JP2006105841A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 プローブテストにおいて、短チャネル効果などに発生するリーク電流以外の不良を容易に検出する。
【解決手段】 スクリーニングテスト前のスタンバイテストで、各テストポイントでの消費電流を測定し、それら消費電流値が第1の消費電流しきい値よりも大きい場合には、その半導体装置を不良とする。また、測定した消費電流値が判定基準範囲値内にあるかを判断し、範囲値外の半導体装置を不良とする。次に、スクリーニングテスト後のスタンバイテストでは、各テストポイントで測定した消費電流とスクリーニングテスト前に測定した消費電流との差分を算出し、それらが第2の消費電流しきい値よりも大きい半導体装置を不良品とする。続いて、スクリーニングテスト後に測定した消費電流値が第1の消費電流しきい値よりも小さいかを判断し、大きい消費電流値の半導体装置を不良品とする。
【選択図】 図2
【解決手段】 スクリーニングテスト前のスタンバイテストで、各テストポイントでの消費電流を測定し、それら消費電流値が第1の消費電流しきい値よりも大きい場合には、その半導体装置を不良とする。また、測定した消費電流値が判定基準範囲値内にあるかを判断し、範囲値外の半導体装置を不良とする。次に、スクリーニングテスト後のスタンバイテストでは、各テストポイントで測定した消費電流とスクリーニングテスト前に測定した消費電流との差分を算出し、それらが第2の消費電流しきい値よりも大きい半導体装置を不良品とする。続いて、スクリーニングテスト後に測定した消費電流値が第1の消費電流しきい値よりも小さいかを判断し、大きい消費電流値の半導体装置を不良品とする。
【選択図】 図2
Description
本発明は、半導体装置の製造技術に関し、特に、プローブテストにおける半導体装置の不良検出に適用して有効な技術に関するものである。
半導体装置の電気的特性を検査するプローブテストにおいて、ロジックテスト(機能テスト)で不良品と判別できない軽度な不具合を有した半導体装置を判別する有効なテスト技術として、いわゆるスタンバイテストが知られている。
このスタンバイテストは、たとえば、半導体装置の全機能が停止している状態(スタンバイモード)において、内部論理回路を様々な状態で固定した複数のテストポイントで半導体装置の消費電流を測定し、それら測定した電流値が、任意のしきい値よりも高いか低いかを判定(絶対値判定)することによって良品/不良品の判定を行っている。
なお、この種の半導体集積回路装置における静止時の電流テスト技術としては、半導体集積回路装置の2個以上の論理組合せ状態において、静止時の電源電流を測定し、この電源電流の最大値と電源電流の最小値とを半導体集積回路装置の電流測定装置で測定し、それら電源電流の最大値と最小値との差分を演算し、その差分が、メモリに予め記憶されている一定の値を越える場合に、該半導体集積回路装置をスクリーニング不良とするもの(特許文献1参照)、半導体集積回路装置を構成する複数素子の論理状態を順次変更設定しつつ、該複数素子を介した静止時電源電流を複数回測定し、それら測定された複数の電流値から最大値と最小値とを抽出し、その差分が所定の差分値を超えた際に半導体集積回路装置を不良と判定するもの(特許文献2参照)、および半導体集積回路に与えられる電源電流値を出力する電流値出力手段より出力される電流値を、任意の時点で保持し、現在の電流値と保持された電流値との電流値差と判定基準値とを比較し、その電源電流値の差をもって半導体集積回路装置の良否判定するもの(特許文献3参照)などがある。
特開2000−88914号公報
特開2001−21609号公報
特開2003−84048号公報
ところが、上記のような半導体装置におけるスタンバイテスト技術では、次のような問題点があることが本発明者により見い出された。
近年、半導体集積回路装置における半導体デバイスの微細化に伴い、MOSトランジスタの短チャネル効果によるリーク電流が増大する傾向にある。短チャネル効果によるリーク電流は、プロセスの製造ばらつきに大きく左右されために、この製造ばらつきを考慮して絶対判定を行う場合、判定基準となる電流値が大きくなってしまうことになる。
そのため、短チャネル効果によるリーク電流であるか不良によるリーク電流であるかを判定することが困難となり、半導体装置の不良品を判定することが困難となってしまうという問題がある。
本発明の目的は、プローブテストにおいて、短チャネル効果などに発生するリーク電流以外の不良を容易に検出することのできるテスト技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明による半導体装置の製造方法は、半導体装置に設けられた内部論理回路の全機能が停止しているスタンバイ状態で、該内部論理回路のノードにおける固定状態を変更するテストポイントを任意に変更しながら複数の消費電流値を測定する第1のテスト工程と、内部論理回路の全機能が停止しているスタンバイ状態で、該内部論理回路のノードにおける固定状態を任意に変更しながら複数の消費電流値を測定する第2のテスト工程と、第1のテスト工程で測定した各々の消費電流値と第2のテスト工程で測定した各々の消費電流値との差分を算出し、それら算出した消費電流値が、第1の判定範囲値外の場合に半導体装置を不良と判定する工程とを有したものである。
