JP2004311015A - 低電流高速相変化メモリ素子及びその駆動方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 154
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 9
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 6
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 4
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 150000004770 chalcogenides Chemical class 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000006386 memory function Effects 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005537 GaSeTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005872 GeSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005900 GeTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018321 SbTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018219 SeTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006913 SnSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 238000011038 discontinuous diafiltration by volume reduction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- FESBVLZDDCQLFY-UHFFFAOYSA-N sete Chemical compound [Te]=[Se] FESBVLZDDCQLFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- G11C—STATIC STORES
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- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0004—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements comprising amorphous/crystalline phase transition cells
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- G11C11/56—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
- G11C11/5678—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using amorphous/crystalline phase transition storage elements
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- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/004—Reading or sensing circuits or methods
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- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
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- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/004—Reading or sensing circuits or methods
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- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0021—Auxiliary circuits
- G11C13/0069—Writing or programming circuits or methods
- G11C2013/0078—Write using current through the cell
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- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
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- G11C2213/79—Array wherein the access device being a transistor
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/30—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices comprising selection components having three or more electrodes, e.g. transistors
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
- H10N70/231—Multistable switching devices, e.g. memristors based on solid-state phase change, e.g. between amorphous and crystalline phases, Ovshinsky effect
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/841—Electrodes
- H10N70/8413—Electrodes adapted for resistive heating
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/882—Compounds of sulfur, selenium or tellurium, e.g. chalcogenides
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
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- H10N70/882—Compounds of sulfur, selenium or tellurium, e.g. chalcogenides
- H10N70/8828—Tellurides, e.g. GeSbTe
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
【解決手段】 非常に小さいサイズの接触構造を有するメモリセルの結晶質状態の相変化膜に局部的に非晶質核が形成されて結晶質状態より高い初期抵抗を有する状態をセットに、以後、このような非晶質核の状態変化による抵抗増加状態をリセットと定義する相変化メモリ。このような本発明によれば、リセットとセットに必要な電流を数百μm以下に、リセットとセットに必要な時間を数十ないし数百nsに短縮でき、これと共に高集積化と不揮発性に近いメモリ素子の具現も可能である効果がある。
