지(4)(즉, 본 발명에 따른 「볼록 형상의 걸림부」의 일례)를 구비한다.
본체부(10a)는 FOUP(3)가 수용되는 내부 공간의 앞면(즉, 도 1에 있어서의 정면) 및 하면이 개방되어 있다.
유지부(20)는 본 발명에 따른 「유지 수단」의 일례로서, FOUP(3)를 유지할 수 있게 구성되어 있다. 유지부(20)는 본체부(10a) 상면에 맞붙여져 있다. 유지부(20)는 조작 파지부(21), 연결부(22), 및 지지부(24)를 구비한다.
조작 파지부(21)는 본 발명에 따른 「조작부」의 일례로서, 본체부(10a) 상면에 회전 가능하게 설치되어 있다. 조작 파지부(21)는 반송 시스템의 관리자에 의해 축(C1)을 중심으로 해서 회전 조작된다. 조작 파지부(21)의 회전축의 선단부에는 회전 부재(21a)가 고정되어 있다.
도 2에 있어서 연결부(22)는 조작 파지부(21) 및 지지부(24)를 연결하고 있고, 조작 파지부(21)의 회전 조작에 의해 연동되어 지지부(24)를 변위시킨다. 연결부(22)는 접속부(22a), 슬라이드 가이드(22b), 및 이동부(22c)를 구비한다.
도 3에 있어서 접속부(22a)는 1쌍의 힌지 부재이다. 1쌍의 힌지 부재 각각에 있어서 한쪽의 지점이 회전 부재(21a)에 접합되어 있고, 다른쪽의 지점이 이동 부(22c)에 접합되어 있다. 접속부(22a)의 작용에 대해서, 구체적으로는, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 힌지 부재가 평행한 상태에 있고, 조작 파지부(21)의 우회전의 회전 조작에 의해 회전 부재(21a)가 우회전으로 회전되었을 경우에, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 힌지 부재가 동일선상에 정렬된 상태가 된다. 한편, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 힌지 부재가 동일선상에 정렬된 상태에 있고, 조작 파지부(21)의 좌회전의 회전 조작에 의해 회전 부재(21a)가 좌회전으로 회전되었을 경우에, 도 3(a)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 힌지 부재가 평행한 상태가 된다. 이 작용에 의해 접속부(22a)는 이동부(22c)를 수평 일방향으로 이동시킨다.
슬라이드 가이드(22b)는 본체부(10a) 내부에 고정되어 있다. 이동부(22c)는 1쌍의 평면 부재로서, 조작 파지부(21)의 회전 조작에 따라 슬라이드 가이드(22b)를 따라 이동하도록 구성되어 있다. 이동부(22c)의 이동에 대해서, 구체적으로는, 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 평면 부재가 매우 근접한 상태에 있고, 회전 부재(21a)가 우회전으로 회전되었을 경우에, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 평면 부재가 좌우로 떨어진 상태가 된다. 한편, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 평면 부재가 좌우로 떨어진 상태에 있고, 회전 부재(21a)가 좌회전으로 회전되었을 경우에, 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 평면 부재가 매우 근접한 상태가 된다. 1쌍의 평면 부재 각각의 하면에는 지지부(24)가 고정되어 있다.
지지부(24)는 좌우 대칭으로 형성된 1쌍의 지지 부재이다. 1쌍의 지지 부재 각각에 있어서 선단부가 내측으로 굴곡되어 있다. 1쌍의 지지 부재는 조작 파지 부(21)의 회전 조작에 따라 지지 위치 및 해방 위치 사이에서 변위된다. 1쌍의 지지 부재의 변위에 대해서, 구체적으로는, 도 1 (a) 및 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 지지 부재가 플랜지(4)의 양단부의 하면측에 위치하고, FOUP(3)를 지지한 상태(즉, 지지 위치)에 있고, 회전 부재(21a)가 우회전으로 회전되었을 경우에, 도 1(b) 및 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 지지 부재가 플랜지(4)의 양단부의 측방에 위치하고, FOUP(3)를 해방한 상태(즉, 해방 위치)가 된다. 한편, 도 1(b) 및 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 지지 부재가 플랜지(4)의 양단부의 측방에 위치하고, FOUP(3)를 해방한 상태에 있고, 회전 부재(21a)가 좌회전으로 회전되었을 경우에, 도 1 (a) 및 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 지지 부재가 플랜지(4)의 양단부의 하면측에 위치하고, FOUP(3)를 지지한 상태가 된다.
