JP2008053690A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転カップ4をウエハWと一体的に回転させるように構成するとともに回転カップ4の外側を囲繞するように環状の排液カップ51を設け、さらにこの排液カップ51を収容するように同心状に排気カップ52を設け、排気カップ52に取り入れられた気体成分の気流がほぼ全周から排気口70に向けて流れるように気流を調整する気流調整機構99a,97を設けて、ウエハWに処理液を供給しながら液処理を行う液処理装置を構成する。
【選択図】 図4
Description
また、導入口(上側排気取り込み口)68から取り入れられた気体成分は、外側環状空間99aのみならず、排液カップ51の処理液収容部56にも多少流れる。このため、排気カップ52は、ウエハ保持部2の下側からもガス成分を取り込んで排気するようになっている。具体的には、排液カップ51の内側壁54aと排気カップ52の内側壁65との間には環状をなす内側環状空間99bが形成されている。内側壁65の上端部と回転プレート11の底部との間の環状の隙間69aと、排液カップ51の仕切り壁55の上端部と回転プレート11の底部との間の環状の隙間69bとが、内側環状空間99bに気体成分を導入するための下側排気取り込み口となる。さらに、排液カップ51の内周側には固定部72と排気カップ52との間でスペーサ76によって全周に亘って均一に隙間77が形成されており、排気流に対して所定の通気抵抗を与えるように設定される。
このような構成もまた、排気カップ52に取り入れられた気体成分の気流を調整し、排気口70から均一に排気するための気流調整機構として機能する。これにより、排気流が処理液収容部56から内側環状空間99b及び隙間77を通って全周に亘って均一に環状のバッファ空間78に導かれることとなり、排気口70から比較的均一に排気を行うことができるようになる。
2;ウエハ保持部
3;回転モータ
4;回転カップ
5;表面処理液供給ノズル
6;裏面処理液供給ノズル
7;排気・排液部
8;ケーシング
9;気流導入部
11;回転プレート
12;回転軸
13;昇降部材
14;保持部材
22;ノズル保持部材
22a;ノズルアーム
31;庇部
32;外側壁部
33;隙間
35;案内部材
51;排液カップ
52;排気カップ
53;垂直壁
54;下側部
54a;内側壁
77;隙間
79;円筒部
97;気流調整部材
98;通気孔
99a;外側環状空間
99b;内側環状空間
100;液処理装置
W;ウエハ
Claims (10)
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能であり、基板から振り切られた処理液を受ける回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
基板に処理液を供給する処理液供給機構と、
前記回転カップの外側を囲繞するように設けられ、前記回転カップから排出された処理液を受けて排液する環状の排液カップと、
前記排液カップを収容するようにかつ前記排液カップと同心状に設けられ、前記回転カップおよびその周囲からの主に気体成分を取り入れる環状の排気カップと、
前記排気カップに取り入れられた前記気体成分を排出するように前記排気カップに接続された排気口と、
前記排気カップと前記排気口との間に介在し、前記気体成分の気流が前記排気カップ内で実質的に全周から前記排気口に向けて流れるように気流を調整する気流調整機構と
を具備することを特徴とする液処理装置。 - 前記気流調整機構は、前記排気カップ内で前記排液カップと同心状に設けられかつ前記排気口に接続された環状のバッファ空間を具備することを特徴とする請求項1に記載の液処理装置。
- 前記排気口は、前記バッファ空間の真下の少なくとも1箇所に配置されることを特徴とする請求項2に記載の液処理装置。
- 前記バッファ空間は、前記排液カップの底部をくりぬいて形成されることを特徴とする請求項2に記載の液処理装置。
- 前記気流調整機構は、前記排液カップと前記排気カップとの間に配設され、前記基板保持部の上側に位置する前記排気カップの上側排気取り込み口と前記バッファ空間とを実質的に全周に亘って連通させる環状の外側通気抵抗部を具備し、前記外側通気抵抗部は前記上側排気取り込み口からの排気流に対して所定の通気抵抗を与えるように設定されることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記外側通気抵抗部に対応して前記排液カップと前記排気カップとの間に環状の部材が配設され、前記外側通気抵抗部は、前記環状の部材に全周に亘って均一に形成された複数の通気孔からなることを特徴とする請求項5に記載の液処理装置。
- 前記排液カップの外側壁と前記排気カップの外側壁の間に環状の外側環状空間が形成され、前記上側排気取り込み口と前記外側通気抵抗部とを接続することを特徴とする請求項5に記載の液処理装置。
- 前記気流調整機構は、前記排液カップと前記排気カップとの間に配設され、前記基板保持部の下側に位置する前記排気カップの下側排気取り込み口と前記バッファ空間とを実質的に全周に亘って連通させる環状の内側通気抵抗部を具備し、前記内側通気抵抗部は前記下側排気取り込み口からの排気流に対して所定の通気抵抗を与えるように設定されることを特徴とする請求項2から請求項7のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記内側通気抵抗部に対応して前記排液カップと前記排気カップとの間に複数のスペーサが配設され、前記内側通気抵抗部は、前記スペーサ間で全周に亘って均一に形成された複数の開口からなることを特徴とする請求項8に記載の液処理装置。
- 前記排液カップの内側壁と前記排気カップの内側壁の間に環状の内側環状空間が形成され、前記下側排気取り込み口と前記内側通気抵抗部とを接続することを特徴とする請求項8または請求項9に記載の液処理装置。
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