JP2006027947A - Method of manufacturing monolayer carbon nanotube - Google Patents

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俊明 西井
Naoto Masuyama
直人 桝山
Shigeo Maruyama
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing carbon nanotube 6, where low-priced carbon monoxide is used as a carbon source, catalyst particles are not included in the monolayer carbon nanotube 6, its structural defect is less, its purity is high, a refining process is unnecessary, and its reaction conditions are a low temperature and a low pressure. <P>SOLUTION: A carrier-type catalyst 1 is prepared by carrying a main catalyst metal 3 and a promoter metal 4 on a carrier 2. Carbon monoxide as a carbon source is flown on the carrier-type catalyst 1 and a monolayer carbon nanotube 6 is grown on the carrier-type catalyst 1 by the vapor growth. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、一酸化炭素を炭素源とする単層カーボンナノチューブの製法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing single-walled carbon nanotubes using carbon monoxide as a carbon source.

単層カーボンナノチューブ(以下、「SWNT」と略記する。)の製法としては、アーク放電法、レーザアブレイジョン法、気相成長法(CVD法)などが従来から知られている。
気相成長法にあっては、基本的に触媒金属と炭素源である炭素化合物を共存させ、温度1000〜1300℃、圧力0.666kPa(5Torr)〜常圧の条件でSWNTを合成するものである。ここでの炭素源としては、アセチレン、エチレン、エタノールなどが、触媒金属としては、Ni、Co、Feなどが用いられる。
一方、炭素源として一酸化炭素(以下、「CO」と略記する。)を用いて、気相成長法によりSWNTを合成するHiPco(High Pressure CO)法が提案されている(例えば、非特許文献1ないし3参照。)。このHiPco法は、COと触媒金属となる気体状のフェロセンとを反応器内に送り込み、温度1000℃、圧力10000kPa(100atm)程度の反応条件でSWNTを合成するものである。このHiPco法により、SWNTの大量合成が可能になった。また、SWNTの炭素源として、安価なCOを用いることが可能になった。
Conventionally known methods for producing single-walled carbon nanotubes (hereinafter abbreviated as “SWNT”) include an arc discharge method, a laser ablation method, a vapor phase growth method (CVD method), and the like.
In the vapor phase growth method, basically, a catalyst metal and a carbon compound as a carbon source coexist, and SWNT is synthesized under conditions of a temperature of 1000 to 1300 ° C. and a pressure of 0.666 kPa (5 Torr) to normal pressure. is there. Here, acetylene, ethylene, ethanol or the like is used as the carbon source, and Ni, Co, Fe or the like is used as the catalyst metal.
On the other hand, a HiPco (High Pressure CO) method for synthesizing SWNTs by vapor deposition using carbon monoxide (hereinafter abbreviated as “CO”) as a carbon source has been proposed (for example, non-patent literature). 1 to 3). In this HiPco method, CO and gaseous ferrocene serving as a catalytic metal are fed into a reactor, and SWNT is synthesized under reaction conditions of a temperature of 1000 ° C. and a pressure of about 10000 kPa (100 atm). This HiPco method enabled the mass synthesis of SWNT. In addition, it has become possible to use inexpensive CO as a carbon source for SWNTs.

しかしながら、この方法にあっては、気体状の触媒金属を用いるため、合成されたSWNT中に触媒金属である鉄微粒子が40wt%以上残存すること、構造欠陥が多いこと、反応条件が高温、高圧で過酷であることなどの問題点がある。
R.E.Smalley, 「Chemical Physics Letter」,1999,313,p.91−97 R.E.Smalley, 「Journal of Vacuum Science Technology A」,2001,19−4,p.1800−1805 丸山茂夫、「アルコールを用いた低温CVDにより成長するナノチューブ(実験とシミュレーション)」、2003、第30巻、第4号、p.32−41
However, in this method, since a gaseous catalyst metal is used, iron fine particles as a catalyst metal remain in the synthesized SWNT at 40 wt% or more, there are many structural defects, reaction conditions are high temperature, high pressure There are problems such as being harsh.
R. E. Smalley, “Chemical Physics Letter”, 1999, 313, p. 91-97 R. E. Smalley, “Journal of Vacuum Science Technology A”, 2001, 19-4, p. 1800-1805 Shigeo Maruyama, “Nanotubes Grown by Low Temperature CVD Using Alcohol (Experiment and Simulation)”, 2003, Vol. 30, No. 4, p. 32-41

よって、本発明における課題は、安価なCOを炭素源として用いるとともに、SWNT中に触媒金属粒子が含まれず、構造欠陥が少なく、高純度で精製処理が不要なSWNTを合成することができ、かつ、反応条件が低温、低圧である製法を提供することにある。   Therefore, the problem in the present invention is that it is possible to synthesize SWNT that uses inexpensive CO as a carbon source, does not contain catalytic metal particles in SWNT, has few structural defects, and has high purity and does not require a purification treatment, and Another object of the present invention is to provide a production method in which reaction conditions are low temperature and low pressure.

かかる課題を解決するため、
請求項1にかかる発明は、COを炭素源とし、このCOを触媒金属が担持された支持体上に流し、気相成長法により、支持体上にSWNTを成長させることを特徴とするSWNTの製法である。
To solve this problem,
The invention according to claim 1 is characterized in that SWNT is grown on a support by vapor phase epitaxy using CO as a carbon source and flowing the CO on a support on which a catalytic metal is supported. It is a manufacturing method.