손잡이(11)는 본체부(10a)에 있어서의 2개의 측면(즉, 도 1에 있어서의 좌우의 측면)에 본체부(10a)의 외부 공간으로부터 파지할 수 있게 각각 부착되어 있다. 손잡이(11)는 통상 본체부(10a)[바꿔 말하면, 유지부(20)에 유지되어 있는 FOUP(3)]가 이동될 때에 반송 시스템의 관리자에 의해 파지된다.
이어서, 본 실시형태의 운반 장치(10)를 사용해서 도면에 나타내지 않은 경로상에서 오도가도 못하고 있는 FOUP(3)를 경로 밖으로 이동시키는 동작에 대해서 도 1 및 도 2를 참조해서 설명한다.
반송 시스템에 있어서 경로상에서 오도가도 못하고 있는 FOUP(3)가 검출되었을 경우에 우선 적어도 한사람의 관리자에 의해 FOUP(3)를 수용하지 않은 운반 장치(10)의 손잡이(11)가 파지되어 본체부(10a)가 오도가도 못하고 있는 FOUP(3)의 상방까지 이동된다. 계속해서, 본체부(10a) 내부에 FOUP(3)를 수용하도록 본체부(10a)가 하방으로 이동된다. 이 때에 지지부(24)가 해방 위치로 변위되어 있다.
계속해서, 한사람의 관리자에 의해 조작 파지부(21)가 우회전으로 회전 조작됨에 따라 지지부(24)가 지지 위치로 변위된다. 이 변위에 의해 FOUP(3)의 플랜지(4)가 본체부(10a)에 고정된다. 계속해서, 적어도 한사람의 관리자에 의해 손잡이(11)가 파지되어 FOUP(3)를 유지한 본체부(10a)가 경로 밖으로 이동된다.
또한, 경로 밖으로 이동된 본체부(10a)로부터 FOUP(3)가 인출될 때에 조작 파지부(21)가 좌회전으로 회전 조작됨에 따라 지지부(24)가 해방 위치로 변위된다. 이 변위에 의해 본체부(10a)로부터 플랜지(4)가 해방되어 운반 장치(10)로부터 FOUP(3)가 인출된다.
이와 같이, 제 1 실시형태의 동작에 의하면, FOUP(3)에 손잡이(11)를 직접적으로 부착하지 않고 손잡이(11)가 부착된 운반 장치(10)를 이용해서 적어도 한사람의 관리자가 자유롭게 왕래할 수 있는 장소로 FOUP(3)가 이동된다. 따라서, FOUP(3)를 소형화하면서, 경로상으로부터 떼어내서 운반하는 것이 가능하게 된다.
또한, 제 1 실시형태의 동작에서는 플랜지(4)를 상면에 갖는 FOUP(3)를 이동시키지만, 유지부(20)의 구성을 일부 변경함으로써 다른 형체의 FOUP를 이동시키는 것도 가능하다.
<제 2 실시형태>
이어서, 제 2 실시형태에 따른 운반 장치의 구성에 대해서 도 4를 참조해서 설명한다. 여기서 도 4는 제 2 실시형태에 따른 운반 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이다. 또한, 도 4(a)는 제 2 실시형태에 따른 지지부의 지지 위치를 나타내고, 도 4(b)는 상기 지지부의 해방 위치를 나타낸다. 또한, 제 2 실시형태에서는 제 1 실시형태의 운반 장치(10)와 대략 마찬가지로 구성되는 부위에 대해서 제 1 실시형태의 운반 장치(10)의 경우와 동일한 부호를 붙임과 아울러 그 설명을 생략한다.