【選択図】 図6B
Description
<I−V曲線の変化>
図6Aは、従来の相変化メモリでリセット後I−V特性を測定したグラフである。リセット状態(「1」状態)の素子に臨界電圧Vth以上の電圧が印加されれば、素子は電子的に低抵抗の動的状態にスイッチされて低電圧のプログラミングを許容する。図6Aより、Vthが1.0V以上であり、セット/リセットを記録するプログラミング電流が1.0mA以上であることが分かる。
<Ireset及びIset範囲の決定>
Ireset及びIsetは電流サイズ増加による抵抗変化から決定できる。図7は、本発明の実施例による相変化メモリでプログラミング電流による抵抗変化を測定したグラフである。
<読出し、書込み方式>
図8は、本発明の実施例による相変化メモリで読出し、リセット及びセットのための電流パルス印加方式を示す概略図である。記録状態を読み出すための電流IreadingはRreset及びRsetに影響を及ぼさない領域内で決定できる。そして、電流を印加して遮断して所望の電流サイズまたは0に到達するためには上昇時間、下降時間も考慮する必要がある。上昇及び下降時間は通常1〜4nsの範囲を有するものと期待できる。
<リセット/セット反復測定結果1>
図9は、本発明の実施例による相変化メモリにおいてリセットとセットとの反復測定時における抵抗変化を示すグラフである。すなわち、「1」が書き込まれたリセット状態で反復して「1」を書込み、読み出し、「0」が書き込まれたセット状態で反復して「0」を書込み、読み出した結果を示す。リセット条件は100μA/50nsであり、セット条件は40μA/100nsであり、読出し条件は6μA/10nsであった。図9の結果から、Rreset及びRsetは変化なしに維持し続けることが分かり、これはメモリ機能のための必須条件となる。結局、本発明による相変化方式の場合、書き込まれたデータを同一条件で書き込み、読出しを繰り返しても変化が無いことが確認できた。
<リセット/セット反復測定結果2>
図10は、本発明による相変化メモリでリセットとセットとを交互に繰り返して書込み、読み出して測定した抵抗変化を示すグラフである。このような繰り返されたサイクル結果からRresetとRsetとのサイズが一定の比で変化なしに維持し続けられることが分かるが、これもまたメモリ機能のための必須条件であり、データをセンシングするのに重要な情報となる。結局、本発明による相転移方式の場合、データ「1」と「0」とを繰り返して書込み、読出しても変化が無いことが確認できた。
<セットのための活性化エネルギー>
図11は、従来の相変化メモリと本発明の相変化メモリとで相異なる方式で動作することを示す実施例であって、セットになるための活性化エネルギーEaを比較したグラフである。従来の場合、2.25eV程度の活性化エネルギーが必要であると報告されている。本発明の場合には0.70eV、0.74eV、0.78eVなどの分布を示した。
132a,132b 非晶質核
230 下部電極コンタクト
240 上部電極コンタクト
S/A 電流感知増幅器
Claims (20)
- 相変化メモリセルの相変化膜に数十〜数百μAのリセット電流を10〜100ns間印加して高抵抗状態であるリセットを記録する段階と、
前記相変化膜に数十μAのセット電流を10〜100ns間印加して低抵抗状態であるセットを記録する段階と、
を含むことを特徴とする相変化メモリ素子駆動方法。 - 前記セット電流の範囲は30〜50μAであり、前記リセット電流の範囲は60〜200μAであることを特徴とする請求項1に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 前記リセットである時の前記相変化膜の抵抗は6〜20kΩであることを特徴とする請求項1に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 前記リセットとセットとの抵抗変化比率が1.5〜3であることを特徴とする請求項1に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 前記リセット電流とセット電流との上昇及び下降時間は1〜4nsであることを特徴とする請求項1に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 前記相変化膜に前記リセットとセットとを読み出すためにそれぞれ3〜6μAの電流を5〜10ns間印加することを特徴とする請求項1に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- メモリセルの結晶質の相変化膜に30〜50μAの電流を印加して抵抗が4〜6kΩであるセットを記録する段階と、
前記相変化膜に60〜200μAの電流を印加して前記セットよりも抵抗が増加されたリセットを記録する段階と、
を含むことを特徴とする相変化メモリ素子駆動方法。 - 前記リセットとセットとの抵抗変化比率が1.5〜3であることを特徴とする請求項7に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 前記リセットとセットとを読み出す電流及び時間の範囲はそれぞれ3〜6μA、5〜10nsとすることを特徴とする請求項7に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 前記相変化膜に前記リセットとセットとを記録する時間の範囲は10〜100nsであることを特徴とする請求項7に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 前記リセットである時の前記相変化膜の抵抗は6〜20kΩであることを特徴とする請求項7に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 前記セットである時の前記相変化膜の抵抗は4〜6kΩであることを特徴とする請求項7に記載の相変化メモリ素子駆動方法。
- 下部電極コンタクトと、
前記下部電極コンタクト上の相変化膜と、
前記相変化膜上の上部電極コンタクトと、を含み、
前記相変化膜に局部的に非晶質核が形成されて初期抵抗が4〜6kΩである状態がセットに、前記非晶質核の数及び単位面積当たり体積が前記セットよりも増加されて抵抗が6〜20kΩである状態がリセットに、定義されたことを特徴とする相変化メモリ。 - 前記相変化膜に前記リセットとセットとを記録する電流及び時間の範囲はそれぞれ10〜200μA、10〜100nsであることを特徴とする請求項13に記載の相変化メモリ。
- 前記相変化膜に前記セットを記録する電流の範囲は30〜50μAであり、前記リセットを記録する電流の範囲は60〜200μAであることを特徴とする請求項13に記載の相変化メモリ。
- 前記相変化膜に前記リセットとセットとを記録するために電流を流す前記下部電極コンタクトのサイズは40〜70nmであることを特徴とする請求項13に記載の相変化メモリ。
- 前記相変化膜に前記リセットとセットとを記録する電流の上昇及び下降時間は1〜4nsであることを特徴とする請求項13に記載の相変化メモリ。
- 前記相変化膜に前記リセットとセットとを読み出す電流及び時間の範囲はそれぞれ3〜6μA、5〜10nsであることを特徴とする請求項13に記載の相変化メモリ。
- 前記リセットとセットとを読み出す電流及び時間の範囲はそれぞれ3〜6μA、5〜10nsであることを特徴とする請求項14に記載の相変化メモリ。
- 相変化メモリセルと、
前記相変化メモリセルの第1状態に関する第1抵抗と前記相変化メモリセルの第2状態に関する第2抵抗との変化を検出する電流感知増幅器と、を含み、
