JP2003249569A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

Info

Publication number
JP2003249569A
JP2003249569A JP2002049685A JP2002049685A JP2003249569A JP 2003249569 A JP2003249569 A JP 2003249569A JP 2002049685 A JP2002049685 A JP 2002049685A JP 2002049685 A JP2002049685 A JP 2002049685A JP 2003249569 A JP2003249569 A JP 2003249569A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
potential
circuit
mos transistor
power supply
semiconductor device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002049685A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4301760B2 (ja
JP2003249569A5 (ja
Inventor
Hiroaki Nakai
宏明 中井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2002049685A priority Critical patent/JP4301760B2/ja
Priority to US10/222,998 priority patent/US6771117B2/en
Priority to DE10245139A priority patent/DE10245139A1/de
Publication of JP2003249569A publication Critical patent/JP2003249569A/ja
Priority to US10/883,807 priority patent/US7106129B2/en
Publication of JP2003249569A5 publication Critical patent/JP2003249569A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4301760B2 publication Critical patent/JP4301760B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05FSYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F1/00Automatic systems in which deviations of an electric quantity from one or more predetermined values are detected at the output of the system and fed back to a device within the system to restore the detected quantity to its predetermined value or values, i.e. retroactive systems
    • G05F1/10Regulating voltage or current
    • G05F1/46Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc
    • G05F1/462Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc as a function of the requirements of the load, e.g. delay, temperature, specific voltage/current characteristic
    • G05F1/465Internal voltage generators for integrated circuits, e.g. step down generators
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Amplifiers (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Continuous-Control Power Sources That Use Transistors (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Control Of Electrical Variables (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 しきい値電圧の変動の影響を受けにくい電圧
降下回路を備えた半導体装置を提供する。 【解決手段】 MOSトランジスタのしきい値電圧に、
ある一定値をオフセットしたバイアス電位VBIASを
しきい値補償回路32が発生する。これにより、しきい
値の変動が補償されたゲート−ソース間電圧がトランジ
スタN3に与えられる。トランジスタN3を電流源とし
て動作する差動増幅回路40を構成要素とすることによ
りプロセスばらつきや温度によるしきい値電圧の変動の
影響を受けにくい電圧降下回路24が実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置に関
し、より特定的には、電圧降下回路を備えた半導体装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、低コスト化、低消費電力化、高速
化を実現するために半導体装置に含まれるトランジスタ
の微細化が進んでいる。微細化されたトランジスタの信
頼性を確保するために、使用する電源電位の低電圧化が
必要である。
【0003】半導体装置は、さまざまな機器にさまざま
な部品と一緒に用いられる基幹部品である。しかしなが
ら、半導体装置が搭載される機器に用いられる他の部品
は低電圧化がまだ進んでいない場合が多い。したがっ
て、他の部品との整合性の問題から、微細化されたトラ
ンジスタを用いた半導体装置も、そのままトランジスタ
に与えると信頼性の問題が生ずるような高い外部電源電
位を受けて動作する必要がある。
【0004】ここで必要となってくるのが電圧降下回路
である。電圧降下回路は、半導体装置の内部に搭載さ
れ、外部から与えられる高い電源電位を微細化されたト
ランジスタに対して信頼性上問題のない電位まで降圧す
るという役割を果たす。
【0005】図23は、従来の電圧降下回路524の構
成を示した回路図である。図23を参照して、電圧降下
回路524は、基準電位VREF,VBGRを出力する
基準電位発生回路534と、基準電位VREF,VBG
Rを受けて外部電源電位EXTVDDを降圧して内部電
源電位INTVDDを出力する降圧部536とを含む。
内部電源電位INTVDDは、負荷回路526に供給さ
れる。基準電位発生回路534、降圧部536は、後に
説明する基準電位発生回路34E、降圧部36とそれぞ
れ同様な構成を有しており、ここではこれらの構成の説
明は行なわない。なお、図中抵抗R2Aは、抵抗R2と
等しい抵抗値を有する。
【0006】降圧部536は、外部から供給される外部
電源電位EXTVDDを受けて、基準電位発生回路53
4が発生した基準電位VREFを参照して低い内部電源
電位INTVDDを発生させる回路である。内部電源電
位は、次の式(1)で与えられる。
【0007】
【数1】
【0008】したがって、基準電位VREFが変動する
と、内部電源電位INTVDDも同時に変動する。これ
を避けるために、内部電源電位、プロセスばらつき、お
よび温度の変動の影響を基準電位VREFがなるべく受
けないように意図して半導体装置が設計される。
【0009】図23では、バンドギャップ型基準電位発
生回路534が示されている。バンドギャップ型基準電
圧発生回路はbandgap voltage referenceともよばれ、
基準電位VREFの変動が少ない基準電圧発生回路とし
てよく用いられる回路である。
【0010】バンドギャップ型基準電位発生回路の発生
する電圧について説明する。一般に、ダイオードに流れ
る電流は次の式(2)のように表わされる。ここでIs
は飽和電流、qは電子の電荷量、kはボルツマン係数、
Tは絶対温度、Vbeはベース−エミッタ間電圧であ
る。
【0011】
【数2】
【0012】なお、式(5)を導出する際に、V(W1
2)=V(W13)としている理由は次の通りである。
まず、トランジスタP1,P2のサイズを等しくするこ
とにより、トランジスタP1,P2に流れる電流が等し
くなる。このときに、トランジスタN1,N2のサイズ
を等しくすることにより差動増幅回路38EがV(W1
2)=V(W13)となるようにトランジスタP6のゲ
ートを制御するからである。
【0013】以上のように、図23の基準電位発生回路
534が出力する電位VBGR,VREFは、それぞれ
上記の式(7),式(8)で表わされる。
【0014】抵抗R3,R4の抵抗値を調整することに
より基準電位VREFを調整し、これによって内部電源
電位INTVDDのレベルを合わせる。
【0015】また、抵抗R1と抵抗R2とは同じ特性の
ばらつき、温度依存性を持つように、同一の材質で構成
される。同様に、抵抗R3と抵抗R4とは同じ特性のば
らつき、温度依存性を持つように、同一の材質で構成さ
れる。また同様に、抵抗R5と抵抗R6とは同じ特性の
ばらつき、温度依存性を持つように、同一の材質で構成
される。なお、図中の抵抗R2と抵抗R2Aとは、同じ
抵抗値を有し、同一の材質で構成される。
【0016】MOSトランジスタのしきい値電圧Vth
は、プロセスばらつきが無視できないことが知られてい
る。それに対して、「超LSIのためのアナログ集積回
路設計技術(下),P.R.グレイ/R.G.メイヤー
共著,培風館発行」第310頁に記載されているように
Vbeは、シリコンなどの材質によってほぼ固有で、ほ
とんどばらつきがない。しかし、約−2mV/℃の温度
依存性をもつ。したがって、次の式(9)を満たすよう
に抵抗R1,R2の値を決定することで∂VBGR/∂
T=0となる。
【0017】
【数3】
【0018】結局、バンドギャップ型の基準電位発生回
路534によって発生された電位VBGRは電源電圧、
プロセスばらつき、温度の影響をあまり受けない。
【0019】したがって、基準電位VREFも同様に電
源電圧、プロセスばらつきおよび温度の影響をあまり受
けない。
【0020】結局、電源電圧、プロセスばらつきおよび
温度の影響をあまり受けずに内部電源電位INTVDD
を発生させることが可能となる。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】近年、半導体装置は、
低消費電力化が求められており、スタンバイ時の消費電
流の低減が大きな課題となっている。スタティックラン
ダムアクセスメモリ(SRAM)や、ダイナミックラン
ダムアクセスメモリ(DRAM)などの半導体記憶装置
では、スタンバイ状態からアクティブ状態に遷移した後
にいかに速やかに読出、書込などの動作を行なうことが
できるかということが、その半導体記憶装置の価値を決
める大きな指標となっている。
【0022】しかし、電圧降下回路は巨大な負荷回路を
駆動しなければならないため、低消費電力化のためにス
タンバイ状態において電圧降下回路を停止させ、アクテ
ィブ状態となったときに動作させていたのでは、高速動
作は不可能である。
【0023】したがって、電圧降下回路は、半導体装置
がスタンバイ状態にあるときから動作をさせておくこと
が求められる。このため、電圧降下回路の消費電流が半
導体装置のスタンバイ電流の大きな部分を占めることに
なる。電圧降下回路の消費電流の中でも大きな部分を占
めるのは、差動増幅回路に流れるバイアス電流Ibia
sである。そのため、このバイアス電流Ibiasを極
小化するように回路設計がされる。
【0024】しかしながら、「VLSI Memory Chip Desig
n, Kiyoo Ito著」Springer-VerlagTelos発行2001.4、第
297頁〜第298頁に示されているように、バイアス
電流Ibiasを小さくすると差動増幅回路の応答性が
悪くなり、電圧降下が大きくなってしまうという問題が
ある。
【0025】図24は、バイアス電流を小さくした場合
に問題となる電圧降下を説明するための図である。
【0026】図24を参照して、時刻t1においてスタ
ンバイ状態からアクティブ状態に半導体装置が遷移す
る。バイアス電流Ibiasを小さくすると、差動アン
プの応答性が悪くなり、ノードW17の電位が降下する
のが遅れ、スタンバイ状態からアクティブ状態に遷移し
た直後の内部電源電位INTVDDの降下量Vdrop
が大きくなってしまう。
【0027】ある程度の電圧降下は許容するとしても、
一定の許容範囲を超えると、降下量Vdropは半導体
装置の高速動作に大きな影響を及ぼす。
【0028】図23に示した構成では、降圧部536の
差動増幅回路40を構成するNチャネルMOSトランジ
スタN3のしきい値電圧が、プロセスばらつきや温度に
よって変動する。差動増幅回路のバイアス電流Ibia
sは、NチャネルMOSトランジスタN3のVgs−V
thすなわちVBGR−Vthnで決定される。先に説
明したようにバンドギャップ型基準電位発生回路によっ
て電位VBGRが変動しないように設計されていても、
しきい値電圧Vthnが変動するので、バイアス電流I
biasが大きく変動してしまう。
【0029】つまり、しきい値電圧Vthnが高くなれ
ば、バイアス電流Ibiasが低下し、このため降下量
Vdropが大きくなりすぎるという危険性がある。
【0030】また逆に、しきい値電圧Vthnが低くな
れば、バイアス電流Ibiasが上昇し、スタンバイ電
流が大幅に増える可能性がある。
【0031】この発明の目的は、しきい値電圧の変動に
よってスタンバイ電流の増加や、スタンバイ状態からア
クティブ状態に遷移した直後の内部電源電位INTVD
Dの電圧降下量が増えすぎるのを抑制した半導体装置を
提供することである。
【0032】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の半導体
装置は、MOSトランジスタのしきい値電圧に応じた制
御電位を出力するしきい値補償回路と、第1の入力電位
と第2の入力電位との電位差を増幅する差動増幅回路と
を備え、差動増幅回路は、制御電位をゲートに受け、制
御電位に応じて差動増幅回路のバイアス電流を定める第
1のMOSトランジスタを含む。
【0033】請求項2に記載の半導体装置は、請求項1
に記載の半導体装置の構成に加えて、負荷回路と、外部
から与えられる第1の電源電位と第2の電源電位との間
に接続され、ゲート電位が差動増幅回路の出力に応じて
制御され、第1の電源電位を降下させた第2の電源電位
を負荷回路に供給する第2のMOSトランジスタとをさ
らに備え、第1の入力電位は、基準電位であり、第2の
入力電位は、第2の電源電位に応じた内部電位である。
【0034】請求項3に記載の半導体装置は、請求項2
に記載の半導体装置の構成に加えて、負荷回路は、行列
状に配列されるメモリセルを有するメモリアレイを含
む。
【0035】請求項4に記載の半導体装置は、請求項2
に記載の半導体装置の構成に加えて、しきい値補償回路
