JP2020511383A - 高アスペクト比のガラスウエハ - Google Patents
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Abstract
Description
N=c/v 式(1)
式中、nは所与の材料の屈折率であり、cは減圧における光の速度であり、vは指定された材料における光の位相速度である。本明細書で用いられる「屈折率」は、589nmの波長を有する光に基づいている。幾つかの実施形態では、ガラスウエハ100は、1.50以上1.90以下、例えば1.55以上1.90以下、1.60以上1.90以下、1.65以上1.90以下、1.70以上1.90以下、1.65以上1.80以下、1.65以上1.75以下、1.75以上1.90以下、1.80以上1.90以下、又は1.85以上1.90以下などの屈折率を有する。他の実施形態では、ガラスウエハ100は、1.45以上1.85以下、1.45以上1.80以下、1.45以上1.75以下、1.45以上1.70以下、1.45以上1.65以下、1.45以上1.60以下、1.45以上1.55以下、又は1.45以上1.50以下の屈折率を有する。さらに他の実施形態では、ガラスウエハは、1.50以上1.85以下、例えば、1.55以上1.80以下、1.60以上1.75以下、又は1.65以上1.70以下などの屈折率を有する。
第1の主面;
前記第1の主面に平行であり、かつその反対側にある第2の主面;及び
前記第1の主面と前記第2の主面との間の厚さ
を含む、ガラスウエハであって、
前記ガラスウエハの直径が175mm以上325mm以下であり、
前記厚さが0.350mm未満である、
ガラスウエハ。
第1の主面;
前記第1の主面に平行であり、かつその反対側にある第2の主面;
前記第1の主面と前記第2の主面との間の厚さ;及び、
前記ガラスウエハの最外径から前記ガラスウエハの幾何学中心に向かって延びる環状エッジ部分
を含む、ガラスウエハであって、
前記ガラスウエハの直径dが175mm以上325mm以下であり、
前記厚さが0.350mm未満であり、かつ
前記環状エッジ部分の幅が10mm未満である、
ガラスウエハ。
前記ガラスウエハの前記直径が200mm以上300mm以下である、実施形態1又は2に記載のガラスウエハ。
前記厚さが0.225mm以上0.325mm以下である、実施形態1〜3のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記環状エッジ部分の前記幅が5mm未満である、実施形態2〜4のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハのアスペクト比が475:1以上700:1以下である、実施形態2〜5のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウェハの周囲にわたる直径dの変動が±0.20mm以下である、実施形態1〜6のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが5μm未満の全厚さ変動(TTV)を有する、実施形態1〜7のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが±35μm以下の湾曲を有する、実施形態1〜8のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが45μm以下の反りを有する、実施形態1〜9のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが0.030arc秒未満の光学ウエッジを有する、実施形態1〜10のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが40/20以下のスクラッチ・ディグを有する、実施形態1〜11のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが反射防止コーティングをさらに含む、実施形態1〜12のいずれかに記載のガラスウエハ。
実施形態1〜13のいずれかに記載のガラスウエハを含む、光学的、電気的、又は機械的デバイス。
第1の主面;
前記第1の主面に平行であり、かつその反対側にある第2の主面;
前記第1の主面と前記第2の主面との間の厚さ;及び
前記ガラスウエハの最外径から前記ガラスウエハの幾何学中心に向かって延びる環状エッジ部分
を含む、ガラスウエハであって、
前記ガラスウエハの直径が200mm以上325mm以下であり、
前記厚さが0.225mm以上0.325mm以下であり、
前記環状エッジ部分の幅が5mm未満であり、
前記ガラスウエハの全厚さ変動(TTV)が1μm未満であり、
前記ガラスウエハの湾曲が±15μm以下であり、かつ
前記ガラスウエハの反りが30μm以下である、
ガラスウエハ。
前記ガラスウエハが1.45以上1.90以下の屈折率を有する、実施形態1〜15のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが2nm以下の表面粗さ(Ra)を有する、実施形態1〜16のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが40/20以下、好ましくは20/10以下のスクラッチ・ディグを有する、実施形態1〜17のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが0.030arc秒未満の光学ウエッジを有する、実施形態1〜18のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウェハの周囲にわたる直径dの変動が±0.20mm以下である、実施形態15〜19のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハが反射防止コーティングをさらに含む、実施形態15〜20のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウエハの全厚さ変動(TTV)が1μm未満であり、前記ガラスウエハの湾曲が±15μm以下であり、前記ガラスウエハの反りが30μm以下である、実施形態2〜14のいずれかに記載のガラスウエハ。
前記ガラスウェハの周囲にわたる直径dの変動が±0.20mm以下である、実施形態22に記載のガラスウエハ。
実施形態15〜23のいずれかに記載のガラスウエハ(100)を含む、光学的、電気的、又は機械的デバイス。
110 第1の主面
120 第2の主面
130 環状エッジ部分
131 第1の位置
132 第2の位置
140 側壁
300 コーティングされたガラスウエハ
310 反射防止コーティング
311,312,313 層
Claims (5)
- 第1の主面(110);
前記第1の主面(110)に平行であり、かつその反対側にある、第2の主面(120);
前記第1の主面(110)と前記第2の主面(120)との間の厚さ;及び
前記ガラスウエハ(100)の最外径から前記ガラスウエハ(100)の幾何学中心に向かって延びる環状エッジ部分(130)
を含む、ガラスウエハ(100)であって、
前記ガラスウエハ(100)の直径が175mm以上325mm以下であり、
前記厚さが0.350mm未満であり、かつ
前記環状エッジ部分(130)の幅が10mm未満である、
ガラスウエハ(100)。 - 第1の主面(110);
前記第1の主面(110)に平行であり、かつその反対側にある、第2の主面(120);
前記第1の主面(110)と前記第2の主面(120)との間の厚さ;及び
前記ガラスウエハ(100)の最外径から前記ガラスウエハ(100)の幾何学中心に向かって延びる環状エッジ部分(130)
を含む、ガラスウエハ(100)であって、
前記ガラスウエハ(100)の直径が200mm以上325mm以下であり、
前記厚さが0.225mm以上0.325mm以下であり、
前記環状エッジ部分(130)の幅が5mm未満であり、
前記ガラスウエハ(100)の全厚さ変動(TTV)が1μm未満であり、
前記ガラスウエハ(100)の湾曲が±15μm以下であり、かつ
前記ガラスウエハ(100)の反りが30μm以下である、
ガラスウエハ(100)。 - 前記ガラスウエハ(100)が2nm以下の表面粗さ(Ra)を有する、請求項1又は2に記載のガラスウエハ(100)。
- 前記ガラスウェハ(100)の周囲にわたる直径dの変動が±0.20mm以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のガラスウエハ(100)。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のガラスウエハ(100)を含む、光学的、電気的、又は機械的デバイス。
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