前記第2抵抗は、前記第1抵抗の1.5〜3倍であることを特徴とする相変化メモリ素子。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0021419A KR100498493B1 (ko) | 2003-04-04 | 2003-04-04 | 저전류 고속 상변화 메모리 및 그 구동 방식 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004311015A true JP2004311015A (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=33128955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004107242A Pending JP2004311015A (ja) | 2003-04-04 | 2004-03-31 | 低電流高速相変化メモリ素子及びその駆動方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6967865B2 (ja) |
JP (1) | JP2004311015A (ja) |
KR (1) | KR100498493B1 (ja) |
CN (1) | CN100470870C (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005012183A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Macronix Internatl Co Ltd | メモリセルのしきい値電圧を調節する方法 |
JP2006140224A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Toshiba Corp | 半導体メモリ素子及び半導体記憶装置 |
JP2006165560A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化記憶セル及びその製造方法 |
JP2006196900A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Samsung Electronics Co Ltd | 相転移ram動作方法 |
JP2006222215A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Elpida Memory Inc | 相変化メモリ装置 |
JP2006294970A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2006332671A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Hynix Semiconductor Inc | 相変化記憶素子及びその製造方法 |
JP2006344948A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hynix Semiconductor Inc | 相変化記憶素子及びその製造方法 |
JP2007043176A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化物質、それを含む相変化ram並びに、その製造及び動作方法 |
JP2007323800A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化メモリ装置のメモリセル内における相変化物質の一部をリセットするためのリセット電流を低減する方法及び相変化メモリ装置 |
JP2008141199A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 拡散防止膜を備える相変化メモリ素子及びその製造方法 |
JP2009135409A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化メモリ素子の動作方法 |
JP2013511154A (ja) * | 2009-11-16 | 2013-03-28 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 相変化メモリ・セルおよびこれを操作する方法 |
KR101284527B1 (ko) | 2010-09-23 | 2013-07-16 | 마이크론 테크놀로지, 인크. | 역치 에지 검출을 이용한 상 변화 메모리 상태 판정 |
US9076525B2 (en) | 2011-09-26 | 2015-07-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor storage device and method of controlling data thereof |
Families Citing this family (75)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004039977B4 (de) * | 2003-08-13 | 2008-09-11 | Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon | Programmierverfahren und Treiberschaltung für eine Phasenwechselspeicherzelle |
US7858980B2 (en) * | 2004-03-01 | 2010-12-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Reduced active area in a phase change memory structure |
US7423897B2 (en) * | 2004-10-01 | 2008-09-09 | Ovonyx, Inc. | Method of operating a programmable resistance memory array |
JP2008518373A (ja) * | 2004-10-21 | 2008-05-29 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 相変化メモリセルを有する集積回路および相変化メモリセルのアドレス指定方法 |
US7272037B2 (en) * | 2004-10-29 | 2007-09-18 | Macronix International Co., Ltd. | Method for programming a multilevel phase change memory device |
US7646630B2 (en) * | 2004-11-08 | 2010-01-12 | Ovonyx, Inc. | Programmable matrix array with chalcogenide material |
US8049202B2 (en) | 2004-12-02 | 2011-11-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Phase change memory device having phase change material layer containing phase change nano particles |
EP1667244B1 (en) * | 2004-12-02 | 2011-01-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of fabricating phase change memory device having phase change material layer containing phase change nano particles |
EP1684352B1 (en) * | 2005-01-21 | 2008-09-17 | STMicroelectronics S.r.l. | Phase-change memory device and manufacturing process thereof |