また、本発明による半導体装置の製造方法は、前記第1のテスト工程と前記第2のテスト工程との間に、少なくとも半導体装置を高温/高電圧で動作させる第3のテスト工程を有するものである。
さらに、本発明による半導体装置の製造方法は、前記第1のテスト工程が、該第1のテスト工程における各々のテストポイントで測定された消費電流値が、第2の判定範囲値外の場合に半導体装置を不良品と判定する工程を有し、前記第2のテスト工程が、該第2のテスト工程における各々のテストポイントで測定された消費電流値が、第2の判定範囲値外の場合に半導体装置を不良品と判定する工程を有するものである。
また、本発明による半導体装置の製造方法は、半導体装置のテストポイントが、少なくとも、内部論理回路によってすべてのノードが固定となる第1のテストポイント、半導体装置のレジスタに先頭アドレスから’0’と’1’とを交互に書き込む第2のテストポイント、半導体装置のレジスタに先頭アドレスから’1’と’0’とを交互に書き込む第3のテストポイント、半導体装置の外部ポートから、’1’と’0’とが交互に出力される第4のテストポイント、および半導体装置の外部ポートから、’0’と’1’とが交互に出力される第5のテストポイントを有するものである。
さらに、本発明による半導体装置の製造方法は、前記第1、および第2のテスト工程において、半導体装置の内部動作電源電圧を外部から供給するものである。
さらに、本発明による半導体装置の製造方法は、前記第1、および第2のテスト工程において、半導体装置のトランジスタのバックバイアス制御を行うものである。
また、本願のその他の発明の概要を簡単に示す。
本発明による半導体装置の製造方法は、半導体装置に設けられた内部論理回路の全機能が停止しているスタンバイ状態で、該内部論理回路のノードにおける固定状態を変更するテストポイントを任意に変更しながら複数の消費電流値を測定するテストをn回を行うテスト工程と、任意のテスト工程で測定した各々の消費電流値と任意のテスト工程の前工程、または後工程のいずれかで行われたテスト工程で測定した各々の消費電流値との差分を算出し、それら算出した消費電流値が、第1の判定範囲値外の場合に半導体装置を不良と判定する判定工程とを有したものである。
また、本発明による半導体装置の製造方法は、任意の前記テスト工程の間に、少なくとも半導体装置を高温/高電圧で動作させる第3のテスト工程を有するものである。
さらに、本発明による半導体装置の製造方法は、前記テスト工程が、該テスト工程における各々のテストポイントで測定された消費電流値が、第2の判定範囲値外の場合に半導体装置を不良品と判定する工程を有することを有するものである。
また、本発明による半導体装置の製造方法は、前記半導体装置のテストポイントが、少なくとも、内部論理回路によってすべてのノードが固定となる第1のテストポイント、半導体装置のレジスタに先頭アドレスから’0’と’1’とを交互に書き込む第2のテストポイント、半導体装置のレジスタに先頭アドレスから’1’と’0’とを交互に書き込む第3のテストポイント、半導体装置の外部ポートから、’1’と’0’とが交互に出力される第4のテストポイント、および半導体装置の外部ポートから、’0’と’1’とが交互に出力される第5のテストポイントを有するものである。
さらに、本発明による半導体装置の製造方法は、前記テスト工程において、半導体装置の内部動作電源電圧を外部から供給するものである。
また、本発明による半導体装置の製造方法は、前記n回のテスト工程において、半導体装置のトランジスタのバックバイアス制御を行うものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
(1)単チャネル効果などによるリーク電流との判別を高精度に行いながら、半導体装置の不良品を容易に検出することができる。
(2)上記(1)により、半導体装置の信頼性を大幅に向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