請求項2にかかる発明は、触媒金属が、8族、9族、10族遷移金属からなる主触媒金属と、6族遷移金属からなる助触媒金属とから構成され、支持体上に主触媒金属が粗に分散されて担持されていることを特徴とする請求項1記載のSWNTの製法である。   The invention according to claim 2 is characterized in that the catalyst metal is composed of a main catalyst metal composed of Group 8, 9 or 10 transition metal and a promoter metal composed of Group 6 transition metal, and the main catalyst metal is formed on the support. The method for producing SWNT according to claim 1, wherein is dispersed and supported roughly.

請求項3にかかる発明は、触媒金属が、8族、9族、10族遷移金属からなる主触媒金属と、6族遷移金属からなる助触媒金属とから構成され、支持体上に主触媒金属が密に分散されて担持されていることを特徴とする請求項1記載のSWNTの製法である。   According to a third aspect of the present invention, the catalyst metal is composed of a main catalyst metal composed of a group 8, 9, or 10 transition metal and a promoter metal composed of a group 6 transition metal, and the main catalyst metal is formed on the support. The SWNT manufacturing method according to claim 1, wherein is densely dispersed and supported.

請求項4にかかる発明は、触媒金属が、8族、9族、10族遷移金属からなり、この触媒金属が支持体上に形成されたシリカ膜表面に粗に分散されて担持されていることを特徴とする請求項1記載のSWNTの製法である。   In the invention according to claim 4, the catalyst metal is composed of a group 8, 9, or 10 transition metal, and the catalyst metal is roughly dispersed and supported on the surface of the silica film formed on the support. The SWNT production method according to claim 1, wherein:

本発明のSWNTの製法によれば、HiPco法を用いた場合に比較して、構造欠陥が少なく、直径分布の狭いSWNTを得ることができる。また、合成したSWNT中に触媒が含まれず、高純度で精製処理が不要なSWNTを、高収率で得ることができる。
さらに、本発明のSWNTの製法によれば、低温、低圧の条件でSWNTを合成することができるため、製造装置の運転コストを低くすることができる。また、SWNTの炭素源としてCOを用いることができるため、原料コストを低くすることができる。
According to the SWNT manufacturing method of the present invention, SWNTs with fewer structural defects and a narrow diameter distribution can be obtained compared to the case of using the HiPco method. In addition, SWNTs that do not contain a catalyst in the synthesized SWNTs and do not require purification treatment can be obtained in high yield.
Furthermore, according to the SWNT manufacturing method of the present invention, SWNTs can be synthesized under conditions of low temperature and low pressure, so that the operating cost of the manufacturing apparatus can be reduced. Moreover, since CO can be used as a carbon source of SWNT, raw material costs can be reduced.

先ず、本発明で用いられるSWNT合成用触媒について説明する。
このSWNT合成用触媒としては、特に限定されるものではなく、従来から気相成長法によってSWNTを合成することのできる触媒、例えば、石英ガラス板、耐熱ガラス板などの板状体や多孔質シリカ、ゼオライトなどからなる粒状物などの支持体表面に、コバルト、ニッケル、鉄などの8族、9族、10族遷移金属からなる触媒金属を担持したものであれば、いかなるものでも使用できる。その中でも、以下に説明するSWNT合成用触媒を用いることが、反応条件が温和で、生成効率がよく、構造欠陥が少なく、高純度のSWNTが得られる点で好ましい。
First, the SWNT synthesis catalyst used in the present invention will be described.
The catalyst for synthesizing SWNT is not particularly limited, and a catalyst capable of synthesizing SWNT by a conventional vapor growth method, for example, a plate-like body such as a quartz glass plate and a heat-resistant glass plate, or porous silica. Any material may be used as long as it supports a catalyst metal composed of a group 8, group 10, or group 10 transition metal such as cobalt, nickel, or iron on the surface of a support such as a granular material composed of zeolite. Among them, it is preferable to use a catalyst for SWNT synthesis described below in terms of mild reaction conditions, good production efficiency, few structural defects, and high-purity SWNTs.

図1(a)は、上記SWNT合成用触媒、すなわち支持体に担持された触媒金属(以下、「担持型触媒」と略す。)の第1の例を模式的に示すものである。この例の担持型触媒1は、支持体2と、この支持体2の表面に分散されて担持された主触媒金属3と助触媒金属4とから構成されている。
支持体2には、石英ガラス、耐熱ガラスなどのガラス、シリカ、アルミナなどのセラミックスなどが材料として用いられる。主触媒金属3は、コバルト、ニッケル、鉄などの8族、9族、10族遷移金属の微細粒子からなるもので、主にSWNTの生成に寄与する触媒機能を有するものである。助触媒金属4はモリブデン、クロム、タングステンなどの6族遷移金属、またはその酸化物の微細粒子からなるもので、主に主触媒金属3の凝集、焼結を防ぐための機能を有するものである。
FIG. 1A schematically shows a first example of the SWNT synthesis catalyst, that is, a catalyst metal supported on a support (hereinafter abbreviated as “supported catalyst”). The supported catalyst 1 of this example is composed of a support 2, a main catalyst metal 3 and a promoter metal 4 dispersed and supported on the surface of the support 2.
For the support 2, glass such as quartz glass and heat-resistant glass, ceramics such as silica and alumina, and the like are used as materials. The main catalyst metal 3 is composed of fine particles of Group 8, 9 and 10 transition metals such as cobalt, nickel, and iron, and has a catalytic function mainly contributing to the generation of SWNTs. The co-catalyst metal 4 is composed of fine particles of a Group 6 transition metal such as molybdenum, chromium, tungsten, or oxides thereof, and has a function mainly for preventing aggregation and sintering of the main catalyst metal 3. .