도 4에 있어서 본 실시형태는 도 1의 FOUP(3)와 비교해서 FOUP(103)의 형태가 다르다. 이것에 대응해서 본 실시형태의 운반 장치(110)는 도 1의 운반 장치(10)와 비교해서 유지부(120)의 형태가 다르다.
FOUP(103)는 도 1의 플랜지(4) 대신에 FOUP(3) 본체의 상부에 역 T자형의 걸림부(104)(즉, 본 발명에 따른 「오목 형상의 걸림부」의 일례)를 갖는다.
유지부(120)는 도 1의 유지부(20)와 마찬가지로 해서 본체부(110a) 상면에 맞붙여져 있고, 조작 파지부(21), 연결부(122), 및 지지부(124)를 구비한다. 연결부(122)에 대해서 도 1의 연결부(22)와 비교해서 그 형상만이 다르다.
지지부(124)는 도 1의 지지부(24)와 비교해서 그 형상이 다르다. 지지부(124)는 1쌍의 지지 부재이며, 1쌍의 지지 부재 각각에 있어서 선단부가 외측으로 굴곡되어 있다. 1쌍의 지지 부재의 변위에 대해서, 구체적으로는, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 지지 부재가 좌우로 떨어져서 걸림부(104)의 양단부에 위치하고, FOUP(103)를 지지한 상태에 있으며, 조작 파지부(21)가 우회전으로 회전되었을 경우에, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 지지 부재가 근접되어 걸림부(104)의 중앙부에 위치하고, FOUP(3)를 해방한 상태(즉, 해방 위치)가 된다. 한 편, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 지지 부재가 걸림부(104)의 중앙부에 위치하고, FOUP(3)를 해방한 상태에 있으며, 조작 파지부(21)가 좌회전으로 회전되었을 경우에, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 1쌍의 지지 부재가 걸림부(104)의 양단부에 위치하고, FOUP(3)를 지지한 상태가 된다.
이어서, 본 실시형태의 운반 장치(110)를 사용해서 경로상에서 오도가도 못하고 있는 FOUP(103)를 경로 밖으로 이동시키는 동작에 대해서 도 4를 참조해서 설명한다.
반송 시스템에 있어서 경로상에서 오도가도 못하고 있는 FOUP(103)가 검출되었을 경우에 제 1 실시형태에 있어서의 동작과 마찬가지로 해서 우선 적어도 한사람의 관리자에 의해 운반 장치(110)의 손잡이(11)가 파지되어 내부에 FOUP(103)를 수용하도록 본체부(110a)가 이동된다. 그러면, 한사람의 관리자에 의해 조작 파지부(21)가 우회전으로 회전 조작됨에 따라 FOUP(103)의 걸림부(104)가 본체부(110a)에 고정된다. 계속해서, 적어도 한사람의 관리자에 의해 손잡이(11)가 파지되어 FOUP(103)를 유지한 본체부(110a)가 경로 밖으로 이동된다.
또한, 경로 밖으로 이동된 본체부(110a)로부터 FOUP(103)가 인출될 때에 조작 파지부(21)가 좌회전으로 회전 조작됨에 따라 본체부(110a)로부터 걸림부(104)가 해방되어 운반 장치(110)로부터 FOUP(103)가 인출된다.
이와 같이, 제 2 실시형태의 동작에 의해서도, FOUP(103)에 손잡이(11)를 직접적으로 부착하지 않고 손잡이(11)가 부착된 운반 장치(110)를 이용해서 적어도 한사람의 관리자가 자유롭게 왕래할 수 있는 장소로 FOUP(103)가 이동된다. 따라 서, FOUP(103)를 소형화하면서, 경로상으로부터 떼어내서 운반하는 것이 가능하게 된다. 또한, 오목형의 플랜지 대신에 오목형의 걸림부(104)를 갖는 FOUP(3)에서는 보다 소형화하는 것이 가능하게 된다.
