JP2010016146A - 加工装置のチャックテーブル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のデバイス15が形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該余剰領域を含む環状補強部26が形成されたウエーハ11を保持する加工装置のチャックテーブル40であって、装着用円形凹部48と該装着用円形凹部に連通する真空吸引路50が形成された基台46と、該基台の該装着用円形凹部中に配設され、該基台表面から突出してウエーハ裏面の該円形凹部に嵌合する円盤状ポーラス吸着部52とを備え、該円盤状ポーラス吸着部の前記基台の外周表面からの高さは該円形凹部の深さと同等であることを特徴とする。
【選択図】図7
Description
4 チャックテーブル
6 研削ユニット
10 研削ホイール
11 半導体ウエーハ
12 研削砥石
13 ストリート
15 デバイス
24 円形凹部
26 環状補強部
34 ダイシングテープ
36 環状フレーム
40,40A チャックテーブル
42 回転軸
46 基台
48 装着用円形凹部
52,54 ポーラス吸着部
56 円盤状基板
58 貫通孔
Claims (2)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該余剰領域を含む環状補強部が形成されたウエーハを保持する加工装置のチャックテーブルであって、
装着用円形凹部と該装着用円形凹部に連通する真空吸引路が形成された基台と、
該基台の該装着用円形凹部中に配設され、該基台表面から突出してウエーハ裏面の該円形凹部に嵌合する円盤状ポーラス吸着部とを備え、
該円盤状ポーラス吸着部の前記基台の外周表面からの高さは該円形凹部の深さと同等であることを特徴とする加工装置のチャックテーブル。 - 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該余剰領域を含む環状補強部が形成されたウエーハを保持する加工装置のチャックテーブルであって、
装着用円形凹部と該装着用円形凹部に連通する真空吸引路が形成された基台と、
該基台の該装着用円形凹部中に配設され、上面が該基台の外周表面と面一に形成されたポーラス吸着部と、
該ポーラス吸着部上に配設されてウエーハ裏面の該円形凹部に嵌合する円盤状基板とを備え、
該円盤状基盤は垂直方向に伸長する複数の貫通路を有しており、該円盤状基板の厚さは前記円形凹部の深さと同等であることを特徴とする加工装置のチャックテーブル。
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