そして、この例の担持型触媒1では、支持体2の表面上に少なくとも主触媒金属3が疎に分散された状態で担持されている。ここで、「疎に分散された状態」とは、主触媒金属3の粒子間の間隔が広い(大きい)状態で分散されている状態を言い、例えば、隣接する主触媒金属3間の間隔が4nm以上であることを言う。間隔の上限は特に限定されない。また、助触媒金属4も同様に疎に分散された状態で担持されていることが好ましく、この助触媒金属4における疎に分散された状態とは、先の主触媒金属3の状態と同様である。   In the supported catalyst 1 of this example, at least the main catalyst metal 3 is supported on the surface of the support 2 in a sparsely dispersed state. Here, the “sparsely dispersed state” refers to a state in which the distance between the particles of the main catalyst metal 3 is wide (large) and dispersed, for example, the distance between the adjacent main catalyst metals 3 is Say that it is 4 nm or more. The upper limit of the interval is not particularly limited. Similarly, the promoter metal 4 is preferably supported in a sparsely dispersed state. The sparsely dispersed state in the promoter metal 4 is the same as the state of the main catalyst metal 3 described above. is there.

図1(b)は、担持型触媒1の第2の例を模式的に示すものである。この第2の例の担持型触媒1が、第1の例のものと異なるところは、少なくとも主触媒金属3が支持体2の表面に密に分散された状態で担持されている点である。ここで、「密に分散された状態」とは、主触媒金属3の粒子間の間隔が狭い(小さい)状態で分散されている状態を言い、例えば、隣接する主触媒金属3間の間隔が3〜4nm程度であることを言う。   FIG. 1B schematically shows a second example of the supported catalyst 1. The difference between the supported catalyst 1 of the second example and that of the first example is that at least the main catalyst metal 3 is supported on the surface of the support 2 in a densely dispersed state. Here, the “densely dispersed state” refers to a state in which the distance between the particles of the main catalyst metal 3 is narrow (small), for example, the distance between the adjacent main catalyst metals 3 is, for example, It says that it is about 3-4 nm.

図1(c)は、担持型触媒1の第3の例を模式的に示すものである。この第3の例の担持型触媒1が、第1の例のものと異なるところは、支持体2の表面に、多孔質のシリカ膜5が設けられ、このシリカ膜5の表面と内部に主触媒金属3が分散されて担持もしくは埋没されており、シリカ膜5の表面に露出した主触媒金属3が疎に分散された状態となっている点である。シリカ膜5の厚みは1nm以上であり、上限は特に限定されない。この例での「疎に分散された状態」とは、先に説明したものと同様である。なお、シリカ膜5の表面と内部には、主触媒金属3に加えて、助触媒金属4が混入されて担持もしくは埋没されていてもよい。   FIG. 1C schematically shows a third example of the supported catalyst 1. The supported catalyst 1 of the third example is different from that of the first example in that a porous silica film 5 is provided on the surface of the support 2, and the surface and inside of the silica film 5 are mainly used. The catalyst metal 3 is dispersed and supported or buried, and the main catalyst metal 3 exposed on the surface of the silica film 5 is sparsely dispersed. The thickness of the silica film 5 is 1 nm or more, and the upper limit is not particularly limited. The “sparsely distributed state” in this example is the same as described above. In addition to the main catalyst metal 3, the promoter metal 4 may be mixed and supported or buried on the surface and inside of the silica film 5.

以下、上述した3種の担持型触媒1の製法について説明する。
先ず、第1および第2の例の担持型触媒1の製法について説明する。
この製法は、基本的には、主触媒金属3となる前駆体と、助触媒金属4となる前駆体とを含む溶液もしくは分散液に支持体2を浸漬し、ついでこの支持体2を所定の速度で引き上げ、さらに、400〜500℃で加熱するものである。
上記前駆体としては、例えば、主触媒金属3となるコバルト、ニッケル、鉄、助触媒金属4となるモリブデン、クロム、タングステンなどの可溶性塩やこれら金属の酸化物などを適宜組合せ、これらをアルコール、水などの溶媒または分散媒に溶解または分散し、溶液または分散液として使用に供される。
Hereinafter, the manufacturing method of the three types of supported catalysts 1 described above will be described.
First, a method for producing the supported catalyst 1 of the first and second examples will be described.
In this production method, basically, the support 2 is dipped in a solution or dispersion containing a precursor to be the main catalyst metal 3 and a precursor to be the promoter metal 4, and then the support 2 is made a predetermined amount. It pulls up at a speed | rate and also heats at 400-500 degreeC.
As the precursor, for example, cobalt, nickel, iron as the main catalyst metal 3, molybdenum, chromium, tungsten as the promoter metal 4, a soluble salt such as chromium, tungsten or the like, an appropriate combination of these metals, alcohols, It dissolves or disperses in a solvent or dispersion medium such as water and is used as a solution or dispersion.

主触媒金属3の分散密度の制御においては、支持体2の引き上げ速度が重要な意味を持つ。例えば、支持体2の引き上げ速度を4cm/分未満とした場合には、第2の例の担持型触媒1、すなわち主触媒金属3が密に分散した状態で担持されたものになる。また、引き上げ速度を4cm/分以上とした場合には、第1の例の担持型触媒1、すなわち主触媒金属が疎に分散した状態で担持されたものになる。   In controlling the dispersion density of the main catalyst metal 3, the pulling speed of the support 2 is important. For example, when the lifting speed of the support 2 is less than 4 cm / min, the supported catalyst 1 of the second example, that is, the main catalyst metal 3 is supported in a densely dispersed state. Further, when the lifting speed is 4 cm / min or more, the supported catalyst 1 of the first example, that is, the main catalyst metal is supported in a loosely dispersed state.