図1は、本発明の一実施の形態による半導体検査装置の構成を示す説明図、図2は、図1の半導体検査装置によるプローブテストの工程を示したフローチャート、図3は、図2のプローブテストに示すスタンバイテストの説明図、図4は、図1の半導体検査装置に検査される半導体装置における内部論理部の一例を示した説明図、図5は、スタンバイモードのテストポイントと半導体装置の内部論理回路のノードとの組み合わせのカバレジの一例を示した説明図、図6は、良品の半導体装置と不良品の半導体装置とのスタンバイテストにおける消費電流値の一例を示した説明図、図7は、半導体装置の不良により発生する消費電流の増減例を示す説明図、図8は、図2のロジックテスト終了後に実施されるスタンバイテストの一例を示すフローチャート、図9は、図2のスクリーニングテストの終了後に実施されるスタンバイテストの一例を示すフローチャート、図10は、図2のロジックテスト終了後に実施されるスタンバイテストの他の例を示すフローチャート、図11は、図2のスクリーニングテストの終了後に実施されるスタンバイテストの他の例を示すフローチャートである。
本実施の形態において、半導体検査装置1は、半導体ウエハにおける個々の半導体チップに形成された電極上にプローブ針を当てて各半導体チップの電気的試験を行う。半導体検査装置1は、図1の上方に示すように、テスタ2、制御装置3、およびテスタ端末4から構成されている。
テスタ2は、半導体ウエハに形成された個々の半導体チップの各電極とテスト回路とを接続し、半導体チップのテストを行う。制御装置3は、たとえば、ワークステーションやパーソナルコンピュータなどからなり、テストシステムにおけるすべての制御を司る。制御装置3には、内蔵メモリ3aが設けられており、該内蔵メモリ3aは、テストプログラム、テストパターン、変数などの様々なデータを格納する。
テスタ2は、図1の下方に示すように、プローブカード2a、ならびにテストヘッド2bなどから構成されている。プローブカード2aは、半導体ウエハWに形成された半導体チップの電極部の配置に合わせた導電性のプローブ針2a1 が複数本配列されたカードであり、各半導体チップの電極部とテスト回路とを電気的に接続する。
プローブカード2aには、テストヘッド2bが接続されている。このテストヘッド2bには、被測定デバイスである半導体チップに印加する直流電源などを生成する電源回路、タイミングジェネレータ出力、パターンジェネレータ出力部、およびデバイス出力を測定部に取り込むための入力部などから構成されており、半導体チップの評価などを行う。
図2は、半導体検査装置1によるプローブテストの工程を示したフローチャートである。
始めに、半導体ウエハ上に形成された個々の半導体チップにおけるロジックテストを行う(ステップS101)。そして、ロジックテストが終了すると、スタンバイテスト(第1のテスト工程)を行う(ステップS102)。続いて、スクリーニングテスト(第3のテスト工程)を行った後(ステップS103)、再び、スタンバイテスト(第2のテスト工程)を行う(ステップS104)。その後、DCテストを行い(ステップS105)、続いて、再度ロジックテストを行う(ステップS106)。
ロジックテストは、半導体装置に搭載されたすべての機能を確認するテストである。半導体装置の判定は、たとえば、半導体装置の機能が動作する際に出力される信号状態が理想値と差がなければ良品と判定される。
スタンバイテストは、半導体装置をスタンバイモード(全機能が停止した状態)に設定し、その消費電流を測定するテストである。スクリーニングテストは、半導体装置を高温、高電圧で動作させる。
DCテストは、ハードウェアマニュアルに記載したDC特性を保証し得るかを確認するテストであり、大きく分けて消費電流テストやリーク電流テストなどのスタンバイテスト以外のテストである。
次に、ステップS102,S104の処理におけるスタンバイテストの種類について説明する。
スタンバイテストの種類は、たとえば、図3に示すように、1種類のハードウェアスタンバイ、および10種類のソフトウェアスタンバイから構成されている。
ハードウェアスタンバイは、半導体装置の内部論理回路によってすべてのノードが固定となるテストポイント(テストポイントa)のモードであり、ソフトウェアスタンバイは、特定の命令を実行することによって、RAM、レジスタ、ポート以外のすべてのノードを固定するテストポイント(テストポイントb〜k)のモードである。
ソフトウェアスタンバイは、すべての内部レジスタが’55’をライトするテストポイント(テストポイントb)、すべての内部レジスタが’AA’をライトするテストポイント(テストポイントc)、すべての外部ポートが’55’を出力するテストポイント(テストポイントd)、すべての外部ポートが’AA’を出力するテストポイント(テストポイントe)、ならびに後述するカバレジ(図5)がほぼ収束するように追加した6つのテストポイント(テストポイントf〜k)からなる。
図4は、半導体装置における内部論理部の一例を示した図である。
半導体装置は、図示するように、外部ポートを介して入力される信号と内部のレジスタRにより、各論理回路LGのノードが決まることになる。つまり、外部入力信号の状態とレジスタRの状態との組み合わせ分だけ、ノードの種類が存在することになる。しかし、入力信号の状態とレジスタRの状態とのすべての組み合わせを再現することは、大量のテストパターンを必要とするために現実的ではない。そこで、テストパターンのカバレジから、ソフトウェアスタンバイにおけるテストポイント数を決定する。
