JP4741331B2 - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Description
該ウエーハの裏面に、ダイシングテープを介してダイシングフレームを装着するダイシングフレーム装着工程と、ダイシングフレームで支持されたウエーハをデバイスに分割する分割工程とを備えることを特徴とする。
[1]第1実施形態の加工方法
図1の符号1は、シリコンウエーハ等からなる円盤状の半導体ウエーハ(以下、ウエーハと略称)である。加工前のウエーハ1の厚さは、例えば600μm程度であり、表面には、格子状のストリート(分割予定ライン)2によって矩形状の半導体チップ(デバイス)3が区画されている。これら半導体チップ3の表面には、電子回路が形成されている。複数の半導体チップ3が形成された領域は、ウエーハ1と同心の概ね円形状のデバイス領域5であり、このデバイス領域5の周囲に環状の外周余剰領域6が存在している。
図2に示すように、ウエーハ1の表面全面、すなわちデバイス領域5および外周余剰領域6双方の表面に、紫外線照射によって粘着力が低下する特性を有する円形状の保護テープ7を貼り付ける。この保護テープ7としては、例えば、厚さ70〜200μm程度のポリオレフィン等の比較的柔軟な基材の片面に厚さ5〜20μm程度のアクリル系等の粘着剤を塗布した紫外線硬化型などが好適に用いられ、粘着剤をウエーハの表面に合わせて貼り付ける。紫外線照射による粘着力の低下特性としては、例えば、紫外線照射前の粘着力が2.06N/25mm、紫外線照射後で0.05N/25mm程度が有効である。この保護テープ7により、半導体チップの電子回路が保護される。
保護テープ7が表面に貼着されたウエーハ1のデバイス領域5に対応する裏面側を研削して、そのデバイス領域5を必要な厚さ(例えば200〜100μm程度、あるいは50μm程度)に薄化する。図3および図4は、そのために用いる研削装置10を示している。この研削装置10は、回転駆動する真空チャック式のチャックテーブル11と、研削ユニット12とを備えている。チャックテーブル11はウエーハ1よりも大きな円盤状で、その上面に載置されるウエーハ1を空気吸引によって吸着、保持する。このチャックテーブル11は、中心を軸として図示せぬモータにより回転させられる。
デバイス領域5の裏面側が研削されて、該デバイス領域5が薄化されたウエーハ1を、研削装置10のチャックテーブル11から搬出し、次の補強部切断工程で用いる図6に示す切削装置20に移す。
切削装置20は、図6に示すように、回転駆動する真空チャック式のチャックテーブル21と、円筒状の切削ユニット22とを備えている。切削ユニット22は軸線が水平に設置され、この切削ユニット22の一端部には、図示せぬモータで回転駆動される切削ブレード23が同軸的に装着されている。
図8〜図10に示すウエーハ処理装置30によって、上記補強部8をデバイス領域5から分離させてデバイス領域5を残存させる工程を実施する。ウエーハ処理装置30は、ベース31と、ベース31上に設置された載置テーブル32とを備えている。載置テーブル32は、円筒状の固定台33の上部に、回転駆動される円盤状のターンテーブル34が取り付けられたものである。載置テーブル32の周囲には、ベース31に立てられたガイドポスト35に沿って昇降駆動される複数(図示例では4つ)の弧状のプッシャパッド36が、周方向に沿って、かつ等間隔をおいて配置されている。各プッシャパッド36は、上下方向の位置が互いに揃った状態で昇降する。
この工程では、図11〜図12に示すようにして、ウエーハ処理装置30の載置テーブル32上に残存させたデバイス領域5のみのウエーハ1の上面すなわち裏面に、ダイシングテープ41を介して環状のダイシングフレーム42を装着する。ダイシングテープ41は、例えば、厚さ100μm程度のポリ塩化ビニルを基材とし、その片面に厚さ5μm程度でアクリル樹脂系の粘着剤が塗布されたものが用いられる。ダイシングテープ41はウエーハ1よりも大径の円形で、その外周部の粘着剤側に、環状のダイシングフレーム42が同心状に貼り付けられている。ダイシングフレーム42の内径は、デバイス領域5のみとなったウエーハ1の径よりも大径である。