は、第3のMOSトランジスタと、第3のMOSトラン
ジスタと直列に接続される第1のダイオード回路と、第
3のMOSトランジスタとカレントミラーを形成する第
4のMOSトランジスタと、第4のMOSトランジスタ
と直列に接続される第2のダイオード回路とを含む。
【0036】請求項5に記載の半導体装置は、請求項4
に記載の半導体装置の構成に加えて、第1のダイオード
回路は、第1のダイオード素子を含み、第2のダイオー
ド回路は、互いに並列接続される複数の第2のダイオー
ド素子を含む。
【0037】請求項6に記載の半導体装置は、請求項4
に記載の半導体装置の構成に加えて、第1のダイオード
回路は、第1のダイオード素子を含み、第2のダイオー
ド回路は、同一のバイアス電位が印加された場合に第1
のダイオード素子に流れる電流の所定係数倍の電流が流
れるようにpn接合面積が第1のダイオード素子とは異
なる第2のダイオード素子を含む。
【0038】請求項7に記載の半導体装置は、請求項4
に記載の半導体装置の構成において、第1、第3、第4
のMOSトランジスタは、同じ導電型である。
【0039】請求項8に記載の半導体装置は、請求項2
に記載の半導体装置の構成に加えて、しきい値補償回路
は、第1のMOSトランジスタと同じしきい値電圧を有
するように、第1のMOSトランジスタと実質的に同じ
トランジスタサイズを有し第1のMOSトランジスタと
近接配置され、第1のMOSトランジスタと導電型が等
しい複数の第3のMOSトランジスタと、複数の第3の
MOSトランジスタのドレインを所定の電位に充電する
プリチャージ回路と、複数の第3のMOSトランジスタ
のドレインが所定の電位にプリチャージされた後に、複
数の第3のMOSトランジスタのゲートにそれぞれ異な
る複数の電位を与える電位発生回路と、複数の第3のM
OSトランジスタのドレインの電位を観測し、観測結果
に応じて制御電位を決定する論理回路とを含む。
【0040】請求項9に記載の半導体装置は、請求項8
に記載の半導体装置の構成に加えて、しきい値補償回路
は、第1の電源電位から複数のバイアス基準電位を出力
する電位発生部と、論理回路の出力に応じて複数のバイ
アス基準電位のうちから制御電位を選択する選択部とを
さらに含む。
【0041】請求項10に記載の半導体装置は、請求項
2に記載の半導体装置の構成に加えて、しきい値補償回
路は、第1のMOSトランジスタと同じしきい値電圧を
有するように、第1のMOSトランジスタと実質的に同
じトランジスタサイズを有し第1のMOSトランジスタ
と近接配置され、第1のMOSトランジスタと導電型が
等しい第3のMOSトランジスタと、第3のMOSトラ
ンジスタのドレインを所定の電位に充電するプリチャー
ジ回路と、第3のMOSトランジスタのドレインが所定
の電位にプリチャージされた後に、第3のMOSトラン
ジスタのゲートに逐次複数の異なる電位を与える電位発
生回路と、第3のMOSトランジスタのドレイン電位を
観測し、観測結果に応じて制御電位を決定する論理回路
とを含む。
【0042】請求項11に記載の半導体装置は、請求項
10に記載の半導体装置の構成に加えて、しきい値補償
回路は、第1の電源電位から複数のバイアス基準電位を
出力する電位発生部と、論理回路の出力に応じて複数の
バイアス基準電位のうちから制御電位を選択する選択部
とをさらに含む。
【0043】請求項12に記載の半導体装置は、請求項
2に記載の半導体装置の構成に加えて、第1のMOSト
ランジスタは第1導電型であり、ソースが接地電位に結
合され、差動増幅回路は、第1の電源電位と接地電位と
の間に第1のMOSトランジスタと直列に接続される第
2導電型の第3のMOSトランジスタと、第3のMOS
トランジスタとカレントミラー対をなす第2導電型の第
4のMOSトランジスタと、第4のMOSトランジスタ
を介して第1の電源電位から電流が供給され、差動増幅
のための対をなす第5、第6のMOSトランジスタとを
さらに含む。
【0044】請求項13に記載の半導体装置は、請求項
2に記載の半導体装置の構成に加えて、第1のMOSト
ランジスタは第1導電型であり、ソースが接地電位に結
合され、差動増幅回路は、第1導電型であり、各々のソ
ースおよびバックゲートがともに第1のMOSトランジ
スタのドレインに接続され、差動増幅のための対をなす
第3、第4のMOSトランジスタと、それぞれのドレイ
ンが第3、第4のMOSトランジスタのドレインに接続
されカレントミラー対をなす第2導電型の第5、第6の
MOSトランジスタをさらに含む。
【0045】請求項14に記載の半導体装置は、請求項
2に記載の半導体装置の構成に加えて、第2の電源電位
を分圧して内部電位を出力する分圧部をさらに備える。
【0046】請求項15に記載の半導体装置は、第1の
入力電位と第2の入力電位との電位差を増幅する差動増
幅回路を備え、差動増幅回路は、制御電位をゲートに受
け、制御電位に応じて差動増幅回路のバイアス電流を定
める第1のMOSトランジスタと、第1のMOSトラン
ジスタよりもしきい値電圧が高く、差動増幅のための対
をなす第2、第3のMOSトランジスタとを含む。
【0047】請求項16に記載の半導体装置は、請求項
15に記載の半導体装置の構成に加えて、負荷回路と、
外部から与えられる第1の電源電位と第2の電源電位と
の間に接続され、ゲート電位が差動増幅回路の出力に応
じて制御され、第1の電源電位を降下させた第2の電源
電位を負荷回路に供給する第4のMOSトランジスタと
をさらに備え、第1の入力電位は、基準電位であり、第
2の入力電位は、第2の電源電位に応じた内部電位であ
る。
【0048】請求項17に記載の半導体装置は、請求項
16に記載の半導体装置の構成に加えて、負荷回路は、
第2の電源電位を動作電源電位とする場合に最適動作す
るように調整された第1の種類の第5のMOSトランジ
スタを含み、第2、第3のMOSトランジスタは、第1
の電源電位を動作電源電位とする場合に最適動作するよ
うに調整された第2の種類のMOSトランジスタであ
り、第1のMOSトランジスタは、第1の種類のMOS
トランジスタである。
【0049】請求項18に記載の半導体装置は、請求項
17に記載の半導体装置の構成に加えて、第1〜第3、
第5のMOSトランジスタは第1導電型であり、第2、
第3のMOSトランジスタのソースはともに第1のMO
Sトランジスタのドレインに接続され、第1のMOSト
ランジスタのソースは接地電位に結合され、差動増幅回
路は、それぞれのドレインが第2、第3のMOSトラン
ジスタのドレインに接続されカレントミラー対をなす第
2導電型の第6、第7のMOSトランジスタをさらに含
む。
【0050】請求項19に記載の半導体装置は、請求項
17に記載の半導体装置の構成に加えて、電圧降下回路
は、第2の電源電位を分圧して内部電位を出力する分圧
部をさらに含む。
【0051】請求項20に記載の半導体装置は、請求項
17に記載の半導体装置の構成に加えて、負荷回路は、
行列状に配列されるメモリセルを有するメモリアレイを
含む。
【0052】請求項21に記載の半導体装置は、外部か
ら与えられる第1の電源電位を動作電源電位として受
け、第1、第2の基準電位を発生する基準電位発生回路
と、第1の基準電位を昇圧して制御電位を出力するレベ
ル変換回路と、第2の基準電位と第1の入力電位との電
位差を増幅する差動増幅回路を備え、差動増幅回路は、
制御電位をゲートに受け、制御電位に応じて差動増幅回
路のバイアス電流を定める第1のMOSトランジスタを
含む。
【0053】請求項22に記載の半導体装置は、請求項
21に記載の半導体装置の構成に加えて、負荷回路と、
第1の電源電位と第2の電源電位との間に接続され、ゲ
ート電位が差動増幅回路の出力に応じて制御され、第1
の電源電位を降下させた第2の電源電位を負荷回路に供
給する第2のMOSトランジスタとをさらに備え、第1
の入力電位は、第2の電源電位に応じた内部電位であ
る。
【0054】請求項23に記載の半導体装置は、請求項
22に記載の半導体装置の構成に加えて、電圧降下回路
は、第2の電源電位を分圧して内部電位を出力する分圧
部をさらに含む。
【0055】請求項24に記載の半導体装置は、請求項
22に記載の半導体装置の構成に加えて、負荷回路は、
行列状に配列されるメモリセルを有するメモリアレイを
含む。
【0056】
【発明の実施の形態】以下において、本発明の実施の形
態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中
同一符号は同一または相当部分を示す。
【0057】[実施の形態1]図1は、本発明の半導体
装置2の構成を示した概略ブロック図である。なお、半
導体装置の一例としてダイナミックランダムアクセスメ
モリが示されている。ただし、本発明はDRAMに限ら
ず電圧降下回路を含む他の半導体装置にも適用が可能で
ある。
【0058】図1を参照して、半導体装置2は、各々が
行列状に配列される複数のメモリセルを有するメモリセ
ルアレイ14と、アドレス信号A0〜A12を受け、内
部行アドレスX、内部列アドレスYを出力するアドレス
バッファ5と、制御信号/OE、/RAS、/CAS、
/WEを受けて内部制御信号INTZRAS、INTZ
CAS、INTZWEを出力する制御信号入力バッファ
6とを含む。
【0059】メモリセルアレイ14は、行列状に配置さ
れたメモリセルMCと、メモリセルMCの行に対応して
設けられる複数のワード線WLと、メモリセルMCの列
に対応して設けられるビット線対BLPとを含む。図1
では、各1つのメモリセルMC、ワード線WLおよびビ
ット線対BLPが代表的に示される。
【0060】半導体装置2は、さらに、アドレスバッフ
ァ5から内部アドレス信号を受け、かつ、制御信号入力
バッファ6から内部制御信号INTZRAS、INTZ
CAS、INTZWEを受けて各ブロックに制御信号を
出力するコントロール回路8を含む。
【0061】半導体装置2は、さらに、アドレスバッフ
ァ5から与えられた行アドレス信号Xをデコードするロ
ウデコーダ10を含む。ロウデコーダ10は、メモリセ
ルアレイ14の内部のアドレス指定された行(ワード
線)を選択状態へ駆動するためのワードドライバを含
む。
【0062】半導体装置2は、さらに、アドレスバッフ
ァ5から与えられた内部列アドレスYをデコードして列
選択信号を発生するコラムデコーダ12と、メモリセル
アレイ14の選択行に接続されるメモリセルMCのデー
タの検知および増幅を行なうセンスアンプが複数配置さ
れるセンスアンプ帯16とを含む。
【0063】半導体装置2は、さらに、外部から書込デ
ータを受けて内部書込データを生成する入力バッファ2
2と、入力バッファ22からの内部書込データを増幅し
て選択メモリセルへ伝達するライトドライバと、選択メ
モリセルから読出されたデータを増幅するプリアンプ
と、このプリアンプからのデータをさらにバッファ処理
して外部に出力する出力バッファ20とを含む。
【0064】図1では、プリアンプとライトドライバは
1つのブロックとしてブロック18として示される。
【0065】半導体装置2は、さらに、外部から与えら
れる電源電位EXTVDDを受けて降圧し、内部電源電
位INTVDDを出力する電圧降下回路24を含む。電
源電位INTVDDは、負荷回路26に与えられる。負
荷回路26には、先に説明したコントロール回路8、ロ
ウデコーダ10、コラムデコーダ12、メモリセルアレ
イ14、センスアンプ帯16およびブロック18が含ま
れる。
【0066】図2は、電圧降下回路24の構成を示した
回路図である。図2を参照して、電圧降下回路24は、
起動信号SUPに応じて活性化して基準電位VREFを
出力する基準電位発生回路34と、起動信号SUPに応
じて活性化してバイアス電位VBIASを出力するしき
い値補償回路32と、基準電位VREF、バイアス電位
VBIASとに基づいて電源電位EXTVDDを降圧し
て電源電位INTVDDを出力する降圧部36とを含
む。
【0067】基準電位発生回路34は、ノードW12と
ノードW13との電位を比較してノードW10の電位を
制御する差動増幅回路38と、電源電位EXTVDDが
与えられるノードとノードW11との間に接続され、ゲ
ートがW10に接続されるPチャネルMOSトランジス
タP6と、ノードW11とノードW12との間に接続さ
れる抵抗R2Aと、ノードW12にエミッタが接続され
接地ノードにベースとコレクタとが接続されるpnpト
ランジスタQ0とを含む。PチャネルMOSトランジス
タP6のバックゲートは電源電位EXTVDDに結合さ
れる。なお、図中抵抗R2Aは、抵抗R2と等しい抵抗
値を有する。
【0068】基準電位発生回路34は、さらに、ノード
W11とノードW13との間に接続されるR2と、ノー
ドW13とノードW14との間に接続される抵抗R1
と、各々のエミッタがノードW14に接続され、各々の
ベースとコレクタが接地ノードに接続されているn個の
pnpトランジスタQ1〜Qnと、ノードW11とW1
5との間に接続される抵抗R4と、ノードW15と接地
ノードとの間に接続される抵抗R3とを含む。
【0069】CMOSトランジスタを集積した半導体装
置には、比較的簡単にpnpトランジスタを作りこむこ
とができるので、このような回路はよく用いられる。p
npトランジスタQ0〜Qnの各々は、ベースとコレク
タとが接続されているのでダイオードと等価な動作をす
る。また、n個のpnpトランジスタQ1〜Qnに代え
て、pnpトランジスタQ0のn個分のpn接合面積を
有する大きなpnpトランジスタ1つを用いてもよい。
【0070】差動増幅回路38は、電源電位EXTVD
Dにソースとバックゲートとが結合され、ノードW7に
ゲートとドレインとが接続されるPチャネルMOSトラ
ンジスタP7と、ノードW7と接地ノードとの間に直列
に接続される抵抗R7およびNチャネルMOSトランジ
スタN6とを含む。NチャネルMOSトランジスタN6
のゲートには起動信号SUPが与えられる。
【0071】差動増幅回路38は、さらに、電源電位E
XTVDDにソースとバックゲートとが結合されゲート
がノードW7に接続されドレインがノードW8に接続さ
れるPチャネルMOSトランジスタP8と、ノードW8
にバックゲートとソースとが接続されノードW9にゲー
トとドレインとが接続されるPチャネルMOSトランジ
スタP4と、ノードW9にドレインが接続されノードW
12にゲートが接続され接地ノードにソースが接続され
るNチャネルMOSトランジスタN4と、ノードW8に
バックゲートとソースとが接続されノードW9にゲート
が接続されノードW10にドレインが接続されるPチャ
ネルMOSトランジスタP5と、ノードW10にドレイ
ンが接続されノードW13にゲートが接続され接地ノー
ドにソースが接続されるNチャネルMOSトランジスタ
N5とを含む。
【0072】基準電位発生回路34は、従来例の基準電
位発生回路と同様に、電源電圧、プロセスばらつき、温
度による変動がなるべく基準電位VREFに発生しない
ように意図して設計されている。
【0073】降圧部36は、基準電位VREFとノード
W20の電位とを比較してノードW17の電位を制御す
る差動増幅回路40と、電源電位EXTVDDにソース
およびバックゲートが結合されノードW17にゲートが
接続されノードW19にドレインが接続されるPチャネ
ルMOSトランジスタP3と、ノードW19とノードW
20との間に接続される抵抗R6と、ノードW20と接
地ノードとの間に接続される抵抗R5とを含む。
【0074】抵抗R5,R6によって構成される分圧回
路によって、発生される基準電位が低い場合でも動作可
能な電圧降下回路が実現できる。
【0075】差動増幅回路40は、電源電位EXTVD
Dにソースおよびバックゲートが結合されノードW16
にゲートおよびドレインが接続されるPチャネルMOS
トランジスタP1と、ノードW16とノードW18との