図5は、ある半導体装置におけるスタンバイモードのテストポイントと該半導体装置の内部ノードとの組み合わせのカバレジを示した説明図である。
図示するように、この半導体装置の場合、11本のテストポイントからカバレジが収束しており、テストポイントを増加させても12本以降は、カバレジはほとんど上がっていない。よって、ここでは、11本のテストポイントでスタンバイテストを実施している。
図5においては、ある半導体装置のカバレジの一例を示したものであり、図3に示したカバレジがほぼ収束するように追加したテストポイントは、半導体装置毎に異なるカバレジの収束数に依存して増減することになる。
たとえば、15本のテストポイントからカバレジが収束する半導体装置の場合には、追加のテストポイントが11本となり、8本のテストポイントからカバレジが収束する半導体装置の際には、追加のテストポイントが4本となる。
また、ハードウェアスタンバイとソフトウェアスタンバイとの違いについて説明する。
ハードウェアスタンバイは、図示するように、半導体装置に設けられたスタンバイ端子を’0’にすることによって、論理回路のすべてのノードが’1’(または’0’)に固定される状態である。このとき、すべてのレジスタに格納されるビット値は、’1’(または’0’)となっている。
ソフトウェアスタンバイは、レジスタに設けられたスタンバイモードを設定するスタンバイビットを’0’に設定することにより、内部ノードが固定される。但し、ハードウェアスタンバイと異なり、論理回路のノードの状態は、レジスタの設定値、および外部から入力される信号の状態よって決定されることになる。
さらに、図3に示したソフトウェアスタンバイにおけるレジスタが’55’をライト(55ライト)するテストポイント、およびレジスタが’AA’をライト(AAライト)するテストポイントについて説明する。ここでは、レジスタRが、たとえば、8ビットレジスタからなる場合の例について示している。
55ライトとは、8ビットレジスタからなるレジスタRに、先頭レジスタから、’01010101’を書き込んだ状態である。また、AAライトとは、8ビットレジスタからなるレジスタRに、先頭レジスタから、’10101010’を書き込んだ状態である。
また、図3に示した外部ポートが’55’を出力(ALL’55’出力)するテストポイント、ならびに外部ポートが’AA’を出力(ALL’AA’出力)するテストポイントについて説明する。ここでは、外部ポートがたとえば、8ビットポートの場合の例について示している。
ALL’55’出力とは、8ビットポートにおいて、先頭から、’01010101’の信号が出力された状態である。また、ALL’AA’出力とは、8ビットポートの先頭から’10101010’の信号が出力された状態である。
図6は、良品の半導体装置と不良品の半導体装置とのスタンバイテストにおける消費電流値を示した説明図である。
図6において、横軸はスタンバイテストの種類(テストポイントa〜k)を示し、縦軸は各スタンバイテストの種類における半導体装置の消費電流値を示す。
図示するように、良品の半導体装置(図中、正常品1,2)では、同一の半導体装置であれば、各テストポイントa〜kにおいて、消費電流値がほぼ一定となっている。ところが、不良品の半導体装置(不良品1,2)においては、スタンバイテストの種類(テストポイントg,d)によって、消費電流値がほぼ一定とはならず、電流差が大きくなっている。
不良品1の半導体装置における消費電流値の増加の一例について説明する。
図7の上方に示すように、たとえば、2つのインバータIv1,Iv2が直列接続されており、これらインバータIv1,Iv2間に基準電位VSSへのリークパスがあるとすると、図7の右側下方に示すように、インバータIv1の入力部のノードが’0’となると大きなリーク電流が流れ(テストポイントg)で大きなリーク電流が流れることになる。
また、その他のスタンバイテストの種類では、図7の左側下方に示すように、インバータIv1に’1’が入力されることなり、基準電位VSSとの電位差がないためにリーク電流が流れずスタンバイ電流値に大きな変化がないことになる。
不良品1,2の半導体装置は、いずれも絶対判定値を下回っているために、個々の半導体装置におけるスタンバイ電流値によって良品/不良品を判定する絶対判定では問題とならないサンプルとなってしまう。そこで、本実施の形態による電流相対値判定を行うことによって、絶対判定では検出できない不良品の半導体装置を容易に検出することができる。
次に、本実施の形態における半導体検査装置1によって実施されるプローブテストにおけるスタンバイテスト、および電流差分判定の処理について説明する。
図8は、ロジックテスト終了後に実施されるスタンバイテスト(図2、ステップS102の処理)の一例を示すフローチャートである。
