JPH02312266A - 半導体集積装置 - Google Patents
半導体集積装置Info
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- JPH02312266A JPH02312266A JP13428189A JP13428189A JPH02312266A JP H02312266 A JPH02312266 A JP H02312266A JP 13428189 A JP13428189 A JP 13428189A JP 13428189 A JP13428189 A JP 13428189A JP H02312266 A JPH02312266 A JP H02312266A
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- JP
- Japan
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- semiconductor integrated
- integrated device
- ambient temperature
- temperature
- resistive polysilicon
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims abstract description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体集積装置に関する。
[従来の技術J
従来、この種の半導体集積装置は、周囲温度を一定に保
つ機能を有していない、あるいは、非常に特殊ではある
が、半導体集積装置が設置されている環境の温度を制御
する大がかりな環境温度制御装置により周囲温度を一定
に保っていた。
つ機能を有していない、あるいは、非常に特殊ではある
が、半導体集積装置が設置されている環境の温度を制御
する大がかりな環境温度制御装置により周囲温度を一定
に保っていた。
上述した従来の半導体集積装置は、周囲温度を一定に保
つ環境温度制御装置がないため、半導体集積回路の特性
が不安定であり、回路設計が非常に困難となるという欠
点がある。また、環境温度制御装置を使用した場合、装
置全体が大きくなり、取り扱いメンテナンスも難しくな
り、コスト高を招くという欠点があった。
つ環境温度制御装置がないため、半導体集積回路の特性
が不安定であり、回路設計が非常に困難となるという欠
点がある。また、環境温度制御装置を使用した場合、装
置全体が大きくなり、取り扱いメンテナンスも難しくな
り、コスト高を招くという欠点があった。
本発明の目的は前記課題を解決した半導体集積装置を提
供することにある。
供することにある。
〔課題を解決するための手段]
前記目的を達成するため、本発明の半導体集積装置は高
抵抗のポリシリコン又は高抵抗の金属配線を半導体集積
装置の表面全体に均一に配置し、前記高抵抗のポリシリ
コン又は高抵抗の金属配線に流れる電流を制御する端子
又は回路を有するものである。
抵抗のポリシリコン又は高抵抗の金属配線を半導体集積
装置の表面全体に均一に配置し、前記高抵抗のポリシリ
コン又は高抵抗の金属配線に流れる電流を制御する端子
又は回路を有するものである。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
第1図において、1は半導体集積装置であり、2及び3
は制御用端子である。4は高抵抗ポリシリコンであり、
半導体集積装置lの表面に均一に配線されており、制御
用端子2,3に接続されている。
は制御用端子である。4は高抵抗ポリシリコンであり、
半導体集積装置lの表面に均一に配線されており、制御
用端子2,3に接続されている。
実施例において、半導体集積装置1の周囲温度が0〜8
0℃まで変化すると仮定する。周囲温度が80℃のとき
、半導体集積装置1は自己の発熱によりある特定の温度
TA(例えばTA・110℃)に上昇する。
0℃まで変化すると仮定する。周囲温度が80℃のとき
、半導体集積装置1は自己の発熱によりある特定の温度
TA(例えばTA・110℃)に上昇する。
このとき、高抵抗ポリシリコン4へは電流は流れていな
い。
い。
次に周囲温度が0℃になったとき、制御用端子2.3よ
り高抵抗ポリシリコン4へ電流を流し、高抵抗ポリシリ
コン4を発熱させ高抵抗ポリシリコン4を発熱させない
ときの温度上昇以上に温度を上昇させ周囲温度が80℃
のときの半導体集積装置lの温度T^へ温度を上げる。
り高抵抗ポリシリコン4へ電流を流し、高抵抗ポリシリ
コン4を発熱させ高抵抗ポリシリコン4を発熱させない
ときの温度上昇以上に温度を上昇させ周囲温度が80℃
のときの半導体集積装置lの温度T^へ温度を上げる。
したがって、制御用端子2,3より高抵抗ポリシリコン
4へ流れる電流を周囲温度変化に伴って変えることによ
り半導体集積装置l自体の温度を一定に保つことができ
る。
4へ流れる電流を周囲温度変化に伴って変えることによ
り半導体集積装置l自体の温度を一定に保つことができ
る。
尚、実施例では高抵抗ポリシリコン4を用いたが、高抵
抗の金属配線を用いてもよい。また、高抵抗ポリシリコ
ン4に流れる電流を制御用端子2゜3にて制御するよう
にしたが、回路構成により制御するようにしてもよい。
抗の金属配線を用いてもよい。また、高抵抗ポリシリコ
ン4に流れる電流を制御用端子2゜3にて制御するよう
にしたが、回路構成により制御するようにしてもよい。
以上説明したように本発明は半導体集積装置全体に均一
に発熱体を設け、半導体集積装置の温度を一定に保つこ
とにより、半導体集積回路の特性を安定させ、高い信頼
性を持たせることができる。
に発熱体を設け、半導体集積装置の温度を一定に保つこ
とにより、半導体集積回路の特性を安定させ、高い信頼
性を持たせることができる。
また、外部に特殊な環境温度制御装置が不要になるため
、小型化でしかも安価であり、取り扱い保守も簡単な装
置を提供できるという効果がある。
、小型化でしかも安価であり、取り扱い保守も簡単な装
置を提供できるという効果がある。
第1図は本発明の半導体集積装置を示す斜視図である。
l・・・半導体集積装置 2,3・・・制御用端子4
・・・高抵抗ポリシリコン
・・・高抵抗ポリシリコン
Claims (1)
- (1)高抵抗のポリシリコン又は高抵抗の金属配線を半
導体集積装置の表面全体に均一に配置し、前記高抵抗の
ポリシリコン又は高抵抗の金属配線に流れる電流を制御
する端子又は回路を有することを特徴とする半導体集積
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13428189A JPH02312266A (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 | 半導体集積装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13428189A JPH02312266A (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 | 半導体集積装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02312266A true JPH02312266A (ja) | 1990-12-27 |
Family
ID=15124617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13428189A Pending JPH02312266A (ja) | 1989-05-26 | 1989-05-26 | 半導体集積装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02312266A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009115456A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-28 | Advantest Corp | ハンドラ、テストトレイおよびメモリ装置 |
-
1989
- 1989-05-26 JP JP13428189A patent/JPH02312266A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009115456A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-28 | Advantest Corp | ハンドラ、テストトレイおよびメモリ装置 |
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