JP2000059082A - 電磁波フィルタ - Google Patents
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- H05K9/0096—Shielding materials being light-transmitting, e.g. transparent, translucent for television displays, e.g. plasma display panel
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- H01J11/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
- H01J11/44—Optical arrangements or shielding arrangements, e.g. filters, black matrices, light reflecting means or electromagnetic shielding means
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- H01J2211/00—Plasma display panels with alternate current induction of the discharge, e.g. AC-PDPs
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- H01J2211/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
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- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラズマディスプレイパネルの前面に設置し
てプラズマ放電により放出される電磁波をカットするフ
ィルタとして、大きい電磁波遮断性と近赤外線遮断性を
あわせ備え、かつ実用的に要求される耐久性を有するも
のはなかった。 【解決手段】 ガラス板の一方の面に、ガラス板側から
順に酸化亜鉛層４１ｎｍ、銀主成分層１１ｎｍ、酸化亜
鉛層７６ｎｍ、銀主成分層１２ｎｍ、酸化亜鉛層７４ｎ
ｍ、銀主成分層１２ｎｍ、酸化亜鉛層７６ｎｍ、銀主成
分層１１ｎｍ、酸化亜鉛層３９ｎｍをスパッタリングに
より積層して透明電磁波遮断膜とし、この電磁波遮断膜
にＰＥＴフィルムを粘着剤により貼りつけて保護する。
銀主成分層には、０．４原子％のパラジウムを含有させ
たものを用い、電磁波遮断膜のシート抵抗を１．３Ω／
□、フィルタの波長８５０ｎｍでの透過率を８％とし
た。
てプラズマ放電により放出される電磁波をカットするフ
ィルタとして、大きい電磁波遮断性と近赤外線遮断性を
あわせ備え、かつ実用的に要求される耐久性を有するも
のはなかった。 【解決手段】 ガラス板の一方の面に、ガラス板側から
順に酸化亜鉛層４１ｎｍ、銀主成分層１１ｎｍ、酸化亜
鉛層７６ｎｍ、銀主成分層１２ｎｍ、酸化亜鉛層７４ｎ
ｍ、銀主成分層１２ｎｍ、酸化亜鉛層７６ｎｍ、銀主成
分層１１ｎｍ、酸化亜鉛層３９ｎｍをスパッタリングに
より積層して透明電磁波遮断膜とし、この電磁波遮断膜
にＰＥＴフィルムを粘着剤により貼りつけて保護する。
銀主成分層には、０．４原子％のパラジウムを含有させ
たものを用い、電磁波遮断膜のシート抵抗を１．３Ω／
□、フィルタの波長８５０ｎｍでの透過率を８％とし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの前面に設置して、プラズマ放電により放出
される電磁波をカットするのに好適に用いられる電磁波
フィルタに関し、必要とする電磁波遮断性とともに、高
い可視光線透過率と低い近赤外線透過率を併せ有し、か
つ実用に耐える耐久性を有する電磁波フィルタに関す
る。また本発明は、陰極線管（ＣＲＴ）やフィールドエ
ミッションディスプレイ（ＦＥＤ）が放出する電磁波を
カットするのにも用いることもできる。
レイパネルの前面に設置して、プラズマ放電により放出
される電磁波をカットするのに好適に用いられる電磁波
フィルタに関し、必要とする電磁波遮断性とともに、高
い可視光線透過率と低い近赤外線透過率を併せ有し、か
つ実用に耐える耐久性を有する電磁波フィルタに関す
る。また本発明は、陰極線管（ＣＲＴ）やフィールドエ
ミッションディスプレイ（ＦＥＤ）が放出する電磁波を
カットするのにも用いることもできる。
【０００２】
【従来の技術】ガラス板の如き透明基板の主表面上に電
磁波遮断膜が被覆された可視域で透明な電磁波フィルタ
としては、基板側から誘電体層と金属層とがこの順に交
互に積層された電磁波フィルタが知られている。この目
的のために用いられる電磁波遮断膜は、電磁波の遮断を
行うために導電性の（小さい面積抵抗を有する）物質を
基板上に被覆したものが用いられる。そして高い可視光
線透過率を確保しながら低い抵抗を有する導電体層とし
て、透明金属酸化物で例示できる誘電体薄膜層と銀の薄
膜層との積層体が知られている。
磁波遮断膜が被覆された可視域で透明な電磁波フィルタ
としては、基板側から誘電体層と金属層とがこの順に交
互に積層された電磁波フィルタが知られている。この目
的のために用いられる電磁波遮断膜は、電磁波の遮断を
行うために導電性の（小さい面積抵抗を有する）物質を
基板上に被覆したものが用いられる。そして高い可視光
線透過率を確保しながら低い抵抗を有する導電体層とし
て、透明金属酸化物で例示できる誘電体薄膜層と銀の薄
膜層との積層体が知られている。
【０００３】特開平５−４２６２４号公報には、銀層を
誘電体層ではさんだ構造の熱線遮断膜が被覆されたガラ
ス板が開示されており、銀層を保護する誘電体層として
酸化亜鉛層と酸化錫層の２層以上の積層体を用いたもの
が開示され、この熱線遮断膜は、窓や電子部品に用いら
れて電磁波遮断膜として使用できることが記載されてい
る。
誘電体層ではさんだ構造の熱線遮断膜が被覆されたガラ
ス板が開示されており、銀層を保護する誘電体層として
酸化亜鉛層と酸化錫層の２層以上の積層体を用いたもの
が開示され、この熱線遮断膜は、窓や電子部品に用いら
れて電磁波遮断膜として使用できることが記載されてい
る。
【０００４】特開平９−８５８９３号公報のガラス板上
に被覆されている積層体は、金属層としてパラジウムを
０．３原子％以上含有させた銀層を用いること、誘電体
層として酸化亜鉛層にアルミニウム等の金属を添加させ
てその内部応力を低減させて銀層との密着性を向上させ
ることが記載されており、耐湿熱性が改善された５層構
成（銀層が２層）の積層体が開示されている。
に被覆されている積層体は、金属層としてパラジウムを
０．３原子％以上含有させた銀層を用いること、誘電体
層として酸化亜鉛層にアルミニウム等の金属を添加させ
てその内部応力を低減させて銀層との密着性を向上させ
ることが記載されており、耐湿熱性が改善された５層構
成（銀層が２層）の積層体が開示されている。
【０００５】特開平８−１０４５４７号公報には、断熱
複層ガラスの熱線遮断膜として、酸化錫層および酸化亜
鉛層を誘電体層とし、銀層を金属層とする５層構成（銀
層が２層）の積層体が開示されており、ガラス窓として
の透過色および反射色を無彩色にするための誘電体層の
厚みを調整することが記載されている。
複層ガラスの熱線遮断膜として、酸化錫層および酸化亜
鉛層を誘電体層とし、銀層を金属層とする５層構成（銀
層が２層）の積層体が開示されており、ガラス窓として
の透過色および反射色を無彩色にするための誘電体層の
厚みを調整することが記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】プラズマディスプレイ
パネルは大型の画像表示装置として知られているが、そ
の高輝度の表示を実現するために強力なプラズマ放電を
必要とする。このため放電領域からプラズマディスプレ
イパネルの前方に向かって、電磁波とともに近赤外線が
放出され、放出される電磁波が人体に悪影響を及ぼす恐
れがあるとされ、一方放出される近赤外線がプラズマデ
ィスプレイパネルの近くにある家電製品のリモコン受光
部で検知され、そのスイッチを誤動作させるという問題
点があった。
パネルは大型の画像表示装置として知られているが、そ
の高輝度の表示を実現するために強力なプラズマ放電を
必要とする。このため放電領域からプラズマディスプレ
イパネルの前方に向かって、電磁波とともに近赤外線が
放出され、放出される電磁波が人体に悪影響を及ぼす恐
れがあるとされ、一方放出される近赤外線がプラズマデ
ィスプレイパネルの近くにある家電製品のリモコン受光
部で検知され、そのスイッチを誤動作させるという問題
点があった。
【０００７】上記目的を達成するために、プラズマディ
スプレイパネル前面に電磁波遮断性能を有する透明体を
設けることが提案されており、そのために誘電体層と銀
層を交互に積層した電磁波フィルタをプラズマディスプ
レイの前面に貼り付けることが検討されている。このよ
うな電磁波フィルタとしては、 １）電磁波遮断能がある、 ２）家電品のリモコンスイッチの遠隔通信に用いられる
近赤外線域（８００〜９００ｎｍ）の波長の電磁波の透
過率が小さく、周辺家電品の誤動作防止能がある、 ３）明るい画像表示を維持するために可視光線透過率が
高い、 ４）空気中に暴露された状態で使用されるので、耐湿熱
性などの耐久性能がある、 という性能が同時に要求される。
スプレイパネル前面に電磁波遮断性能を有する透明体を
設けることが提案されており、そのために誘電体層と銀
層を交互に積層した電磁波フィルタをプラズマディスプ
レイの前面に貼り付けることが検討されている。このよ
うな電磁波フィルタとしては、 １）電磁波遮断能がある、 ２）家電品のリモコンスイッチの遠隔通信に用いられる
近赤外線域（８００〜９００ｎｍ）の波長の電磁波の透
過率が小さく、周辺家電品の誤動作防止能がある、 ３）明るい画像表示を維持するために可視光線透過率が
高い、 ４）空気中に暴露された状態で使用されるので、耐湿熱
性などの耐久性能がある、 という性能が同時に要求される。
【０００８】ここで、上記２）と３）の性能を同時に満
足させるには、可視域で高透過、近赤外域で低透過の特
性、すなわち可視域と近赤外域の境界で急速に透過率が
低くなる電磁波遮断膜を設計することにより、本発明の
課題を解決する着想を得たのである。
足させるには、可視域で高透過、近赤外域で低透過の特
性、すなわち可視域と近赤外域の境界で急速に透過率が
低くなる電磁波遮断膜を設計することにより、本発明の
課題を解決する着想を得たのである。
【０００９】特開平５−４２６２４号公報に記載のガラ
ス板上の熱線遮断膜は、保護層となるべき誘電体層を酸
化亜鉛層と酸化錫層の２層以上の積層体としているの
で、耐湿熱性で代表される耐久性は優れているが、銀を
１層としているので電磁波遮断能が十分でなく、プラズ
マディスプレイの前面に用いても近赤外域の透過率が高
く、上記のリモコンの誤動作を防止することができな
い。
ス板上の熱線遮断膜は、保護層となるべき誘電体層を酸