まず、図3に示したテストポイントa〜kによるスタンバイテストを行い、各々のテストポイントa〜kでの消費電流(スタンバイ電流)をそれぞれ測定する(ステップS201)。半導体検査装置1の制御装置3では、テストポイントa〜kで測定された消費電流を変数A1〜K1にそれぞれ代入し、該制御装置3に設けられた内蔵メモリ3aに格納する。
その後、制御装置3は、各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値が、内蔵メモリ3aなどに予め設定されている第1の消費電流しきい値(たとえば、約90μA程度)よりも大きいか否かをそれぞれ判断する(ステップS202)。
ステップS202の処理において、測定された消費電流値のうち、第1の消費電流しきい値よりも大きい消費電流値がある場合には、その半導体装置を不良品とする(ステップS203)。
続いて、ステップS203の処理で良品となった半導体装置において、測定された消費電流値が、第1の消費電流しきい値よりも小さい場合には、各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値が、内蔵メモリ3aなどに予め格納された判定基準範囲値(第2の判定範囲値)内(たとえば、±約5μA程度)にあり、ほぼ同じ程度か否かを判断する(ステップS204)。
ステップS204の処理において、各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値が判定基準範囲値内にあり、ほぼ同じ程度の値である場合には、後工程のスクリーニングテスト(図2、S103の処理)を行い、測定した消費電流値が、判定基準範囲値外のほぼ同じ程度でなければその半導体装置を不良品とする(ステップS205)。
次に、スクリーニングテストの終了後に実施されるスタンバイテストの一例を図9のフローチャートを用いて説明する。
まず、ステップS201の処理と同様に、図3に示したテストポイントa〜kによるスタンバイテストを行い、各々のテストポイントa〜kでの消費電流を測定する(ステップS301)。
この場合も同様に、半導体検査装置1の制御装置3では、テストポイントa〜kで測定された消費電流を変数A2〜K2にそれぞれ代入し、該制御装置3に設けられた内蔵メモリ3aに格納する。
続いて、ステップS301の処理で測定したテストポイントa〜kによる消費電流(変数A2〜K2)とステップS201の処理で測定したテストポイントa〜kによる消費電流値(変数A1〜K1)との差分を制御装置3がテストポイントa〜k毎に算出(たとえば、(変数A2−変数A1)=A3)し(ステップS302)、それら算出した消費電流値(A3〜K3)と内蔵メモリ3aなどに予め設定された第2の消費電流しきい値(第1の判定範囲値)とを比較する(ステップS303)。
算出した消費電流値うち、第2の消費電流しきい値(たとえば、約5μA程度)よりも大きい消費電流値がある場合には、その半導体装置を不良品とする(ステップS304)。
また、ステップS304の処理で良品となった半導体装置において、算出したすべての消費電流値が第2の消費電流しきい値よりもそれぞれ小さい場合には、ステップS301で測定した消費電流値が第1の消費電流しきい値よりも小さいか否かを判断する(ステップS305)。
各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値のうち、第1の消費電流しきい値よりも大きい消費電流値がある場合には、その半導体装置を不良品とする(ステップS306)。
また、テストポイントa〜kで測定した消費電流値が第2の消費電流しきい値よりも小さい場合には、ステップS301で測定した各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値(A2〜K2)が判定基準範囲値(たとえば、±約5μA程度)内にあり、ほぼ同じ程度の値か否かを判断し(ステップS307)、消費電流値が同じ程度であれば、後工程のDCテスト(図2、ステップ105)を実行し、同じ程度でなければ、その半導体装置を不良とする(ステップS308)。
さらに、図8、図9に示すスタンバイテストにおいては、半導体装置の内部動作電源電圧を、たとえば、電源回路外付け用容量端子などの外部ポートを介して外部から供給するようにしてもよい。
これにより、半導体装置における内部動作電源電圧が安定するので、スタンバイテストにおいて、より正確な消費電流を測定することが可能となる。
ここで、第1の消費電流しきい値、第2の消費電流しきい値、および判定基準範囲値は、一例を示したものであり、品種の異なる半導体装置毎にこれらの値は増減する。
また、ロジックテスト終了後に実施されるスタンバイテスト(図2、ステップS102の処理)、およびスクリーニングテスト(図2、ステップS103)の終了後に実施されるスタンバイテストにおける他の処理例を、図10、図11のフローチャートを用いてそれぞれ説明する。
まず、図10において、図3に示したテストポイントa〜kによるスタンバイテストを行い、各々のテストポイントa〜kでの消費電流をそれぞれ測定する(ステップS401)。制御装置3は、テストポイントa〜kで測定された消費電流を変数A1〜K1にそれぞれ代入し、内蔵メモリ3aに格納する。