主触媒金属3の分散密度は、この引き上げ速度以外に、上記溶液または分散液中の主触媒金属3の前駆体の濃度にも依存するが、この濃度による寄与は少なく、その分散密度は、ほとんど支持体2の引き上げ速度によって定まる。従って、実用上は、この引き上げ速度を4cm/分を境界として制御することで、第1または第2の例の担持型触媒1を製造することができる。   The dispersion density of the main catalyst metal 3 depends on the concentration of the precursor of the main catalyst metal 3 in the solution or dispersion in addition to the pulling speed, but the contribution by this concentration is small, and the dispersion density is almost It is determined by the lifting speed of the support 2. Therefore, practically, the supported catalyst 1 of the first or second example can be manufactured by controlling the pulling rate with a boundary of 4 cm / min.

次に、第3の例の担持型触媒1の製法について説明する。
この例では、ゾル−ゲル法によって、主触媒金属3が分散した多孔質のシリカ膜5を支持体2上に形成する。具体的には、水とアルコールとの混合溶媒に酢酸コバルト、硝酸コバルトなどの主触媒金属3の可溶性塩およびアルコキシシランを添加、混合してゾルを形成する。ついで、このゾルに支持体2を所定時間浸漬し、引き上げ、これを400〜500℃で加熱して、支持体2上に主触媒金属3が分散した多孔質のシリカ膜5を形成する。この際、シリカ膜5における主触媒金属3を疎に分散した状態とするために、主触媒金属3の濃度を、触媒金属を含むシリカ膜に対して1.00〜5.00wt%となるように調整する。
以上の製法により、第3の例の担持型触媒1を製造することができる。
なお、ゾル中には、主触媒金属3に加えて、助触媒金属4を添加、混合してもよい。
Next, a method for producing the supported catalyst 1 of the third example will be described.
In this example, a porous silica film 5 in which the main catalyst metal 3 is dispersed is formed on the support 2 by a sol-gel method. Specifically, a soluble salt of the main catalyst metal 3 such as cobalt acetate and cobalt nitrate and an alkoxysilane are added to and mixed with a mixed solvent of water and alcohol to form a sol. Next, the support 2 is immersed in this sol for a predetermined time, pulled up, and heated at 400 to 500 ° C. to form a porous silica film 5 in which the main catalyst metal 3 is dispersed on the support 2. At this time, in order to make the main catalyst metal 3 in the silica film 5 sparsely dispersed, the concentration of the main catalyst metal 3 is 1.00 to 5.00 wt% with respect to the silica film containing the catalyst metal. Adjust to.
By the above manufacturing method, the supported catalyst 1 of the third example can be manufactured.
In addition to the main catalyst metal 3, the promoter metal 4 may be added and mixed in the sol.

上記担持型触媒1を用いたSWNTの製法について説明する。
図2は、この製法に用いられる製造設備の一例を示すブロック図である。この製造設備は、ガス供給部11と、反応部12と、ガス冷却部13とから概略構成されている。
ガス供給部11は、炭素源となるCOとHを反応部12に供給するものであり、図示しない各ガス供給源からのCOまたはHが開閉弁111,112、流量計113,114および流量制御弁115,116を介して、管117に送られ、ガス加熱器14で、25〜300℃に加熱され反応部12に送られるようになっている。
反応部12は、石英ガラスなどからなる反応管121と、この反応管121を包囲して加熱するヒータ122とから構成されており、反応管121のヒータ122から突出した両端部は、冷却水によって冷却されるようになっている。また、反応管121の一端部には、ガス加熱器14からの管123が接続され、ガス加熱器14で加熱された反応用ガスが導入されるようになっている。
ガス冷却部13は、排ガスを冷却するガス冷却器131と、このガス冷却器131から排出される水を貯めるドレインタンク132とから構成され、排ガスを常温付近まで冷却して、系外に排出するものである。
A method for producing SWNTs using the supported catalyst 1 will be described.
FIG. 2 is a block diagram showing an example of manufacturing equipment used in this manufacturing method. This manufacturing facility is generally configured by a gas supply unit 11, a reaction unit 12, and a gas cooling unit 13.
The gas supply unit 11 supplies CO and H 2 serving as carbon sources to the reaction unit 12, and CO or H 2 from each gas supply source (not shown) is provided with on-off valves 111 and 112, flow meters 113 and 114, and It is sent to the pipe 117 via the flow control valves 115 and 116, heated to 25 to 300 ° C. by the gas heater 14, and sent to the reaction unit 12.
The reaction unit 12 includes a reaction tube 121 made of quartz glass and the like, and a heater 122 that surrounds and heats the reaction tube 121. Both ends of the reaction tube 121 protruding from the heater 122 are cooled by cooling water. It is designed to be cooled. In addition, a tube 123 from the gas heater 14 is connected to one end of the reaction tube 121 so that the reaction gas heated by the gas heater 14 is introduced.
The gas cooling unit 13 includes a gas cooler 131 that cools the exhaust gas and a drain tank 132 that stores water discharged from the gas cooler 131, cools the exhaust gas to near normal temperature, and discharges it outside the system. Is.