間に接続されゲートがノードW20に接続されるNチャ
ネルMOSトランジスタN1と、電源電位EXTVDD
にソースおよびバックゲートが結合されノードW16に
ゲートが接続されノードW17にドレインが接続される
PチャネルMOSトランジスタP2と、ノードW17と
ノードW18との間に接続されゲートに基準電位VRE
Fを受けるNチャネルMOSトランジスタN2と、ノー
ドW18と接地ノードとの間に接続されゲートにバイア
ス電位VBIASを受けるNチャネルMOSトランジス
タN3とを含む。
【0076】降圧部36のノードW19からは電源電位
INTVDDが出力される。この電源電位INTVDD
は内部から与えられる電源電位EXTVDDよりも低い
電源電位であり負荷回路26に与えられる。
【0077】しきい値補償回路32は、電源電位EXT
VDDにソースおよびバックゲートが結合されノードW
1にゲートおよびドレインが接続されるPチャネルMO
SトランジスタP11と、ノードW1と接地ノードとの
間に直列に接続される抵抗R8およびNチャネルMOS
トランジスタN9とを含む。NチャネルMOSトランジ
スタN9のゲートには起動信号SUPが与えられる。し
きい値補償回路32は、さらに、電源電位EXTVDD
にバックゲートとソースとが結合されノードW1にゲー
トが接続されノードW2にソースが接続されるPチャネ
ルMOSトランジスタP2と、ノードW2にソースとバ
ックゲートとが接続されノードW3にゲートとドレイン
とが接続されるPチャネルMOSトランジスタP9と、
ノードW3にドレインが接続されノードW4にゲートが
接続されノードW6にバックゲートおよびソースが接続
されるNチャネルMOSトランジスタN7と、ノードW
6にエミッタが接続され接地ノードにベースおよびコレ
クタが接続されるpnpトランジスタQn+1とを含
む。
【0078】しきい値補償回路32は、さらに、ノード
W2にソースおよびバックゲートが接続されノードW3
にゲートが接続されノードW4にドレインが接続される
PチャネルMOSトランジスタP10と、ノードW4に
ゲートおよびドレインが接続されノードW5にソースお
よびバックゲートが接続されるNチャネルMOSトラン
ジスタN8と、各々のエミッタがノードW5に接続され
各々のベースおよびコレクタが接地ノードに接続される
m個のpnpトランジスタQn+2〜Qn+m+1とを
含む。
【0079】次に、しきい値補償回路32が出力するバ
イアス電位VBIASの導出について説明する。トラン
ジスタP9,P10,N7,N8は飽和領域で動作させ
る。飽和領域で動作させるMOSトランジスタのドレイ
ン−ソース間電流Idsは次の式で表わされる。
【0080】
【数4】
【0081】ここでPチャネルMOSトランジスタP
9,P10の移動度は等しく、これをμpとする。また
両者のしきい値電圧も等しくこれをVthpとする。同
様にNチャネルMOSトランジスタN7,N8のしきい
値および移動度は等しいとし、これらをVthn,μn
とする。
【0082】またトランジスタP9のゲート幅,ゲート
長をそれぞれW9,L9とし、PチャネルMOSトラン
ジスタP10のゲート幅、ゲート長をそれぞれW10,
L10とする。
【0083】トランジスタP9およびP10はカレント
ミラーを構成し、ゲート幅とゲート長の比(以後W/L
比と称する)が等しいので、図2においてIA=IBと
なる。
【0084】以上より、次の式(10)〜(13)が導
き出される。
【0085】
【数5】
【0086】ダイオードに流れる電流は先に説明した式
(2)で表わされるので、ダイオード接続されたpnp
トランジスタQn+1の飽和電流をISAとすれば、次の
式(14)が求められる。また、ダイオード接続された
pnpトランジスタQn+2〜Qn+m+1は、pnp
トランジスタQn+1をm個並列に並べたものであるの
で、その飽和電流ISBはmISAとなる。したがって、次
の式(15)が求められる。
【0087】
【数6】
【0088】以上の式を変形すると次の式(16),
(17)が求められる。
【0089】
【数7】
【0090】ここで、pnpトランジスタQn+1のベ
ース−エミッタ間電圧Vbe1は、ほぼ材質によって決
まる電圧であり、ほとんどばらつきのない電圧であるこ
とが知られている。このため、近年では、バンドギャッ
プ型基準電位発生回路がMOSトランジスタのしきい値
電圧Vthを利用したVth電圧差型基準電位発生回路
などよりもよく採用される根拠となっている。
【0091】また、式(17)の第2項の係数はW/L
比のさらに比の形をとっているので、基本的に製造ばら
つきの影響を受けない。k/qは物理定数である。mは
ノードW5と接地ノードとの間に並列接続されるダイオ
ード接続されたpnpトランジスタの個数であるのでば
らつきようがない。したがって、バイアス電位VBIA
Sは温度Tの影響を除けばしきい値電圧Vthnのばら
つきの影響のみを受ける。
【0092】次に温度の影響について述べる。式(1
7)を温度Tで微分すると、次の式(18)が求められ
る。
【0093】
【数8】
【0094】ここで、電圧Vbe1は負の温度特性を持
ち、∂Vbe1/∂Tはおよそ−2mV/℃となること
が知られている。また、物理定数k/q=8.625×
10 -2mV/℃である。
【0095】
【数9】
【0096】以上より式(20)を満たすようにW7/
L7,W8/L8を決定すればよい。
【0097】結局、バイアス電位VBIASは、しきい
値電圧Vthnに一定値のオフセットがかかった電位と
なり、しきい値電圧Vthnと等しい温度特性を有する
ことになる。ここでトランジスタN3の飽和電流は先に
説明したようにVgs−Vthnの関数である。この値
は、次の式(21)で示されるように、しきい値電圧V
thnの変動とは無関係になる。
【0098】
【数10】
【0099】したがって、本実施の形態1の発明によれ
ば、しきい値電圧Vthnの変動に起因するバイアス電
流Ibiasの変動を抑制することができる。
【0100】なお、実施の形態1では、図2の回路にお
いてトランジスタQ0〜Qn+m+1にpnpトランジスタ
を用いたが、これらの代わりにnpnトランジスタをも
ちいてもかまわない。また、図2の回路においてトラン
ジスタQn+2〜Qn+m+1の代わりに、式(15)が満たさ
れるようにトランジスタQn+1のm倍の接合面積を持っ
た1個のpnpトランジスタを用いてもかまわない。
【0101】[実施の形態2]図3は、実施の形態2の
電圧降下回路24Aの構成を示した回路図である。
【0102】図3を参照して、電圧降下回路24Aは、
図2に示した電圧降下回路24の構成において、降圧部
36に代えて降圧部36Aを含む。
【0103】降圧部36Aは、図2に示した降圧部36
の構成において差動増幅回路40に代えて差動増幅回路
40Aを含む。電圧降下回路24Aおよび降圧部36A
の他の構成は図2で説明した構成と同様であるので説明
は繰返さない。
【0104】差動増幅回路40Aは、電源電位EXTV
DDにソースとバックゲートとが結合されノードW21
にゲートおよびドレインが接続されるPチャネルMOS
トランジスタP1Aと、ノードW21と接地ノードとの
間に直列に接続される抵抗R1A,NチャネルMOSト
ランジスタN3Aとを含む。NチャネルMOSトランジ
スタN3Aのゲートにはバイアス電位VBIASが与え
られる。
【0105】差動増幅回路40Aは、さらに、電源電位
EXTVDDにソースおよびバックゲートが結合されノ
ードW21にゲートが接続されノードW22にドレイン
が接続されるPチャネルMOSトランジスタP2Aと、
ノードW22にソースおよびバックゲートが接続されノ
ードW16にゲートおよびドレインが接続されるPチャ
ネルMOSトランジスタP1と、ノードW16と接地ノ
ードとの間に接続されノードW20にゲートが接続され
るNチャネルMOSトランジスタN1と、ノードW22
にソースおよびバックゲートが接続されノードW16に
ゲートが接続されノードW17にドレインが接続される
PチャネルMOSトランジスタP2と、ノードW17と
接地ノードとの間に接続されゲートに基準電位VREF
を受けるNチャネルMOSトランジスタN2とを含む。
【0106】実施の形態1では、図2の差動増幅回路4
0の電流源として働くNチャネルMOSトランジスタN
3がNチャネルMOSトランジスタN1,N2のソース
側に接続されていた。
【0107】実施の形態1のしきい値補償回路32の効
果を顕著にするためには、NチャネルMOSトランジス
タN3を飽和領域で動作させることが望ましい。なぜな
ら、先に説明したように飽和領域で動作するとバイアス
電流Ibiasはドレイン電位Vdに依存しなくなりV
gs−Vthnのみで決定されるからである。
【0108】しかしながら、図2の回路ではNチャネル
MOSトランジスタN3を飽和領域で動作させるとトラ
ンジスタN1,N2のソース電位すなわちノードW18
の電位が高くなってしまう。そのため、基準電位VRE
Fが低い場合にはトランジスタN1,N2に対する十分
なバイアスレベルが確保できず、応答性が悪化するとい
う問題点がある。特に、電源電位EXTVDDが低い場
合には高い基準電位VREFを発生させることが困難で
あり、上記の問題が起きやすく、トランジスタN3を飽
和領域で動作させにくいことがあった。
【0109】図3で示したような構成では、差動増幅回
路の電流源は、トランジスタP2Aとなる。この電流量
は、トランジスタN3Aに与えるバイアス電位で決定す
ることができる。このような構成とすれば、トランジス
タN1,N2のソースは必ず接地電位であるので、差動
増幅回路40Aの入力電位が低い場合でもNチャネルM
OSトランジスタN3Aを飽和領域で動作させることが
できる。
【0110】[実施の形態3]図4は、実施の形態3の
電圧降下回路24Bの構成を示す回路図である。
【0111】図4を参照して、電圧降下回路24Bは、
図2に示した電圧降下回路24の構成において、降圧部
36に代えて降圧部36Bを含む。降圧部36Bは、図
2に示した降圧部36の構成において差動増幅回路40
に代えて差動増幅回路40Bを含む。差動増幅回路40
Bは、差動増幅回路40の構成において、NチャネルM
OSトランジスタN1,N2に代えてそれぞれNチャネ
ルMOSトランジスタN1B,N2Bを含む点が差動増
幅回路40の構成と異なる。電圧降下回路24Bの他の
構成は、図2で示した電圧降下回路24と同様であり説
明は繰返さらない。
【0112】NチャネルMOSトランジスタN1B,N
2Bの各々は、バックゲートとソースとが接続されてい
る。図2で示した構成では、NチャネルMOSトランジ
スタN1,N2のバックゲートは接地電位に結合されて
いた。このため、入力電圧に依存してノードW18の電
位が上昇してしまい、バックゲート効果(基板バイアス
効果)によりNチャネルMOSトランジスタN1,N2
のしきい値電圧Vthnが上昇してしまうという問題点
があった。これは、実質的に基準電位VREFが低下す
ることと等価であり、実施の形態2と同様の問題を起こ
す場合がある。
【0113】これを防止するために、実施の形態3で
は、ソースとバックゲートとを接続し、ソース−バック
ゲート間電圧Vbs=0Vとしているので、バックゲー
ト効果によるしきい値の変動をなくすことができる。
【0114】[実施の形態4]図5は、実施の形態4の
電圧降下回路24Cの構成を示した回路図である。
【0115】図5を参照して、電圧降下回路24Cは、
電源投入時にバイアス電位の補償を指示するためのモー
ド信号MODECに応じて制御信号としてデータリセッ
ト信号DRST、起動信号SUP1〜SUP3およびプ
リチャージ信号PCを出力する制御部50と、制御部5
0の出力に応じて選択信号VBC0〜VBC2,および
誤動作信号FAILを出力する電位選択信号発生部52
と、起動信号SUP3に応じて複数の基準電位を発生
し、電位選択信号VBC0〜VBC2に応じてこの発生
した基準電位の中からバイアス電位VBIASを選択し
て出力する基準電位発生回路32Cと、起動信号SUP
3に応じて活性化され基準電位VREF3を出力する基
準電位発生回路34と、基準電位VREF3およびバイ
アス電位VBIASに基づいて電源電位EXTVDDを
降下させて電源電位INTVDDを出力する降下部36
とを含む。
【0116】電位選択信号発生部52と基準電位発生回
路32Cとによって、図2のしきい値補償回路32と同
等な補償回路が構成されている。
【0117】なお、降下部36の構成は、図2で示した
降下部36と同様であり説明は繰返さない。また基準電
位発生回路34の構成も、図2で説明した基準電位発生
回路34と同様であるので説明は繰返さない。
【0118】基準電位発生回路32Cは、ノードW42
とノードW43との電位を比較してノードW40の電位
を制御する差動増幅回路54と、電源電位EXTVDD
が与えられるノードとノードW41との間に接続され、
ゲートがW40に接続されるPチャネルMOSトランジ
スタP26と、ノードW41とノードW42との間に接
続される抵抗R10Aと、ノードW42にエミッタが接
続され接地ノードにベースとコレクタとが接続されるp
npトランジスタQ0とを含む。PチャネルMOSトラ
ンジスタP26のバックゲートは電源電位EXTVDD
に結合される。
【0119】基準電位発生回路32Cは、さらに、ノー
ドW41とノードW43との間に接続されるR10と、
ノードW43とノードW44との間に接続される抵抗R
9と、各々のエミッタがノードW44に接続され、各々
のベースとコレクタが接地ノードに接続されているs個
のpnpトランジスタQj〜Qj+sとを含む。
【0120】基準電位発生回路32Cは、さらに、ノー
ドW41の電位を分圧するためにノードW41と接地ノ
ードとの間に直列に接続される4つの抵抗R11〜R1
4を含む。抵抗R11は、ノードW47と接地ノードと
の間に接続される。抵抗R12は、ノードW46とノー
ドW47との間に接続される。抵抗R13は、ノードW
45とノードW46との間に接続される。抵抗R14
は、ノードW41とノードW45との間に接続される。
【0121】基準電位発生回路32Cは、さらに、ノー
ドW45とノードW48との間に接続されゲートに選択
信号VBC0を受けるNチャネルMOSトランジスタN
22と、ノードW46とノードW48との間に接続され
ゲートに接続信号VBC1を受けるNチャネルMOSト
ランジスタN23と、ノードW47とノードW48との
間に接続され選択信号VBC2をゲートに受けるNチャ
ネルMOSトランジスタN24と、接地ノードとノード
W48との間に接続されゲートに誤動作信号FAILを
受けるNチャネルMOSトランジスタN25とを含む。
ノードW48からは選択されたバイアス電位VBIAS
が出力される。
【0122】差動増幅回路54は、電源電位EXTVD
Dにソースとバックゲートとが結合され、ノードW37
にゲートとドレインとが接続されるPチャネルMOSト
ランジスタP16と、ノードW37と接地ノードとの間
に直列に接続される抵抗R15およびNチャネルMOS
トランジスタN12とを含む。NチャネルMOSトラン
ジスタN12のゲートには起動信号SUP3が与えられ
る。
【0123】差動増幅回路54は、さらに、電源電位E
XTVDDにソースとバックゲートとが結合されゲート
がノードW37に接続されドレインがノードW38に接
続されるPチャネルMOSトランジスタP17と、ノー
ドW38にバックゲートとソースとが接続されノードW
39にゲートとドレインとが接続されるPチャネルMO
SトランジスタP13と、ノードW39にドレインが接
続されノードW42にゲートが接続され接地ノードにソ
ースが接続されるNチャネルMOSトランジスタN10
と、ノードW38にバックゲートとソースとが接続され