化亜鉛層と酸化錫層の２層以上の積層体としているの
で、耐湿熱性で代表される耐久性は優れているが、銀を
１層としているので電磁波遮断能が十分でなく、プラズ
マディスプレイの前面に用いても近赤外域の透過率が高
く、上記のリモコンの誤動作を防止することができな
い。
【００１０】特開平９−８５８９３号公報のガラス板上
に被覆されている積層体は、金属層としてパラジウムを
０．３原子％以上含有させた銀層を用いたこと、誘電体
層として酸化亜鉛層にアルミニウム等の金属を添加させ
てその内部応力を低減させ、銀層との密着性を向上させ
たことにより耐湿熱性が改善されているが、銀層を２層
（全５層）構成としているため、プラズマディスプレイ
パネルとして要求される上記２）と３）の要求特性を得
ることは困難である。
に被覆されている積層体は、金属層としてパラジウムを
０．３原子％以上含有させた銀層を用いたこと、誘電体
層として酸化亜鉛層にアルミニウム等の金属を添加させ
てその内部応力を低減させ、銀層との密着性を向上させ
たことにより耐湿熱性が改善されているが、銀層を２層
（全５層）構成としているため、プラズマディスプレイ
パネルとして要求される上記２）と３）の要求特性を得
ることは困難である。
【００１１】特開平８−１０４５４７号公報に開示され
ている熱線遮断膜は銀層を２層とする５層構成の積層体
であるので、前述の通り、上記２）と３）の要求特性を
得ることは困難である。
ている熱線遮断膜は銀層を２層とする５層構成の積層体
であるので、前述の通り、上記２）と３）の要求特性を
得ることは困難である。
【００１２】本発明は、プラズマディスプレイパネルの
前面から放出される電磁波およびリモコンスイッチ制御
用の赤外線を遮断する機能と高い可視光線透過率を維持
しつつ、実用的な耐久性を有する電磁波フィルタを提供
することを目的とする。
前面から放出される電磁波およびリモコンスイッチ制御
用の赤外線を遮断する機能と高い可視光線透過率を維持
しつつ、実用的な耐久性を有する電磁波フィルタを提供
することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は鋭意研究した結果、まず銀主成分層につい
ては４層に分割すること、銀層にパラジウムを所定範囲
量添加することにより、プラズマディスプレイパネルの
前面に設置して用いる電磁波フィルタとして必要な電磁
波遮断能を有する抵抗値、近赤外域での低い透過率およ
び実用的な耐湿熱性が得られることを見出したことによ
りなされたものである。
に、本発明は鋭意研究した結果、まず銀主成分層につい
ては４層に分割すること、銀層にパラジウムを所定範囲
量添加することにより、プラズマディスプレイパネルの
前面に設置して用いる電磁波フィルタとして必要な電磁
波遮断能を有する抵抗値、近赤外域での低い透過率およ
び実用的な耐湿熱性が得られることを見出したことによ
りなされたものである。
【００１４】本発明の請求項１は、透明基板の一方の面
に電磁波遮断膜が被覆された電磁波遮断板と、前記電磁
波遮断膜面に設けられた保護膜とを有する電磁波フィル
タであって、前記電磁波遮断膜を、透明基板側から５５
０ｎｍの波長における屈折率が１．７〜２．７の誘電体
層と銀主成分層をこの順に交互に積層した９層の積層体
とし、前記銀主成分層の厚みを５〜２０ｎｍとすること
により、前記電磁波遮断膜のシート抵抗を２Ω／□以
下、かつ、波長８５０ｎｍにおける近赤外線透過率を１
５％以下としたことを特徴とするプラズマディスプレイ
パネル用の電磁波フィルタである。
に電磁波遮断膜が被覆された電磁波遮断板と、前記電磁
波遮断膜面に設けられた保護膜とを有する電磁波フィル
タであって、前記電磁波遮断膜を、透明基板側から５５
０ｎｍの波長における屈折率が１．７〜２．７の誘電体
層と銀主成分層をこの順に交互に積層した９層の積層体
とし、前記銀主成分層の厚みを５〜２０ｎｍとすること
により、前記電磁波遮断膜のシート抵抗を２Ω／□以
下、かつ、波長８５０ｎｍにおける近赤外線透過率を１
５％以下としたことを特徴とするプラズマディスプレイ
パネル用の電磁波フィルタである。
【００１５】誘電体層は、５５０ｎｍの波長の屈折率が
１．７〜２．７の透明金属酸化物が用いられる。誘電体
の屈折率が１．７未満であると電磁波フィルタとしての
反射率が高くなり、２．７を越える金属酸化物の層は、
その積層をするにあたり透明基板の高温の加熱を必要と
し、銀主成分層の酸化劣化をもたらす。したがって誘電
体層の厚みは、１．７〜２．７であることを必要とす
る。
１．７〜２．７の透明金属酸化物が用いられる。誘電体
の屈折率が１．７未満であると電磁波フィルタとしての
反射率が高くなり、２．７を越える金属酸化物の層は、
その積層をするにあたり透明基板の高温の加熱を必要と
し、銀主成分層の酸化劣化をもたらす。したがって誘電
体層の厚みは、１．７〜２．７であることを必要とす
る。
【００１６】また、銀主成分層は、銀単独の層では実用
的な耐候性（とりわけ耐湿熱性）が十分でないので、銀
にパラジウム、金、ニッケル、チタニウムなどの金属を
銀の比抵抗を大きく減じない範囲で添加することができ
る。とりわけ、パラジウムは、それが少量添加されるこ
とにより、電磁波遮断膜の耐湿熱性が実用的なレベルに
向上するので好ましい。
的な耐候性（とりわけ耐湿熱性）が十分でないので、銀
にパラジウム、金、ニッケル、チタニウムなどの金属を
銀の比抵抗を大きく減じない範囲で添加することができ
る。とりわけ、パラジウムは、それが少量添加されるこ
とにより、電磁波遮断膜の耐湿熱性が実用的なレベルに
向上するので好ましい。
【００１７】また、銀主成分層の各厚みは、５〜２０ｎ
ｍとされる。この理由は、５ｎｍ未満であると、電磁波
遮断能を確保するために必要とする低いシート抵抗を得
るのが困難になるからであり、２０ｎｍを越えると電磁
波フィルタとしての反射率が高く、また透過率が低くな
るからである。
ｍとされる。この理由は、５ｎｍ未満であると、電磁波
遮断能を確保するために必要とする低いシート抵抗を得
るのが困難になるからであり、２０ｎｍを越えると電磁
波フィルタとしての反射率が高く、また透過率が低くな
るからである。
【００１８】本発明の請求項２の電磁波フィルタは、請
求項１において、添加金属をパラジウムとし、パラジウ
ムを銀に対して原子％で０．１以上０．５未満の範囲内
で含有されることを特徴とする。パラジウムの下限値
は、電磁波遮断膜の実用的な耐湿熱性を十分に確保する
ために定められ、上限値はリモコンスイッチの誤動作を
防ぐために必要な近赤外域の遮断能を十分に確保するこ
とから定められる。
求項１において、添加金属をパラジウムとし、パラジウ
ムを銀に対して原子％で０．１以上０．５未満の範囲内
で含有されることを特徴とする。パラジウムの下限値
は、電磁波遮断膜の実用的な耐湿熱性を十分に確保する
ために定められ、上限値はリモコンスイッチの誤動作を
防ぐために必要な近赤外域の遮断能を十分に確保するこ
とから定められる。
【００１９】本発明者は、高輝度のプラズマディスプレ
イパネルから発生する近赤外線を８５％以上（１５％以
下の透過率）遮断することにより上記の目的が達成され
ることを実用試験から見いだし、またこの遮断能は銀層
のパラジウム含有量が増加すると低下することを見いだ
した。
イパネルから発生する近赤外線を８５％以上（１５％以
下の透過率）遮断することにより上記の目的が達成され
ることを実用試験から見いだし、またこの遮断能は銀層
のパラジウム含有量が増加すると低下することを見いだ
した。
【００２０】パラジウムの含有量は、上記のように電磁
波遮断膜の耐湿熱性の向上と近赤外線遮断能の向上に対
してトレードオフの関係にある。上記二つの性能を実用
的にバランス良く確保する上で、その下限値は０．１０
原子％が好ましく、さらに０．３原子％が好ましく、ま
たその上限値は０．４５原子％以下が好ましく、０．４
原子％とするのがさらに好ましい。
波遮断膜の耐湿熱性の向上と近赤外線遮断能の向上に対
してトレードオフの関係にある。上記二つの性能を実用
的にバランス良く確保する上で、その下限値は０．１０
原子％が好ましく、さらに０．３原子％が好ましく、ま
たその上限値は０．４５原子％以下が好ましく、０．４
原子％とするのがさらに好ましい。
【００２１】本発明の請求項３の電磁波フィルタは、５
５０ｎｍの波長における透過率が５０％以上となるよう
に、銀主成分層および誘電体層の厚みを調整したことを
特徴とする。そのために上記銀主成分層を４層に分割す
るとともに、銀層を挟んで積層される誘電体層の５５０
ｎｍの波長における屈折率を１．７〜２．７として、そ
れらの厚みが調整される。銀主成分層の厚みを上記範囲
内で薄めに選定することにより、可視光線透過率をより
高くすることができ、また銀主成分各層の厚みを互いに
近づけ、かつ最適化することにより可視光線透過率を高
くすることができる。
５０ｎｍの波長における透過率が５０％以上となるよう
に、銀主成分層および誘電体層の厚みを調整したことを
特徴とする。そのために上記銀主成分層を４層に分割す
るとともに、銀層を挟んで積層される誘電体層の５５０
ｎｍの波長における屈折率を１．７〜２．７として、そ
れらの厚みが調整される。銀主成分層の厚みを上記範囲
内で薄めに選定することにより、可視光線透過率をより
高くすることができ、また銀主成分各層の厚みを互いに
近づけ、かつ最適化することにより可視光線透過率を高
くすることができる。
【００２２】本発明の請求項４の電磁波フィルタは、請
求項１〜３において、透明基板側から見たときの反射色
調を、色度座標ａ*、ｂ*の値が−１＜ａ*＜４、−８＜
ｂ*＜１となるように、さらに誘電体層および銀主成分
層の厚みを調整したことを特徴とする。ここで、ａ*、
ｂ*はＣｅａｌａｂ色座標系の２軸である。
求項１〜３において、透明基板側から見たときの反射色
調を、色度座標ａ*、ｂ*の値が−１＜ａ*＜４、−８＜
ｂ*＜１となるように、さらに誘電体層および銀主成分
層の厚みを調整したことを特徴とする。ここで、ａ*、
ｂ*はＣｅａｌａｂ色座標系の２軸である。
【００２３】各誘電体層の厚みとその厚み比率および銀
主成分の各層の厚みを、可視光線域の広い帯域で反射率
が低くなるようにして選定し、また、その反射の中心波
長を可視域の中心に合わせることで、反射色調を上記の
色座標で表される色調が目立たない色に調整される。と
くに赤みの色調が強くならないように調整されるのが好
ましい。
主成分の各層の厚みを、可視光線域の広い帯域で反射率
が低くなるようにして選定し、また、その反射の中心波
長を可視域の中心に合わせることで、反射色調を上記の
色座標で表される色調が目立たない色に調整される。と
くに赤みの色調が強くならないように調整されるのが好
ましい。
【００２４】本発明の請求項５の電磁波フィルタは、請
求項３または４において、銀主成分層の各層の厚みを７
〜１７ｎｍとしたことを特徴とする。可視光線透過率が
高いことを重視し、その値を５０％より十分に高くする
には銀主成分層の厚みを１７ｎｍ以下とするのが好まし
く、さらに１４ｎｍ以下とすることにより可視光線透過
率を６０％以上の高い透過率にすることができる。一
方、近赤外線の透過率を十分に低くすることおよびシー