次に、この製造設備を用いて、SWNTを製造する方法を説明する。
先ず、石英ボートなどに上述した担持型触媒1を載置して、反応管121の内部に装填する。ついで、Hを反応管121内に流しながら、ヒータ122を動作させて、反応管121内部の温度を室温から、700〜800℃に昇温し、この温度に保持しつつ、Hを流して、支持体2に担持されている主触媒金属3および助触媒金属4を還元する。ついで、COおよびHをガス加熱器14で25〜300℃に加熱して、反応管121内に供給し、気相成長反応(CVD反応)により、SWNTを成長させる。この反応時の温度は700〜800℃、圧力は50〜150kPa(0.5〜1.5atm)、時間は10〜240分とされる。また、COおよびHの流量に関しては、空間速度で表すと、COが5〜10min−1、Hが1〜5min−1とされる。なお、空間速度とは、原料ガスの流量を反応管121の有効体積で割った値である。
反応後、COとHの供給を停止し、反応管121内にアルゴンガスなどの不活性ガスを流して、室温まで冷却する。反応中に生成した排ガスは、ガス冷却器131で室温まで冷却されて、系外に排出され、冷却において生じた水はドレインタンク132に貯められる。
以上の製法により、担持型触媒1にSWNTが合成され、成長する。
Next, a method for manufacturing SWNTs using this manufacturing facility will be described.
First, the above-described supported catalyst 1 is placed on a quartz boat or the like and loaded into the reaction tube 121. Next, the heater 122 is operated while flowing H 2 into the reaction tube 121, the temperature inside the reaction tube 121 is raised from room temperature to 700 to 800 ° C., and H 2 is flowed while maintaining this temperature. Thus, the main catalyst metal 3 and the promoter metal 4 supported on the support 2 are reduced. Next, CO and H 2 are heated to 25 to 300 ° C. by the gas heater 14 and supplied into the reaction tube 121 to grow SWNTs by vapor phase growth reaction (CVD reaction). The temperature during the reaction is 700 to 800 ° C., the pressure is 50 to 150 kPa (0.5 to 1.5 atm), and the time is 10 to 240 minutes. Regarding the flow rates of CO and H 2 , CO is 5 to 10 min −1 and H 2 is 1 to 5 min −1 in space velocity. The space velocity is a value obtained by dividing the flow rate of the source gas by the effective volume of the reaction tube 121.
After the reaction, the supply of CO and H 2 is stopped, and an inert gas such as argon gas is flowed into the reaction tube 121 to cool to room temperature. The exhaust gas generated during the reaction is cooled to room temperature by the gas cooler 131 and discharged out of the system, and the water generated in the cooling is stored in the drain tank 132.
By the above manufacturing method, SWNT is synthesized and grown on the supported catalyst 1.

このように、本発明のSWNTの製法を用いると、その反応条件は、HiPco法を用いた場合に比較して低温、低圧(700〜800℃、50〜150kPa)であるため、SWNTの製造装置の運転コストを安くすることができる。また、SWNTの炭素源としてCOを用いることができるため、原料コストを安くすることができる。   Thus, when the SWNT manufacturing method of the present invention is used, the reaction conditions are lower temperature and lower pressure (700 to 800 ° C., 50 to 150 kPa) than when the HiPco method is used. The operating cost can be reduced. Moreover, since CO can be used as a carbon source of SWNT, raw material cost can be reduced.

図3は、このようにして合成されたSWNTの成長状態を模式的に示すものである。
図3(a)は、図1(a)に示した第1の例の担持型触媒1を用いて、SWNT6を成長させたときのもので、主触媒金属3が疎に分散されて担持されたものを用いた場合である。このように、主触媒金属3が疎に分散されて担持された触媒支持体1を用いることによって、これに成長するSWNT6は、支持体2の表面に平行に配向し、表面上を這うように成長する。
図3(b)は、図1(b)に示した第2の例の担持型触媒1を用いて、SWNT6を成長させたときのもので、主触媒金属3が密に分散されて担持されたものを用いた場合である。このように、主触媒金属3が密に分散されて担持された触媒支持体1を用いることによって、これに成長するSWNT6は、支持体2の表面に垂直に配向し、草木が延びる様に成長する。
図3(c)は、図1(c)に示した第3の例の担持型触媒1を用いて、SWNT6を成長させたときのもので、主触媒金属3が疎に分散されて担持されたものを用いた場合であり、図4に示したように、SWNT6が支持体2の表面に平行に配向し、表面上を這うように成長する。
FIG. 3 schematically shows the growth state of the SWNT synthesized in this way.
FIG. 3A shows a case where SWNT 6 is grown using the supported catalyst 1 of the first example shown in FIG. 1A, and the main catalyst metal 3 is sparsely dispersed and supported. This is the case when using Thus, by using the catalyst support 1 on which the main catalyst metal 3 is sparsely dispersed and supported, the SWNTs 6 grown on the catalyst support 3 are oriented parallel to the surface of the support 2 and crawl on the surface. grow up.
FIG. 3B shows a case where SWNT 6 is grown using the supported catalyst 1 of the second example shown in FIG. 1B, and the main catalyst metal 3 is supported in a densely dispersed state. This is the case when using As described above, by using the catalyst support 1 on which the main catalyst metal 3 is densely dispersed and supported, the SWNT 6 grown on the catalyst support 1 is oriented perpendicularly to the surface of the support 2 and grows so that the vegetation extends. To do.
FIG. 3C shows a case where SWNT 6 is grown using the supported catalyst 1 of the third example shown in FIG. 1C, and the main catalyst metal 3 is sparsely dispersed and supported. As shown in FIG. 4, the SWNT 6 is oriented parallel to the surface of the support 2 and grows so as to crawl on the surface.