US7391642B2 (en) * | 2005-01-25 | 2008-06-24 | Intel Corporation | Multilevel programming of phase change memory cells |
KR100668333B1 (ko) | 2005-02-25 | 2007-01-12 | 삼성전자주식회사 | Pram 소자 및 그 제조방법 |
US20060284156A1 (en) * | 2005-06-16 | 2006-12-21 | Thomas Happ | Phase change memory cell defined by imprint lithography |
US7460389B2 (en) * | 2005-07-29 | 2008-12-02 | International Business Machines Corporation | Write operations for phase-change-material memory |
US7679950B2 (en) * | 2005-08-24 | 2010-03-16 | Infineon Technologies Ag | Integrated circuit having a switch |
TWI291745B (en) | 2005-11-30 | 2007-12-21 | Ind Tech Res Inst | Lateral phase change memory with spacer electrodes and method of manufacturing the same |
US20070171705A1 (en) * | 2005-12-15 | 2007-07-26 | Parkinson Ward D | Writing phase change memories |
JP4591833B2 (ja) * | 2006-01-17 | 2010-12-01 | エルピーダメモリ株式会社 | 相変化メモリ装置および相変化メモリ装置の製造方法 |
US8134866B2 (en) * | 2006-04-06 | 2012-03-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Phase change memory devices and systems, and related programming methods |
KR100764738B1 (ko) * | 2006-04-06 | 2007-10-09 | 삼성전자주식회사 | 향상된 신뢰성을 갖는 상변화 메모리 장치, 그것의 쓰기방법, 그리고 그것을 포함한 시스템 |
DE102006026718A1 (de) * | 2006-06-08 | 2007-12-13 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Erzeugen einer Speichervorrichtung mit mindestens einer Speicherzelle, insbesondere einer Phasenwechselspeicherzelle und Speichervorrichtung |
US7626858B2 (en) * | 2006-06-09 | 2009-12-01 | Qimonda North America Corp. | Integrated circuit having a precharging circuit |
US7397689B2 (en) * | 2006-08-09 | 2008-07-08 | Micron Technology, Inc. | Resistive memory device |
EP1895541A1 (en) * | 2006-09-01 | 2008-03-05 | STMicroelectronics S.r.l. | Method for reading phase change memories and phase change memory |
JP2008078183A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Elpida Memory Inc | 相変化メモリ装置および相変化メモリ装置の製造方法 |
US7505348B2 (en) * | 2006-10-06 | 2009-03-17 | International Business Machines Corporation | Balanced and bi-directional bit line paths for memory arrays with programmable memory cells |
US7388771B2 (en) * | 2006-10-24 | 2008-06-17 | Macronix International Co., Ltd. | Methods of operating a bistable resistance random access memory with multiple memory layers and multilevel memory states |
US8130536B2 (en) * | 2006-11-09 | 2012-03-06 | Micron Technology, Inc. | Read window in chalcogenide semiconductor memories |
US7619917B2 (en) * | 2006-11-28 | 2009-11-17 | Qimonda North America Corp. | Memory cell with trigger element |
US7447062B2 (en) * | 2007-03-15 | 2008-11-04 | International Business Machines Corproation | Method and structure for increasing effective transistor width in memory arrays with dual bitlines |
US7859036B2 (en) * | 2007-04-05 | 2010-12-28 | Micron Technology, Inc. | Memory devices having electrodes comprising nanowires, systems including same and methods of forming same |
US20080270811A1 (en) * | 2007-04-26 | 2008-10-30 | Super Talent Electronics Inc. | Fast Suspend-Resume of Computer Motherboard Using Phase-Change Memory |
US7940552B2 (en) * | 2007-04-30 | 2011-05-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Multiple level cell phase-change memory device having pre-reading operation resistance drift recovery, memory systems employing such devices and methods of reading memory devices |
DE102008021093A1 (de) | 2007-04-30 | 2008-11-06 | Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon | Mehrpegelzellen-Phasenänderungsspeicher mit Vor-Leseoperations-Widerstandsdriftausgleich, Speichersysteme mit solchen Speichern und Verfahren zum Lesen von Speichern |