その後、制御装置3は、各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値が、予め設定されている第1の消費電流しきい値よりも大きいか否かをそれぞれ判断する(ステップS402)。
このステップS402の処理において、測定された消費電流値のうち、第1の消費電流しきい値よりも大きい消費電流値がある場合には、その半導体装置を不良とし(ステップS403)、すべての測定された消費電流値が、第1の消費電流しきい値よりも小さい場合には、各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値がほぼ同じ程度の値か否かを判断する(ステップS404)。
ステップS404の処理において、各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値がほぼ同じ程度の値である場合には、後工程のスクリーニングテスト(図2、S103の処理)を行い、測定した消費電流値がほぼ同じ程度でなければその半導体装置を不良品とする(ステップS205)。
次に、スクリーニングテストの終了後に実施されるスタンバイテストにおいて、図11に示すように、ステップS201の処理と同様に、図3に示したテストポイントa〜kによるスタンバイテストを行い、各々のテストポイントa〜kでの消費電流を測定する(ステップS501)。
ここでも同様に、半導体検査装置1の制御装置3では、テストポイントa〜kで測定された消費電流を変数A2〜K2にそれぞれ代入し、該制御装置3に設けられた内蔵メモリ3aに格納される。
続いて、ステップS501の処理で測定したテストポイントa〜kによる消費電流(変数A2〜K2)とステップS201の処理で測定したテストポイントa〜kによる消費電流値(変数A1〜K1)との差分を制御装置3がテストポイントa〜k毎に算出(たとえば、(変数A2−変数A1)=A3)し(ステップS502)、それら算出した消費電流値(A3〜K3)がほぼ同じ程度であるか否かを比較する(ステップS503)。算出した消費電流値がほぼ同じ程度でない場合にはその半導体装置を不良品とする(ステップS504)。
また、算出した消費電流値がほぼ同じ程度の値の場合には、ステップS501で測定した消費電流値が第1の消費電流しきい値よりも小さいか否かを判断する(ステップS505)。各々のテストポイントa〜kで測定した消費電流値のうち、第1の消費電流しきい値よりも大きい消費電流値がある場合にはその半導体装置を不良品とする(ステップS506)。
ステップS506の処理で良品となった半導体装置において、テストポイントa〜kで測定した消費電流値が第1の消費電流しきい値よりも小さい場合には、ステップS401の処理で測定したテストポイントaの測定値とステップS501の処理で測定したテストポイントa〜kの消費電力とをそれぞれ比較する(ステップS507〜S517)。
これらステップS507〜S517の処理において、比較した消費電流値が同じ程度でない場合には、その半導体装置を不良品とする(ステップS518)。
それにより、本実施の形態によれば、単チャネル効果などによる半導体装置のリーク電流との判別を容易に行うことが可能となり、ロジックテストにおいて選別することのできなかった不良を容易に判別することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
たとえば、前記実施の形態では、スタンバイテストをスクリーングテストの前後工程でそれぞれ行う場合について記載したが、このスタンバイテストのテスト回数は、2回以上の複数回のスタンバイテストを任意の工程で行うようにしてもよい。
本発明の半導体装置の製造方法は、プローブテストにおける半導体装置の不良判別技術に適している。
1 半導体検査装置
2 テスタ
2a プローブカード
2a1 プローブ針
2b テストヘッド
3 制御装置
3a 内蔵メモリ
4 テスタ端末
W 半導体ウエハ
2 テスタ
2a プローブカード
2a1 プローブ針
2b テストヘッド
3 制御装置
3a 内蔵メモリ
4 テスタ端末
W 半導体ウエハ
Claims (12)
- 半導体装置に設けられた内部論理回路の全機能が停止しているスタンバイ状態で、前記内部論理回路のノードにおける固定状態を変更するテストポイントを任意に変更しながら複数の消費電流値を測定する第1のテスト工程と、
前記内部論理回路の全機能が停止しているスタンバイ状態で、前記内部論理回路のノードにおける固定状態を任意に変更しながら複数の消費電流値を測定する第2のテスト工程と、
前記第1のテスト工程で測定した各々の消費電流値と前記第2のテスト工程で測定した各々の消費電流値との差分を算出し、それら算出した消費電流値が、第1の判定範囲値外の場合に前記半導体装置を不良と判定する工程とを有したことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のテスト工程と前記第2のテスト工程との間に、少なくとも前記半導体装置を高温/高電圧で動作させる第3のテスト工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1または2記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のテスト工程は、前記第1のテスト工程における各々のテストポイントで測定された消費電流値が、第2の判定範囲値外の場合に前記半導体装置を不良品と判定する工程を有し、
前記第2のテスト工程は、前記第2のテスト工程における各々のテストポイントで測定された消費電流値が、第2の判定範囲値外の場合に前記半導体装置を不良品と判定する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体装置のテストポイントは、少なくとも、前記内部論理回路によってすべてのノードが固定となる第1のテストポイント、前記半導体装置のレジスタに先頭アドレスから’0’と’1’とを交互に書き込む第2のテストポイント、前記半導体装置のレジスタに先頭アドレスから’1’と’0’とを交互に書き込む第3のテストポイント、前記半導体装置の外部ポートから、’1’と’0’とが交互に出力される第4のテストポイント、および前記半導体装置の外部ポートから、’0’と’1’とが交互に出力される第5のテストポイントを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1、および第2のテスト工程は、前記半導体装置の内部動作電源電圧を外部から供給することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1、および第2のテスト工程は、前記半導体装置のトランジスタのバックバイアス制御を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体装置に設けられた内部論理回路の全機能が停止しているスタンバイ状態で、前記内部論理回路のノードにおける固定状態を変更するテストポイントを任意に変更しながら複数の消費電流値を測定するテストをn回を行うテスト工程と、
任意の前記テスト工程で測定した各々の消費電流値と前記任意のテスト工程の前工程、または後工程のいずれかで行われた前記テスト工程で測定した各々の消費電流値との差分を算出し、それら算出した消費電流値が、第1の判定範囲値外の場合に前記半導体装置を不良と判定する判定工程とを有したことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7記載の半導体装置の製造方法において、
任意の前記テスト工程の間に、少なくとも前記半導体装置を高温/高電圧で動作させる第3のテスト工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7または8記載の半導体装置の製造方法において、
前記テスト工程は、前記テスト工程における各々のテストポイントで測定された消費電流値が、第2の判定範囲値外の場合に前記半導体装置を不良品と判定する工程を有することを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7〜9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体装置のテストポイントは、少なくとも、前記内部論理回路によってすべてのノードが固定となる第1のテストポイント、前記半導体装置のレジスタに先頭アドレスから’0’と’1’とを交互に書き込む第2のテストポイント、前記半導体装置のレジスタに先頭アドレスから’1’と’0’とを交互に書き込む第3のテストポイント、前記半導体装置の外部ポートから、’1’と’0’とが交互に出力される第4のテストポイント、および前記半導体装置の外部ポートから、’0’と’1’とが交互に出力される第5のテストポイントを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7〜10のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記テスト工程は、前記半導体装置の内部動作電源電圧を外部から供給することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7〜11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記n回のテスト工程は、前記半導体装置のトランジスタのバックバイアス制御を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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