載置テーブル32上において、下面(表面)に保護テープ7が、また、上面(裏面)にダイシングテープ41が貼られたウエーハ1を、適宜な方法で裏返し、そのウエーハ1を、図13に示すように、上記搬送アーム50におけるチャック部51の吸着パッド52にダイシングフレーム42を吸着、保持して真空チャック式のチャックテーブル61上に搬送し、図14に示すようにチャックテーブル61上に載置する。チャックテーブル61上のウエーハ1は、保護テープ7が貼られた表面が上側、ダイシングテープ41が貼られた裏面が下側となっており、このウエーハ1を、チャックテーブル61上に吸着、保持する。
続いて、上記第1実施形態を基にして工程の内容を変更した本発明の第2および第3実施形態を以下に説明する。
第2実施形態の加工方法は、上記第1実施形態の補強部切断工程までは全く同じであり、上記デバイス領域残存工程に代えて、次のようなデバイス領域残存工程を実施する。
6…外周余剰領域、7…保護テープ、8…補強部、10…研削装置、
11…研削装置のチャックテーブル、20…切削装置、
21…切削装置のチャックテーブル、23…切削ブレード(切削工具)、
41…ダイシングテープ、42…ダイシングフレーム、75…カッター機構。
Claims (2)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域の周囲に外周余剰領域を有するウエーハの加工方法であって、
前記デバイス領域および前記外周余剰領域の表面に、紫外線照射によって粘着力が低下する特性の保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、
前記保護テープ側を研削装置のチャックテーブルに対面させて該ウエーハを該チャックテーブルに保持し、その状態で露出するウエーハの裏面の、前記デバイス領域に対応する部分を研削して、該ウエーハを、前記外周余剰領域に対応する部分に肉厚の補強部が形成された断面凹状に加工する研削工程と、
該研削工程を経たウエーハを前記チャックテーブルから搬出するウエーハ搬出工程と、
前記保護テープ側を切削装置のチャックテーブルに対面させて該ウエーハを該チャックテーブルに保持し、該切削装置の切削工具によって前記補強部を切断する補強部切断工程と、
前記保護テープの前記外周余剰領域への貼着部分のみに紫外線を照射して該貼着部分の粘着力を低下させてから、前記補強部に外力を加えることにより該補強部を前記デバイス領域から分離させるとともに該デバイス領域を残存させ、ウエーハをデバイス領域のみとするデバイス領域残存工程と、
該ウエーハの裏面に、ダイシングテープを介してダイシングフレームを装着するダイシングフレーム装着工程と、
前記ダイシングフレームで支持されたウエーハをデバイスに分割する分割工程とを備えることを特徴とするウエーハの加工方法。 - 複数のデバイスが形成されたデバイス領域の周囲に外周余剰領域を有するウエーハの加工方法であって、
前記デバイス領域および前記外周余剰領域の表面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、
前記保護テープ側を研削装置のチャックテーブルに対面させて該ウエーハを該チャックテーブルに保持し、その状態で露出するウエーハの裏面の、前記デバイス領域に対応する部分を研削して、該ウエーハを、前記外周余剰領域に対応する部分に肉厚の補強部が形成された断面凹状に加工する研削工程と、
該研削工程を経たウエーハを前記チャックテーブルから搬出するウエーハ搬出工程と、
前記保護テープ側を切削装置のチャックテーブルに対面させて該ウエーハを該チャックテーブルに保持し、該切削装置の切削工具によって前記補強部を切断する補強部切断工程と、
前記保護テープにおける前記デバイス領域と前記補強部との間の境界部分をカッターで切断して、前記補強部を前記デバイス領域から分離させるとともに該デバイス領域を残存させ、ウエーハをデバイス領域のみとするデバイス領域残存工程と、
該ウエーハの裏面に、ダイシングテープを介してダイシングフレームを装着するダイシングフレーム装着工程と、
前記ダイシングフレームで支持されたウエーハをデバイスに分割する分割工程とを備えることを特徴とするウエーハの加工方法。
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