JP2010118588A - 保護テープの剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備え、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周に環状補強部が形成されている半導体ウエーハの表面に貼着された保護テープを剥離する保護テープの剥離方法であって、半導体ウエーハ外周の少なくとも2点を剥離起点として、該保護テープを半導体ウエーハの中心に向かって剥離することを特徴とする保護テープの剥離方法が提供される。
【選択図】図6
Description
4 チャックテーブル
6 研削ユニット
10 研削ホイール
11 半導体ウエーハ
12 研削砥石
23 保護テープ
24 円形凹部
26 環状補強部
34 環状フレーム
36 ダイシングテープ
Claims (3)
- 半導体ウエーハの表面に貼着された保護テープを剥離する保護テープの剥離方法であって、
半導体ウエーハ外周の少なくとも2点を剥離起点として、該保護テープを半導体ウエーハの中心に向かって剥離することを特徴とする保護テープの剥離方法。 - 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備え、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周に環状補強部が形成されている半導体ウエーハの表面に貼着された保護テープを剥離する保護テープの剥離方法であって、
半導体ウエーハ外周の少なくとも2点を剥離起点として、該保護テープを半導体ウエーハの中心に向かって剥離することを特徴とする保護テープの剥離方法。 - 前記剥離起点は半導体ウエーハ外周の対向する2点であり、
前記保護テープは該対向する2点を剥離起点として半導体ウエーハの中心に向かって剥離される請求項1又は2記載の保護テープの剥離方法。
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