WO2008132701A1 (en) * | 2007-05-01 | 2008-11-06 | Interuniversitair Microelektronica Centrum Vzw | Non-volatile memory device |
KR100857466B1 (ko) | 2007-05-16 | 2008-09-08 | 한국전자통신연구원 | 안티몬-아연 합금을 이용한 상변화형 비휘발성 메모리 소자및 이의 제조방법 |
US8125821B2 (en) * | 2007-06-01 | 2012-02-28 | Infineon Technologies Ag | Method of operating phase-change memory |
KR100914267B1 (ko) * | 2007-06-20 | 2009-08-27 | 삼성전자주식회사 | 가변저항 메모리 장치 및 그것의 형성방법 |
JP5216254B2 (ja) * | 2007-06-22 | 2013-06-19 | 株式会社船井電機新応用技術研究所 | メモリ素子アレイ |
KR101308549B1 (ko) * | 2007-07-12 | 2013-09-13 | 삼성전자주식회사 | 멀티-레벨 상변환 메모리 장치 및 그것의 쓰기 방법 |
KR100882119B1 (ko) * | 2007-07-24 | 2009-02-05 | 주식회사 하이닉스반도체 | 상 변화 메모리 장치의 구동 방법 |
US7755935B2 (en) * | 2007-07-26 | 2010-07-13 | International Business Machines Corporation | Block erase for phase change memory |
US7593278B2 (en) * | 2007-08-21 | 2009-09-22 | Seagate Technology Llc | Memory element with thermoelectric pulse |
KR101390337B1 (ko) * | 2007-09-13 | 2014-04-29 | 삼성전자주식회사 | 멀티-레벨 상변환 메모리 장치, 그것의 프로그램 방법,그리고 그것을 포함한 메모리 시스템 |
TWI367485B (en) * | 2007-09-21 | 2012-07-01 | Higgs Opl Capital Llc | Device controlling phase change storage element and method of increasing reliability of phase change storage element |
US7890892B2 (en) * | 2007-11-15 | 2011-02-15 | International Business Machines Corporation | Balanced and bi-directional bit line paths for memory arrays with programmable memory cells |
US7889536B2 (en) * | 2007-12-17 | 2011-02-15 | Qimonda Ag | Integrated circuit including quench devices |
US8217380B2 (en) * | 2008-01-09 | 2012-07-10 | International Business Machines Corporation | Polysilicon emitter BJT access device for PCRAM |
US7760546B2 (en) * | 2008-02-28 | 2010-07-20 | Qimonda North America Corp. | Integrated circuit including an electrode having an outer portion with greater resistivity |
US7990761B2 (en) * | 2008-03-31 | 2011-08-02 | Ovonyx, Inc. | Immunity of phase change material to disturb in the amorphous phase |
US7701750B2 (en) * | 2008-05-08 | 2010-04-20 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change device having two or more substantial amorphous regions in high resistance state |
US7929336B2 (en) * | 2008-06-11 | 2011-04-19 | Qimonda Ag | Integrated circuit including a memory element programmed using a seed pulse |
US8036014B2 (en) * | 2008-11-06 | 2011-10-11 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory program method without over-reset |
US8456880B2 (en) * | 2009-01-30 | 2013-06-04 | Unity Semiconductor Corporation | Multiple layers of memory implemented as different memory technology |
US8031518B2 (en) | 2009-06-08 | 2011-10-04 | Micron Technology, Inc. | Methods, structures, and devices for reducing operational energy in phase change memory |
US8203134B2 (en) | 2009-09-21 | 2012-06-19 | Micron Technology, Inc. | Memory devices with enhanced isolation of memory cells, systems including same and methods of forming same |
US8129268B2 (en) | 2009-11-16 | 2012-03-06 | International Business Machines Corporation | Self-aligned lower bottom electrode |
WO2011080770A1 (en) * | 2009-12-29 | 2011-07-07 | Ferdinando Bedeschi | Use of decreasing verify currents in a set programming cycle of a phase change memory |
US8634235B2 (en) | 2010-06-25 | 2014-01-21 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory coding |
US8467238B2 (en) | 2010-11-15 | 2013-06-18 | Macronix International Co., Ltd. | Dynamic pulse operation for phase change memory |