또한, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에서는, 지지 위치 및 해방 위치 사이를 수평 일방향으로 변위하는 지지부(24,124)를 구비하는 유지부(20,120)를 적용했지만, 본 발명은 이러한 유지 수단에 한정되지 않는다.
도 5 및 도 6은 상술한 도 1 및 도 4의 유지부(20,120)보다 다른 예로서, 본 발명에 따른 유지 수단의 일례를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 5에 있어서 유지부(220)는 조작 롤러(221), 연결부(222), 및 지지부(224)를 구비한다. 조작 롤러(221)는 회전 부재이며 본체부(210a) 상면에 회전 가능하게 설치되어 있다. 조작 롤러(221)는 관리자에 의해 좌우로 외주면을 덧그리도록 회전 조작된다. 조작 롤러(221)의 회전 톱니에는 연결부(222)가 맞물려져 있다. 연결부(222)는 일련의 3개의 기어로 이루어져 있고, 조작 롤러(221)의 회전 조작에 의해 회전되어 지지부(224)를 변위시킨다. 지지부(224)는 좌우 대칭으로 형성된 1쌍의 지지 부재이며 조작 롤러(221)의 조작에 따라 지지 위치 및 해방 위치 사이를 호를 그리도록 변위된다.
도 6에 있어서 유지부(320)는 조작 손잡이(321), 연결부(322), 및 지지부(324)를 구비한다. 조작 손잡이(321)는 본체부(310a)에 있어서 개방되어 있는 일측면의 상부에 회전 가능하게 설치되어 있다. 조작 손잡이(321)는 관리자에 의해 화살표 방향으로 회전 조작된다. 조작 손잡이(321)의 도시하지 않은 회전축의 선단 부에는 회전 부재(321a)가 고정되어 있다. 회전 부재(321a)의 회전 톱니에는 연결부(322)가 맞물려져 있다. 연결부(322)는 일련의 3개의 기어로 이루어져 있고, 조작 손잡이(321)의 회전 조작에 의해 회전되어 지지부(324)를 변위시킨다. 지지부(324)는 도 5의 지지부(224)와 마찬가지로 해서 좌우 대칭으로 형성된 1쌍의 지지 부재이며, 조작 손잡이(321)의 조작에 따라 지지 위치 및 해방 위치 사이를 호를 그리도록 변위된다.
이와 같이, 상술한 유지부(220,320)는 조작 롤러(221) 또는 조작 손잡이(321)의 회전 조작에 의해 일련의 복수개의 기어로 이루어지는 연결부(222,322)를 통해서 지지부(224,324)를 연동시킨다.
또한, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태에서는 플랜지(4) 또는 걸림부(104)를 단지 지지하는 지지부(24,124)를 적용했지만, 본 발명은 이러한 지지부에 한정되지 않는다.
도 7은 도 6의 지지부(324)보다 다른 예로서, 본 발명에 따른 지지부의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 7에 있어서 지지부(424)는 1쌍의 지지 부재이다. 1쌍의 지지 부재 각각은 FOUP(3)의 플랜지(4)를 하면측으로부터 지지하는 지지면(424a) 이외에 상기 지지면(424a)에 각각 서로 이웃하는 2개의 측면(424b)을 구비한다. 이들 2개의 측면(424b)은 지지해야 할 플랜지(4)가 소정의 위치에서 유지되도록 기능함과 아울러, 관리자에 의해 본체부가 운반될 때에 내부에 유지된 플랜지(4)가 본체부 내로부터 미끄러져 떨어지지 않도록 기능한다. 즉, 2개의 측면(424b)에 의해 플랜지(4)가 확실하게 고정되므로, FOUP(3)를 안정되게 운반하는 것이 가능하게 된다.
또한, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태, 및 도 5 및 도 6에서는 회전 조작되는 조작 손잡이(21,321) 또는 조작 롤러(221)를 적용했지만, 본 발명은 이러한 조작부에 한정되지 않는다.