このように本発明のSWNT6の製法を用いると、構造欠陥が少なく、均質なSWNT6を合成することができる。また、触媒金属が支持体2に担持されているため、合成されたSWNT6中に触媒金属が含まれず、高純度で精製処理が不要なSWNT6を得ることができる。   Thus, when the method for producing SWNT6 of the present invention is used, a homogeneous SWNT6 with few structural defects can be synthesized. Further, since the catalyst metal is supported on the support 2, the synthesized SWNT 6 does not contain the catalyst metal, and SWNT 6 having high purity and requiring no purification treatment can be obtained.

以下、実施例により、本発明をさらに詳しく説明する。本発明は、下記実施例に何ら制限されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. The present invention is not limited to the following examples.

[実施例1]
実施例1では、第1の例の担持型触媒1の製造、およびこの担持型触媒1を用いたSWNT6の製造を行った。
[Example 1]
In Example 1, the supported catalyst 1 of the first example was manufactured, and SWNT6 using the supported catalyst 1 was manufactured.

主触媒金属3としてコバルトを、助触媒金属4としてモリブデンを選び、酢酸コバルト(II)四水和物、酢酸モリブデン(II)をそれぞれの前駆体として用いた。これら前駆体をエタノール中に分散させた。コバルト、モリブデンの重量比はエタノールに対してそれぞれ0.01wt%であった。この分散液をバスソニケータで1〜2時間程度、超音波処理し、均一な分散液を作製した。
ついで、支持体2として石英ガラス板を用い、この石英ガラス板を上記分散液に数分間浸漬した。その後、支持体2を4cm/分の速度で引き上げ、続いて、石英ボートに載置して電気炉に投入し、400℃、5分間加熱した。加熱後、石英ボートを取り出し、常温まで冷却した。以上の製法により、第1の例の担持型触媒1を得た。
Cobalt was selected as the main catalyst metal 3 and molybdenum was selected as the promoter metal 4, and cobalt acetate (II) tetrahydrate and molybdenum acetate (II) were used as precursors. These precursors were dispersed in ethanol. The weight ratio of cobalt and molybdenum was 0.01 wt% with respect to ethanol. This dispersion was sonicated with a bath sonicator for about 1 to 2 hours to prepare a uniform dispersion.
Next, a quartz glass plate was used as the support 2, and this quartz glass plate was immersed in the dispersion for several minutes. Thereafter, the support 2 was pulled up at a rate of 4 cm / min, and subsequently placed on a quartz boat and placed in an electric furnace, and heated at 400 ° C. for 5 minutes. After heating, the quartz boat was taken out and cooled to room temperature. The supported catalyst 1 of the 1st example was obtained by the above manufacturing method.

第1の例の担持型触媒1を用いて、気相成長法によりSWNT6を合成した。
先ず、石英ボートに第1の例の担持型触媒1を載置して、反応管121の内部に装填した。ついで、Hを反応管121内に流しながら、ヒータ122を動作させて、反応管121内部の温度を室温から、750℃に昇温し、この温度に保持しつつ、Hを流して、支持体2に担持されている主触媒金属3および助触媒金属4を還元した。ついで、COおよびHの温度をガス加熱器14で常温にし、反応管121内に供給し、気相成長反応により、SWNT5を成長させた。この反応時の温度は750℃、圧力は常圧、時間は30分であった。また、CO、Hの流量はそれぞれ0.2NLMであった。
反応後、CO、Hの供給を停止し、反応管121内にアルゴンガスを流して、室温まで冷却した。反応中に生成した排ガスは、ガス冷却器131で室温まで冷却されて、系外に排出され、冷却において生じた水はドレインタンク132に貯められた。
以上の製法により、第1の例の担持型触媒1にSWNT6を合成し、成長させた。
Using the supported catalyst 1 of the first example, SWNT6 was synthesized by a vapor phase growth method.
First, the supported catalyst 1 of the first example was placed on a quartz boat and loaded into the reaction tube 121. Next, the heater 122 is operated while flowing H 2 into the reaction tube 121, the temperature inside the reaction tube 121 is raised from room temperature to 750 ° C., and H 2 is flowed while maintaining this temperature. The main catalyst metal 3 and the promoter metal 4 supported on the support 2 were reduced. Next, the temperature of CO and H 2 was brought to room temperature with the gas heater 14, supplied into the reaction tube 121, and SWNT 5 was grown by vapor phase growth reaction. The temperature during this reaction was 750 ° C., the pressure was normal pressure, and the time was 30 minutes. Further, the flow rates of CO and H 2 were each 0.2 NLM.
After the reaction, the supply of CO and H 2 was stopped, and argon gas was allowed to flow in the reaction tube 121 to cool to room temperature. The exhaust gas generated during the reaction was cooled to room temperature by the gas cooler 131 and discharged out of the system, and the water generated in the cooling was stored in the drain tank 132.
By the above manufacturing method, SWNT6 was synthesized and grown on the supported catalyst 1 of the first example.