ノードW39にゲートが接続されノードW40にドレイ
ンが接続されるPチャネルMOSトランジスタP14
と、ノードW40にドレインが接続されノードW43に
ゲートが接続され接地ノードにソースが接続されるNチ
ャネルMOSトランジスタN11とを含む。
【0124】基準電位発生回路32Cは、図2の基準電
位発生回路34と同様に、電源電圧、プロセスばらつ
き、温度による変動がなるべくノードW45〜W47の
電位に影響がないように意図して設計されている。出力
電圧はトランジスタN22〜N23のいずれか1つが導
通することにより以下のように決定される。
【0125】
【数11】
【0126】なお、抵抗R10A,R10,R9同一の
材質で構成される。また、抵抗R10AとR10は同一
の抵抗値を有する。また、R10/R9は∂VBIAS
/∂T=0となるように決定される。
【0127】抵抗R11,R12,R13,R14は同
一の材質で構成され、トランジスタN22,N23,N
24が導通した場合にバイアス電位VBIASが上記式
を満たして0.9V,0.8V,0.7Vとなるように
決定される。
【0128】図6は、図5における電位選択信号発生部
52の構成を示した回路図である。図6を参照して、電
位選択信号発生部52は、制御部50の出力に応じて前
処理を行なう前処理回路62と、前処理回路62から出
力される信号CPO0〜CPO2をそれぞれ受けるレジ
スタ64,66,68と、レジスタ64,66,68か
らそれぞれ出力される信号CPR0,CPR1,CPR
2を受けて、信号ROU,ROL、誤動作信号FAIL
および選択信号VBC0〜VBC2を出力する論理回路
70とを含む。
【0129】前処理回路62は、起動信号SUP1によ
って活性化されて基準電位VREF1(たとえば1.2
V)を出力する基準電位発生回路72と、基準電位VR
EF1を受けてレベル変換して電位VRB0(たとえば
0.9V),VBD1(たとえば0.8V),VBD2
(たとえば0.7V)を出力するレベル変換回路74と
起動信号SUP2に応じて活性化され基準電位VREF
2(たとえば1.5V)を出力する基準電位発生回路7
6とを含む。
【0130】基準電位発生回路72,76の構成は、図
2に示した基準電位発生回路34の構成と同様であり、
抵抗R3,R4の比が異なるのみであるので説明は繰返
さない。
【0131】前処理回路62は、さらに、プリチャージ
信号PCをゲートに受け電源電位EXTVDDが与えら
れるノードとノードW50との間に接続されるPチャネ
ルMOSトランジスタP18と、ノードW50と接地ノ
ードとの間に接続されるキャパシタC1と、ノードW5
0と接地ノードとの間に接続されゲートに電位VBD0
を受けるNチャネルMOSトランジスタN3D0とを含
む。なお、キャパシタC1は、後に説明するキャパシタ
C2、C3と等しい容量値を有する。
【0132】前処理回路62は、さらに、電源電位EX
TVDDが与えられるノードとノードW51との間に接
続されゲートにプリチャージ信号PCを受けるPチャネ
ルMOSトランジスタP19と、ノードW51と接地ノ
ードとの間に接続されるキャパシタC2と、ノードW5
1と接地ノードとの間に接続されゲートに電位VBD1
を受けるNチャネルMOSトランジスタN3D1とを含
む。
【0133】前処理回路62は、さらに、電源電位EX
TVDDが与えられるノードとノードW52との間に接
続されゲートにプリチャージ信号PCを受けるPチャネ
ルMOSトランジスタP20と、ノードW52と接地ノ
ードとの間に接続されるキャパシタC3と、ノードW5
2と接地ノードとの間に接続されゲートに電位VBD2
を受けるNチャネルMOSトランジスタN3D2とを含
む。
【0134】前処理回路62は、さらに、ノードW5
0,W51,W52それぞれをデータリセット信号DR
STに応じて接地電位に結合する3つのNチャネルMO
SトランジスタN15と、マイナス入力ノードがノード
W50に接続されプラス入力ノードに基準電位VREF
2を受け信号CPO0を出力するコンパレータCP0
と、マイナス入力ノードがノードW51に接続されプラ
ス入力ノードに基準電位VREF2を受け信号CPO1
を出力するコンパレータCP1と,マイナス入力ノード
がノードW52に接続されプラス入力ノードに基準電位
VREF2を受け信号CPO2を出力するコンパレータ
CP2とを含む。コンパレータCP0〜CP2は、起動
信号SUP2に応じて活性化される。
【0135】図7は、図6におけるレベル変換回路74
の構成例を示した回路図である。図7を参照して、レベ
ル変換回路74は、基準電位VREF1が与えられるノ
ードW61と電位VBD2を出力するノードW62との
間に接続される抵抗R18と、ノードW62と電位VB
D1を出力するノードW63との間に接続される抵抗R
17と、ノードW63と電位VBD0を出力するノード
W64との間に接続される抵抗R16と、ノードW64
と接地ノードとの間に接続される抵抗R15とを含む。
抵抗R15,R16,R17,R18は、ばらつき、温
度の影響を受けないように同一の材質であることが好ま
しい。
【0136】図8は、図6におけるコンパレータCP0
の構成を示した回路図である。図8を参照して、電源電
位EXTVDDが与えられるノードW71にソースおよ
びバックゲートが接続されノードW72にゲートおよび
ドレインが接続されるPチャネルMOSトランジスタ8
2と、ノードW72とノードW74との間に接続されゲ
ートが入力ノード+INに接続されるNチャネルMOS
トランジスタ86と、ノードW71にソースおよびバッ
クゲートが接続されノードW72にゲートが接続されノ
ードW73にドレインが接続されるPチャネルMOSト
ランジスタ84と、ノードW73とノードW74との間
に接続されゲートに入力ノード−(マイナス)INが接
続されるNチャネルMOSトランジスタ88と、ノード
W74と接地ノードとの間に接続され起動信号SUP2
をゲートに受けるNチャネルMOSトランジスタ90と
を含む。ノードW73はコンパレータの出力ノードとな
り、ノードW73からは信号CPO0が出力される。
【0137】なお、図6のコンパレータCP1,CP2
も、図8に示したコンパレータCP0と同様な構成を有
し、信号CPO0に代えて信号CPO1,CPO2を出
力する回路であるので説明は繰返さない。
【0138】図9は、図6におけるレジスタ64の構成
を示した回路図である。図9を参照して、レジスタ64
は、信号CPO0を受けるノードW75とノードW76
との間に接続され起動信号SUP2をゲートに受けるN
チャネルMOSトランジスタ92と、ノードW76に入
力が接続されノードW77に出力が接続されるインバー
タ96と、ノードW77に入力が接続されノードW76
に出力が接続されるインバータ98と、ノードW77に
入力が接続され信号CPR0を出力するインバータ10
0とを含む。
【0139】なお、図6のレジスタ66,68も、入出
力信号名は異なるが、内部はレジスタ64と同様の構成
を有するため、説明は繰返さない。
【0140】次に図6における論理回路70の動作と構
成について説明をする。図10は、論理回路70の入出
力値を表わした真理値表を示した図である。
【0141】図10を参照して、論理回路70は、入力
として(CPR2,CPR1,CPR0)が与えられ、
出力として(VBC2,VBC1,VBC0,ROU,
ROL,FAIL)を出力する。
【0142】入力として(000)が与えられると、論
理回路70は、出力として(001100)を出力す
る。同様に、各入力に対する出力は以下のとおりであ
る。
【0143】入力(001)が与えられると、出力(0
01000)が出力される。入力(010)が与えられ
ると、出力(XXXXX1)が出力される。
【0144】入力(011)が与えられると、出力(X
XXXX1)が出力される。入力(100)が与えられ
ると、出力(100000)が出力される。
【0145】入力(101)が与えられると、出力(X
XXXX1)が出力される。入力(110)が与えられ
ると、出力(010000)が出力される。
【0146】入力(111)が与えられると、出力(1
00010)が出力される。このような真理値表を満た
せば論理回路70はどのような構成でもよい。
【0147】また、論理回路70の真理値表を論理式で
表わすと次のようになる。
【0148】
【数12】
【0149】図11は、図10の真理値表を満たす論理
回路70の構成の一例を示した回路図である。
【0150】図11を参照して、論理回路70は、信号
CPR0,CPR1,CPR2をそれぞれ受けて反転す
るインバータ102,104,106と、インバータ1
02の出力と信号CPR1,CPR2を受ける3入力の
NAND回路108と、NAND回路108の出力を受
けて反転し信号VBC1を出力するインバータ110
と、インバータ104の出力とインバータ106の出力
とを受けるNAND回路112と、NAND回路112
の出力を受けて反転し信号VBC0を出力するインバー
タ114とを含む。
【0151】論理回路70は、さらに、インバータ10
2,104の出力と信号CPR2とを受ける3入力のN
AND回路116と、信号CPR0,CPR1,CPR
2を受ける3入力のNAND回路118と、NAND回
路116,118の出力を受けるNOR回路120と、
NOR回路120の出力を受けて反転し信号VBC2を
出力するインバータ122とを含む。
【0152】論理回路70は、さらに、インバータ10
2,104,106の出力を受ける3入力のNAND回
路124と、NAND回路124の出力を受けて反転し
信号ROUを出力するインバータ126と、信号CPR
0,CPR1とインバータ106の出力とを受ける3入
力のNAND回路128と、NAND回路128の出力
を受けて反転し信号ROLを出力するインバータ130
と、インバータ104,106の出力を受けるNAND
回路132と、信号CPR0,CPR1,CPR2の出
力とを受ける3入力のNAND回路134と、NAND
回路132,134の出力を受けるNOR回路136
と、NOR回路136の出力を受けて反転し誤動作信号
FAILを出力するインバータ138とを含む。
【0153】再び図5、図6を参照してバイアス電位V
BIASの選択動作について説明する。図5の降圧部3
6に含まれているNチャネルMOSトランジスタN3と
同一サイズで、これになるべく近接して配置されNチャ
ネルMOSトランジスタN3と同じ特性を有するように
配慮されたレプリカトランジスタであるトランジスタN
3D0〜N3D2を用いるのが実施の形態4の特徴であ
る。
【0154】コンパレータCP0〜CP2は、一旦プリ
チャージされその後トランジスタN3D0〜N3D2に
よってディスチャージされるノードW50,W51,W
52の電位を基準電位VREF2と比較する。
【0155】図12は、実施の形態4における実行シー
ケンスを示したフローチャートである。
【0156】図6、図12を参照して、ステップS1に
おいて電源が投入される。続いてステップS2において
バイアス電流補償モードにセットされレプリカトランジ
スタN3D0〜N3D2を用いてNチャネルMOSトラ
ンジスタN3のしきい値電圧Vthをモニタし、その結
果をレジスタ64,66,68にラッチする。
【0157】その後ステップS3において、消費電力低
減のため、前処理回路62をオフ状態とする。そしてレ
ジスタ64〜68にラッチされたモニタ結果に基づき基
準電位発生回路32Cの出力VBIASのレベルを制御
する。
【0158】その後ステップS4において、スタンバイ
/アクティブ状態の切換が受付可能となる。
【0159】図13は、実施の形態4の動作を説明する
ための動作波形図である。図5、図13を参照して、モ
ード信号MODECが時刻t1においてHレベルになる
ことにより、制御部50が所定の動作を行なう。
【0160】時刻t1〜t2の間においてデータリセッ
ト信号DRSTがHレベルとなり、図6のNチャネルM
OSトランジスタN15が導通状態となり、ノードW5
0,W51,W52が接地電位に結合される。
【0161】続いて時刻t2においてプリチャージ信号
PCがLレベルに設定され、トランジスタP18,P1
9,P20が導通状態となり、ノードW50,W51,
W52をそれぞれ電源電位EXTVDDにプリチャージ
する。電源電位EXTVDDはここでは3Vであるとし
て説明する。
【0162】時刻t3において、起動信号SUP1がH
レベルに設定されプリチャージ信号PCがHレベルに設
定される。すなわち時刻t2〜t3の期間がプリチャー
ジ期間として設定される。起動信号SUP1がHレベル
になると、基準電位発生回路72が活性化され、基準電
位VREF1(1.2V)が発生される。レベル変換回
路74は、基準電位VREF1をもとに電位VBD0
(0.9V),VBD1(0.8V),電位VBD2
(0.7V)を発生する。このような電位が出力される
ように図7の抵抗R15〜R18の抵抗値が定められて
いる。
【0163】時刻t3〜t4の期間がディスチャージ期
間として設定される。電位VBD0〜VBD2をそれぞ
れ受けるレプリカトランジスタN3D0〜N3D2のう
ち、ゲート電位がしきい値電圧を超えているトランジス
タが導通状態となり、ノードW50〜W52のうち導通
状態となったトランジスタに接続されているノードがデ
ィスチャージされる。
【0164】時刻t4において起動信号SUP2がHレ
ベルになる。すると基準電位発生回路76が活性化さ
れ、基準電位VREF2(1.5V)が発生される。同
時にコンパレータCP0,CP1,CP2が活性化さ
れ、基準電位VREF2とノードW50,W51,W5
2の電位との比較動作が行なわれる。基準電位VREF
2以下にディスチャージされたノードに接続されるコン
パレータの出力はHレベルとなる。
【0165】図13では、しきい値電圧Vthnが0.
8Vとモニタされる場合について説明している。
【0166】この場合ノードW51,W52はディスチ
ャージされ、ノードW50はプリチャージ状態のまま維
持される。これに対応してコンパレータCP1,CP2
の出力する信号CPO1,CPO2はともにHレベルに
変化する。信号CPO0〜CPO2は、図6に示すレジ
スタ64,66,68に入力され信号CPR0〜CPR
2は、信号CPO0〜COP2と同様に変化する。
【0167】時刻t5において、起動信号SUP1およ
び起動信号SUP2がLレベルに設定され、前処理回路
62がオフ状態にされる。このとき、レジスタ64,6
6,68の入力部分に配置されているNチャネルMOS
トランジスタが非導通状態となるので、信号CPR0〜
CPR2の値はラッチされており破壊されない。
【0168】論理回路70は、図10に示した真理値表
に従って信号CPR0〜CPR2から信号VBC0〜V
BC2,ROU,ROL,FAILを出力する。信号R
OUはオーバーレンジアッパーの信号で、どのコンパレ
ータもHレベルを出力しなかった場合に活性化される。
このときバイアス電位VBIASは最大の値となるよう
に信号VBC0がHレベルに設定される。一方、信号R
OLはオーバーレンジアンダーの信号で、どのコンパレ
ータもHレベルを出力した場合に活性化される。このと
き、バイアス電位VBIASが最小の値に設定されるよ
うに、信号VBC2がHレベルに設定される。
【0169】また、誤動作信号FAILは、信号CPR
1,CPR2がともにLレベルで、かつ、信号CPR0
がHレベルである場合のように、このモードが正常に動
作しておればあり得ないような場合に活性化される信号
である。信号FAILにより一旦システムがリセットさ
れた後にバイアス電流補償モードが再実行される。
【0170】信号FAILがHレベルになると、図5の
トランジスタN25が導通状態となり、バイアス電位V
