JP5156114B2 - 液処理装置 - Google Patents
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Description
図7は、本発明の第2の実施形態に係る液処理装置の要部を拡大して示す断面図である。本実施形態では、案内部材、回転カップおよび排気・排液部の構造が第1の実施形態と異なっている。以下、これらの異なっている部分を主に説明するが、以下に説明する部分以外の他の部分は、第1の実施形態と同様に構成されている。
また、したがって、第1の実施形態と同様、排液カップ41′を小さくすることができ、その周囲を囲繞するように排気カップ42′を設けても装置を小型なものにすることができ、装置のフットプリントを小さくすることができる。また、このように排液カップ41′を囲繞するように排気カップ42′を設けることにより、第1の実施形態と同様、おおもと部分で排液・排気分離を行うことができ、しかも排液カップ41′からの排液と排気カップ42′からの排気とを独立に行うことができるので、下流側に排気・排液を分離するための機構を設ける必要がなく、かつ処理液のミストが排液カップ41′から漏出しても排気カップ42′でトラップすることができ、装置外へ処理液のミストが飛散して悪影響を与えることを防止することができる。
2;回転モータ
3,3′;回転カップ
4;表面処理液供給ノズル
5;裏面処理液供給ノズル
6;排気・排液部
8;ケーシング
9;FFU
11;回転プレート
12;回転軸
13;保持部材
31;垂直壁部材
32,51;庇部材
33,34;排出孔
35,35′;案内部材
41,41′;排液カップ
42,42′;排気カップ
42b;導入口
43;排液口
44;排液管
45;排気口
46;排気管
57;開口部
100;液処理装置
W;ウエハ
Claims (6)
- 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
基板に処理液を供給する液供給機構と、
前記回転カップの排気および排液を行う排気・排液部と
を具備し、
前記排気・排液部は、主に基板から振り切られた処理液を取り入れて排液する環状をなす排液カップと、前記排液カップの外側に前記排液カップを囲繞するように設けられ、前記回転カップおよびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップとを有し、
前記回転カップは環状の庇部材を含み、
前記排液カップは、前記庇部材の下側で前記回転カップに形成された排出孔を通して基板から振り切られた処理液を取り入れて排液口から排液し、
前記排気カップは、前記庇部材の上側で前記排気カップに形成された導入口を通して前記回転カップの周囲からの気体成分を取り入れて排気口から排気し、
前記排液カップからの排液と前記排気カップからの排気がそれぞれ独立して行われることを特徴とする液処理装置。 - 基板を水平に保持し、基板とともに回転可能な基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板を囲繞し、基板とともに回転可能な回転カップと、
前記回転カップおよび前記基板保持部を一体的に回転させる回転機構と、
基板の表面に処理液を供給する表面液供給機構と、
基板の裏面に処理液を供給する裏面液供給機構と、
前記回転カップの排気および排液を行う排気・排液部と
を具備し、
前記排気・排液部は、主に基板から振り切られた処理液を取り入れて排液する環状をなす排液カップと、前記排液カップの外側に前記排液カップを囲繞するように設けられ、前記回転カップおよびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップとを有し、
前記回転カップは環状の庇部材を含み、
前記排液カップは、前記庇部材の下側で前記回転カップに形成された排出孔を通して基板から振り切られた処理液を取り入れて排液口から排液し、
前記排気カップは、前記庇部材の上側で前記排気カップに形成された導入口を通して前記回転カップの周囲からの気体成分を取り入れて排気口から排気し、
前記排液カップからの排液と前記排気カップからの排気がそれぞれ独立して行われることを特徴とする液処理装置。 - 前記基板保持部上の基板の外側に、前記基板保持部および前記回転カップとともに回転するように設けられ、基板から振り切られた処理液を基板の外方へ導く案内部材をさらに具備することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液処理装置。
- 前記回転カップは、基板から振り切られた処理液を水平方向に排出する処理液排出部を有しており、前記排液カップは、前記回転カップの外側を囲繞するように設けられ、水平方向に排出された排液を受け止めることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記回転カップは、基板から振り切られた処理液を取り入れて下方へ案内する案内壁と、取り入れた処理液を下方へ排出する開口部とを有しており、前記排液カップは、前記開口部を囲繞するように設けられ、下方に排出された排液を受け止めることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記排気カップは、壁部に周囲の雰囲気を取り込む取り込み口を有していることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の液処理装置。
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