US8374019B2 (en) | 2011-01-05 | 2013-02-12 | Macronix International Co., Ltd. | Phase change memory with fast write characteristics |
CN102610747B (zh) * | 2011-01-20 | 2014-07-02 | 中国科学院微电子研究所 | 提高非易失性电阻转变存储器均一性的方法 |
US8891293B2 (en) | 2011-06-23 | 2014-11-18 | Macronix International Co., Ltd. | High-endurance phase change memory devices and methods for operating the same |
KR101887109B1 (ko) | 2011-08-22 | 2018-09-11 | 삼성전자주식회사 | 저항 변화 메모리 장치 및 그에 따른 전류 트리밍 방법 |
US9001550B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-04-07 | Macronix International Co., Ltd. | Blocking current leakage in a memory array |
US8971089B2 (en) * | 2012-06-27 | 2015-03-03 | Intel Corporation | Low power phase change memory cell |
US8877628B2 (en) | 2012-07-12 | 2014-11-04 | Micron Technologies, Inc. | Methods of forming nano-scale pores, nano-scale electrical contacts, and memory devices including nano-scale electrical contacts, and related structures and devices |
KR20140029814A (ko) * | 2012-08-30 | 2014-03-11 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 비휘발성 메모리 장치 및 그 구동 방법 |
US8964442B2 (en) | 2013-01-14 | 2015-02-24 | Macronix International Co., Ltd. | Integrated circuit 3D phase change memory array and manufacturing method |
US9384831B2 (en) * | 2014-05-29 | 2016-07-05 | Intel Corporation | Cross-point memory single-selection write technique |
US9159412B1 (en) * | 2014-07-15 | 2015-10-13 | Macronix International Co., Ltd. | Staggered write and verify for phase change memory |
KR20170031224A (ko) * | 2014-07-24 | 2017-03-20 | 후아웨이 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 | 데이터 저장 방법 및 상변화 메모리 |
KR20170031746A (ko) | 2014-07-24 | 2017-03-21 | 후아웨이 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 | 데이터 저장 방법 및 상변화 메모리 |
US9779810B2 (en) | 2015-09-11 | 2017-10-03 | Macronix International Co., Ltd. | Adjustable writing circuit |
KR102478221B1 (ko) | 2018-07-09 | 2022-12-15 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 읽기 동작을 제어하는 제어회로를 포함하는 반도체 메모리 장치 |
US11416323B2 (en) * | 2019-12-20 | 2022-08-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Defense mechanism for non-volatile memory based main memory |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0445583A (ja) * | 1990-06-13 | 1992-02-14 | Casio Comput Co Ltd | 相転移型メモリ素子およびその製造方法 |
JP2002203392A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | メモリ、書き込み装置、読み出し装置およびその方法 |
JP2002541613A (ja) * | 1999-04-12 | 2002-12-03 | エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド | ユニバーサルメモリ素子を使用するシステムを有するユニバーサルメモリ素子と、同メモリ素子を読み取り、書き込み、またプログラムするための装置と方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6570784B2 (en) * | 2001-06-29 | 2003-05-27 | Ovonyx, Inc. | Programming a phase-change material memory |
EP1326254B1 (en) * | 2001-12-27 | 2009-02-25 | STMicroelectronics S.r.l. | Architecture of a phase-change nonvolatile memory array |
US6831856B2 (en) * | 2002-09-23 | 2004-12-14 | Ovonyx, Inc. | Method of data storage using only amorphous phase of electrically programmable phase-change memory element |
US6867425B2 (en) * | 2002-12-13 | 2005-03-15 | Intel Corporation | Lateral phase change memory and method therefor |
KR100532462B1 (ko) * | 2003-08-22 | 2005-12-01 | 삼성전자주식회사 | 상 변화 메모리 장치의 기입 전류 량을 제어하는프로그래밍 방법 및 프로그래밍 방법을 구현하는 기입드라이버 회로 |
KR100558548B1 (ko) * | 2003-11-27 | 2006-03-10 | 삼성전자주식회사 | 상변화 메모리 소자에서의 라이트 드라이버 회로 및라이트 전류 인가방법 |
JP4646636B2 (ja) * | 2004-02-20 | 2011-03-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US7423897B2 (en) * | 2004-10-01 | 2008-09-09 | Ovonyx, Inc. | Method of operating a programmable resistance memory array |
-
2003