BIASは接地電位となる。
【0171】今ここでは、信号CPR1,CPR2がと
もにHレベルで、かつ、信号CPR0がLレベルの場合
を説明しているので、信号ROU,ROL,FAILは
活性化されない。結局、信号VBC1がHレベルとな
り、トランジスタN23が導通状態となる。
【0172】時刻t6で、起動信号SUP3がHレベル
に設定され、基準電位発生回路32Cが活性化される。
この基準電位発生回路32Cは図2の基準電位発生回路
34と本質的には同じ物であり、出力部分にセレクタが
追加されているものである。
【0173】また、基準電位発生回路34が活性化され
基準電位VREF3(0.9V)が発生される。
【0174】信号VBC0〜VBC2のいずれがHレベ
ルになるかによって基準電位発生回路32Cの出力抵抗
比が選択され、バイアス電位VBIASのレベルが変更
される。ここでは、説明の簡単のためバイアス電位VB
IASは、図6のレベル変換回路74が出力する電位V
BD0〜VBD2のいずれかと同一となるように調整さ
れる例を説明する。
【0175】時刻t6においてNチャネルMOSトラン
ジスタN23が導通状態となると、バイアス電位VBI
ASは0.8Vに設定される。もしこの場合よりもしき
い値電圧Vthnが0.1Vだけ低くモニタされた場合
には、図6の信号CPR2がHレベルで、かつ、信号C
PR0,CPR1がともにLレベルとなる。そして信号
VBC2がHレベルとなり、NチャネルMOSトランジ
スタN24が導通状態となる。その結果バイアス電位V
BIASとして0.7Vが発生される。
【0176】逆に、しきい値電圧Vthnが0.1Vだ
け高くモニタされた場合には、信号CPR0〜CPR2
がすべてLレベルとなる。そして、信号VBC0がHレ
ベルとなり、NチャネルMOSトランジスタN24が導
通状態となる。その結果バイアス電位VBIASとして
0.9Vが発生される。
【0177】図6では、レベル変換回路74の出力が3
本しかないためにしきい値電圧Vthnが0.1V上昇
したか、あるいは0.2V上昇したかはわからないが、
それはレベル変換回路74の出力をもっと多くしてそれ
に対応する構成を設けることにより解決される。要する
にしきい値電圧Vthnの変動に応じてバイアス電位V
BIASのレベルを変えることができる。
【0178】実施の形態4では、バイアス電位VBIA
Sのレベルは電位VBD0〜VBD2のいずれかと同一
レベルに調整される例を説明したが、これに限定される
必要はなく両者の間に何らかのオフセットや係数がかか
っていてもよい。また、ここではプリチャージレベルを
電源電位EXTVDDとしているが、これに限定される
必要はなく、何らかの中間電位であってもかまわない。
【0179】このように適切なバイアス電位VBIAS
が発生され、その結果しきい値電圧Vthnの影響を受
けないバイアス電流Ibiasが降圧部36の差動増幅
回路40に流れることにより、電源電位INTVDDは
1.8Vとなる。なお、この場合は抵抗値R6/R5=
1である。
【0180】[実施の形態5]実施の形態4では、複数
のレプリカトランジスタを用意する必要があるため、面
積が増えるという問題や、トランジスタN3およびその
レプリカトランジスタ間のマッチングの問題が起きる可
能性がある。
【0181】そのため、レプリカトランジスタを1個に
し、時系列的にしきい値電圧Vthnをモニタすること
によりこの問題を解決する。
【0182】図14は、実施の形態5の電圧降下回路2
4Dの構成を示した回路図である。図14を参照して、
電圧降下回路24Dは、モード信号MODECに応じて
信号TCLK,PC,SUP1〜SUP3を出力する制
御部50Dと、制御部50Dの出力を受けて選択信号V
BC0〜VBC2および信号ROを出力し、制御部50
Dに信号CPRを出力する電位選択信号発生部52D
と、信号SUP3に応じて活性化され選択信号VBC0
〜VBC2に応じたバイアス電位VBIASを出力する
基準電位発生回路32Dと、信号SUP3に応じて活性
化され基準電位VREF3を出力する基準電位発生回路
34と、基準電位VREF3およびバイアス電位VBI
ASに応じて電源電位EXTVDDを降下させて電源電
位INTVDDを出力する降圧部36とを含む。
【0183】図14の場合でも図5の場合と同様に、電
位選択信号発生部52Dと基準電位発生回路32Dとに
よって、図1のしきい値補償回路32と同等な補償回路
が構成されている。
【0184】降圧部36は、図2で示した降圧部36と
同様な構成であるので説明は繰返さない。また基準電位
発生回路34は図2で説明した基準電位発生回路34と
同様な構成であるので説明は繰返さない。また、基準電
位発生回路32Dは、図5で説明した基準電位発生回路
32Cの構成においてトランジスタN25が設けられて
いない点が異なっているが他の構成は基準電位発生回路
32Cと同様であるので説明は繰返さない。
【0185】図15は、図14における基準選択信号発
生部52Dの構成を示した回路図である。
【0186】図15を参照して、電位選択信号発生部5
2Dは、電源投入時に所定の期間動作してバイアス電位
VBIASの補償のためのモニタ動作を行なう前処理回
路142と、前処理回路142の出力する信号CPO
0,COUNT1,COUNT0をそれぞれ受けて保持
するレジスタ144,146,148と、レジスタ14
4,146,148の出力する信号CPR,COUNT
1R,COUNT0Rを受けて選択信号VBC0〜VB
C2および信号ROを出力する論理回路150とを含
む。
【0187】前処理回路142は、図6で説明した前処
理回路62の構成において、レプリカトランジスタおよ
びコンパレータを1系統とした回路であり、これらを逐
次比較するように用いる構成となっている。
【0188】具体的には、前処理回路142は、起動信
号SUP1に応じて活性化され基準電位VREF1(た
とえば1.2V)を出力する基準電位発生回路72と、
基準電位VREF1をレベル変換して電位VBDを出力
するレベル変換回路154と、信号TCLKに応じてカ
ウント値を変化させるカウンタ158と、起動信号SU
P2に応じて活性化され基準電位VREF2を出力する
基準電位発生回路76とを含む。
【0189】前処理回路142は、さらに、電源電位E
XTVDDが与えられるノードとノードW50との間に
接続されゲートにプリチャージ信号PCを受けるPチャ
ネルMOSトランジスタP18と、ノードW50と接地
ノードとの間に接続されるキャパシタC1と、ノードW
50と接地ノードとの間に接続されゲートにデータリセ
ット信号DRSTを受けるNチャネルMOSトランジス
タN15と、ノードW50と接地ノードとの間に接続さ
れ電位VBDをゲートに受けるNチャネルMOSトラン
ジスタN3D0と、起動信号SUP2に応じて活性化さ
れ基準電位VREFとノードW50の電位とを比較して
信号CPO0を出力するコンパレータCP0を含む。
【0190】NチャネルMOSトランジスタN3D0
は、図14における降圧部36の電流源となるNチャネ
ルMOSトランジスタN3のレプリカトランジスタであ
る。したがって、NチャネルMOSトランジスタN3D
0およびN3は近接して配置され、同じ特性を有するよ
うにサイズも等しくされている。
【0191】図16は、図15におけるレベル変換回路
154の構成を示した回路図である。
【0192】図16を参照して、レベル変換回路154
は、図7で説明したレベル変換回路74の出力電位を信
号COUNT0R,COUNT1Rに応じて選択して出
力する構成となっている。
【0193】具体的には、レベル変換回路154は、ノ
ードW61とノードW62との間に接続される抵抗R1
8と、ノードW62とノードW63との間に接続される
抵抗R17と、ノードW63とノードW64との間に接
続される抵抗R16と、ノードW64と接地ノードとの
間に接続される抵抗R15とを含む。抵抗R15,R1
6,R17,R18は、ばらつき、温度の影響を受けな
いように同一の材質であることが好ましい。
【0194】レベル変換回路154は、さらに、信号C
OUNT0R,COUNT1Rをそれぞれ受けて反転す
るインバータ162,164と、信号COUNT0R,
COUNT1Rを受けるNAND回路166と、NAN
D回路166の出力を受けて反転するインバータ168
と、インバータ162の出力と信号COUNT1Rとを
受けるNAND回路170と、NAND回路170の出
力を受けて反転するインバータ172と、信号COUN
T0Rとインバータ164の出力とを受けるNAND回
路174と、NAND回路174の出力を受けて反転す
るインバータ176とを含む。
【0195】レベル変換回路154は、さらに、ノード
W62とノードW82との間に接続されゲートにインバ
ータ168の出力を受けるNチャネルMOSトランジス
タN35と、ノードW63とノードW82との間に接続
されゲートにインバータ172の出力を受けるNチャネ
ルMOSトランジスタN34と、ノードW64とノード
W82との間に接続されゲートにインバータ176の出
力を受けるNチャネルMOSトランジスタN33を含
む。そして、ノードW82からは電位VBDが出力され
る。
【0196】図17は、図15における論理回路150
の入力に対する出力の値を示した真理値表を表わした図
である。
【0197】図17を参照して、論理回路150は、入
力として(COUNT1R,COUNT0R,CPR)
を受け、出力として(VBC0,VBC1,VBC2,
RO)を出力する。入力と出力の関係は以下のとおりで
ある。
【0198】入力(000)が与えられると、出力(0
000)が出力される。入力(001)が与えられる
と、出力(0000)が出力される。
【0199】入力(010)が与えられると、出力(0
010)が出力される。入力(011)が与えられる
と、出力(0010)が出力される。
【0200】入力(100)が与えられると、出力(0
100)が出力される。入力(101)が与えられる
と、出力(0100)が出力される。
【0201】入力(110)が与えられると、出力(1
001)が出力される。入力(111)が与えられる
と、出力(1000)が出力される。
【0202】図18は、論理回路150の構成の一例を
示した回路図である。図18を参照して、論理回路15
0は、信号COUNT0R,COUNT1Rをそれぞれ
受けて反転するインバータ182,184と、信号CO
UNT0R,COUNT1Rを受けるNAND回路18
6と、NAND回路186の出力を受けて反転し信号V
BC0を出力するインバータ200とを含む。
【0203】論理回路150は、さらに、インバータ1
82の出力と信号COUNT1Rとを受けるNAND回
路202と、NAND回路202の出力を受けて反転し
信号VBC1を出力するインバータ206とを含む。
【0204】論理回路150は、さらに、インバータ1
84の出力と信号COUNT0Rとを受けるNAND回
路208と、NAND回路208の出力を受けて反転し
信号VBC2を出力するインバータ212とを含む。
【0205】論理回路150は、さらに、信号CPRを
受けて反転するインバータ214と、信号COUNT0
R,COUNT1Rを受けるNAND回路216と、N
AND回路216の出力を受けて反転するインバータ2
18と、インバータ214,218の出力を受けるNA
ND回路220と、NAND回路220の出力を受けて
反転し信号ROを出力するインバータ222とを含む。
【0206】図19は、実施の形態5の動作を説明する
ための動作波形図である。図15、図19を参照して、
時刻t1において信号MODECがHレベルに設定され
ることによりバイアス電流補償モードに設定される。以
降図5の制御部50が所定の制御動作を行なう。
【0207】時刻t1〜t2の間でデータリセット信号
DRSTがHレベルに設定されトランジスタN15が導
通状態となりノードW50が接地電位に結合される。
【0208】時刻t2においてプリチャージ信号PCが
Lレベルに設定され、トランジスタP18が導通状態と
なりノードW50を電源電位EXTVDDに結合する。
電源電位EXTVDDはここでは3Vであるとして説明
をする。
【0209】続いて時刻t3において起動信号SUP1
がHレベルに活性化され、またプリチャージ信号PCが
Hレベルに非活性化される。すなわち時刻t2〜t3の
期間がプリチャージ期間として設定される。
【0210】起動信号SUP1がHレベルに活性化され
ると基準電位発生回路72が活性化され基準電位VRE
F1(1.2V)が発生される。図16に示したレベル
変換回路154は、基準電位VREF1をもとにレジス
タ146,148がそれぞれ出力する信号COUNT1
R,COUNT0Rに基づいて逐次的に階段状の電位と
なる電位VBDを出力する。
【0211】時刻t4において起動信号SUP2がHレ
ベルに活性化されると基準電位発生回路76が活性化さ
れ基準電位VREF2(1.5V)が発生される。これ
と同時にカウンタ158,レジスタ146,148およ
びコンパレータCP0が活性化される。その後周期的な
タイマ信号である信号TCLKが発生される。
【0212】カウンタ158は信号TCLKの立上がり
エッジでカウントアップ動作を行ない出力信号COUN
T0,COUNT1…を順次インクリメントさせてい
く。信号COUNT0,COUNT1はそれぞれレジス
タ148,146に入力される。レジスタ148,14
6は入力された信号をそれぞれ信号COUNT0R,C
OUNT1Rとして出力する。
【0213】このように、信号COUNT0R,COU
NT1Rが変化することで電位VBDが階段状に0.7
V、0.8V、0.9Vと順に変わっていく。その間に
電位VBDがしきい値電圧Vthnを超えるとノードW
50のディスチャージが急激に起こる。するとノードW
50の電位は基準電位VREFの1.5V以下になる。
【0214】図19ではしきい値電圧Vthnが0.8
Vであるとモニタされる場合が図示されている。その結
果、時刻t6において信号CPO0がHレベルとなり、
応じてレジスタ144の出力する信号CPRがHレベル
となる。信号CPRは図14の制御部50Dに入力され
ており、制御部50Dは起動信号SUP1およびSUP
2をLレベルに設定し、前処理回路142を非活性化さ
せる。このとき信号COUNT0,COUNT1,CP
Rの情報はレジスタ148,146および144にそれ
ぞれラッチされており失われることはない。また図1
7、図18で説明した論理回路150は、信号COUN
T0,COUNT1,CPRから信号RO,VCB0〜
VCB2を出力する。信号ROはレンジオーバー信号で
カウンタが最終までカウントアップしても信号CPRが
Hレベルとならなかった場合に活性化される信号であ
る。図19の波形図では、信号COUNT0RがLレベ
ルで、信号COUNT1Rおよび信号CPRはともにH
レベルであるので、その結果信号VBC1はHレベルと
なる。
【0215】時刻t9において起動信号SUP3がHレ
ベルに設定され基準電位発生回路34および基準電位発
生回路32Dが活性化される。応じて基準電位VREF
3として0.9Vが発生される。
【0216】また、信号VBC1はHレベルであるの
で、図14のトランジスタN24が導通状態となり、基
準電位発生回路32Dはバイアス電位VBIASとして
0.8Vを発生する。
【0217】ここでは、説明の簡単のためバイアス電位
VBIASのレベルは図15のノードW50がディスチ
ャージされたときの電位VBDと同一レベルに調整され
る例を説明する。
【0218】ここでしきい値電圧Vthnが0.1Vだ
け低くなった場合には、カウンタ値が1つ少ない値でレ
ジスタにラッチされる。すると信号COUNT0R,C
OUNT1R,CPRはそれぞれH,L,Hレベルとな