ト抵抗値を十分に低くして電磁波遮断能を大きくする観
点から、７ｎｍ以上とするのが好ましく、さらに９ｎｍ
以上とするのが好ましい。
求項３または４において、銀主成分層の各層の厚みを７
〜１７ｎｍとしたことを特徴とする。可視光線透過率が
高いことを重視し、その値を５０％より十分に高くする
には銀主成分層の厚みを１７ｎｍ以下とするのが好まし
く、さらに１４ｎｍ以下とすることにより可視光線透過
率を６０％以上の高い透過率にすることができる。一
方、近赤外線の透過率を十分に低くすることおよびシー
ト抵抗値を十分に低くして電磁波遮断能を大きくする観
点から、７ｎｍ以上とするのが好ましく、さらに９ｎｍ
以上とするのが好ましい。
【００２５】本発明の請求項６の電磁波フィルタは、請
求項１〜５のいずれかにおいて、銀主成分層の合計厚み
を３０〜７０ｎｍとしたことを特徴とする。銀主成分層
の合計厚みが３０ｎｍより薄くなると、電磁波遮断能お
よび赤外線遮断能が漸次低下していくので好ましくな
い。また、銀主成分層の合計厚みが７０ｎｍより厚くな
っていくと、銀主成分層の光吸収により可視光線透過率
が低下していき、明るい画像を得ることが困難になるの
で好ましくない。
求項１〜５のいずれかにおいて、銀主成分層の合計厚み
を３０〜７０ｎｍとしたことを特徴とする。銀主成分層
の合計厚みが３０ｎｍより薄くなると、電磁波遮断能お
よび赤外線遮断能が漸次低下していくので好ましくな
い。また、銀主成分層の合計厚みが７０ｎｍより厚くな
っていくと、銀主成分層の光吸収により可視光線透過率
が低下していき、明るい画像を得ることが困難になるの
で好ましくない。
【００２６】本発明の請求項７の電磁波フィルタは、請
求項５または６において、銀主成分層の厚み比率を透明
基板側から順に、９〜１１：１０〜１３：１０〜１３：
９〜１１にしたことを特徴とする。可視光線の透過率を
高くし、かつ可視光線の反射率を低く抑える観点から、
銀主成分層の厚み比率を上記範囲に選定するのが好まし
い。
求項５または６において、銀主成分層の厚み比率を透明
基板側から順に、９〜１１：１０〜１３：１０〜１３：
９〜１１にしたことを特徴とする。可視光線の透過率を
高くし、かつ可視光線の反射率を低く抑える観点から、
銀主成分層の厚み比率を上記範囲に選定するのが好まし
い。
【００２７】本発明の請求項８の電磁波フィルタは、請
求項３〜７のいずれかにおいて、透明基板に最も近い誘
電体層の厚みを４２ｎｍ±１０ｎｍとし、誘電体層の厚
み比率を透明基板側から順に４４±４：８２±８：７９
±８：８２±８：４２±４の範囲に選定したことを特徴
とする。
求項３〜７のいずれかにおいて、透明基板に最も近い誘
電体層の厚みを４２ｎｍ±１０ｎｍとし、誘電体層の厚
み比率を透明基板側から順に４４±４：８２±８：７９
±８：８２±８：４２±４の範囲に選定したことを特徴
とする。
【００２８】銀主成分層と同じように各誘電体層の厚み
およびその比率は、可視光線の透過率および反射率に影
響し、さらに反射色に強く影響する。透明基板側に最も
近い誘電体層の厚みおよび各誘電体層の厚みの比率を上
記範囲内にすることにより、波長５５０ｎｍにおける透
過率を高くし（本発明では可視光線透過率も高くな
る）、反射率を低く抑えるとともに、電磁波フィルタの
反射色を、目立たない実用的に有用な範囲である−１＜
ａ*＜４、−８＜ｂ*＜１の範囲内にすることができる。
およびその比率は、可視光線の透過率および反射率に影
響し、さらに反射色に強く影響する。透明基板側に最も
近い誘電体層の厚みおよび各誘電体層の厚みの比率を上
記範囲内にすることにより、波長５５０ｎｍにおける透
過率を高くし（本発明では可視光線透過率も高くな
る）、反射率を低く抑えるとともに、電磁波フィルタの
反射色を、目立たない実用的に有用な範囲である−１＜
ａ*＜４、−８＜ｂ*＜１の範囲内にすることができる。
【００２９】透明基板に最も近い誘電体層の厚みは、そ
の他の誘電体層の厚みがそれ自身の厚みと関係して定め
られるので、その設定は重要である。透過帯域及び反射
防止帯域を可視光域のほぼ中央にマッチングさせ、電磁
波フィルタとして要求される高い透過率、低い反射率お
よび反射色調とし有用なものとするために、透明基板に
最も近い誘電体層の厚みは４２ｎｍ±１０ｎｍとするの
が好ましい。
の他の誘電体層の厚みがそれ自身の厚みと関係して定め
られるので、その設定は重要である。透過帯域及び反射
防止帯域を可視光域のほぼ中央にマッチングさせ、電磁
波フィルタとして要求される高い透過率、低い反射率お
よび反射色調とし有用なものとするために、透明基板に
最も近い誘電体層の厚みは４２ｎｍ±１０ｎｍとするの
が好ましい。
【００３０】誘電体層の厚みが上記範囲を超えて厚くな
ると透過帯域及び反射防止帯域の中心波長は長波長側へ
シフトし、一方上記範囲を超えて薄くなると透過帯域及
び反射防止帯域の中心波長は短波長側へシフトしてしま
うので、本発明の目的の一つである可視光域は高透過で
あることと近赤外線遮断能が高いことの両者を満たすこ
とが困難になる。
ると透過帯域及び反射防止帯域の中心波長は長波長側へ
シフトし、一方上記範囲を超えて薄くなると透過帯域及
び反射防止帯域の中心波長は短波長側へシフトしてしま
うので、本発明の目的の一つである可視光域は高透過で
あることと近赤外線遮断能が高いことの両者を満たすこ
とが困難になる。
【００３１】５５０ｎｍの波長における透過率は、明る
い画像表示を損なわないために５０％以上とするのが好
ましい。そのために上記銀主成分層を４層に分割すると
ともに、銀層を挟んで積層される誘電体層の５５０ｎｍ
の波長における屈折率を１．７〜２．７として、それら
の厚みが調整される。
い画像表示を損なわないために５０％以上とするのが好
ましい。そのために上記銀主成分層を４層に分割すると
ともに、銀層を挟んで積層される誘電体層の５５０ｎｍ
の波長における屈折率を１．７〜２．７として、それら
の厚みが調整される。
【００３２】本発明の請求項９は、請求項１〜８のいず
れかにおいて、さらに透明基板から最も遠くに積層され
た誘電体層上に、さらに銀主成分層および誘電体層を積
層した電磁波遮断フィルタである。さらに追加する銀主
成分層および誘電体層の厚みを選定して、５つに分割さ
れた銀主成分層および６つに分割された誘電体層とする
ことにより、さらに電磁波遮断能の大きい、たとえばシ
ート抵抗が１Ω／□以下の電磁波フィルタとすることが
できる。
れかにおいて、さらに透明基板から最も遠くに積層され
た誘電体層上に、さらに銀主成分層および誘電体層を積
層した電磁波遮断フィルタである。さらに追加する銀主
成分層および誘電体層の厚みを選定して、５つに分割さ
れた銀主成分層および６つに分割された誘電体層とする
ことにより、さらに電磁波遮断能の大きい、たとえばシ
ート抵抗が１Ω／□以下の電磁波フィルタとすることが
できる。
【００３３】本発明に用いられる誘電体層は５５０ｎｍ
の波長における屈折率が１．７〜２．７の誘電体が用い
られる。それらの誘電体としては、酸化亜鉛、酸化錫、
酸化インジウム、酸化チタニウム、酸化ジルコニウム、
五酸化タンタル等の金属酸化物が例示できる。またこれ
らの混合物も用いることができる。たとえば酸化亜鉛と
酸化インジウムの混合物、ＩＴＯを用いることができ
る。これらの透明金属酸化物の２種以上を積層して多層
構成の誘電体層とすることができる。
の波長における屈折率が１．７〜２．７の誘電体が用い
られる。それらの誘電体としては、酸化亜鉛、酸化錫、
酸化インジウム、酸化チタニウム、酸化ジルコニウム、
五酸化タンタル等の金属酸化物が例示できる。またこれ
らの混合物も用いることができる。たとえば酸化亜鉛と
酸化インジウムの混合物、ＩＴＯを用いることができ
る。これらの透明金属酸化物の２種以上を積層して多層
構成の誘電体層とすることができる。
【００３４】なかでも導電性である酸化亜鉛は、銀主成
分層に下地として積層すると、酸化亜鉛の結晶格子のピ
ッチが銀のそれと非常に近いため比抵抗の低い（結晶性
の高い）銀の膜成長に適しているので好ましい。また酸
化亜鉛は、雰囲気中の銀に対する腐食性ガスに含まれる
硫黄成分などを吸着して硫黄成分の銀層への直接到達を
妨げ、銀層を保護するので好ましい。また、酸化亜鉛に
アルミニウムやガリウムなどの金属を少量含有させた酸
化亜鉛主成分層は、導電性が増加するので、また後述す
る成膜時において利点があるので好ましい。
分層に下地として積層すると、酸化亜鉛の結晶格子のピ
ッチが銀のそれと非常に近いため比抵抗の低い（結晶性
の高い）銀の膜成長に適しているので好ましい。また酸
化亜鉛は、雰囲気中の銀に対する腐食性ガスに含まれる
硫黄成分などを吸着して硫黄成分の銀層への直接到達を
妨げ、銀層を保護するので好ましい。また、酸化亜鉛に
アルミニウムやガリウムなどの金属を少量含有させた酸
化亜鉛主成分層は、導電性が増加するので、また後述す
る成膜時において利点があるので好ましい。
【００３５】酸化錫やインジウムと亜鉛の複合酸化物
は、導電性があり、かつ非晶質の膜とすることができる
ので腐食性ガスに対するガスバリヤ性が高く、電磁波遮
断膜の耐湿熱性を向上させるので好ましい。これらは大
気などの環境中の腐食性ガスたとえばＨ2Ｓ、ＳＯ2、Ｎ
Ｏx、ＨＣlなどから銀層を保護する点でも好ましい。
は、導電性があり、かつ非晶質の膜とすることができる
ので腐食性ガスに対するガスバリヤ性が高く、電磁波遮
断膜の耐湿熱性を向上させるので好ましい。これらは大
気などの環境中の腐食性ガスたとえばＨ2Ｓ、ＳＯ2、Ｎ
Ｏx、ＨＣlなどから銀層を保護する点でも好ましい。
【００３６】上記理由から、本発明の誘電体層につい
て、その最表面層または各層を酸化錫と酸化亜鉛あるい
は酸化錫とアルミニウム含有酸化亜鉛（ＺＡＯと略記す
る）の２層構成とするのが好ましい。この場合、銀層に
下地として接する膜を酸化亜鉛系の膜とするのが上記結
晶格子の関係から好ましい。
て、その最表面層または各層を酸化錫と酸化亜鉛あるい
は酸化錫とアルミニウム含有酸化亜鉛（ＺＡＯと略記す
る）の２層構成とするのが好ましい。この場合、銀層に
下地として接する膜を酸化亜鉛系の膜とするのが上記結
晶格子の関係から好ましい。
【００３７】本発明に用いられる保護膜は、電磁波遮断
膜を大気雰囲気の外部環境から化学的、物理的に保護す
る目的で設けられる。保護膜として樹脂フィルムが例示
できる。この樹脂フィルムの５５０ｎｍの波長における
屈折率は、電磁波遮断膜との界面反射光の整合性の観点
から１．５８〜１．７０とするのが好ましい。屈折率が
１．７０を越すと、このフィルムと電磁波遮断膜との屈
折率差が大きくなり、この界面で起きる光の反射が強く
なり、電磁波フィルタの透過率を大きく下げてしまうの
で好ましくなく、１．５８より小さいとフィルタの使用
者側から見た反射色が中性色から大きく外れてしまうの
で外観上好ましくない。
膜を大気雰囲気の外部環境から化学的、物理的に保護す
る目的で設けられる。保護膜として樹脂フィルムが例示
できる。この樹脂フィルムの５５０ｎｍの波長における
屈折率は、電磁波遮断膜との界面反射光の整合性の観点
から１．５８〜１．７０とするのが好ましい。屈折率が
１．７０を越すと、このフィルムと電磁波遮断膜との屈
折率差が大きくなり、この界面で起きる光の反射が強く
なり、電磁波フィルタの透過率を大きく下げてしまうの
で好ましくなく、１．５８より小さいとフィルタの使用
者側から見た反射色が中性色から大きく外れてしまうの
で外観上好ましくない。
【００３８】樹脂フィルムの厚さは、５μｍ〜５ｍｍの
広い範囲のものが用いられる。本発明に用いることので
きるフィルムの材質としては、ＰＥＴ（ポリエチレンテ
レフタレート）やＰＥ（ポリエステル）、ＴＡＣ（トリ
アセチルセルロース）、ＰＷ（ポリウレタン）を例示で
きる。
広い範囲のものが用いられる。本発明に用いることので
きるフィルムの材質としては、ＰＥＴ（ポリエチレンテ
レフタレート）やＰＥ（ポリエステル）、ＴＡＣ（トリ
アセチルセルロース）、ＰＷ（ポリウレタン）を例示で
きる。
【００３９】本発明では、上記の樹脂フィルムを電磁波
遮断膜に接着剤で接着させるが、粘着層を介して接着す
るのが好ましい。粘着層としては、アクリル樹脂系粘着
層が耐久性がよいことから好ましい。
遮断膜に接着剤で接着させるが、粘着層を介して接着す
るのが好ましい。粘着層としては、アクリル樹脂系粘着
層が耐久性がよいことから好ましい。
【００４０】この粘着層の厚さは、２０〜５００μｍと
するのが好ましい。２０μｍより薄いと、貼り付ける時
に異物を噛み込んだときに生じる段差を吸収しづらくな
り、目視で判別出来る製品欠陥を生じやすくなるからで
ある。また５００μｍより厚いと外部環境からの水分の
浸入などを抑制し難くなるため、電磁波遮断膜の耐久性
を損ねることになるからである。
するのが好ましい。２０μｍより薄いと、貼り付ける時
に異物を噛み込んだときに生じる段差を吸収しづらくな
り、目視で判別出来る製品欠陥を生じやすくなるからで
ある。また５００μｍより厚いと外部環境からの水分の
浸入などを抑制し難くなるため、電磁波遮断膜の耐久性
を損ねることになるからである。
【００４１】保護膜の第２のタイプとしては、透明金属
酸化物層を用いることができる。この場合、電磁波遮断
膜表面上に直接金属酸化物が被覆される。用いることが
できる金属酸化物としては、二酸化珪素、酸化アルミニ
ウム等が例示できる。またこのときの厚みは、約１μｍ
またはそれ以上の厚みとするのが、耐湿熱性や耐摩耗性
等について十分な機能を確保する上で好ましい。
酸化物層を用いることができる。この場合、電磁波遮断
膜表面上に直接金属酸化物が被覆される。用いることが
できる金属酸化物としては、二酸化珪素、酸化アルミニ
ウム等が例示できる。またこのときの厚みは、約１μｍ
またはそれ以上の厚みとするのが、耐湿熱性や耐摩耗性
等について十分な機能を確保する上で好ましい。
【００４２】本発明に用いることのできる透明基板とし
ては、ソーダライムシリカ組成のガラスや硼珪酸ガラ
ス、無アルカリガラスなどの公知のガラス板、ＰＥＴ、
アクリル（ＰＭＭＡ）、ＴＡＣなどのプラスチック板を
例示することができる。
ては、ソーダライムシリカ組成のガラスや硼珪酸ガラ
ス、無アルカリガラスなどの公知のガラス板、ＰＥＴ、
アクリル（ＰＭＭＡ）、ＴＡＣなどのプラスチック板を
例示することができる。
【００４３】本発明の誘電体層、銀主成分層および金属
酸化物の保護膜は、公知の真空成膜法で成膜される。と
りわけスパッタリングによる成膜が好ましい。誘電体層
のうちでもアルミニウム含有酸化亜鉛（ＺＡＯと略記）
の層は、酸化アルミニウムを数％含有する酸化亜鉛の微
粉末焼結体をターゲットとする直流スパッタリングで安
定放電状態下で成膜できるので好ましい。また二酸化珪
素等の膜厚が厚い保護膜の成膜については、公知のツイ
ンマグ（ＴＷＩＮ−ＭＡＧ）方式のスパッタリング法が
高速に膜を堆積できるので好んで用いられる。
酸化物の保護膜は、公知の真空成膜法で成膜される。と
りわけスパッタリングによる成膜が好ましい。誘電体層
のうちでもアルミニウム含有酸化亜鉛（ＺＡＯと略記）
の層は、酸化アルミニウムを数％含有する酸化亜鉛の微
粉末焼結体をターゲットとする直流スパッタリングで安
定放電状態下で成膜できるので好ましい。また二酸化珪
素等の膜厚が厚い保護膜の成膜については、公知のツイ
ンマグ（ＴＷＩＮ−ＭＡＧ）方式のスパッタリング法が
高速に膜を堆積できるので好んで用いられる。
【００４４】成膜は通常室温で行うことができ、また銀
の結晶性を飛躍的に改善するため約３００℃以下の温度
で適時基板を加熱しながら行ってもよい。また、室温で
成膜をした後、得られた電磁波遮断膜を大気中または窒
素雰囲気中で約３００℃までの温度で加熱処理を施すこ
とにより、誘電体層中の光吸収を解消し、かつ銀層の比
抵抗を飛躍的に改善することができる。
の結晶性を飛躍的に改善するため約３００℃以下の温度
で適時基板を加熱しながら行ってもよい。また、室温で
成膜をした後、得られた電磁波遮断膜を大気中または窒
素雰囲気中で約３００℃までの温度で加熱処理を施すこ
とにより、誘電体層中の光吸収を解消し、かつ銀層の比
抵抗を飛躍的に改善することができる。
【００４５】本発明においては、電磁波遮断膜の表面、
樹脂フィルムの外側表面あるいは内側表面、透明基板の
電磁波遮断膜を被覆しない表面などに反射防止処理を施
して可視光線透過率をさらに向上させることができる。
樹脂フィルムの外側表面あるいは内側表面、透明基板の
電磁波遮断膜を被覆しない表面などに反射防止処理を施
して可視光線透過率をさらに向上させることができる。
【００４６】また可視光色補正用の色つきフィルムを用
いることにより、透過色調を無色に近づけることができ
る。
いることにより、透過色調を無色に近づけることができ
る。
【００４７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の電磁波フィルタ
１の一実施例の断面図で、ガラス板５の表面に被覆され
た電磁波遮断膜２は、粘着層３によって樹脂フィルム４
と接着され、大気中に触れないように保護されている。
ガラス板５の周辺部には、ガラス板５の表面と電磁波遮
断膜２の間の一部に設けられた銀ペーストからなるアー
ス取り出し用のバスバー８が設けられている。また、バ
スバー８をガラス板５側から見ても見えないようにする
ために黒色セラミックパターン９がガラス板５の表面に
設けられている。
１の一実施例の断面図で、ガラス板５の表面に被覆され
た電磁波遮断膜２は、粘着層３によって樹脂フィルム４
と接着され、大気中に触れないように保護されている。
ガラス板５の周辺部には、ガラス板５の表面と電磁波遮
断膜２の間の一部に設けられた銀ペーストからなるアー
ス取り出し用のバスバー８が設けられている。また、バ
スバー８をガラス板５側から見ても見えないようにする
ために黒色セラミックパターン９がガラス板５の表面に
設けられている。
【００４８】図２は、本発明の電磁波遮断膜の層構成を
説明するための断面図で、ガラス板５の上に被覆された
電磁波遮断膜２は、誘電体層１０と銀主成分層１１とが
交互に被覆された積層体となっている。誘電体層は所定
範囲の屈折率を有する透明金属酸化物またはそれらの混
合物の単層体、あるいは２種以上の金属酸化物の層の多
層積層体として構成される。本発明においては、誘電体
層と銀主成分層の間に、可視光線透過率を大きく低下さ
せない範囲で銀以外の金属からなる、たとえばチタン等
の金属層を適時耐久性の向上や色調の調整などの目的の
ために介在させてもよい。
説明するための断面図で、ガラス板５の上に被覆された
電磁波遮断膜２は、誘電体層１０と銀主成分層１１とが
交互に被覆された積層体となっている。誘電体層は所定
範囲の屈折率を有する透明金属酸化物またはそれらの混
合物の単層体、あるいは２種以上の金属酸化物の層の多
層積層体として構成される。本発明においては、誘電体
層と銀主成分層の間に、可視光線透過率を大きく低下さ
せない範囲で銀以外の金属からなる、たとえばチタン等
の金属層を適時耐久性の向上や色調の調整などの目的の
ために介在させてもよい。
【００４９】図３は、本発明の電磁波フィルタ１の使用
状態を説明する概略断面図である。電磁波フィルタ１は
プラズマディスプレイパネル６の前面に筐体７により保
持され固定される。図４は実施例１で得られたサンプル
の分光透過率特性であり、図５は実施例１で得られたサ
ンプルの分光反射率特性である。
状態を説明する概略断面図である。電磁波フィルタ１は
プラズマディスプレイパネル６の前面に筐体７により保
持され固定される。図４は実施例１で得られたサンプル
の分光透過率特性であり、図５は実施例１で得られたサ
ンプルの分光反射率特性である。
【００５０】以下に本発明を実施例と比較例により説明
する。 表１〜表４の説明 ・ガラス板：厚み２ｍｍのソーダライムシリカ組成のフ
ロートガラス板 ・ＺＡＯ：６重量％のアルミニウムを含有する酸化亜鉛
層 ・ＡｇＰｄ０．４：銀に対してパラジウムを０．４原子
％含有する銀主成分層 ・（ ）内の数値は厚みで、電磁波遮断膜はｎｍ単位、
粘着層および保護膜はμｍ単位で表示。 ・第１、第３、第５、第７、第９層目の誘電体層の多層
構成は、透明基板に近い順に上から下へ記載した。
する。 表１〜表４の説明 ・ガラス板：厚み２ｍｍのソーダライムシリカ組成のフ
ロートガラス板 ・ＺＡＯ：６重量％のアルミニウムを含有する酸化亜鉛
層 ・ＡｇＰｄ０．４：銀に対してパラジウムを０．４原子
％含有する銀主成分層 ・（ ）内の数値は厚みで、電磁波遮断膜はｎｍ単位、
粘着層および保護膜はμｍ単位で表示。 ・第１、第３、第５、第７、第９層目の誘電体層の多層
構成は、透明基板に近い順に上から下へ記載した。
【００５１】表５の説明 ・シート抵抗：四端子法抵抗計で測定し、２Ω／□以下
を○、２Ω／□を越えるものを×で表示。 ・近赤外線透過率：波長８５０ｎｍにおける透過率で表
示し、１５％以下を○、１５％を越えるものを×で表示 ・耐湿熱性：温度６０℃、湿度９０％に維持して目視で
ヒロックやピンホール、曇りなどの発生が認められた時
間で表示し、５００時間以上を○、５００時間未満を×
で表示
を○、２Ω／□を越えるものを×で表示。 ・近赤外線透過率：波長８５０ｎｍにおける透過率で表
示し、１５％以下を○、１５％を越えるものを×で表示 ・耐湿熱性：温度６０℃、湿度９０％に維持して目視で
ヒロックやピンホール、曇りなどの発生が認められた時
間で表示し、５００時間以上を○、５００時間未満を×
で表示
【００５２】表６の説明 ・光透過率：４５０ｎｍ、５５０ｎｍ、６５０ｎｍにお
ける透過率を分光光度計で測定。いずれの波長でも５０
％以上を○、それ以外を×で表示。 ・色調：透過光およびガラス面側入射光によるＣｅａｌ
ａｂ色座標系のａ*，ｂ*各２軸の値。−１＜ａ*＜４か
つ−８＜ｂ*＜１であるものを○、それ以外を×で表示
した。
ける透過率を分光光度計で測定。いずれの波長でも５０
％以上を○、それ以外を×で表示。 ・色調：透過光およびガラス面側入射光によるＣｅａｌ
ａｂ色座標系のａ*，ｂ*各２軸の値。−１＜ａ*＜４か
つ−８＜ｂ*＜１であるものを○、それ以外を×で表示
した。
【００５３】実施例１ ２ｍｍ厚の透明ガラス板上に、表１の実施例１の欄に示
した積層体をインライン型スパッタリング装置で成膜し
た。このときＳｎＯ2はＳｎメタルターゲットの酸素と
の反応性スパッタリングで、ＺＡＯ層はＺｎ（９４重量
％）Ａｌ（６重量％）のメタルターゲットの酸素との反