得られたSWNT6の走査型顕微鏡の写真を、図4に示す。この写真から、主触媒金属3が疎に分散されて担持された第1の例の担持型触媒1を用いることによって、これに成長するSWNT6は、支持体2の表面に平行に配向し、表面上を這うように成長することが明らかとなった。また、このように成長したSWNT6は直線性がよく、長さも長いことが明らかとなった。
さらに、ラマン散乱スペクトルによる観察の結果、得られたSWNT6の直径は1nm程度の細いもので、直径分布が非常に狭く、高純度であって、触媒金属を含んでいないことが判明した。また、ラマン散乱スペクトルと走査型電子顕微鏡写真とを比較することにより、複数本からなるバンドルを形成していることが明らかとなった。
The photograph of the obtained scanning microscope of SWNT6 is shown in FIG. From this photograph, by using the supported catalyst 1 of the first example in which the main catalyst metal 3 is sparsely dispersed and supported, the SWNT 6 grown thereon is oriented in parallel to the surface of the support 2, and the surface It became clear that it grows so as to crawl on the top. Further, it has been clarified that SWNT6 grown in this way has good linearity and a long length.
Furthermore, as a result of observation by a Raman scattering spectrum, it was found that the obtained SWNT6 had a thin diameter of about 1 nm, a very narrow diameter distribution, high purity, and no catalyst metal. Moreover, it became clear that the bundle which consists of two or more was formed by comparing a Raman scattering spectrum and a scanning electron micrograph.

[実施例2]
実施例2では、第2の例の担持型触媒1の製造、およびこの担持型触媒1を用いたSWNT6の製造を行った。
[Example 2]
In Example 2, production of the supported catalyst 1 of the second example and production of SWNT 6 using the supported catalyst 1 were performed.

実施例2にあっては、実施例1と異なるところは、担持型触媒1の製法において、コバルト、モリブデンの重量比がエタノールに対してそれぞれ0.05wt%であったことと、支持体2の引き上げ速度が2cm/分であったことであり、また、SWNT6の製法においては、ガス加熱器14におけるCOおよびHの加熱温度が300℃であったことと、気相成長反応におけるCOの流量が0.8NLM、Hの流量が0.2NLMであったことである。その他の工程は同じであるので、その説明を省略する。 In Example 2, the difference from Example 1 was that the weight ratio of cobalt and molybdenum in the production method of supported catalyst 1 was 0.05 wt% with respect to ethanol, respectively. The pulling rate was 2 cm / min, and in the method for producing SWNT6, the heating temperature of CO and H 2 in the gas heater 14 was 300 ° C., and the flow rate of CO in the vapor phase growth reaction. Is 0.8 NLM, and the flow rate of H 2 is 0.2 NLM. Since other processes are the same, the description thereof is omitted.

得られたSWNT6の走査型顕微鏡の写真を、図5に示す。この写真から、主触媒金属3が密に分散されて担持された第2の例の担持型触媒1を用いることによって、これに成長するSWNT6は、支持体2の表面に垂直に配向し、草木が延びる様に成長することが明らかとなった。
さらに、ラマン散乱スペクトルによる観察の結果、得られたSWNT6の直径は1〜1.3nm程度の細いもので、直径分布が非常に狭く、高純度であって、触媒金属を含んでいないことが判明した。また、ラマン散乱スペクトルと走査型電子顕微鏡写真とを比較することにより、複数本からなるバンドルを形成していることが明らかとなった。
The photograph of the obtained scanning microscope of SWNT6 is shown in FIG. From this photograph, by using the supported catalyst 1 of the second example in which the main catalyst metal 3 is densely dispersed and supported, the SWNT 6 grown on the catalyst is oriented perpendicularly to the surface of the support 2 and It became clear that it grows so that it extends.
Furthermore, as a result of observation by a Raman scattering spectrum, it was found that the obtained SWNT6 has a narrow diameter of about 1 to 1.3 nm, a very narrow diameter distribution, high purity, and no catalyst metal. did. Moreover, it became clear that the bundle which consists of two or more was formed by comparing a Raman scattering spectrum and a scanning electron micrograph.

[実施例3]
実施例3では、第3の例の担持型触媒1の製造、およびこの担持型触媒1を用いたSWNT6の製造を行った。 実施例3にあっては、実施例1と異なるところは、担持型触媒1の製法において、ゾル−ゲル法を用いたことである。以下に、その詳細を説明する。
[Example 3]
In Example 3, the supported catalyst 1 of the third example was manufactured, and SWNT6 using the supported catalyst 1 was manufactured. In Example 3, the difference from Example 1 is that the sol-gel method was used in the production method of the supported catalyst 1. The details will be described below.

主触媒金属3としてコバルトを、助触媒金属4としてモリブデンを選び、酢酸コバルト(II)四水和物、酢酸モリブデン(II)をそれぞれの前駆体として用いた。これら前駆体をエタノール中に分散させた。この分散液をバスソニケータで1〜2時間程度、超音波処理し、均一な分散液を作製した。そして、テトラエトキシシランを水と少量のエタノールとの混合溶媒に分散し、この分散液に、触媒金属を含む上記分散液を混ぜ、再び、バスソニケータで1〜2時間程度、超音波処理し、均一なゾルを作製した。
ついで、支持体2として石英ガラス板を用い、この石英ガラス板を上記ゾルに数分間浸漬した。その後、支持体2を4cm/分の速度で引き上げ、続いて、石英ボートに載置して電気炉に投入し、400℃、5分間加熱した。加熱後、石英ボートを取り出し、常温まで冷却した。以上の製法により、第3の例の担持型触媒1を得た。
なお、用いたコバルト、モリブデンの重量は、最終的に得られる、触媒金属を含むシリカ膜5に対して、それぞれ3.00wt%となるように調整された。
Cobalt was selected as the main catalyst metal 3 and molybdenum was selected as the promoter metal 4, and cobalt acetate (II) tetrahydrate and molybdenum acetate (II) were used as precursors. These precursors were dispersed in ethanol. This dispersion was sonicated with a bath sonicator for about 1 to 2 hours to prepare a uniform dispersion. Then, tetraethoxysilane is dispersed in a mixed solvent of water and a small amount of ethanol, and the dispersion liquid containing the catalyst metal is mixed with this dispersion liquid, and again subjected to ultrasonic treatment with a bath sonicator for about 1 to 2 hours. A simple sol was prepared.
Next, a quartz glass plate was used as the support 2, and this quartz glass plate was immersed in the sol for several minutes. Thereafter, the support 2 was pulled up at a rate of 4 cm / min, and subsequently placed on a quartz boat and placed in an electric furnace, and heated at 400 ° C. for 5 minutes. After heating, the quartz boat was taken out and cooled to room temperature. The supported catalyst 1 of the 3rd example was obtained by the above manufacturing method.
The weights of cobalt and molybdenum used were adjusted to be 3.00 wt% with respect to the finally obtained silica film 5 containing the catalyst metal.

