JP2006049698A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 互いに電気的に接続されたICチップ10とリードフレーム20とがモールド樹脂40で封止されており、インナーリード21およびアウターリード22では、母材20a上に順に無電解Ni−Pメッキ膜20b、表面が粗化されたNiメッキ膜20cが設けられている。それにより、インナーリード21のメッキ膜の最表面は、モールド樹脂40との密着性を向上させるための粗化された形状となり、アウターリード22には、抵抗溶接可能な低い融点を持つ無電解Ni−Pメッキ膜20bが設けられた構成となっている。
【選択図】 図1
Description
図1において、(a)は本発明の第1実施形態に係る樹脂封止型半導体装置100の概略断面構成を示す図であり、(b)は(a)中のリードフレーム20の断面構成を示す図である。
次に、本実施形態のリードフレーム20の種々の変形例について、図3、図4、図5、図6、図7を参照して述べる。図3は第1の変形例、図4は第2の変形例、図5は第3の変形例、図6は第4の変形例、図7は第5の変形例を示す概略断面図である
上記図1(b)に示されるリードフレーム20は、メッキの下地である母材20a上に順に無電解Ni−Pメッキ膜20b、Niメッキ膜20c、Pdメッキ膜20d、Auメッキ膜20eが設けられているものであった。
図8(a)〜(d)は、本発明の第2実施形態に係る樹脂封止型半導体装置におけるリードフレーム20の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、上記図1に示される半導体装置においてリードフレーム20を変形したものであり、上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。
図10は、本発明の第3実施形態に係る樹脂封止型半導体装置110の概略断面構成を示す図である。上記第1実施形態との相違点を中心に述べる。
図11は、本発明の第4実施形態に係る樹脂封止型半導体装置120の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、上記第3実施形態を変形したものであり、上記第3実施形態との相違点を中心に述べる。
20a…リードフレームの母材、20b…無電解Ni−Pメッキ膜、
20c…粗化Niメッキ膜、21…インナーリード、22…アウターリード、
40…モールド樹脂。
Claims (4)
- 半導体素子(10)とメッキ処理が施されたリードフレーム(20)とが互いに電気的に接続され、前記半導体素子(10)および前記リードフレーム(20)がモールド樹脂(40)で封止されてなる樹脂封止型半導体装置において、
前記リードフレーム(20)のうち前記モールド樹脂(40)内に位置するインナーリード(21)のメッキ膜の最表面は、前記モールド樹脂(40)との密着性を向上させるために粗化された形状となっており、
前記リードフレーム(20)のうち前記モールド樹脂(40)から突出するアウターリード(22)には、抵抗溶接性を確保するための無電解Ni−Pメッキ膜(20b)が設けられていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 前記リードフレーム(20)における前記インナーリード(21)および前記アウターリード(22)では、メッキの下地である母材(20a)上に順に無電解Ni−Pメッキ膜(20b)、Niメッキ膜(20c)が設けられており、
前記インナーリード(21)において、前記Niメッキ膜(20c)の表面が粗化された形状となっていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。 - 前記リードフレーム(20)における前記インナーリード(21)および前記アウターリード(22)では、メッキの下地である母材(20a)上に無電解Ni−Pメッキ膜(20b)が設けられており、
前記インナーリード(21)において、前記無電解Ni−Pメッキ膜(20b)自身の表面が粗化された形状となっていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。 - 前記リードフレーム(20)における前記インナーリード(21)では、メッキの下地である母材(20a)上に、表面が粗化されたNiメッキ膜(20c)が設けられることにより、前記インナーリード(21)のメッキ膜の最表面が、前記粗化された形状となっていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004230867A JP2006049698A (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004230867A JP2006049698A (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 樹脂封止型半導体装置 |
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006049698A (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20060906 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080902 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
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A521 | Written amendment |
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|
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