り、信号VBC2がHレベルになり図14のトランジス
タN14が導通状態となる。その結果バイアス電位VB
IASとして0.7Vが発生される。
【0219】逆に、しきい値電圧Vthnが0.1Vだ
け高くなった場合には信号COUNT0R,COUNT
1R,CPRはそれぞれH,H,Hレベルとなり、信号
VBC0がHレベルとなるので図14のトランジスタN
22が導通状態となる。その結果バイアス電位VBIA
Sとして0.9Vが発生される。図15ではカウンタ出
力が2ビットしかないためにしきい値電圧Vthnが
0.1V上昇したか0.2V上昇したかがわからない
が、それはビット数をもっと多くすれば解決される。要
するにしきい値電圧Vthnの変動に応じてバイアス電
位VBIASのレベルを変えることができる。
【0220】実施の形態5ではバイアス電位VBIAS
のレベルは電位VBDと同一レベルに調整される例を説
明したが、これに限定される必要はない。両者の間に何
らかのオフセットがあったり係数がかかっていたりして
もかまわない。また、ここではプリチャージレベルを電
源電位EXTVDDとしているが、これに限定される必
要はなく、何らかの中間電位であってもかまわない。
【0221】以上説明したように、実施の形態5の電圧
降下回路を用いることにより適切なバイアス電位VBI
ASが発生されしきい値電圧Vthnの影響を受けない
バイアス電流Ibiasが差動増幅回路に流れ電源電位
INTVDDは1.8Vとなる。このときは抵抗値はR
6/R5=1となるようにに設定されている。
【0222】[実施の形態6]図20は、実施の形態6
の電圧降下回路24Eの構成を示した回路図である。
【0223】図20を参照して、電圧降下回路24E
は、基準電位VREFとバイアス電位VBGRとを出力
する基準電位発生回路34Eと、基準電位VREFおよ
びバイアス電位VBGRとを受けてこれらに応じて電源
電位EXTVDDを降下させて電源電位INTVDDを
出力する降圧部36Eとを含む。
【0224】基準電位発生回路34Eは、図2に示した
基準電位発生回路34の構成において差動増幅回路38
に代えて差動増幅回路38Eを含み、ノードW11から
バイアス電位VBGRを出力する点が基準電位発生回路
34と異なる。基準電位発生回路34Eの他の構成は基
準電位発生回路34と同様であるので説明は繰り返さな
い。
【0225】降圧部36Eは、図2で示した降圧部36
の構成において差動増幅回路40に代えて差動増幅回路
40Eを含む。差動増幅回路40Eの構成は、トランジ
スタN3に代えてトランジスタN3Eが用いられる点が
差動増幅回路40の構成と異なる。降圧部36Eの他の
構成は、図2で説明した降圧部36と同様であるので説
明は繰返さない。
【0226】NチャネルMOSトランジスタN3Eは、
降圧された内部電源電位である電源電位INTVDDの
負荷回路26で用いられているNチャネルMOSトラン
ジスタN100と同様に低圧用トランジスタである。低
圧用トランジスタは、酸化膜が薄く最小ゲート長の短い
トランジスタであり、低い電源電圧で高速動作が可能な
ようにしきい値電圧が低く調整されている場合が多い。
負荷回路は図20では例としてPチャネルMOSトラン
ジスタP100とNチャネルMOSトランジスタN10
0からなるインバータが内部回路の例として示されてい
る。
【0227】このような内部回路は電源電圧がたとえば
1.8Vで駆動される。電圧降下回路24EのNチャネ
ルMOSトランジスタのうちトランジスタN3Eを除く
NチャネルMOSトランジスタは3ボルト系の高圧用ト
ランジスタである。3ボルト系の高圧用トランジスタに
比べ低圧用トランジスタはより低い電源電位で動作でき
なければならないため、しきい値電圧のばらつきはより
厳しく管理されしきい値電圧のばらつきの絶対値は3ボ
ルト系のトランジスタのしきい値のばらつきの絶対値よ
りも小さい。
【0228】したがって、しきい値電圧Vthnが小さ
いので同じバイアス電位VBGRに対してVgs−Vt
hnの絶対値が大きいくなり、相対的にしきい値電圧V
thnのばらつきの影響は小さくなる。またしきい値電
圧のばらつきも小さく管理されているのでVgs−Vt
hnの変化量はさらに小さくできる。つまり図23で示
した従来の電圧降下回路524のNチャネルMOSトラ
ンジスタN3を低圧トランジスタに代えることにより従
来の回路よりもバイアス電流Ibiasの変動を小さく
できる。
【0229】[実施の形態7]図21は、実施の形態7
の電圧降下回路24Fの構成を示した回路図である。
【0230】図21を参照して、電圧降下回路24F
は、基準電位VREF(たとえば0.9V)およびバイ
アス電位VBGR(たとえば1.2V)を出力する基準
電位発生回路34Eと、バイアス電位VBGRをレベル
変換してバイアス電位VBIAS(たとえば1.8V)
を出力するレベル変換回路300と、バイアス電位VB
IASおよび基準電位VREFに応じて電源電位EXT
VDDを降下させて電源電位INTVDDを出力する降
圧部36とを含む。
【0231】基準電位発生回路34Eの構成は、図20
で説明したため説明は繰返さない。また降圧部36の構
成は、図2で説明しているので説明は繰返さない。
【0232】図22は、図21におけるレベル変換回路
300の構成を示した回路図である。
【0233】図22を参照して、レベル変換回路300
は、外部電源電位EXTVDDにソースおよびバックゲ
ートが結合されノードW76にゲートおよびドレインが
接続されるPチャネルMOSトランジスタP21と、ノ
ードW76とノードW78との間に接続されゲートがノ
ードW80に接続されるNチャネルMOSトランジスタ
N16と、電源電位EXTVDDにソースおよびバック
ゲートが結合されノードW76にゲートが接続されノー
ドW77にドレインが接続されるPチャネルMOSトラ
ンジスタP22と、ノードW77とノードW78との間
に接続されゲートにバイアス電位VBGRを受けるNチ
ャネルMOSトランジスタN17と、ノードW78と接
地ノードとの間に接続されゲートにバイアス電位VBG
Rを受けるNチャネルMOSトランジスタN18とを含
む。
【0234】レベル変換回路300は、さらに、電源電
位EXTVDDにソースおよびバックゲートが結合され
ノードW77にゲートが接続されノードW79にドレイ
ンが接続されるPチャネルMOSトランジスタP23
と、ノードW79とノードW80との間に接続される抵
抗R16と、ノードW80と接地ノードとの間に接続さ
れる抵抗R15とを含む。ノードW79からはバイアス
電位VBIASが出力される。
【0235】実施の形態7では、実施の形態6の場合と
同様な原理に基づき、今度はバイアス電位VBIASを
レベル変換回路300により1.8V程度に昇圧してゲ
ート電位VGを上げることによりVgs−Vthnの絶
対値を大きくすることを狙ったものである。
【0236】レベル変換回路300の出力するバイアス
電位VBIASはトランジスタN3のゲートを駆動する
だけでよい。したがって外部に対して負荷電流は流れな
い。そこでトランジスタP21,P22,P23,N1
6,N17,N18のサイズは、消費電流が極小になる
ように意図的に小さく決定される。
【0237】
【数13】
【0238】したがってR15:R16=2:1となる
ように抵抗比が決定される。このように、バイアス電位
をレベル変換して昇圧しトランジスタN3に与えること
により余分な電流消費をすることなくバイアス電流Ib
iasの変動をより小さくすることができる。
【0239】実施の形態1〜7では、しきい値電圧に依
存しないバイアス電流を有する差動増幅回路に本発明を
適用する場合を示しているが、これに限定される必要は
なく、差動増幅回路はさまざまな半導体装置(たとえば
センスアンプ、コンパレータ等)に用いられる回路であ
り、それらに対しても本発明は有用であることをここに
明記する。
【0240】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【0241】
【発明の効果】請求項1に記載の半導体装置は、しきい
値電圧が変動した場合でも、差動増幅器のバイアス電流
が変動しないので、消費電流が少なくてすみ、かつ、応
答速度が速い差動増幅回路が実現できる。
【0242】請求項2に記載の半導体装置は、請求項1
に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、差動増幅回
路を用いて内部電源電位を発生する電圧降下回路が実現
できる。
【0243】請求項3に記載の半導体装置は、請求項2
に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、メモリアレ
イ部分に電圧降下回路の出力が供給された半導体装置を
実現できる。
【0244】請求項4〜7に記載の半導体装置は、請求
項2に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、しきい
値電圧の変化に追従する制御電位の発生が実現できる。
【0245】請求項8〜11に記載の半導体装置は、請
求項2に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、しき
い値をモニタして適切な制御電位を定めることができ
る。
【0246】請求項12、13に記載の半導体装置は、
請求項2に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、差
動増幅の対をなすトランジスタに対するバイアスレベル
の確保が可能である。
【0247】請求項14に記載の半導体装置は、請求項
2に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、発生され
る基準電位がより低い場合でも動作可能な電圧降下回路
が実現できる。
【0248】請求項15〜18に記載の半導体装置は、
高圧用と低圧用の2種類のトランジスタを含む場合に、
バイアス電流を定める電流源となるトランジスタに低圧
用トランジスタを使用することで、バイアス電流の変動
を小さく抑えることができ、消費電流が少なくてすみ、
かつ、応答速度が速い内部電源電位が得られる。
【0249】請求項19に記載の半導体装置は、請求項
17に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、発生さ
れる基準電位がより低い場合でも動作可能な電圧降下回
路が実現できる。
【0250】請求項20に記載の半導体装置は、請求項
17に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、メモリ
アレイ部分に電圧降下回路の出力が供給された半導体装
置を実現できる。
【0251】請求項21、22に記載の半導体装置は、
バイアス電流を定める電流源となるトランジスタのゲー
トに基準電位を昇圧して与えることにより、バイアス電
流の変動を小さく抑えることができ、消費電流が少なく
てすみ、かつ、応答速度が速い内部電源電位が得られ
る。
【0252】請求項23に記載の半導体装置は、請求項
22に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、発生さ
れる基準電位がより低い場合でも動作可能な電圧降下回
路が実現できる。
【0253】請求項24に記載の半導体装置は、請求項
22に記載の半導体装置の奏する効果に加えて、メモリ
アレイ部分に電圧降下回路の出力が供給された半導体装
置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の半導体装置2の構成を示した概略ブ
ロック図である。
【図2】 電圧降下回路24の構成を示した回路図であ
る。
【図3】 実施の形態2の電圧降下回路24Aの構成を
示した回路図である。
【図4】 実施の形態3の電圧降下回路24Bの構成を
示す回路図である。
【図5】 実施の形態4の電圧降下回路24Cの構成を
示した回路図である。
【図6】 図5における電位選択信号発生部52の構成
を示した回路図である。
【図7】 図6におけるレベル変換回路74の構成例を
示した回路図である。
【図8】 図6におけるコンパレータCP0の構成を示
した回路図である。
【図9】 図6におけるレジスタ64の構成を示した回
路図である。
【図10】 論理回路70の入出力値を表わした真理値
表を示した図である。
【図11】 図10の真理値表を満たす論理回路70の
構成の一例を示した回路図である。
【図12】 実施の形態4における実行シーケンスを示
したフローチャートである。
【図13】 実施の形態4の動作を説明するための動作
波形図である。
【図14】 実施の形態5の電圧降下回路24Dの構成
を示した回路図である。
【図15】 図14における基準選択信号発生部52D
の構成を示した回路図である。
【図16】 図15におけるレベル変換回路154の構
成を示した回路図である。
【図17】 図15における論理回路150の入力に対
する出力の値を示した真理値表を表わした図である。
【図18】 論理回路150の構成の一例を示した回路
図である。
【図19】 実施の形態5の動作を説明するための動作
波形図である。
【図20】 実施の形態6の電圧降下回路24Eの構成
を示した回路図である。
【図21】 実施の形態7の電圧降下回路24Fの構成
を示した回路図である。
【図22】 図21におけるレベル変換回路300の構
成を示した回路図である。
【図23】 従来の電圧降下回路524の構成を示した
回路図である。
【図24】 バイアス電流を小さくした場合に問題とな
る電圧降下を説明するための図である。
【符号の説明】
2 半導体装置、5 アドレスバッファ、6 制御信号
入力バッファ、8 コントロール回路、10 ロウデコ
ーダ、12 コラムデコーダ、14 メモリセルアレ
イ、16 センスアンプ帯、18 ブロック、20 出
力バッファ、22入力バッファ、24,24A〜24F
電圧降下回路、26 負荷回路、32C,32D,3
4,34E,72,76 基準電位発生回路、32 し
きい値補償回路、36,36A,36B,36E 降圧
部、38,38E,40,40A,40B,40E,5
4 差動増幅回路、50,50D 制御部、52,52
D電位選択信号発生部、62,142 前処理回路、7
0,150 論理回路、74,154,300 レベル
変換回路、158 カウンタ、64,66,68,14
4,146,148 レジスタ、BLP ビット線対、
R1〜R18,R1A,R2A,R10A 抵抗、C1
〜C3 キャパシタ、CP0〜CP2 コンパレータ、
MC メモリセル、N1〜N100,N3A,N1B,
N2B,N3D0〜N3D2,N3E NチャネルMO
Sトランジスタ、P1〜P100,P1A,P2A P
チャネルMOSトランジスタ、Q0〜Qj+s pnp
トランジスタ、WL ワード線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 27/04 G11C 11/34 354F 5M024 27/092 335A 27/10 481 Fターム(参考) 5B015 HH04 JJ07 KB64 KB65 KB73 QQ10 5F038 BB02 BB04 BB05 BB08 DF05 EZ20 5F048 AA07 AB01 AB03 AB08 AB10 AC03 AC05 AC10 5F083 GA01 GA05 GA11 LA03 LA08 LA09 LA10 LA27 ZA09 ZA12 5H430 BB01 BB05 BB09 BB11 EE04 FF04 FF13 GG08 HH03 LA21 LA22 LB05 5M024 AA20 BB29 BB37 FF02 FF23 HH09 PP01 PP02 PP03 PP07