SWNT6の製法においては、気相成長反応における反応時間が30分であったことを除いては、実施例1と同様であるので、その説明を省略する。   The method for producing SWNT6 is the same as that of Example 1 except that the reaction time in the vapor phase growth reaction is 30 minutes, and thus the description thereof is omitted.

得られたSWNT6の走査型顕微鏡の写真を、図6に示す。この写真から、主触媒金属3が疎に分散されて担持された第3の例の担持型触媒1を用いることによって、これに成長するSWNT6は、支持体2の表面に平行に配向し、表面上を這うように成長することが明らかとなった。また、このように成長したSWNT6は直線性が極めてよく、長さも長いことが明らかとなった。   A scanning microscope photograph of the obtained SWNT6 is shown in FIG. From this photograph, by using the supported catalyst 1 of the third example in which the main catalyst metal 3 is sparsely dispersed and supported, the SWNT 6 grown on the catalyst is oriented parallel to the surface of the support 2, and the surface It became clear that it grows so as to crawl on the top. Further, it has been clarified that SWNT6 grown in this way has extremely good linearity and a long length.

本発明の実施形態にかかる担持型触媒の例を模式的に示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows typically the example of the supported catalyst concerning embodiment of this invention. 本発明の実施形態にかかるSWNTの製造設備の例を示すためのブロック図である。It is a block diagram for showing the example of the manufacturing equipment of SWNT concerning the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態にかかるSWNTが成長した担持型触媒の例を模式的に示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows typically the example of the supported catalyst in which SWNT concerning embodiment of this invention grew. 実施例1で得られた第1の例の担持型触媒に成長させたSWNTの走査型顕微鏡写真である。2 is a scanning photomicrograph of SWNT grown on the supported catalyst of the first example obtained in Example 1. FIG. 実施例2で得られた第2の例の担持型触媒に成長させたSWNTの走査型顕微鏡写真である。2 is a scanning micrograph of SWNT grown on a supported catalyst of the second example obtained in Example 2. FIG. 実施例3で得られた第3の例の担持型触媒に成長させたSWNTの走査型顕微鏡写真である。4 is a scanning photomicrograph of SWNT grown on a supported catalyst of a third example obtained in Example 3. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

2・・・支持体、3・・・主触媒金属、4・・・助触媒金属、5・・・シリカ膜、6・・・SWNT

2 ... Support, 3 ... Main catalyst metal, 4 ... Cocatalyst metal, 5 ... Silica membrane, 6 ... SWNT

Claims (4)

一酸化炭素を炭素源とし、この一酸化炭素を触媒金属が担持された支持体上に流し、気相成長法により、支持体上に単層カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする単層カーボンナノチューブの製法。   Single-walled carbon characterized in that carbon monoxide is used as a carbon source, the carbon monoxide is flowed on a support on which a catalytic metal is supported, and single-walled carbon nanotubes are grown on the support by vapor phase growth. Nanotube manufacturing method. 触媒金属が、8族、9族、10族遷移金属からなる主触媒金属と、6族遷移金属からなる助触媒金属とから構成され、
支持体上に主触媒金属が疎に分散されて担持されていることを特徴とする請求項1記載の単層カーボンナノチューブの製法。
The catalyst metal is composed of a main catalyst metal composed of a group 8, 9 or 10 transition metal and a promoter metal composed of a group 6 transition metal,
2. The process for producing single-walled carbon nanotubes according to claim 1, wherein the main catalyst metal is loosely dispersed and supported on the support.
触媒金属が、8族、9族、10族遷移金属からなる主触媒金属と、6族遷移金属からなる助触媒金属とから構成され、
支持体上に主触媒金属が密に分散されて担持されていることを特徴とする請求項1記載の単層カーボンナノチューブの製法。
The catalyst metal is composed of a main catalyst metal composed of a group 8, 9 or 10 transition metal and a promoter metal composed of a group 6 transition metal,
2. The method for producing single-walled carbon nanotubes according to claim 1, wherein the main catalyst metal is densely dispersed and supported on the support.
触媒金属が、8族、9族、10族遷移金属からなり、この触媒金属が支持体上に形成されたシリカ膜表面に疎に分散されて担持されていることを特徴とする請求項1記載の単層カーボンナノチューブの製法。

The catalyst metal is composed of a group 8, 9, or 10 transition metal, and the catalyst metal is sparsely dispersed and supported on the surface of the silica film formed on the support. Of single-walled carbon nanotubes.

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