応性スパッタリングで、銀主成分層はＡｇ（９９．６重
量％）Ｐｄ（０．４重量％）のメタルターゲットのアル
ゴンガスによるスパッタリングで、表１に示した所定の
膜厚に室温で成膜した。その後この積層膜を大気中２０
０℃にて３０分熱処理を行い、誘電体層の光吸収を解消
し、かつ銀層の結晶性を向上させた。さらに、その表面
に粘着層を有したＡＲ（反射防止）処理つきＰＥＴフィ
ルムを貼り付け、電磁波遮断膜の保護とガラスの割れ飛
散防止を行った。以上により製造した４つに分割された
銀主成分層と５つに分割された誘電体層からなる電磁波
フィルタ（４・５タイプと記す）の各特性を表５と表６
に示す。
した積層体をインライン型スパッタリング装置で成膜し
た。このときＳｎＯ2はＳｎメタルターゲットの酸素と
の反応性スパッタリングで、ＺＡＯ層はＺｎ（９４重量
％）Ａｌ（６重量％）のメタルターゲットの酸素との反
応性スパッタリングで、銀主成分層はＡｇ（９９．６重
量％）Ｐｄ（０．４重量％）のメタルターゲットのアル
ゴンガスによるスパッタリングで、表１に示した所定の
膜厚に室温で成膜した。その後この積層膜を大気中２０
０℃にて３０分熱処理を行い、誘電体層の光吸収を解消
し、かつ銀層の結晶性を向上させた。さらに、その表面
に粘着層を有したＡＲ（反射防止）処理つきＰＥＴフィ
ルムを貼り付け、電磁波遮断膜の保護とガラスの割れ飛
散防止を行った。以上により製造した４つに分割された
銀主成分層と５つに分割された誘電体層からなる電磁波
フィルタ（４・５タイプと記す）の各特性を表５と表６
に示す。
【００５４】このサンプルのシート抵抗、近赤外線透過
率および耐湿熱性は、いずれも電磁波フィルタとして良
好で○評価であった。また透過率、反射率、色調のいず
れの光学特性についても良好で、電磁波フィルタとして
○評価であった。また、このサンプルの分光透過率およ
び分光反射率特性を図４、図５に示す。反射率は可視域
の広帯域で低いことが分かる。
率および耐湿熱性は、いずれも電磁波フィルタとして良
好で○評価であった。また透過率、反射率、色調のいず
れの光学特性についても良好で、電磁波フィルタとして
○評価であった。また、このサンプルの分光透過率およ
び分光反射率特性を図４、図５に示す。反射率は可視域
の広帯域で低いことが分かる。
【００５５】実施例２および実施例３ 実施例１とは、銀主成分層のパラジウム含有量、誘電体
層の積層の仕方およびその厚みを変えた以外は同じよう
にして電磁波フィルタ（４・５タイプ）のサンプルを作
成した。このサンプルの積層構成を表１に、得られた特
性を表５と表６に示す。これらのサンプルのシート抵
抗、近赤外線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波
フィルタとして良好で○評価であった。また透過率、色
調のいずれの光学特性についても良好で、電磁波フィル
タとして○評価であった。
層の積層の仕方およびその厚みを変えた以外は同じよう
にして電磁波フィルタ（４・５タイプ）のサンプルを作
成した。このサンプルの積層構成を表１に、得られた特
性を表５と表６に示す。これらのサンプルのシート抵
抗、近赤外線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波
フィルタとして良好で○評価であった。また透過率、色
調のいずれの光学特性についても良好で、電磁波フィル
タとして○評価であった。
【００５６】実施例１〜実施例３で得られた電磁波フィ
ルタは、電磁波遮断膜の積層体を多層光学膜のコンピュ
ータ計算プログラムを用いて計算して得たもののなか
で、本発明の目的に最も好ましいと考えられる特性を有
する例である。シート抵抗、耐湿熱性で表せる耐久性に
ついての実用要求特性を満足し、また可視域の光学特性
もプラズマディスプレイの明るい表示を大きく低下させ
ず、反射色調も良好であることが分かる。
ルタは、電磁波遮断膜の積層体を多層光学膜のコンピュ
ータ計算プログラムを用いて計算して得たもののなか
で、本発明の目的に最も好ましいと考えられる特性を有
する例である。シート抵抗、耐湿熱性で表せる耐久性に
ついての実用要求特性を満足し、また可視域の光学特性
もプラズマディスプレイの明るい表示を大きく低下させ
ず、反射色調も良好であることが分かる。
【００５７】実施例４ 実施例１と同じ方法で、表２に示す銀主成分層の厚みを
比較的薄い膜構成の電磁波フィルタ（４・５タイプ）の
サンプルを作成した。表５および表６に示すように、赤
外線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波フィルタ
として良好で○評価であった。また透過率、色調のいず
れの光学特性についても良好で、電磁波フィルタとして
実用的に要求される特性を有することが分かる。
比較的薄い膜構成の電磁波フィルタ（４・５タイプ）の
サンプルを作成した。表５および表６に示すように、赤
外線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波フィルタ
として良好で○評価であった。また透過率、色調のいず
れの光学特性についても良好で、電磁波フィルタとして
実用的に要求される特性を有することが分かる。
【００５８】実施例５ 実施例１と同じ方法で、表２に示す膜構成の電磁波フィ
ルタ（４・５タイプ）のサンプルを作成した。このサン
プルの銀主成分層は厚目に設定されたものである。この
サンプルのシート抵抗、近赤外線透過率および耐湿熱性
は、いずれも電磁波フィルタとして良好で○評価であっ
た。また透過率、反射率、色調のいずれの光学特性につ
いても良好で、電磁波フィルタとして実用的に要求され
る特性を有することが分かる。
ルタ（４・５タイプ）のサンプルを作成した。このサン
プルの銀主成分層は厚目に設定されたものである。この
サンプルのシート抵抗、近赤外線透過率および耐湿熱性
は、いずれも電磁波フィルタとして良好で○評価であっ
た。また透過率、反射率、色調のいずれの光学特性につ
いても良好で、電磁波フィルタとして実用的に要求され
る特性を有することが分かる。
【００５９】実施例６ 実施例１と同じ方法で、表２に示す膜構成のサンプルの
電磁波フィルタ（４・５タイプ）のサンプルを作成し
た。このサンプルの誘電体層は厚目に設定したものであ
る。表５および表６に示すように、サンプルのシート抵
抗、近赤外線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波
フィルタとして良好で○評価であった。また透過率、反
射率、色調のいずれの光学特性についても良好で、電磁
波フィルタとして実用的に要求される特性を有すること
が分かる。
電磁波フィルタ（４・５タイプ）のサンプルを作成し
た。このサンプルの誘電体層は厚目に設定したものであ
る。表５および表６に示すように、サンプルのシート抵
抗、近赤外線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波
フィルタとして良好で○評価であった。また透過率、反
射率、色調のいずれの光学特性についても良好で、電磁
波フィルタとして実用的に要求される特性を有すること
が分かる。
【００６０】実施例７ 実施例１と同じ方法で、表２に示す膜構成の電磁波フィ
ルタ（４・５タイプ）のサンプルを作成した。このサン
プルの誘電体層の厚みは薄目に設定したものである。表
５および表６に示すように、このサンプルのシート抵
抗、近赤外線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波
フィルタとして良好で○評価であった。また透過率、反
射率、色調のいずれの光学特性についても良好で、電磁
波フィルタとして実用的に要求される特性を有すること
が分かる。
ルタ（４・５タイプ）のサンプルを作成した。このサン
プルの誘電体層の厚みは薄目に設定したものである。表
５および表６に示すように、このサンプルのシート抵
抗、近赤外線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波
フィルタとして良好で○評価であった。また透過率、反
射率、色調のいずれの光学特性についても良好で、電磁
波フィルタとして実用的に要求される特性を有すること
が分かる。
【００６１】実施例８ 表２に示す膜構成からなる１１層からなる電磁波フィル
タ（５・６タイプ）のサンプルを作成した。表５および
表６に示すように、このサンプルのシート抵抗、近赤外
線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波フィルタと
して良好で○評価であった。また透過率、反射率、色調
のいずれの光学特性についても良好で、電磁波フィルタ
として実用的に要求される特性を有することが分かる。
タ（５・６タイプ）のサンプルを作成した。表５および
表６に示すように、このサンプルのシート抵抗、近赤外
線透過率および耐湿熱性は、いずれも電磁波フィルタと
して良好で○評価であった。また透過率、反射率、色調
のいずれの光学特性についても良好で、電磁波フィルタ
として実用的に要求される特性を有することが分かる。
【００６２】実施例９ 実施例１の誘電体層および銀主成分層の積層構成（同一
膜厚）で、銀に含有させるパラジウム量を変えて８５０
ｎｍの波長における透過率を測定した結果を表７に示
す。表７からパラジウム含有量が増加すると、８５０ｎ
ｍの透過率が大きくなり近赤外線の遮断能が低下するこ
とがることが分かった。一方、耐湿熱性は、パラジウム
含有量が増加するとよくなることが分かった。
膜厚）で、銀に含有させるパラジウム量を変えて８５０
ｎｍの波長における透過率を測定した結果を表７に示
す。表７からパラジウム含有量が増加すると、８５０ｎ
ｍの透過率が大きくなり近赤外線の遮断能が低下するこ
とがることが分かった。一方、耐湿熱性は、パラジウム
含有量が増加するとよくなることが分かった。
【００６３】以上から、近赤外線の遮断能と耐湿熱性の
両者をバランス良く確保するパラジウム含有量があるこ
とが判明した。上記二つの性能を実用的にバランス良く
確保するためには、銀主成分中に含有させるパラジウム
量は銀に対して０．１０原子％以上が好ましく、さらに
０．３原子％以上が好ましい。またその上限値は０．４
５原子％以下が好ましく、０．４原子％以下とするのが
さらに好ましい。
両者をバランス良く確保するパラジウム含有量があるこ
とが判明した。上記二つの性能を実用的にバランス良く
確保するためには、銀主成分中に含有させるパラジウム
量は銀に対して０．１０原子％以上が好ましく、さらに
０．３原子％以上が好ましい。またその上限値は０．４
５原子％以下が好ましく、０．４原子％以下とするのが
さらに好ましい。
【００６４】
【表１】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 構成 実施例１ 実施例２ 実施例３ 実施例４ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 透明基板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 第１層 SnO2（34） ZAO（41） SnO2（36） SnO2(34) ZAO（7） ZAO（8） ZAO（7） 第２層 AgPd0.4（10） AgPd0.4（11） AgPd0.3（12) AgPd0.4（7） 第３層 ZAO（7） ZAO（76） ZAO（8） ZAO（7） SnO2（62） SnO2（66） SnO2（62） ZAO（7） ZAO（8） ZAO（7） 第４層 AgPd0.4（11） AgPd0.4（12） AgPd0.3（13 AgPd0.4（8） 第５層 ZAO（7） ZAO（76） ZAO（8） ZAO（7） SnO2（60） SnO2（63） SnO2（60） ZAO（7） ZAO（8） ZAO（7） 第６層 AgPd0.4（11） AgPd0.4（12） AgPd0.3（13）AgPd0.4（8） 第７層 ZAO（7） ZAO（76） ZAO（8） ZAO（7） SnO2（62） SnO2（66） SnO2（62） ZAO（7） ZAO（8） ZAO（7） 第８層 AgPd0.4（10） AgPd0.4（11） AgPd0.3（12）AgPd0.4（7） 第９層 ZAO（7） ZAO（39） ZAO（8） ZAO（7） SnO2（32） SnO2（34） SnO2（32） 粘着層 （50） （100） （100） （50） 保護膜 PET(50) PET（75） PET（50） PET(50) ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００６５】
【表２】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 構成 実施例５ 実施例６ 実施例７ 実施例８ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 透明基板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 第１層 SnO2(34) SnO2(40) SnO2(26) SnO2(28) ZAO（7） ZAO（12） ZAO（6） ZAO（9） 第２層 AgPd0.4（17） AgPd0.4（10） AgPd0.4（10）AgPd0.4（9） 第３層 ZAO（7） ZAO（8） ZAO（5） ZAO（8） SnO2（62） SnO2（73） SnO2（45） SnO2（51） ZAO（7） ZAO（8） ZAO（5） ZAO（8） 第４層 AgPd0.4（19） AgPd0.4（11） AgPd0.4（11）AgPd0.4（9） 第５層 ZAO（7） ZAO（8） ZAO（5） ZAO（7） SnO2（60） SnO2（71） SnO2（44） SnO2（73） ZAO（7） ZAO（8） ZAO（5） ZAO（7） 第６層 AgPd0.4（19） AgPd0.4（11） AgPd0.4（11）AgPd0.4（9） 第７層 ZAO（7） ZAO（8） ZAO（5） ZAO（8） SnO2（62） SnO2（73） SnO2（45） SnO2（50） ZAO（7） ZAO（8） ZAO（5） ZAO（8） 第８層 AgPd0.4（17） AgPd0.4（10） AgPd0.4（10）AgPd0.4（10） 第９層 ZAO（7） ZAO（8） ZAO（5） ZAO（9） SnO2（32） SnO2（38） SnO2（23） SnO2（57） ZAO（9） 第10層 AgPd0.4（9） 第11層 ZAO（9） SnO2（28） 粘着層 （50） （50） （50） なし 保護膜 PET(50) PET(50) PET(50) SiO2（1） ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００６６】
【表３】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 構成 比較例１ 比較例２ 比較例３ 比較例４ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 透明基板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 電磁波遮断膜 第１層 SnO2（34） SnO2（34） SnO2（34） SnO2（34） ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） 第２層 AgPd1.0（10） AgPd0.05（10） AgPd0.4（8） AgPd0.4（4） 第３層 ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） SnO2（62） SnO2（62） SnO2（50） SnO2(62) ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） 第４層 AgPd1.0（11） AgPd0.05（11） AgPd0.4（9） AgPd0.4（4） 第５層 ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） SnO2（60） SnO2（60） SnO2（52） SnO2(60) ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） 第６層 AgPd1.0（11） AgPd0.05（11） AgPd0.4（7） AgPd0.4（4） 第７層 ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） SnO2（62） SnO2（62） SnO2（35） SnO2（62） ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） 第８層 AgPd1.0（10） AgPd0.05（10） AgPd0.4（4） 第９層 ZAO（7） ZAO（7） ZAO（7） SnO2（32） SnO2（32） SnO2（32） 粘着層 （50） （50） （50） （50） 保護膜 PET(50) PET（75） PET（50） PET（50） ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００６７】
【表４】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 構成 比較例５ 比較例６ 比較例７ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 透明基板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 カ゛ラス板 電磁波遮断膜 第１層 SnO2（34） SnO2（48） SnO2（21） ZAO（7） ZAO（14） ZAO（5） 第２層 AgPd0.4（22） AgPd0.4（10） AgPd0.4（10） 第３層 ZAO（7） ZAO（10） ZAO（4） SnO2（62） SnO2（98） SnO2（36） ZAO（7） ZAO（10） ZAO（4） 第４層 AgPd0.4（24） AgPd0.4（11） AgPd0.4（11） 第５層 ZAO（7） ZAO（10） ZAO（4） SnO2（60） SnO2（95） SnO2（35） ZAO（7） ZAO（10） ZAO（4） 第６層 AgPd0.4（24） AgPd0.4（11） AgPd0.4（11） 第７層 ZAO（7） ZAO（10 ZAO（4） SnO2（60） SnO2（98） SnO2（36） ZAO（7） ZAO（10） ZAO（4） 第８層 AgPd0.4（22） AgPd0.4（10） AgPd0.4（10） 第９層 ZAO（7） ZAO（10） ZAO（4） SnO2（32） SnO2（46） SnO2（18） 粘着層 （50） （50） （50） 保護膜 PET(50) PET（75） PET（50） ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００６８】
【表５】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 電磁波遮断能、 赤外線遮断能 膜の耐湿熱性 例 シート抵抗 850nmの透過率 劣化状態 （Ω／□） （％） （時間） −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 実施例１ １．５（○） ９（○） ８４０（○） 実施例２ １．３（○） ８（○） ７２０（○） 実施例３ １．２（○） ７（○） ６７２（○） 実施例４ ２．０（○） １５（○） ６２４（○） 実施例５ ０．９（○） ３（○） １２２４（○） 実施例６ １．４（○） １４（○） ８６４（○） 実施例７ １．６（○） ７（○） ８１６（○） 実施例８ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 比較例１ １．８（×） ２２（×） ９１２（○） 比較例２ １．３（○） ７（○） ３８４（○） 比較例３ ２．５（×） １２（○） ６７２（○） 比較例４ ４．２（×） ５１（×） ５０４（○） 比較例５ ０．８（○） ２（○） １２４８（○） 比較例６ １．４（○） １７（×） ８６４（○） 比較例７ １．７（○） ６（×） ６７２（○） ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００６９】
【表６】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 可視域の光学特性 例 光透過率（％） カ゛ラス面反射色 透過色 450nm 550nm 650nm ａ*／ｂ* ａ*／ｂ* −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 実施例１ 56 63 57 1.0／-2.5 -4.5／6.3 実施例２ 55 64 53 2.0／-1.7 -3.9／3.2 実施例３ 55 60 52 0.9／-3.0 -4.0／5.1 実施例４ 70 72 70 0.2／-0.1 -0.1／0.2 実施例５ 51 61 50 2.9／-5.2 -6.1／3.0 実施例６ 50 62 61 -0.5／-6.0 1.0／2.0 実施例７ 63 62 50 2.5／0.2 -4.0／-2.0 実施例８ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− 比較例１ 66 68 61 0.5／-2.4 -3.3／5.0 比較例２ 58 68 61 2.1／-3.0 -6.5／3.1 比較例３ 66 68 61 3.0／-0.3 -2.0／0.1 比較例４ 76 82 80 0.1／-0.2 -0.2／0.1 比較例５ 41 48 40 5.0／-4.5 -8.5／0.5 比較例６ 39 60 63 -0.8／-8.1 2.0／1.0 比較例７ 59 56 38 4.1／0.5 -4.1／-3.2 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００７０】
【表７】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 銀主成分層中のパラ ８５０ｎｍの波長 耐湿熱性 ジウム含有量（原子％） における透過率（％） （時間） −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− ０ ３．７ １９２ ０．１ ６．０ ５０４ ０．３ １１．７ ６００ ０．４ １３．７ ７６８ ０．４５ １４．２ ７９２ ０．５ １５．０ ７９２ １．０ ２２．０ １２００ ２．０ ２７．０ １５１２ ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
【００７１】比較例１ 実施例１と同様の方法で、表３に示す積層構成の電磁波
フィルタ（４・５タイプ）の比較サンプルを作成した。
得られた比較サンプルの特性を表５および表６に示す。
このサンプルは、銀主成分層に１原子％のパラジウムを
含有するものである。シート抵抗は１．８Ω／□と小さ
い値を有するが、８５０ｎｍにおける透過率（この値が
小さいことは近赤外線遮断能が大きいことを意味する）
は２２％と大きく、実用的に要求される特性を有してい
なかった。これは、後述する銀層にパラジウムが多く含
有するために電磁波遮断能は良好であるが、近赤外線の
遮断能が低下したためと考えられた。
フィルタ（４・５タイプ）の比較サンプルを作成した。
得られた比較サンプルの特性を表５および表６に示す。
このサンプルは、銀主成分層に１原子％のパラジウムを
含有するものである。シート抵抗は１．８Ω／□と小さ
い値を有するが、８５０ｎｍにおける透過率（この値が
小さいことは近赤外線遮断能が大きいことを意味する）
は２２％と大きく、実用的に要求される特性を有してい
なかった。これは、後述する銀層にパラジウムが多く含
有するために電磁波遮断能は良好であるが、近赤外線の
遮断能が低下したためと考えられた。
【００７２】比較例２ 実施例１と同様の方法で、表３に示す積層構成の電磁波
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層のパラジウム含有量が０．０５原子％である。シ
ート抵抗および近赤外線透過率は良好であったが、銀層
の耐久性を向上させるパラジウム量が少ないために、耐
湿熱性テストでは３８４時間という短い時間で電磁波遮
断膜の劣化が認められ、電磁波フィルタとしての実用的
な強度を有していないことが分かる。
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層のパラジウム含有量が０．０５原子％である。シ
ート抵抗および近赤外線透過率は良好であったが、銀層
の耐久性を向上させるパラジウム量が少ないために、耐
湿熱性テストでは３８４時間という短い時間で電磁波遮
断膜の劣化が認められ、電磁波フィルタとしての実用的
な強度を有していないことが分かる。
【００７３】比較例３ 実施例１と同様の方法で、表３に示す積層構成の電磁波
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルの積層構
成は、３・４タイプである。近赤外線の遮断能は１２％
と実用的に要求される特性を有しているが、シート抵抗
が２．５Ω／□であり、電磁波遮断能が十分と言えず、
実用的に要求される電磁波フィルタではなかった。
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルの積層構
成は、３・４タイプである。近赤外線の遮断能は１２％
と実用的に要求される特性を有しているが、シート抵抗
が２．５Ω／□であり、電磁波遮断能が十分と言えず、
実用的に要求される電磁波フィルタではなかった。
【００７４】比較例４ 実施例１と同様の方法で、表３に示す積層構成の電磁波
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層の厚みが４ｎｍと薄いので、近赤外透過率が高く
またシート抵抗も４．２Ω／□と大きな値であり、近赤
外線遮断能、電磁波遮断能とも実用的に要求される特性
を備えていなかった。
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層の厚みが４ｎｍと薄いので、近赤外透過率が高く
またシート抵抗も４．２Ω／□と大きな値であり、近赤
外線遮断能、電磁波遮断能とも実用的に要求される特性
を備えていなかった。
【００７５】比較例５ 実施例１と同様の方法で、表３に示す積層構成の電磁波
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層の厚みが２２〜２４ｎｍと厚いので、近赤外線の
遮断能が高く（透過率が２％と低い）電磁波遮断能も良
好（シート抵抗が０．８Ω／□と低い）であったが、５
５０ｎｍの波長での透過率が５０％未満であり、実用的
に要求される特性を備えていなかった。
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層の厚みが２２〜２４ｎｍと厚いので、近赤外線の
遮断能が高く（透過率が２％と低い）電磁波遮断能も良
好（シート抵抗が０．８Ω／□と低い）であったが、５
５０ｎｍの波長での透過率が５０％未満であり、実用的
に要求される特性を備えていなかった。
【００７６】比較例６ 実施例１と同様の方法で、表３に示す積層構成の電磁波
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層の厚みが好適な範囲内に設定されたことにより、
電磁波遮断能は良好（シート抵抗が１．４Ω／□と低
い）であったが、誘電体層の厚みが厚く設定されたの
で、可視域での透過率バランスが悪くなった。すなわ
ち、６５０ｎｍでの波長（可視域の長波長側で赤色に相
当）で透過率が高く、短波長側（青色に相当）で低い特
性を示していた。そのため可視域での透過率分布の影響
を受けて８５０ｎｍの波長の透過率が低下せず、８５０
ｎｍの透過率が１７％と高くなり、近赤外線遮断能が実
用的に要求される特性を備えなくなってしまった。ま
た、反射色調の数値が示すように目立つ色調を呈してい
た。
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層の厚みが好適な範囲内に設定されたことにより、
電磁波遮断能は良好（シート抵抗が１．４Ω／□と低
い）であったが、誘電体層の厚みが厚く設定されたの
で、可視域での透過率バランスが悪くなった。すなわ
ち、６５０ｎｍでの波長（可視域の長波長側で赤色に相
当）で透過率が高く、短波長側（青色に相当）で低い特
性を示していた。そのため可視域での透過率分布の影響
を受けて８５０ｎｍの波長の透過率が低下せず、８５０
ｎｍの透過率が１７％と高くなり、近赤外線遮断能が実
用的に要求される特性を備えなくなってしまった。ま
た、反射色調の数値が示すように目立つ色調を呈してい
た。
【００７７】比較例７ 実施例１と同様の方法で、表３に示す積層構成の電磁波
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層の厚みが好適な範囲内に設定されて、電磁波遮断
能は良好（シート抵抗が１．４Ω／□と低い）であった
が、比較例６とは逆に誘電体層の厚みが薄く設定された
ので、可視域での透過率バランスが悪くなった。すなわ
ち４５０ｎｍ（可視域の短波長側で青色に相当）での波
長で透過率が高く、長波長（赤色）側で低い特性を示
し、反射色調が目立つ色になってしまった。
フィルタの比較サンプルを作成した。得られたサンプル
の特性を表５および表６に示す。このサンプルは、銀主
成分層の厚みが好適な範囲内に設定されて、電磁波遮断
能は良好（シート抵抗が１．４Ω／□と低い）であった
が、比較例６とは逆に誘電体層の厚みが薄く設定された
ので、可視域での透過率バランスが悪くなった。すなわ
ち４５０ｎｍ（可視域の短波長側で青色に相当）での波
長で透過率が高く、長波長（赤色）側で低い特性を示
し、反射色調が目立つ色になってしまった。
【００７８】上記の実施例および比較例に示すように、
本願発明の実施例は、プラズマディスプレイの前面に設
置される電磁波フィルタに要求される近赤外線遮断能、
可視光域の光学特性のいずれも○評価であった。また、
人体に有害な電磁波は、導電物質により遮蔽されること
は知られており、電磁波遮断にはおよそ数Ω／□程度の
低抵抗が必要とされる。上記実施例ではいずれも２Ω／
□以下のシート抵抗を有するので、電磁遮断能について
も実用的な性能を有していることが分かる。
本願発明の実施例は、プラズマディスプレイの前面に設
置される電磁波フィルタに要求される近赤外線遮断能、
可視光域の光学特性のいずれも○評価であった。また、
人体に有害な電磁波は、導電物質により遮蔽されること
は知られており、電磁波遮断にはおよそ数Ω／□程度の
低抵抗が必要とされる。上記実施例ではいずれも２Ω／
□以下のシート抵抗を有するので、電磁遮断能について
も実用的な性能を有していることが分かる。
【００７９】
【発明の効果】本発明の電磁波フィルタは、その電磁波
遮断膜が透明基板側から５５０ｎｍの波長における屈折
率を所定範囲の誘電体層と銀主成分層をこの順に交互に
積層した９積層体とし、銀主成分層の厚みを５〜２０ｎ
ｍとすることにより、電磁波遮断膜のシート抵抗を２Ω
／□以下で、かつ波長８５０ｎｍにおける近赤外線透過
率を１５％以下としている。
遮断膜が透明基板側から５５０ｎｍの波長における屈折
率を所定範囲の誘電体層と銀主成分層をこの順に交互に
積層した９積層体とし、銀主成分層の厚みを５〜２０ｎ
ｍとすることにより、電磁波遮断膜のシート抵抗を２Ω
／□以下で、かつ波長８５０ｎｍにおける近赤外線透過
率を１５％以下としている。
【００８０】これにより本発明の電磁波フィルタをプラ
ズマディスプレイパネルの前面に設置すると、プラズマ
放電により発生する電磁波や近赤外線がパネル前面方向
に飛来してくるのを防止でき、プラズマディスプレイパ
ネルの近傍に設置された電気製品のリモコンスイッチが
誤動作するのを防止することができる。
ズマディスプレイパネルの前面に設置すると、プラズマ
放電により発生する電磁波や近赤外線がパネル前面方向
に飛来してくるのを防止でき、プラズマディスプレイパ
ネルの近傍に設置された電気製品のリモコンスイッチが
誤動作するのを防止することができる。
【００８１】また、本発明の銀主成分層にはパラジウム
が所定量含有されることにより、赤外線遮断能を低下さ
せることなく実用的な耐湿熱性強度を有するようにする
ことができる。
が所定量含有されることにより、赤外線遮断能を低下さ
せることなく実用的な耐湿熱性強度を有するようにする
ことができる。
【００８２】さらに、本発明の電磁波フィルタは、銀主
成分層および屈折率が選定された誘電体層の厚みを所定
範囲に調整されることにより、色調が目立つことなく、
かつ可視光線の透過率が高い電磁波フィルタになる。こ
れにより画像表示の明るさを大きく低下させることがな
い。
成分層および屈折率が選定された誘電体層の厚みを所定
範囲に調整されることにより、色調が目立つことなく、
かつ可視光線の透過率が高い電磁波フィルタになる。こ