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 MOSトランジスタのしきい値電圧に応
    じた制御電位を出力するしきい値補償回路と、 第1の入力電位と第2の入力電位との電位差を増幅する
    差動増幅回路とを備え、 前記差動増幅回路は、前記制御電位をゲートに受け、前
    記制御電位に応じて前記差動増幅回路のバイアス電流を
    定める第1のMOSトランジスタを含む、半導体装置。
  2. 【請求項2】 負荷回路と、 外部から与えられる第1の電源電位と第2の電源電位と
    の間に接続され、ゲート電位が前記差動増幅回路の出力
    に応じて制御され、前記第1の電源電位を降下させた前
    記第2の電源電位を前記負荷回路に供給する第2のMO
    Sトランジスタとをさらに備え、 前記第1の入力電位は、基準電位であり、 前記第2の入力電位は、前記第2の電源電位に応じた内
    部電位である、請求項1に記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記負荷回路は、 行列状に配列されるメモリセルを有するメモリアレイを
    含む、請求項2に記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記しきい値補償回路は、 第3のMOSトランジスタと、 前記第3のMOSトランジスタと直列に接続される第1
    のダイオード回路と、前記第3のMOSトランジスタと
    カレントミラーを形成する第4のMOSトランジスタ
    と、 前記第4のMOSトランジスタと直列に接続される第2
    のダイオード回路とを含む、請求項2に記載の半導体装
    置。
  5. 【請求項5】 前記第1のダイオード回路は、 第1のダイオード素子を含み、 前記第2のダイオード回路は、 互いに並列接続される複数の第2のダイオード素子を含
    む、請求項4に記載の半導体装置。
  6. 【請求項6】 前記第1のダイオード回路は、 第1のダイオード素子を含み、 前記第2のダイオード回路は、 同一のバイアス電位が印加された場合に前記第1のダイ
    オード素子に流れる電流の所定係数倍の電流が流れるよ
    うにpn接合面積が前記第1のダイオード素子とは異な
    る第2のダイオード素子を含む、請求項4に記載の半導
    体装置。
  7. 【請求項7】 前記第1、第3、第4のMOSトランジ
    スタは、同じ導電型である、請求項4に記載の半導体装
    置。
  8. 【請求項8】 前記しきい値補償回路は、 前記第1のMOSトランジスタと同じしきい値電圧を有
    するように、前記第1のMOSトランジスタと実質的に
    同じトランジスタサイズを有し前記第1のMOSトラン
    ジスタと近接配置され、前記第1のMOSトランジスタ
    と導電型が等しい複数の第3のMOSトランジスタと、 前記複数の第3のMOSトランジスタのドレインを所定
    の電位に充電するプリチャージ回路と、 前記複数の第3のMOSトランジスタのドレインが前記
    所定の電位にプリチャージされた後に、前記複数の第3
    のMOSトランジスタのゲートにそれぞれ異なる複数の
    電位を与える電位発生回路と、 前記複数の第3のMOSトランジスタのドレインの電位
    を観測し、観測結果に応じて前記制御電位を決定する論
    理回路とを含む、請求項2に記載の半導体装置。
  9. 【請求項9】 前記しきい値補償回路は、 前記第1の電源電位から複数のバイアス基準電位を出力
    する電位発生部と、 前記論理回路の出力に応じて前記複数のバイアス基準電
    位のうちから前記制御電位を選択する選択部とをさらに
    含む、請求項8に記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】 前記しきい値補償回路は、 前記第1のMOSトランジスタと同じしきい値電圧を有
    するように、前記第1のMOSトランジスタと実質的に
    同じトランジスタサイズを有し前記第1のMOSトラン
    ジスタと近接配置され、前記第1のMOSトランジスタ
    と導電型が等しい第3のMOSトランジスタと、 前記第3のMOSトランジスタのドレインを所定の電位
    に充電するプリチャージ回路と、 前記第3のMOSトランジスタのドレインが前記所定の
    電位にプリチャージされた後に、前記第3のMOSトラ
    ンジスタのゲートに逐次複数の異なる電位を与える電位
    発生回路と、 前記第3のMOSトランジスタのドレイン電位を観測
    し、観測結果に応じて前記制御電位を決定する論理回路
    とを含む、請求項2に記載の半導体装置。
  11. 【請求項11】 前記しきい値補償回路は、 前記第1の電源電位から複数のバイアス基準電位を出力
    する電位発生部と、 前記論理回路の出力に応じて前記複数のバイアス基準電
    位のうちから前記制御電位を選択する選択部とをさらに
    含む、請求項10に記載の半導体装置。
  12. 【請求項12】 前記第1のMOSトランジスタは第1
    導電型であり、ソースが接地電位に結合され、 前記差動増幅回路は、 第1の電源電位と接地電位との間に前記第1のMOSト
    ランジスタと直列に接続される第2導電型の第3のMO
    Sトランジスタと、 前記第3のMOSトランジスタとカレントミラー対をな
    す前記第2導電型の第4のMOSトランジスタと、 前記第4のMOSトランジスタを介して前記第1の電源
    電位から電流が供給され、差動増幅のための対をなす第
    5、第6のMOSトランジスタとをさらに含む、請求項
    2に記載の半導体装置。
  13. 【請求項13】 前記第1のMOSトランジスタは第1
    導電型であり、ソースが接地電位に結合され、 前記差動増幅回路は、 前記第1導電型であり、各々のソースおよびバックゲー
    トがともに前記第1のMOSトランジスタのドレインに
    接続され、差動増幅のための対をなす第3、第4のMO
    Sトランジスタと、 それぞれのドレインが前記第3、第4のMOSトランジ
    スタのドレインに接続されカレントミラー対をなす第2
    導電型の第5、第6のMOSトランジスタをさらに含
    む、請求項2に記載の半導体装置。
  14. 【請求項14】 前記第2の電源電位を分圧して前記内
    部電位を出力する分圧部をさらに備える、請求項2に記
    載の半導体装置。
  15. 【請求項15】 第1の入力電位と第2の入力電位との
    電位差を増幅する差動増幅回路を備え、 前記差動増幅回路は、 制御電位をゲートに受け、前記制御電位に応じて前記差
    動増幅回路のバイアス電流を定める第1のMOSトラン
    ジスタと、 前記第1のMOSトランジスタよりもしきい値電圧が高
    く、差動増幅のための対をなす第2、第3のMOSトラ
    ンジスタとを含む、半導体装置。
  16. 【請求項16】 負荷回路と、 外部から与えられる第1の電源電位と第2の電源電位と
    の間に接続され、ゲート電位が前記差動増幅回路の出力
    に応じて制御され、前記第1の電源電位を降下させた前
    記第2の電源電位を前記負荷回路に供給する第4のMO
    Sトランジスタとをさらに備え、 前記第1の入力電位は、基準電位であり、 前記第2の入力電位は、前記第2の電源電位に応じた内
    部電位である、請求項15に記載の半導体装置。
  17. 【請求項17】 前記負荷回路は、 前記第2の電源電位を動作電源電位とする場合に最適動
    作するように調整された第1の種類の第5のMOSトラ
    ンジスタを含み、 前記第2、第3のMOSトランジスタは、前記第1の電
    源電位を動作電源電位とする場合に最適動作するように
    調整された第2の種類のMOSトランジスタであり、 前記第1のMOSトランジスタは、前記第1の種類のM
    OSトランジスタである、請求項16に記載の半導体装
    置。
  18. 【請求項18】 前記第1〜第3、第5のMOSトラン
    ジスタは第1導電型であり、 前記第2、第3のMOSトランジスタのソースはともに
    前記第1のMOSトランジスタのドレインに接続され、 前記第1のMOSトランジスタのソースは接地電位に結
    合され、 前記差動増幅回路は、 それぞれのドレインが前記第2、第3のMOSトランジ
    スタのドレインに接続されカレントミラー対をなす第2
    導電型の第6、第7のMOSトランジスタをさらに含
    む、請求項17に記載の半導体装置。
  19. 【請求項19】 前記電圧降下回路は、 前記第2の電源電位を分圧して前記内部電位を出力する
    分圧部をさらに含む、請求項17に記載の半導体装置。
  20. 【請求項20】 前記負荷回路は、 行列状に配列されるメモリセルを有するメモリアレイを
    含む、請求項17に記載の半導体装置。
  21. 【請求項21】 外部から与えられる第1の電源電位を
    動作電源電位として受け、第1、第2の基準電位を発生
    する基準電位発生回路と、 前記第1の基準電位を昇圧して制御電位を出力するレベ
    ル変換回路と、 前記第2の基準電位と第1の入力電位との電位差を増幅
    する差動増幅回路を備え、 前記差動増幅回路は、 前記制御電位をゲートに受け、前記制御電位に応じて前
    記差動増幅回路のバイアス電流を定める第1のMOSト
    ランジスタを含む、半導体装置。
  22. 【請求項22】 負荷回路と、 前記第1の電源電位と第2の電源電位との間に接続さ
    れ、ゲート電位が前記差動増幅回路の出力に応じて制御
    され、前記第1の電源電位を降下させた前記第2の電源
    電位を前記負荷回路に供給する第2のMOSトランジス
    タとをさらに備え、 前記第1の入力電位は、前記第2の電源電位に応じた内
    部電位である、請求項21に記載の半導体装置。
  23. 【請求項23】 前記電圧降下回路は、 前記第2の電源電位を分圧して前記内部電位を出力する
    分圧部をさらに含む、請求項22に記載の半導体装置。
  24. 【請求項24】 前記負荷回路は、 行列状に配列されるメモリセルを有するメモリアレイを
    含む、請求項22に記載の半導体装置。
JP2002049685A 2002-02-26 2002-02-26 半導体装置 Expired - Fee Related JP4301760B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002049685A JP4301760B2 (ja) 2002-02-26 2002-02-26 半導体装置
US10/222,998 US6771117B2 (en) 2002-02-26 2002-08-19 Semiconductor device less susceptible to variation in threshold voltage
DE10245139A DE10245139A1 (de) 2002-02-26 2002-09-27 Eine für Schwellenwertspannungsänderungen weniger anfällige Halbleitervorrichtung
US10/883,807 US7106129B2 (en) 2002-02-26 2004-07-06 Semiconductor device less susceptible to variation in threshold voltage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002049685A JP4301760B2 (ja) 2002-02-26 2002-02-26 半導体装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2003249569A true JP2003249569A (ja) 2003-09-05
JP2003249569A5 JP2003249569A5 (ja) 2005-08-25
JP4301760B2 JP4301760B2 (ja) 2009-07-22