도 8은 도 6의 조작 손잡이(321)보다 다른 예로서, 본 발명에 따른 조작부의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 8에 있어서 조작 레버(521)는 도 6의 조작 손잡이(321)를 대신하는 조작의 수단이며, 관리자에 의해 화살표 방향으로 회전 조작된다. 조작 레버(521)의 지점에는 회전 부재(321a)가 고정되어 있다.
<제 3 실시형태>
이어서, 제 3 실시형태에 따른 운반 장치의 구성에 대해서 도 9를 참조해서 설명한다. 여기서 도 9는 제 3 실시형태에 따른 운반 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 제 3 실시형태에서는 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태의 운반 장치(10,110)와 대략 마찬가지로 구성되는 부위에 대해서 그들 운반 장치(10,110)의 경우와 동일한 부호를 붙임과 아울러 그 설명을 생략한다.
도 9에 있어서 본 실시형태는 도 1 및 도 4의 운반 장치(10,110)와 비교해서 유지부(620)의 형태가 다르다. 본 실시형태에서는 본체부(610a)에 있어서 적어도 정면[즉, 도 9에 있어서의 FOUP(3)에 대향하는 면]이 개방되어 있다. 본 실시형태에서는, 적용되는 FOUP(3)는 제 1 실시형태와 동일한 것이며, 상면에 플랜지(4)를 구비한다.
유지부(620)는 본체부(610a) 내부의 천장벽에 부착되어 있고, 지지부(624), 및 스토퍼(630)를 구비한다. 지지부(624)는 도 1의 지지부(24)와 마찬가지로 해서 선단부가 내측으로 굴곡된 1쌍의 지지 부재이지만, 도 1의 지지부(24)와 달리 변위하는 일이 없고 본체부(610a)와 일체로 구성되어 있다. 1쌍의 지지 부재는 플랜지(4)의 양단부에 대응하는 간격을 서로 유지하고, FOUP(3) 본체와 플랜지(4)의 양단부 사이에 수평 방향으로 끼워넣을 수 있는 두께를 갖는다. 또한, 1쌍의 지지 부재는 FOUP(3)가 유지될 때에 본체부(610a) 내부에 의해 FOUP(3)를 소정의 유지 위치로 인도되도록 적어도 플랜지(4)에 대응하는 깊이를 갖는다. 1쌍의 지지 부재에 있어서 본체부(610a)의 정면[즉, 도 9에 있어서의 FOUP(3)에 대향하는 면]측에는 스토퍼(630)가 각각 부착되어 있다. 스토퍼(630)는 관리자에 의해 본체부(610a)를 운반할 때에 소정의 유지 위치에 유지된 FOUP(3)가 상기 정면측으로 낙하되는 것을 방지하도록 기능한다. 또한, 본 실시형태에서는, 1쌍의 지지 부재의 두께는 플랜지(4)의 양단부가 스토퍼(630)의 상방을 서로 통과할 수 있게 설정되어 있다.
이어서, 본 실시형태의 운반 장치(610)를 사용해서 FOUP(3)를 이동시키는 동작에 대해서 설명한다.
우선 적어도 한사람의 관리자에 의해 운반 장치(610)의 손잡이(11)가 파지되어 본체부(610a)가 FOUP(3)의 측방까지 이동된다. 이 때에 본체부(610a)의 정면[즉, 도 9에 있어서의 FOUP(3)에 대향하는 면]이 FOUP(3)에 대향하고 있다. 계속해서, 본체부(610a) 내부에 FOUP(3)를 수용하도록 본체부(610a)가 FOUP(3)를 향해서 수평 방향으로 이동된다. 이 때에 1쌍의 지지 부재[즉, 지지부(624)]가 플랜지(4)의 양단부의 하방으로 끼워넣는 높이이고 또한 FOUP(3)의 앞면[즉, 도 9에 있어서 의 본체부(610a)에 대향하는 면]이 본체부(610a) 내부의 벽면에 접촉할 때까지 본체부(610a)가 이동된다. 이 수평 이동에 의해 FOUP(3)의 후면이 스토퍼(630)보다 내측에 올 때까지 수평 이동되면, FOUP(3)가 본체부(610a) 내부에 의해 소정의 유지 위치에 유지된다. 계속해서, 적어도 한사람의 관리자에 의해 손잡이(11)가 파지되어 FOUP(3)를 유지한 본체부(610a)가 이동된다.
또한, 이동된 본체부(610a)로부터 FOUP(3)가 인출될 때에 FOUP(3)가 접지된 상태에서 본체부(610a)가 FOUP(3)로부터 떨어지도록 수평 방향으로 이동된다. 이 때에 1쌍의 지지 부재가 FOUP(3) 본체 및 플랜지(4)의 양단부 사이를 서로 통과하는 높이에서 본체부(610a)가 이동된다. 이 수평 이동에 의해 FOUP(3)의 앞면이 스토퍼(630)보다 외측에 올 때까지 수평 이동되면, 본체부(610a)로부터 플랜지(4)가 해방되어 운반 장치(610)로부터 FOUP(3)가 인출된다.
이와 같이, 제 3 실시형태의 동작에 의하면, 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태와 마찬가지로 해서 FOUP(3)에 손잡이(11)를 직접적으로 부착하지 않고 손잡이(11)가 부착된 운반 장치(610)를 이용해서 적어도 한사람의 관리자가 자유롭게 왕래할 수 있는 장소로 FOUP(3)가 이동된다. 따라서, FOUP(3)를 소형화하면서, 경로상으로부터 떼어내서 운반하는 것도 가능하게 된다. 특히, 유지부(620)는 지지부(624)를 변위시키는 조작의 수고가 생략되므로 사용의 편리함이 좋고, 복잡한 기구를 구비할 필요가 없으므로 저비용으로 구성하는 것이 가능하다.
또한, 제 3 실시형태의 동작에서는 유지부(620)를 본체부 내에 배치했지만, 본 발명은 이러한 유지 수단에 한정되지 않는다.
도 10은 상술한 도 9의 유지부(620)보다 다른 예로서, 본 발명에 따른 유지 수단의 일례를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 10에 있어서 적용되는 FOUP(3)는 제 1 실시형태 및 제 3 실시형태와 동일한 것이며, 상면에 플랜지(4)를 구비한다. 본체부(710a)에 있어서 상면의 중앙부가 개방되어 있다. 개방되어 있는 부분에 대해서 폭이 FOUP(3) 본체에 플랜지(4)를 접속하고 있는 접속부(4a)의 폭방향[즉, 플랜지(4)의 양단부를 통과하는 방향]의 길이에 약간의 여유를 더한 길이를 갖고, 깊이가 적어도 플랜지(4)의 깊이(즉, 상기 폭방향에 직교하는 방향)의 길이를 갖는다.
유지부(720)는 본체부(710a)의 상면에 일체로 형성되어 있고, 지지부(724), 및 스토퍼(730)를 구비한다. 지지부(724)는 상기 상면의 개방되어 있는 부분을 따라 상기 상면보다 한층 낮게 형성된 걸림부이다. 걸림부는 FOUP(3) 본체와 플랜지(4)의 양단부 사이에 수평 방향으로 끼워넣어질 수 있는 두께를 갖는다. 또한, 걸림부는 FOUP(3)가 유지될 때에 본체부(710a) 내부에서 FOUP(3)를 소정의 유지 위치에 인도하도록 적어도 플랜지(4)에 대응하는 깊이를 갖는다. 걸림부에 있어서 본체부(710a)의 정면[즉, 도 10에 있어서의 FOUP(3)에 대향하는 면]측에는 제 3 실시형태와 마찬가지로 해서 스토퍼(730)가 부착되어 있다.
이와 같이, 상술한 유지부(720)는 도 9의 유지부(620)와 마찬가지로 해서 지지부(724)를 변위시키는 조작의 수고가 생략되므로 사용의 편리함이 좋고, 복잡한 기구(즉, 상술한 조작 손잡이 또는 조작 롤러, 및 연결부 등)를 구비할 필요가 없으므로 저비용으로 구성하는 것이 가능하다.
또한, 제 3 실시형태의 유지부(620) 및 상술한 유지부(720)는 플랜지(4)를 갖는 FOUP(3)를 유지하지만, 역 T자형의 걸림부(104)를 갖는 유지부(103)를 유지하도록 구성되어도 좋다.
또한, 상술한 모든 실시형태에서는 손잡이(11)를 서로 대향하는 2개의 측면에 각각 부착하고 있지만, 본 발명은 이러한 설치에 한정되지 않는다.
도 11은 도 9의 손잡이(11)의 설치 방법보다 다른 예로서, 본 발명에 따른 손잡이의 설치 방법의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 11에 있어서 본체부(810a)의 정면에 서로 이웃하는 2개의 측면에는 제 1 손잡이(811a), 및 제 2 손잡이(811b)가 각각 부착되어 있다. 제 1 손잡이(811a)는 비교적 짧게 구성되어 있고, 그 길이방향이 수직방향이 되도록 부착되어 있다. 제 2 손잡이(811b)는 비교적 길게 구성되어 있고, 그 길이방향이 수평 방향이 되도록 부착되어 있다.
도 12는 도 9의 손잡이(11)의 설치 방법보다 다른 예로서, 본 발명에 따른 손잡이의 설치 방법의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 12에 있어서 본체부(910a)의 정면에 서로 이웃하는 2개의 측면 및 본체부(910a)의 배면에는 제 3 손잡이(911a)가 2개씩 부착되어 있다. 또한, 본체부(910a)의 상면에는 제 4 손잡이(911b)가 2개 부착되어 있다. 제 4 손잡이(911b)는 비교적 짧게 구성되어 있고, 그 길이방향이 수평 방향이 되도록 부착되어 있다.
이와 같이, 손잡이가 일측면에 대해서 2개 이상 상이한 방향으로도 부착할 수 있으므로, 유지해야 할 FOUP의 중량에 따라 운반 인원을 조정하는 것이 가능하다. 특히 FOUP(3)의 대중량화가 진행되어도 대응 가능하게 되므로 실용상 매우 유 리하게 된다. 또한, 손잡이가 상면에 부착되어 있을 경우에 한사람으로도 용이하게 운반하는 것도 가능하다.
본 발명은 상술한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 청구범위 및 명세서 전체로부터 기재된 발명의 요지 또는 사상에 반하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능하고, 그러한 변경을 따르는 운반 장치도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.
도 1은 제 1 실시형태에 따른 운반 장치를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 유지 수단을 나타내는 상면도이다.
도 3은 도 2의 연결부를 나타내는 상면도이다.
도 4는 제 2 실시형태에 따른 운반 장치를 나타내는 정면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 유지 수단의 일례를 나타내는 정면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 유지 수단의 일례를 나타내는 정면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 지지부의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 지지부의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 9는 제 3 실시형태에 따른 운반 장치를 나타내는 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 유지 수단의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 11은 본 발명에 따른 손잡이의 설치 방법의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 12는 본 발명에 따른 손잡이의 설치 방법의 일례를 나타내는 사시도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
3 … 짐 10 … 운반 장치
11 … 손잡이 20 … 파지부

Claims (8)

  1. 내부 공간을 규정함과 아울러 상기 내부 공간이 외부 공간으로 개방되어 있는 개구를 규정하고, 상기 개구를 통해서 상기 외부 공간으로부터 상기 내부 공간에 짐을 수용할 수 있는 본체부;
    상기 본체부에 있어서의 상기 내부 공간에 면하거나 또는 접하는 위치에 배치되어 있고, 상기 수용된 짐을 상기 내부 공간 내에 유지할 수 있는 유지 수단; 및
    상기 본체부에 있어서의 상기 외부 공간에 면하거나 또는 접하는 위치에 배치되어 있고, 상기 외부 공간측으로부터 파지할 수 있는 한개 또는 복수개의 손잡이를 구비하는 것을 특징으로 하는 운반 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 개구는 적어도 하방으로 개방되어 있고;
    상기 본체부는 상기 짐이 상기 개구를 통해서 상기 하방으로부터 수용되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 운반 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 유지 수단은
    상기 짐을 지지하는 지지 위치, 및 상기 짐을 해방하는 해방 위치 사이에서 변위하는 지지부;
    상기 지지부를 변위시킬 때에 조작되는 조작부; 및
