JP2005123568A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ14の表面のうち、デバイスが形成されていない外周余剰領域17に接着剤11を介して保護部材10を貼着し、保護部材10によってウェーハ14の表面全体を支持した状態で裏面を研削する。保護部材10によって外周が補強されているため、研削により薄くなった後も取り扱いが容易となる。
【選択図】図2
Description
6:移動用駆動部
10:保護部材 11:接着剤 12開口部
14:ウェーハ 15:ストリート 16:デバイス 17:外周余剰領域
18:デバイス領域
30:減圧成膜装置 31:スパッタチャンバー 32:保持部 33:励磁部材
34:スパッタ源 35:高周波電源 36:導入口 37:減圧口
40:金属膜
50:保持テーブル 51:切削ブレード
60:保持テーブル 61:プローブ
70:フレーム 71:テープ
80:ウェーハ 81:デバイス領域 82:外周余剰領域 83:接着剤
84:保護部材
Claims (6)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とから表面が構成されるウェーハを加工するウェーハの加工方法であって、
該外周余剰領域に接着剤を介して保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
該保護部材側を研削装置のチャックテーブルにおいて保持して該ウェーハの裏面を研削する裏面研削工程と
から少なくとも構成されるウェーハの加工方法。 - 前記裏面研削工程の後に、表面に保護部材が貼着されたウェーハの裏面に膜を形成する膜形成工程が遂行される請求項1に記載のウェーハの加工方法。
- 前記外周余剰領域に貼着された保護部材が環状となって残るように、該保護部材に切削ブレードを作用させ、該保護部材と該切削ブレードとを相対的に回転させながら該保護部材を切断する保護部材切断工程と、
該保護部材のうち、該切断工程において切断され前記デバイス領域を覆う部分を除去し、該デバイス領域を露出させてデバイスの電気的テストを行うテスト工程と
が含まれる請求項1または2に記載のウェーハの加工方法。 - ウェーハをデバイスごとに分割する分割工程が含まれる請求項1、2、3または4に記載のウェーハの研削方法。
- 前記分割工程の前に、環状となって残された保護部材の内周に沿って前記ウェーハを切断して前記外周余剰領域を前記デバイス領域から分離させる外周余剰領域分離工程が遂行される請求項4に記載のウェーハの加工方法。
- 保護部材は、ガラス、シリコン、セラミックスのいずれかにより形成され、接着剤はポリイミド樹脂により形成される請求項1、2、3、4または5に記載のウェーハの加工方法。
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