JP2009115456A - ハンドラ、テストトレイおよびメモリ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の被試験デバイスを収容するテストトレイと、テストトレイを収容するチャンバと、チャンバの内部において複数の被試験デバイスを目標温度まで一括して加熱する全体ヒータと、テストトレイに設けられ、複数の被試験デバイスを個別に加熱する個別ヒータとを備える。個別温度制御部は、個別ヒータを個別に動作または停止させて、目標温度からずれた被試験デバイスの温度を目標温度まで個別に上昇させる。個別温度制御部は、被試験デバイスに対して試験が開始される前に個別ヒータを動作させて被試験デバイスの各々を目標温度まで加熱させ、試験が開始されると個別ヒータを停止させてもよい。
【選択図】図5
Description
Claims (22)
- 複数の被試験デバイスを収容するテストトレイと、
前記テストトレイを収容するチャンバと、
前記チャンバの内部において前記複数の被試験デバイスを目標温度まで一括して加熱する全体ヒータと、
前記テストトレイに設けられ、前記複数の被試験デバイスを個別に加熱する個別ヒータと、
を備えるハンドラ。 - 前記個別ヒータを個別に動作または停止させて、前記目標温度からずれた被試験デバイスの温度を前記目標温度まで個別に上昇させる個別温度制御部を備える請求項1に記載のハンドラ。
- 前記個別温度制御部は、前記被試験デバイスに対して試験が開始される前に前記個別ヒータを動作させて前記被試験デバイスの各々を前記目標温度まで加熱させ、前記試験が開始されると前記個別ヒータを停止させる請求項2に記載のハンドラ。
- 前記個別温度制御部は、前記全体ヒータにより既に加熱された前記被試験デバイスを、前記個別ヒータに加熱させる請求項2に記載のハンドラ。
- 前記複数の被試験デバイスの各々の温度に個別に対応した温度信号を出力する温度センサを更に備える請求項2に記載のハンドラ。
- 前記温度センサは、前記被試験デバイスの内部に配される請求項5に記載のハンドラ。
- 前記温度センサは、前記複数の被試験デバイスについて互いに同じ線路長を有するアナログ信号経路を介して前記温度信号を出力する請求項5に記載のハンドラ。
- 前記個別温度制御部は、前記温度信号を参照して前記個別ヒータを動作または停止させる請求項5に記載のハンドラ。
- 前記個別ヒータは、前記温度センサおよび前記個別温度制御部の少なくとも一方と共通のパッケージに収容される請求項5に記載のハンドラ。
- 前記個別ヒータは、前記被試験デバイスに対する試験を実行する場合に当該被試験デバイスに接近する部材を介して外部から動作電力を供給される請求項1に記載のハンドラ。
- 前記個別ヒータは、専ら前記個別ヒータに電力を供給する独立したヒータ電源を備える請求項1に記載のハンドラ。
- 前記全体ヒータは、前記チャンバの内部の雰囲気を加熱媒体として循環させる請求項1に記載のハンドラ。
- 複数の被試験デバイスのうち目標温度からずれた被試験デバイスの温度を前記目標温度まで個別に上昇させる個別ヒータを備え、前記複数の被試験デバイスを収容するテストトレイ。
- 収容した前記複数の被試験デバイスの各々の温度に個別に対応した温度信号を出力する温度センサを更に備える請求項13に記載のテストトレイ。
- 前記温度センサは、前記被試験デバイスに含まれる請求項14に記載のテストトレイ。
- 前記温度センサは、前記複数の被試験デバイスについて互いに同じ線路長を有するアナログ信号経路を介して前記温度信号を出力する請求項14に記載のテストトレイ。
- 前記温度信号を参照して、前記個別ヒータを動作または停止させる個別温度制御部を更に備える請求項14に記載のテストトレイ。
- 前記個別ヒータは、前記温度センサおよび前記個別温度制御部の少なくとも一方と共通のパッケージに収容される請求項17に記載のテストトレイ。
- 目標温度からずれた場合に前記目標温度まで加熱する個別ヒータを個々に備えるメモリ装置。
- 前記個別ヒータを、前記メモリ装置の外部から動作または停止させる制御端子を備える請求項19に記載のメモリ装置。
- 温度に対応した温度信号を出力する温度センサを更に備える請求項19に記載のメモリ装置。
- 前記温度センサの出力信号を前記メモリ装置の外部へ出力する出力端子を備える請求項21に記載のメモリ装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP2009115456A (ja) |
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