    상기 조작부 및 상기 지지부 사이에 배치되고, 상기 조작부의 조작에 따라 상기 지지부가 변위하도록 상기 조작부 및 상기 지지부를 연결하는 연결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 운반 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 지지부는 상기 짐의 상면에 부착된 볼록 형상의 걸림부, 또는 상기 짐의 상부에 형성된 오목 형상의 걸림부를 지지하는 것을 특징으로 하는 운반 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 개구는 적어도 측방으로 개방되어 있고,
    상기 본체부는 상기 짐이 상기 개구를 통해서 상기 측방으로부터 수용되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 운반 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 유지 수단은 상기 짐의 상면에 부착된 볼록 형상의 걸림부, 또는 상기 짐의 상부에 형성된 오목 형상의 걸림부를 지지하는 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 운반 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 한개 또는 복수개의 손잡이는 상기 본체부에 있어서 상기 측방보다 다른 복수개의 측방에 대응하는 복수개의 측면 각각에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 운반 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 한개 또는 복수개의 손잡이는 상기 복수개의 측면에 추가해서 상기 본체부의 상면에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 운반 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150050619A (ko) * 2013-10-29 2015-05-11 삼성전자주식회사 카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법
KR20180028973A (ko) * 2016-09-09 2018-03-19 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 장치

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI569351B (zh) * 2015-04-30 2017-02-01 環球晶圓股份有限公司 晶圓旋轉裝置
JP6607175B2 (ja) 2016-12-07 2019-11-20 株式会社ダイフク 移載機
TWI693671B (zh) * 2019-04-16 2020-05-11 家登精密工業股份有限公司 光罩盒及其夾持件

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3258091A (en) * 1963-11-22 1966-06-28 E Z Bag Inc Automatic bottom-loading bowling bag
US3756450A (en) * 1972-04-07 1973-09-04 R Crose Hood for pressurized container
US3795420A (en) * 1973-03-07 1974-03-05 Atomic Energy Commission Lift coupling
FR2486480A1 (fr) * 1980-07-11 1982-01-15 Commins Eric Jean Caisson porte-bouteille de gaz
US5845809A (en) * 1997-06-27 1998-12-08 Garrett; James Kelly Protective cover for a compressed gas bottle
US6338702B1 (en) * 1999-07-01 2002-01-15 Duke M. Jordan Exercise support bar
JP2001343621A (ja) * 2000-05-31 2001-12-14 Sharp Corp 液晶表示装置の搬送方法および搬送システム
MY135391A (en) * 2001-08-27 2008-04-30 Entegris Inc Modular carrier for semiconductor wafer disks and similar inventory
JP2003229477A (ja) * 2002-02-04 2003-08-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 標準製造インターフェイス装置
US6926489B2 (en) * 2002-05-09 2005-08-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Latch sensor for pod transport gripper
JP2005194009A (ja) * 2004-01-05 2005-07-21 Asyst Shinko Inc 懸垂型搬送台車
JP4999414B2 (ja) * 2006-09-27 2012-08-15 信越ポリマー株式会社 基板の取り扱い装置及び基板の取り扱い方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150050619A (ko) * 2013-10-29 2015-05-11 삼성전자주식회사 카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법
US9640417B2 (en) 2013-10-29 2017-05-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Cassette transfer apparatus and cassette transferring method using the same
KR20180028973A (ko) * 2016-09-09 2018-03-19 가부시키가이샤 다이후쿠 물품 반송 장치

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