JP2007019461A - ウェーハの加工方法及びウェーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のデバイスが形成されたデバイス領域とデバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウェーハWを加工するにあたり、ウェーハWの裏面Wbのうちデバイス領域に相当する領域に凹部W3を形成し、凹部W3の外周側に外周余剰領域を含むリング状補強部W4を残存させる。リング状補強部W4によってデバイス領域の外周側が補強されているため、その後のウェーハの取り扱いが容易となる。
【選択図】図3
Description
垂直方向の軸心を有する回転軸22と、回転軸22の下端に装着されたホイール23と、ホイール23の下面に固着された砥石部24とから構成される。砥石部24は、その回転軌道の最外周の直径がデバイス領域W1の半径より大きくデバイス領域W1の直径より小さくなるように、かつ、回転軌道の最内周の直径がデバイス領域W1の半径より小さくなるように形成されている。
Wa:表面
S:ストリート D:デバイス W1:デバイス領域 W2:外周余剰領域
Wb:裏面
W3:凹部
W4:リング状補強部
T、T1:ダイシングテープ F:フレーム
1:保護部材
2:研削装置
20:チャックテーブル 21:研削部 22:回転軸 23:ホイール
24:砥石部
3:減圧成膜装置
31:チャンバー 32:保持部 33:励磁部材 34:スパッタ源
35:高周波電源 36:導入口 37:減圧口
4:切削装置
40:チャックテーブル
400:駆動源 401:移動基台
41:切削手段
410:ハウジング 411:スピンドル 412:切削ブレード
413:支持部
42:切削送り手段
420:ボールネジ 421:パルスモータ 422:ガイドレール
43:アライメント手段
430:赤外線カメラ
44:切り込み送り手段
440:壁部 441:ボールネジ 442:パルスモータ
443:ガイドレール
45:割り出し送り手段
450:ボールネジ 451:移動基台 452:パルスモータ
453:ガイドレール
50:保持テーブル 51:プローブ
6:金属膜
7:凸部
Claims (8)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウェーハを加工するウェーハの加工方法であって、
該ウェーハの裏面のうち該デバイス領域に相当する領域に凹部を形成し、該凹部の外周側に該外周余剰領域を含むリング状補強部を形成するウェーハの加工方法。 - 前記ウェーハの表面側を研削装置のチャックテーブルに保持し、該ウェーハの裏面のうち前記デバイス領域に相当する領域を研削して前記凹部を形成する裏面研削工程によって、前記外周余剰領域を含むリング状補強部が形成される請求項1に記載のウェーハの加工方法。
- 前記研削装置は、回転軸と該回転軸に装着され砥石部が固着されたホイールとを備えた研削部を含み、該砥石部の回転軌道の最外周の直径は前記デバイス領域の半径より大きく該デバイス領域の直径より小さく、該砥石部の回転軌道の最内周の直径は該デバイス領域の半径より小さく、前記裏面研削工程では、前記チャックテーブルを回転させながら、該砥石部を該ウェーハの裏面の回転中心に常時接触させると共に前記外周余剰領域の裏面に接触させない
請求項2に記載のウェーハの加工方法。 - 前記リング状補強部が形成されたウェーハの裏面に膜を形成する膜形成工程と、
前記デバイス領域に形成されたデバイスのプローブテストを行うテスト工程と
が遂行される請求項1、2または3に記載のウェーハの加工方法。 - 前記リング状補強部が形成されたウェーハの表面をダイシングテープに貼着してダイシングフレームで支持し、該ウェーハの裏面側からダイシングして個々のデバイスに分割する分割工程が遂行される
請求項1、2、3または4に記載のウェーハの加工方法。 - 前記凹部に収容されて該凹部と前記リング状補強部との段差を吸収する凸部を有するダイシングテープに前記リング状補強部が形成されたウェーハの裏面を貼着してダイシングフレームで支持し、該ウェーハの表面側からダイシングして個々のデバイスに分割する分割工程が遂行される
請求項1、2、3または4に記載のウェーハの加工方法。 - 前記分割工程の前に、リング状補強部の内周に沿ってウェーハを切断して前記リング状補強部を前記デバイス領域から分離させるリング状補強部分離工程が遂行される
請求項5または6に記載のウェーハの加工方法。 - 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウェーハであって、
該ウェーハの裏面のうち該デバイス領域に相当する領域に凹部が形成され、該凹部の外周側に該外周余剰領域を含むリング状補強部が形成されているウェーハ。
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