- 2003-04-04 KR KR10-2003-0021419A patent/KR100498493B1/ko active IP Right Grant
-
2004
- 2004-03-23 US US10/807,077 patent/US6967865B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-31 JP JP2004107242A patent/JP2004311015A/ja active Pending
- 2004-04-05 CN CNB2004100321884A patent/CN100470870C/zh not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-08-16 US US11/204,951 patent/US7130214B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0445583A (ja) * | 1990-06-13 | 1992-02-14 | Casio Comput Co Ltd | 相転移型メモリ素子およびその製造方法 |
JP2002541613A (ja) * | 1999-04-12 | 2002-12-03 | エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド | ユニバーサルメモリ素子を使用するシステムを有するユニバーサルメモリ素子と、同メモリ素子を読み取り、書き込み、またプログラムするための装置と方法 |
JP2002203392A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | メモリ、書き込み装置、読み出し装置およびその方法 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005012183A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Macronix Internatl Co Ltd | メモリセルのしきい値電圧を調節する方法 |
JP2006140224A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Toshiba Corp | 半導体メモリ素子及び半導体記憶装置 |
JP2006165560A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化記憶セル及びその製造方法 |
JP2006196900A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Samsung Electronics Co Ltd | 相転移ram動作方法 |
US7675770B2 (en) | 2005-02-09 | 2010-03-09 | Elpida Memory, Inc. | Phase change memory device |
JP2006222215A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Elpida Memory Inc | 相変化メモリ装置 |
JP4591821B2 (ja) * | 2005-02-09 | 2010-12-01 | エルピーダメモリ株式会社 | 半導体装置 |
JP2006294970A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2006332671A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Hynix Semiconductor Inc | 相変化記憶素子及びその製造方法 |
US8450772B2 (en) | 2005-06-10 | 2013-05-28 | Hynix Semiconductor Inc. | Phase change RAM device and method for manufacturing the same |
JP2006344948A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hynix Semiconductor Inc | 相変化記憶素子及びその製造方法 |
JP2007043176A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化物質、それを含む相変化ram並びに、その製造及び動作方法 |
JP2007323800A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化メモリ装置のメモリセル内における相変化物質の一部をリセットするためのリセット電流を低減する方法及び相変化メモリ装置 |
JP2008141199A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 拡散防止膜を備える相変化メモリ素子及びその製造方法 |
JP2009135409A (ja) * | 2007-11-29 | 2009-06-18 | Samsung Electronics Co Ltd | 相変化メモリ素子の動作方法 |
JP2013511154A (ja) * | 2009-11-16 | 2013-03-28 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 相変化メモリ・セルおよびこれを操作する方法 |
KR101284527B1 (ko) | 2010-09-23 | 2013-07-16 | 마이크론 테크놀로지, 인크. | 역치 에지 검출을 이용한 상 변화 메모리 상태 판정 |
US9076525B2 (en) | 2011-09-26 | 2015-07-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor storage device and method of controlling data thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1536688A (zh) | 2004-10-13 |
US6967865B2 (en) | 2005-11-22 |
CN100470870C (zh) | 2009-03-18 |
KR100498493B1 (ko) | 2005-07-01 |
US20050275433A1 (en) | 2005-12-15 |
KR20040087153A (ko) | 2004-10-13 |
US7130214B2 (en) | 2006-10-31 |
US20040202017A1 (en) | 2004-10-14 |
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Varesi et al. | Advances in phase change memory technology | |
Horii et al. | A 0.24 µm PRAM Cell Technology Using N-Doped GeSbTe Films | |
Mehra | Chalcogenide Based Phase-change Memory |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060707 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091104 |
|
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A02 | Decision of refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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