れにより画像表示の明るさを大きく低下させることがな
い。
【００８３】
【図１】本発明の一実施例の断面図である。
【図２】本発明の電磁波遮断膜の層構成を説明するため
の断面図である。
の断面図である。
【図３】本発明の使用状態を説明するための断面図であ
る。
る。
【図４】実施例１で得られたサンプルの分光透過特性図
である。
である。
【図５】実施例１で得られたサンプルの分光反射特性図
である。
である。
１：電磁波フィルタ ２：電磁波遮断膜 ３：粘着層 ４：ＰＥＴフィルム ５：ガラス板 ６：プラズマディスプレイパネル ７：筐体 ８：バスバー ９：黒色セラミックパターン １０：誘電体層 １１：銀主成分層
Claims (16)
- 【請求項１】 透明基板の一方の面に電磁波遮断膜が被
覆された電磁波遮断板と、前記電磁波遮断膜面に設けら
れた保護膜とを有する電磁波フィルタであって、前記電
磁波遮断膜を、透明基板側から５５０ｎｍの波長におけ
る屈折率が１．７〜２．７の誘電体層と銀主成分層をこ
の順に交互に積層した９層の積層体とし、前記銀主成分
層の厚みを５〜２０ｎｍとすることにより、前記電磁波
遮断膜のシート抵抗を２Ω／□以下、かつ、波長８５０
ｎｍにおける近赤外線透過率を１５％以下としたことを
特徴とするプラズマディスプレイパネル用の電磁波フィ
ルタ。 - 【請求項２】 前記銀主成分層は、銀に対して０．１原
子％以上０．５原子％未満のパラジウムを含有させたこ
とを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイ
パネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項３】 波長５５０ｎｍにおける透過率が５０％
以上となるように、前記銀主成分層および前記誘電体層
の厚みを調整したことを特徴とする請求項１または２に
記載のプラズマディスプレイパネル用の電磁波フィル
タ。 - 【請求項４】 前記透明基板側から見たときの反射色調
を、色度座標ａ*、ｂ*の値が−１＜ａ*＜４、−８＜ｂ*
＜１となるように、銀主成分層および誘電体層の厚みを
調整したことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記
載のプラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項５】 前記銀主成分層の各層の厚みを、７〜１
７ｎｍとしたことを特徴とする請求項３または４のいず
れかに記載のプラズマディスプレイパネル用の電磁波フ
ィルタ。 - 【請求項６】 前記銀主成分層の合計厚みを３０〜７０
ｎｍとしたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに
記載のプラズマディスプレイパネル用の電磁波フィル
タ。 - 【請求項７】 前記銀主成分層の厚み比率を透明基板側
から順に、９〜１１：１０〜１３：１０〜１３：９〜１
１としたことを特徴とする請求項５または６に記載のプ
ラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項８】 前記透明基板に最も近い誘電体層の厚み
を４２ｎｍ±１０ｎｍとし、各誘電体層の厚み比率を透
明基板側から順に４４±４：８２±８：７９±８：８２
±８：４２±４としたことを特徴とする請求項３〜７の
いずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用の電磁
波フィルタ。 - 【請求項９】 透明基板から最も遠くに積層された誘電
体層上に、さらに銀主成分層および透明誘電体層をこの
順に積層したことを特徴とする請求項１〜８のいずれか
に記載のプラズマディスプレイパネル用の電磁波フィル
タ。 - 【請求項１０】 前記誘電体層を酸化亜鉛主成分層とし
たことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のプ
ラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項１１】 前記誘電体層を、酸化錫主成分層と酸
化亜鉛主成分層の多層積層体とし、銀主成分層に接する
層を酸化亜鉛主成分層としたことを特徴とする請求項１
〜１０のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル
用の電磁波フィルタ。 - 【請求項１２】 前記誘電体層の最外層を酸化錫層とし
たことを特徴とする請求項１１に記載のプラズマディス
プレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項１３】 前記保護膜が、５５０ｎｍの波長にお
ける屈折率が１．５９〜１．６９の樹脂フィルムである
ことを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のプ
ラズマディスプレイパネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項１４】 前記保護膜は、厚みが２０〜５００μ
ｍの粘着剤で電磁波遮断膜に貼り付けられていることを
特徴とする請求項１３に記載のプラズマディスプレイパ
ネル用の電磁波フィルタ。 - 【請求項１５】 前記透明基板の周辺部で、かつ、前記
電磁波遮断膜と透明基板の間に、銀ペースト焼結体のア
ース電極を形成したことを特徴とする請求項１〜１４の
いずれかに記載のプラズマディスプレイパネル用の電磁
波フィルタ。 - 【請求項１６】 前記アース電極と透明基板の間に、透
明基板側から見たときに前記アース電極を隠すように黒
色セラミックパターンを形成したことを特徴とする請求
項１５に記載のプラズマディスプレイパネル用の電磁波
フィルタ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10223048A JP2000059082A (ja) | 1998-08-06 | 1998-08-06 | 電磁波フィルタ |
| TW088112321A TW428043B (en) | 1998-08-06 | 1999-07-20 | An electromagnetic wave filter for a plasma display panel |
| KR1019990031932A KR20000017060A (ko) | 1998-08-06 | 1999-08-04 | 전자파 필터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10223048A JP2000059082A (ja) | 1998-08-06 | 1998-08-06 | 電磁波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000059082A true JP2000059082A (ja) | 2000-02-25 |
Family
ID=16792029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10223048A Withdrawn JP2000059082A (ja) | 1998-08-06 | 1998-08-06 | 電磁波フィルタ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000059082A (ja) |
| KR (1) | KR20000017060A (ja) |
| TW (1) | TW428043B (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000158578A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-13 | Mitsui Chemicals Inc | 透明積層体及びそれを用いたディスプレイ用フィルター |
| WO2002023895A1 (fr) * | 2000-09-18 | 2002-03-21 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Substrat filtre d'afficheur et dispositif afficheur |
| WO2005020655A1 (ja) * | 2003-08-25 | 2005-03-03 | Asahi Glass Company, Limited | 電磁波遮蔽積層体およびこれを用いたディスプレイ装置 |
| WO2006059448A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Asahi Glass Company, Limited | 導電性積層体、プラズマディスプレイ用の電磁波遮蔽フィルムおよび保護板 |
| JP2007150323A (ja) * | 2003-08-25 | 2007-06-14 | Asahi Glass Co Ltd | 電磁波遮蔽積層体およびこれを用いたディスプレイ装置 |
| JP2009058959A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-19 | Samsung Corning Precision Glass Co Ltd | ディスプレイ装置用フィルター |
| JP2012500499A (ja) * | 2008-08-21 | 2012-01-05 | ガーディアン・インダストリーズ・コーポレーション | フレームなしのｅｍｉフィルタを有するプラズマディスプレイパネルおよび／または前記プラズマディスプレイの製造方法 |
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-
1998
- 1998-08-06 JP JP10223048A patent/JP2000059082A/ja not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-07-20 TW TW088112321A patent/TW428043B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-08-04 KR KR1019990031932A patent/KR20000017060A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| TW428043B (en) | 2001-04-01 |
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Legal Events
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050411 |
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| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20061212 |