Family

ID=27750802

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002049685A Expired - Fee Related JP4301760B2 (ja) 2002-02-26 2002-02-26 半導体装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US6771117B2 (ja)
JP (1) JP4301760B2 (ja)
DE (1) DE10245139A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005174208A (ja) * 2003-12-15 2005-06-30 Ricoh Co Ltd 定電圧電源装置
JP2010073133A (ja) * 2008-09-22 2010-04-02 Seiko Instruments Inc バンドギャップ基準電圧回路
KR100997208B1 (ko) 2008-09-29 2010-11-29 충북대학교 산학협력단 저전압 연산 증폭기
JP2012050300A (ja) * 2010-08-30 2012-03-08 Fujitsu Ltd スイッチング素子補償回路
CN103021451A (zh) * 2011-09-22 2013-04-03 复旦大学 一种基于阈值电压调节的多级温度控制自刷新存储设备及其方法

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITTO20020803A1 (it) * 2002-09-16 2004-03-17 Atmel Corp Circuito di riferimento di corrente compensato in temperatura.
WO2004025390A2 (en) * 2002-09-16 2004-03-25 Atmel Corporation Temperature-compensated current reference circuit
JP2004274207A (ja) * 2003-03-06 2004-09-30 Renesas Technology Corp バイアス電圧発生回路および差動増幅器
FR2856856B1 (fr) * 2003-06-24 2005-08-26 Atmel Corp Circuit basse tension a fin d'interfacage avec des signaux analogiques a haute tension
US7057444B2 (en) * 2003-09-22 2006-06-06 Standard Microsystems Corporation Amplifier with accurate built-in threshold
US20050088222A1 (en) * 2003-10-27 2005-04-28 Stmicroelectronics, Inc. Chip enabled voltage regulator
US6858917B1 (en) * 2003-12-05 2005-02-22 National Semiconductor Corporation Metal oxide semiconductor (MOS) bandgap voltage reference circuit
JP4445780B2 (ja) * 2004-03-02 2010-04-07 Okiセミコンダクタ株式会社 電圧レギュレータ
US7621463B2 (en) * 2005-01-12 2009-11-24 Flodesign, Inc. Fluid nozzle system using self-propelling toroidal vortices for long-range jet impact
US20060170466A1 (en) * 2005-01-31 2006-08-03 Sangbeom Park Adjustable start-up circuit for switching regulators
JP4199742B2 (ja) * 2005-02-28 2008-12-17 エルピーダメモリ株式会社 遅延回路、及びこれらを備えた半導体装置
US7737765B2 (en) * 2005-03-14 2010-06-15 Silicon Storage Technology, Inc. Fast start charge pump for voltage regulators
US7362084B2 (en) * 2005-03-14 2008-04-22 Silicon Storage Technology, Inc. Fast voltage regulators for charge pumps
JP5072274B2 (ja) * 2005-09-29 2012-11-14 エスケーハイニックス株式会社 メモリ装置の書き込み回路
US20070080740A1 (en) * 2005-10-06 2007-04-12 Berens Michael T Reference circuit for providing a temperature independent reference voltage and current
US7283010B2 (en) * 2005-10-20 2007-10-16 Honeywell International Inc. Power supply compensated voltage and current supply
US7514987B2 (en) 2005-11-16 2009-04-07 Mediatek Inc. Bandgap reference circuits
JP5288391B2 (ja) * 2007-05-24 2013-09-11 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体記憶装置
US8203392B2 (en) * 2007-08-24 2012-06-19 Standard Microsystems Corporation Oscillator stabilized for temperature and power supply variations
JP5112846B2 (ja) * 2007-12-27 2013-01-09 セイコーインスツル株式会社 電源切替回路
JP4844619B2 (ja) * 2008-03-27 2011-12-28 株式会社デンソー 半導体メモリ装置
US7936208B2 (en) * 2008-07-31 2011-05-03 International Business Machines Corporation Bias circuit for a MOS device
US7907003B2 (en) * 2009-01-14 2011-03-15 Standard Microsystems Corporation Method for improving power-supply rejection
JP5488171B2 (ja) * 2010-04-27 2014-05-14 株式会社村田製作所 バイアス回路、電力増幅器及びカレントミラー回路
CN102801421B (zh) * 2011-05-25 2015-07-01 安凯(广州)微电子技术有限公司 一种复合比较器
JP2018045534A (ja) * 2016-09-15 2018-03-22 東芝メモリ株式会社 半導体回路
KR20180106493A (ko) * 2017-03-20 2018-10-01 에스케이하이닉스 주식회사 반도체장치

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4636664A (en) * 1983-01-10 1987-01-13 Ncr Corporation Current sinking responsive MOS sense amplifier
GB2206010A (en) * 1987-06-08 1988-12-21 Philips Electronic Associated Differential amplifier and current sensing circuit including such an amplifier
US4926442A (en) * 1988-06-17 1990-05-15 International Business Machines Corporation CMOS signal threshold detector
JP2679390B2 (ja) * 1990-10-12 1997-11-19 日本電気株式会社 コード設定回路
JP3057100B2 (ja) * 1991-02-12 2000-06-26 株式会社日立製作所 半導体集積回路装置
US6320429B1 (en) * 1991-06-28 2001-11-20 Fuji Electric Co., Ltd. Integrated circuit having a comparator circuit including at least one differential amplifier
US5448200A (en) * 1991-12-18 1995-09-05 At&T Corp. Differential comparator with differential threshold for local area networks or the like
JPH08154022A (ja) * 1994-11-29 1996-06-11 Nec Corp 過電流保護回路付き増幅回路
US5701136A (en) * 1995-03-06 1997-12-23 Thomson Consumer Electronics S.A. Liquid crystal display driver with threshold voltage drift compensation
JPH09321586A (ja) * 1996-05-29 1997-12-12 Toshiba Microelectron Corp レベル比較器
GB2313725B (en) * 1996-05-31 1998-04-08 Ebrahim Bushehri A circuit arrangement for a logic gate
KR100272508B1 (ko) * 1997-12-12 2000-11-15 김영환 내부전압(vdd) 발생회로
US6097242A (en) * 1998-02-26 2000-08-01 Micron Technology, Inc. Threshold voltage compensation circuits for low voltage and low power CMOS integrated circuits
JP3512332B2 (ja) * 1998-04-07 2004-03-29 富士通株式会社 内部電圧発生回路
JPH11312392A (ja) * 1998-04-28 1999-11-09 Nec Corp レベル検出回路
JP3519958B2 (ja) * 1998-10-07 2004-04-19 株式会社リコー 基準電圧発生回路
KR100366616B1 (ko) * 1999-05-19 2003-01-09 삼성전자 주식회사 저전압 인터페이스용 고속 입력버퍼 회로
KR100400304B1 (ko) * 2000-12-27 2003-10-01 주식회사 하이닉스반도체 커런트 미러형의 밴드갭 기준전압 발생장치
US6445216B1 (en) * 2001-05-14 2002-09-03 Intel Corporation Sense amplifier having reduced Vt mismatch in input matched differential pair
US6529421B1 (en) * 2001-08-28 2003-03-04 Micron Technology, Inc. SRAM array with temperature-compensated threshold voltage
US6630859B1 (en) * 2002-01-24 2003-10-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Low voltage supply band gap circuit at low power process
JP2003258105A (ja) * 2002-02-27 2003-09-12 Ricoh Co Ltd 基準電圧発生回路及びその製造方法、並びにそれを用いた電源装置
US6661713B1 (en) * 2002-07-25 2003-12-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Bandgap reference circuit
TW583762B (en) * 2003-02-27 2004-04-11 Ind Tech Res Inst Bandgap reference circuit
US6844711B1 (en) * 2003-04-15 2005-01-18 Marvell International Ltd. Low power and high accuracy band gap voltage circuit

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005174208A (ja) * 2003-12-15 2005-06-30 Ricoh Co Ltd 定電圧電源装置
JP2010073133A (ja) * 2008-09-22 2010-04-02 Seiko Instruments Inc バンドギャップ基準電圧回路
KR101353199B1 (ko) 2008-09-22 2014-01-17 세이코 인스트루 가부시키가이샤 밴드갭 기준 전압 회로
KR100997208B1 (ko) 2008-09-29 2010-11-29 충북대학교 산학협력단 저전압 연산 증폭기
JP2012050300A (ja) * 2010-08-30 2012-03-08 Fujitsu Ltd スイッチング素子補償回路
CN103021451A (zh) * 2011-09-22 2013-04-03 复旦大学 一种基于阈值电压调节的多级温度控制自刷新存储设备及其方法
CN103021451B (zh) * 2011-09-22 2016-03-30 复旦大学 一种基于阈值电压调节的多级温度控制自刷新存储设备及其方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20030160649A1 (en) 2003-08-28
US6771117B2 (en) 2004-08-03
US20040238875A1 (en) 2004-12-02
US7106129B2 (en) 2006-09-12
DE10245139A1 (de) 2003-09-11
JP4301760B2 (ja) 2009-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4301760B2 (ja) 半導体装置
JP2851767B2 (ja) 電圧供給回路および内部降圧回路
JP2945508B2 (ja) 半導体装置
US7256643B2 (en) Device and method for generating a low-voltage reference
US5448526A (en) Semiconductor integrated circuit device
US7038963B2 (en) Current sense amplifier circuits having a bias voltage node for adjusting input resistance
JP4792034B2 (ja) 半導体装置およびその制御方法
US6781443B2 (en) Potential generating circuit capable of correctly controlling output potential
US7589513B2 (en) Reference voltage generator circuit
US7286417B2 (en) Low power dissipation voltage generator
JP2002042467A (ja) 電圧降圧回路およびそれを備える半導体集積回路装置
JP2007251351A (ja) 半導体装置
JP2000149557A (ja) 半導体集積回路
JP5492702B2 (ja) 半導体装置
US6344992B1 (en) SRAM operating with a reduced power dissipation
JP2015230737A (ja) 負基準電圧発生回路及び負基準電圧発生システム
US11797038B2 (en) Voltage regulator and semiconductor memory device having the same
TWI675272B (zh) 差動電壓產生器
US5698972A (en) Voltage regulator circuit
US20050225379A1 (en) Internal voltage generation circuit of semiconductor memory device
KR20030052363A (ko) 반도체 메모리 소자의 전압 발생장치
JP2011141649A (ja) 半導体回路、及びコンピュータシステム
JP3096541B2 (ja) 半導体集積回路のための内部降圧回路
US5175707A (en) Semiconductor memory device having a driving circuit provided in association with a high speed sense amplifier circuit
KR100554840B1 (ko) 파워 업 신호 발생 회로

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050221

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080819

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081017

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081224

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090220

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090414

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090421

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120501

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130501

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140501

Year of fee payment: 5

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees