JPH11130472A - 熱線遮蔽ガラス - Google Patents
熱線遮蔽ガラスInfo
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- JPH11130472A JPH11130472A JP9298384A JP29838497A JPH11130472A JP H11130472 A JPH11130472 A JP H11130472A JP 9298384 A JP9298384 A JP 9298384A JP 29838497 A JP29838497 A JP 29838497A JP H11130472 A JPH11130472 A JP H11130472A
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- Japan
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- oxide
- glass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】可視光線透過率が６５％以上で、且つ日射透過
率が４５％以下である、主として温暖地に適した熱線遮
蔽ガラスを得る。 【解決手段】ガラス基板上に１層の銀層とその直上部に
金属保護層を設け、ガラス基板と銀層の間、及び金属保
護層の上部に酸化亜鉛または酸化錫を主成分とする第１
酸化物層、第２酸化物層を成膜させてなる。
率が４５％以下である、主として温暖地に適した熱線遮
蔽ガラスを得る。 【解決手段】ガラス基板上に１層の銀層とその直上部に
金属保護層を設け、ガラス基板と銀層の間、及び金属保
護層の上部に酸化亜鉛または酸化錫を主成分とする第１
酸化物層、第２酸化物層を成膜させてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、住宅やオフィス等
の建築用はもちろん車両用等の窓ガラス、さらには船舶
用や航空機用の窓ガラス等各種の窓ガラスとして有用な
熱線遮蔽ガラスに関する。
の建築用はもちろん車両用等の窓ガラス、さらには船舶
用や航空機用の窓ガラス等各種の窓ガラスとして有用な
熱線遮蔽ガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、例えばオフィスや住宅等におい
て、断熱性、保温性、遮熱等に優れた熱線遮蔽ガラスが
寒冷地を中心に用いられている。この寒冷地の住宅等の
窓ガラスに用いられている熱線遮蔽ガラスは高い可視光
透過率をもち、日射エネルギーの内でも温熱効果の高い
波長１μｍ程度までの赤外線は透過するが、室内の暖房
機器から放射される波長２〜４μｍの赤外線から、室温
程度の物体から放射される１０〜２０μｍ程度の長い波
長の赤外線に対しては反射率が高い。そのため、このガ
ラスを用いると、外部からの日射エネルギーは室内に取
り入れつつ、室内から室外に放射される熱線を遮蔽する
ことができるので、冬季の室内環境が快適になり、暖房
負荷も軽減される。
て、断熱性、保温性、遮熱等に優れた熱線遮蔽ガラスが
寒冷地を中心に用いられている。この寒冷地の住宅等の
窓ガラスに用いられている熱線遮蔽ガラスは高い可視光
透過率をもち、日射エネルギーの内でも温熱効果の高い
波長１μｍ程度までの赤外線は透過するが、室内の暖房
機器から放射される波長２〜４μｍの赤外線から、室温
程度の物体から放射される１０〜２０μｍ程度の長い波
長の赤外線に対しては反射率が高い。そのため、このガ
ラスを用いると、外部からの日射エネルギーは室内に取
り入れつつ、室内から室外に放射される熱線を遮蔽する
ことができるので、冬季の室内環境が快適になり、暖房
負荷も軽減される。
【０００３】しかし、このタイプの熱線遮蔽ガラスを温
暖地の夏季に使用しようとすると、温熱効果の高い波長
０.８〜１μｍ程度の赤外線の約４０〜６０％を透過
し、日射透過率が約５０〜６０％あるために、夏季の日
射熱を軽減する効果は充分とは言えない。
暖地の夏季に使用しようとすると、温熱効果の高い波長
０.８〜１μｍ程度の赤外線の約４０〜６０％を透過
し、日射透過率が約５０〜６０％あるために、夏季の日
射熱を軽減する効果は充分とは言えない。
【０００４】温暖地に使用される日射遮蔽型の熱線遮蔽
ガラスとしては、エアコ社の「Ｓｕｎｂｅｌｔ Ｌｏｗ
−Ｅ」やカーデイナル社の「Ｌｏｗ−Ｅ Ｓｕｎ」など
が知られている。これらは１層のＡｇ層を挟む形で透明
な誘電体膜をガラス板に積層したものであるが、日射透
過率は約３０〜４５％で日射熱軽減機能は高いが、可視
光の透過率が約４７〜６０％で、通常の寒冷地向けの熱
線遮蔽ガラスに比べると低い。また、可視光透過率の高
い日射遮蔽型の熱線ガラスとしては、例えば特公平５−
７０５８０号、特開平８−１０４５４７号等のＡｇ層を
２層使ったタイプがあるが、膜構成が透明基板／誘電体
／Ａｇ／誘電体／Ａｇ／誘電体の膜構成となっており、
金属に比べて形成速度が遅い誘電体の膜厚がＡｇ層１層
タイプの熱線遮蔽ガラスの約２倍あり、生産性に劣ると
いう問題点がある。
ガラスとしては、エアコ社の「Ｓｕｎｂｅｌｔ Ｌｏｗ
−Ｅ」やカーデイナル社の「Ｌｏｗ−Ｅ Ｓｕｎ」など
が知られている。これらは１層のＡｇ層を挟む形で透明
な誘電体膜をガラス板に積層したものであるが、日射透
過率は約３０〜４５％で日射熱軽減機能は高いが、可視
光の透過率が約４７〜６０％で、通常の寒冷地向けの熱
線遮蔽ガラスに比べると低い。また、可視光透過率の高
い日射遮蔽型の熱線ガラスとしては、例えば特公平５−
７０５８０号、特開平８−１０４５４７号等のＡｇ層を
２層使ったタイプがあるが、膜構成が透明基板／誘電体
／Ａｇ／誘電体／Ａｇ／誘電体の膜構成となっており、
金属に比べて形成速度が遅い誘電体の膜厚がＡｇ層１層
タイプの熱線遮蔽ガラスの約２倍あり、生産性に劣ると
いう問題点がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上のような
従来の問題点を鑑みてなしたものであり、透明ガラス基
板上に、第１誘電体層、Ａｇ層、金属保護層、第２誘電
体層の順に形成した積層体において、各層を特定するこ
とにより、高い可視光透過率と同時に低い日射透過率を
実現して高い日射熱軽減性能をもたせ、また、ガラス面
及び膜面の反射をシルバーないしは淡いブルー色、透過
色調を淡いイエロー色にすることで、透明感と同時に優
れた意匠性を付与するものである。さらに、Ａｇ層を１
層とし、第１及び第２の誘電体には反応性スパッタリン
グで高速成膜が可能な、ＺｎＯまたはＳｎＯ2を主成分
とする酸化物層を用いることにより、従来の銀２層タイ
プの熱線遮蔽ガラスよりも高い生産性を持ち、居住性の
向上と省エネルギーに寄与する高性能の板ガラスを安価
に提供するものである。
従来の問題点を鑑みてなしたものであり、透明ガラス基
板上に、第１誘電体層、Ａｇ層、金属保護層、第２誘電
体層の順に形成した積層体において、各層を特定するこ
とにより、高い可視光透過率と同時に低い日射透過率を
実現して高い日射熱軽減性能をもたせ、また、ガラス面
及び膜面の反射をシルバーないしは淡いブルー色、透過
色調を淡いイエロー色にすることで、透明感と同時に優
れた意匠性を付与するものである。さらに、Ａｇ層を１
層とし、第１及び第２の誘電体には反応性スパッタリン
グで高速成膜が可能な、ＺｎＯまたはＳｎＯ2を主成分
とする酸化物層を用いることにより、従来の銀２層タイ
プの熱線遮蔽ガラスよりも高い生産性を持ち、居住性の
向上と省エネルギーに寄与する高性能の板ガラスを安価
に提供するものである。
【０００６】すなわち本発明は、透明なガラス基板上に
銀層を一層介在させて被膜を多層に形成してなる積層体
において、ガラス基板と銀層の間に酸化亜鉛または酸化
錫を主成分とする膜厚が１５ｎｍ以上４５ｎｍ以下の第
１酸化物層と、その上層に膜厚が１６ｎｍ以上２０ｎｍ
未満の銀層と、銀層の直上層に膜厚が１ｎｍ以上３ｎｍ
以下の保護金属層と、さらに保護金属層の上層に酸化亜
鉛または酸化錫を主成分とする膜厚が４０ｎｍ以上６０
ｎｍ以下の第２酸化物層をそれぞれ成膜してなる熱線遮
蔽ガラスに関する。
銀層を一層介在させて被膜を多層に形成してなる積層体
において、ガラス基板と銀層の間に酸化亜鉛または酸化
錫を主成分とする膜厚が１５ｎｍ以上４５ｎｍ以下の第
１酸化物層と、その上層に膜厚が１６ｎｍ以上２０ｎｍ
未満の銀層と、銀層の直上層に膜厚が１ｎｍ以上３ｎｍ
以下の保護金属層と、さらに保護金属層の上層に酸化亜
鉛または酸化錫を主成分とする膜厚が４０ｎｍ以上６０
ｎｍ以下の第２酸化物層をそれぞれ成膜してなる熱線遮
蔽ガラスに関する。
【０００７】また、第１酸化物層、第２酸化物層の少な
くとも何れか１層の一部を膜厚が５ｎｍ以上１０ｎｍ以
下のＴｉＯ2層で置換することが出来る。。さらに、保
護金属層はＴｉ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｒの内か
ら選ばれた少なくとも１種類の金属あるいは該金属を主
成分とする合金を用いることが出来る。
くとも何れか１層の一部を膜厚が５ｎｍ以上１０ｎｍ以
下のＴｉＯ2層で置換することが出来る。。さらに、保
護金属層はＴｉ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｒの内か
ら選ばれた少なくとも１種類の金属あるいは該金属を主
成分とする合金を用いることが出来る。
【０００８】さらに、可視光透過率が６５％以上で、か
つ日射透過率が４５％であることが好ましい。また、透
過主波長が５６５ｎｍ〜５７５ｎｍの範囲で、且つガラ
ス面と膜面の反射主波長が４７０ｎｍ〜４８５ｎｍの範
囲であることが好ましい。
つ日射透過率が４５％であることが好ましい。また、透
過主波長が５６５ｎｍ〜５７５ｎｍの範囲で、且つガラ
ス面と膜面の反射主波長が４７０ｎｍ〜４８５ｎｍの範
囲であることが好ましい。
【０００９】さらに、表面抵抗値が２．５〜４．０Ω／
□であることが好ましい。
□であることが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の熱線遮蔽ガラスは、次の
ようにして得る。ガラス基板としては、自動車用ならび
に建築用ガラス等に通常用いられている普通板ガラス、
所謂フロート板ガラスなどであり、クリアをはじめグリ
−ン、ブロンズ等各種着色ガラスや各種機能性ガラス、
強化ガラスやそれに類するガラス、合せガラスのほか複
層ガラス等、さらに平板あるいは曲げ板等各種板ガラス
製品として使用できることは言うまでもない。また、ガ
ラスは透明プラスチック板等との積層体であってもよ
い。なお、ガラスの組成は、ソーダ石灰ガラス、アルミ
ノシリケートガラス等であるが、これらに限定されない
ことは、言うまでもない。
ようにして得る。ガラス基板としては、自動車用ならび
に建築用ガラス等に通常用いられている普通板ガラス、
所謂フロート板ガラスなどであり、クリアをはじめグリ
−ン、ブロンズ等各種着色ガラスや各種機能性ガラス、
強化ガラスやそれに類するガラス、合せガラスのほか複
層ガラス等、さらに平板あるいは曲げ板等各種板ガラス
製品として使用できることは言うまでもない。また、ガ
ラスは透明プラスチック板等との積層体であってもよ
い。なお、ガラスの組成は、ソーダ石灰ガラス、アルミ
ノシリケートガラス等であるが、これらに限定されない
ことは、言うまでもない。
【００１１】第１酸化物層または第２酸化物層に用いる
酸化亜鉛または酸化錫を主成分とする酸化物は、汎用性
の高い材料であり、ガラス及び銀層との密着性も良いと
同時にＤＣマグネトロン法における生産性が良い。
酸化亜鉛または酸化錫を主成分とする酸化物は、汎用性
の高い材料であり、ガラス及び銀層との密着性も良いと
同時にＤＣマグネトロン法における生産性が良い。
【００１２】第１酸化物層の膜厚を１５ｎｍ以上４５ｎ
ｍ以下としたのは、望ましい可視光透過率と日射遮蔽性
能を得るためであり、１５ｎｍ以下であると可視光透過
率が６５％より低くなり透明感を損なうためであり、ま
た４５ｎｍ以上であると日射透過率が４５％以上となり
日射遮蔽性能が不十分になるためである。なお、酸化亜
鉛、酸化スズには特に耐湿性を向上させるためにＺｎ、
Ｓｎ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｇａ、Ｂｉ等の金属を少なくとも１
種類添加しても良い。なお、その添加量は０．５〜１０
原子％が好ましい。さらに、第１酸化物及び第２酸化物
は、その一部を膜厚が５ｎｍ以上１０ｎｍ以下のＴｉＯ
2層で置換しても良い。置換可能なＴｉＯ2層の膜厚を５
ｎｍ以上１０ｎｍ以下としたのは、５ｎｍ以下のＴｉＯ
2では置換によるガラス面反射率の低減効果が少なく、
また１０ｎｍ以上ではＴｉＯ2の形成速度がＺｎＯ、Ｓ
ｎＯに比べて約１／１０と遅く、生産性が低下するため
である。
ｍ以下としたのは、望ましい可視光透過率と日射遮蔽性
能を得るためであり、１５ｎｍ以下であると可視光透過
率が６５％より低くなり透明感を損なうためであり、ま
た４５ｎｍ以上であると日射透過率が４５％以上となり
日射遮蔽性能が不十分になるためである。なお、酸化亜
鉛、酸化スズには特に耐湿性を向上させるためにＺｎ、
Ｓｎ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｇａ、Ｂｉ等の金属を少なくとも１
種類添加しても良い。なお、その添加量は０．５〜１０
原子％が好ましい。さらに、第１酸化物及び第２酸化物
は、その一部を膜厚が５ｎｍ以上１０ｎｍ以下のＴｉＯ
2層で置換しても良い。置換可能なＴｉＯ2層の膜厚を５
ｎｍ以上１０ｎｍ以下としたのは、５ｎｍ以下のＴｉＯ
2では置換によるガラス面反射率の低減効果が少なく、
また１０ｎｍ以上ではＴｉＯ2の形成速度がＺｎＯ、Ｓ
ｎＯに比べて約１／１０と遅く、生産性が低下するため
である。
【００１３】銀層の膜厚は、１６ｎｍ以上２０ｎｍ未満
が好ましく、１６ｎｍ未満では第１酸化物層の膜厚を１
５ｎｍ以上４０ｎｍ以下、第２酸化物層の膜厚を４０ｎ
ｍ以上６０ｎｍ以下にすると、可視光透過率が６５％以
上で、かつガラス面および膜面の反射色調がブルー色、
ないしはブルーがかった紫色、透過色調が淡いイエロー
色を呈するガラスは得られるものの、その場合は日射透
過率が４５％以上となり、日射熱軽減効果が不十分にな
るためである。さらに、銀層の膜厚が１６ｎｍ未満で
は、第１酸化物層と第２酸化物層の膜厚を上述の範囲外
にすると、可視光透過率が６５％以下となる、あるい
は、ガラス面および膜面の反射色調が好ましくない赤味
がかった色になるためである。
が好ましく、１６ｎｍ未満では第１酸化物層の膜厚を１
５ｎｍ以上４０ｎｍ以下、第２酸化物層の膜厚を４０ｎ
ｍ以上６０ｎｍ以下にすると、可視光透過率が６５％以
上で、かつガラス面および膜面の反射色調がブルー色、
ないしはブルーがかった紫色、透過色調が淡いイエロー
色を呈するガラスは得られるものの、その場合は日射透
過率が４５％以上となり、日射熱軽減効果が不十分にな
るためである。さらに、銀層の膜厚が１６ｎｍ未満で
は、第１酸化物層と第２酸化物層の膜厚を上述の範囲外
にすると、可視光透過率が６５％以下となる、あるい
は、ガラス面および膜面の反射色調が好ましくない赤味
がかった色になるためである。
【００１４】銀層の膜厚を２０ｎｍ未満としたのは、２
０ｎｍ以上では第１酸化物層の膜厚を１５ｎｍ以上４０
ｎｍ以下、第２酸化物層の膜厚を４０ｎｍ以上６０ｎｍ
以下にすると、可視光透過率が６５％以上で、かつ日射
透過率が４５％以下となるガラスは得られるものの、そ
の場合はガラス面と膜面の反射色が、日本人の好まない
赤味がかった色調になるためである。
０ｎｍ以上では第１酸化物層の膜厚を１５ｎｍ以上４０
ｎｍ以下、第２酸化物層の膜厚を４０ｎｍ以上６０ｎｍ
以下にすると、可視光透過率が６５％以上で、かつ日射
透過率が４５％以下となるガラスは得られるものの、そ
の場合はガラス面と膜面の反射色が、日本人の好まない
赤味がかった色調になるためである。
【００１５】また、銀層の膜厚が２０ｎｍ以上では、第
１酸化物層と第２酸化物層の膜厚を上述の範囲外にする
と、可視光透過率が６５％以下となる、あるいは、ガラ
ス面および膜面の反射色調が好ましくない赤味がかった
色になるためである。
１酸化物層と第２酸化物層の膜厚を上述の範囲外にする
と、可視光透過率が６５％以下となる、あるいは、ガラ
ス面および膜面の反射色調が好ましくない赤味がかった
色になるためである。
【００１６】なお、銀層の厚みは好ましくは１９ｎｍ以
上が良い。１９ｎｍ以上であると日射透過率が約４３％
以下と非常に小さくなり、日射熱の侵入をさらに抑制し
好ましい。
上が良い。１９ｎｍ以上であると日射透過率が約４３％
以下と非常に小さくなり、日射熱の侵入をさらに抑制し
好ましい。
【００１７】銀層の直上部に形成する保護金属層は、銀
層と第２酸化物層の両方に高い密着性をもつＴｉ、Ｓ
ｎ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｒ等の金属またはこれらの金
属を主成分とする合金が望ましい。なお、ここでいう保
護金属層とは、銀層の直上に保護金属層を成膜した直後
は全厚が金属層であるが、次いで該金属層の上層に第２
の酸化物層を成膜するとき、酸素雰囲気下で成膜するた
め、該金属層の上層部の一部に酸化物に変換される。こ
の上層部が酸化された酸化物層と残った金属層を含めて
保護金属層と呼ぶ。該保護金属層の作用は、第２の酸化
物層を成膜する際に、その酸素雰囲気の影響が下部の銀
層に及ばないように該保護金属層を介在させて銀層が酸
化されるのを保護するためのものである。
層と第２酸化物層の両方に高い密着性をもつＴｉ、Ｓ
ｎ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｒ等の金属またはこれらの金
属を主成分とする合金が望ましい。なお、ここでいう保
護金属層とは、銀層の直上に保護金属層を成膜した直後
は全厚が金属層であるが、次いで該金属層の上層に第２
の酸化物層を成膜するとき、酸素雰囲気下で成膜するた
め、該金属層の上層部の一部に酸化物に変換される。こ
の上層部が酸化された酸化物層と残った金属層を含めて
保護金属層と呼ぶ。該保護金属層の作用は、第２の酸化
物層を成膜する際に、その酸素雰囲気の影響が下部の銀
層に及ばないように該保護金属層を介在させて銀層が酸
化されるのを保護するためのものである。
【００１８】透過主波長は、５６５ｎｍ〜５７５ｎｍの
範囲であるとイエロー色であり、５６５ｎｍ以下ではグ
リーンがかったイエロー色であり、５７５ｎｍ以上では
赤味がかったイエロー色である。また、ガラス面と膜面
の反射主波長は、４７０ｎｍから４８５ｎｍの範囲であ
るとブルー色ないしは紫色であり、４７０ｎｍ以下であ
ると赤味がかった紫色であり、４８５ｎｍ以上であると
グリーンがかったブルー色である。
範囲であるとイエロー色であり、５６５ｎｍ以下ではグ
リーンがかったイエロー色であり、５７５ｎｍ以上では
赤味がかったイエロー色である。また、ガラス面と膜面
の反射主波長は、４７０ｎｍから４８５ｎｍの範囲であ
るとブルー色ないしは紫色であり、４７０ｎｍ以下であ
ると赤味がかった紫色であり、４８５ｎｍ以上であると
グリーンがかったブルー色である。
【００１９】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。なお、本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
る。なお、本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
【００２０】実施例１ 洗浄した厚さ３ｍｍのフロートガラス板をスパッタ装置
内に入れて真空度が２〜４×１０-4 Ｐａに達するまで
排気した。その後、装置内に酸素ガスを流して真空度を
２〜３×１０-1 Ｐａにした後、Ｚｎターゲットに６０
０ＷのＤＣ電力を印加して放電させた。
内に入れて真空度が２〜４×１０-4 Ｐａに達するまで
排気した。その後、装置内に酸素ガスを流して真空度を
２〜３×１０-1 Ｐａにした後、Ｚｎターゲットに６０
０ＷのＤＣ電力を印加して放電させた。
【００２１】次に、先のガラス板を１６７mm／minの速
度で搬送してＺｎターゲット上方のプラズマ中を通過さ
せ、反応性スパッタリング法により膜厚１５ｎｍの第１
酸化物層であるＺｎＯを形成した。ＺｎＯ膜を形成した
後、電力と酸素ガスの供給を停止した。
度で搬送してＺｎターゲット上方のプラズマ中を通過さ
せ、反応性スパッタリング法により膜厚１５ｎｍの第１
酸化物層であるＺｎＯを形成した。ＺｎＯ膜を形成した
後、電力と酸素ガスの供給を停止した。
【００２２】次いで、アルゴンガスを流して装置内の真
空度が２〜３×１０-1 Ｐａになった時点で、今度はＡ
ｇターゲットに１４６Ｗの電力を印加して放電させた。
そして、第１酸化物層であるＺｎＯ層を形成したガラス
板を２９３mm／minの速度で搬送して、Ａｇターゲット
上方を１回通過させ、膜厚１６ｎｍのＡｇ層をＺｎＯ層
の上に形成した。形成後、電力とアルゴンガスの供給を
停止した。
空度が２〜３×１０-1 Ｐａになった時点で、今度はＡ
ｇターゲットに１４６Ｗの電力を印加して放電させた。
そして、第１酸化物層であるＺｎＯ層を形成したガラス
板を２９３mm／minの速度で搬送して、Ａｇターゲット
上方を１回通過させ、膜厚１６ｎｍのＡｇ層をＺｎＯ層
の上に形成した。形成後、電力とアルゴンガスの供給を
停止した。
【００２３】次に、再びアルゴンガスを流して、Ｔｉタ
ーゲットに４８０ＷのＤＣ電力を印加して放電させた。
そして、ガラス板を１６９０mm／minの速度で搬送して
プラズマ中を通過させ、Ａｇ層の上に１．５ｎｍの保護
金属層であるＴｉ層を形成した。Ｔｉ層を形成後、電力
とガスの供給を停止した。
ーゲットに４８０ＷのＤＣ電力を印加して放電させた。
そして、ガラス板を１６９０mm／minの速度で搬送して
プラズマ中を通過させ、Ａｇ層の上に１．５ｎｍの保護
金属層であるＴｉ層を形成した。Ｔｉ層を形成後、電力
とガスの供給を停止した。
【００２４】最後に、酸素ガスを流し装置内の圧力が２
〜３×１０-1 Ｐａになった時点で、再度ＺｎＯターゲ
ットに６００ＷのＤＣ電力を印加して放電させ、ガラス
板を１１１mm／minの速度で２回搬送して、Ｔｉ上に膜
厚４５ｎｍの第２酸化物層であるＺｎＯ層を形成した。
〜３×１０-1 Ｐａになった時点で、再度ＺｎＯターゲ
ットに６００ＷのＤＣ電力を印加して放電させ、ガラス
板を１１１mm／minの速度で２回搬送して、Ｔｉ上に膜
厚４５ｎｍの第２酸化物層であるＺｎＯ層を形成した。
【００２５】なお、第２酸化物層を形成する際に、保護
金属層であるＴｉの上層部の少なくとも一部はＴｉの酸
化物であるＴiＯXに酸化されている。このようにして得
られたガラス板は、表１の実施例１に示したように、可
視光透過率が６５.３％、日射透過率が４４.９％で、寒
冷地仕様の熱線遮蔽ガラスに比べて日射透過率が１０％
以上少なく、優れた日射熱軽減効果を示すものであっ
た。また、表面抵抗値は熱線遮蔽ガラスの性能を示す放
射率と比例関係にあり、値が小さいほど優れた断熱性能
を持つことを意味するが、このガラス板の表面抵抗値は
３.８３Ω／□で、一般の寒冷地向けの熱線遮蔽ガラス
より約５Ω／□小さく、高い断熱性能を有するものであ
った。
金属層であるＴｉの上層部の少なくとも一部はＴｉの酸
化物であるＴiＯXに酸化されている。このようにして得
られたガラス板は、表１の実施例１に示したように、可
視光透過率が６５.３％、日射透過率が４４.９％で、寒
冷地仕様の熱線遮蔽ガラスに比べて日射透過率が１０％
以上少なく、優れた日射熱軽減効果を示すものであっ
た。また、表面抵抗値は熱線遮蔽ガラスの性能を示す放
射率と比例関係にあり、値が小さいほど優れた断熱性能
を持つことを意味するが、このガラス板の表面抵抗値は
３.８３Ω／□で、一般の寒冷地向けの熱線遮蔽ガラス
より約５Ω／□小さく、高い断熱性能を有するものであ
った。
【００２６】さらに、得られたガラス板のガラス面と膜
面の反射色調はニュートラルであり、高い透明感を有し
ていた。なお、得られた熱線遮蔽ガラスの光学特性は、
分光光度計（日立製作所製Ｕ４０００型自記分光光度
計）によって測定した。また、表面抵抗は、四端針抵抗
率測定装置（ＮＡＰＳＯＮ製ＲＴ−８Ｓ型）により測定
した。なお、表１のＲｇはガラス面での反射を表し、Ｒ
ｆは膜面での反射を表す。さらに、表１における各膜組
成での（ ）内の数字は各成分の膜厚を示し、保護金属
層については、酸化物に変換された層と残った金属層と
を合わせた合計の膜厚を（ ）内に示した。
面の反射色調はニュートラルであり、高い透明感を有し
ていた。なお、得られた熱線遮蔽ガラスの光学特性は、
分光光度計（日立製作所製Ｕ４０００型自記分光光度
計）によって測定した。また、表面抵抗は、四端針抵抗
率測定装置（ＮＡＰＳＯＮ製ＲＴ−８Ｓ型）により測定
した。なお、表１のＲｇはガラス面での反射を表し、Ｒ
ｆは膜面での反射を表す。さらに、表１における各膜組
成での（ ）内の数字は各成分の膜厚を示し、保護金属
層については、酸化物に変換された層と残った金属層と
を合わせた合計の膜厚を（ ）内に示した。
【００２７】実施例２〜４ 実施例１と同じターゲットを用い、実施例１と同様な方
法で成膜した。なお、実施例２については第２酸化物層
であるＺｎＯ層の厚みを４０ｎｍに成膜し、実施例３及
び実施例４については全ての層の膜厚を表に示すような
膜厚になるように成膜した。
法で成膜した。なお、実施例２については第２酸化物層
であるＺｎＯ層の厚みを４０ｎｍに成膜し、実施例３及
び実施例４については全ての層の膜厚を表に示すような
膜厚になるように成膜した。
【００２８】実施例５〜７ 実施例１と同様な方法で成膜した。なお、実施例１の方
法と比較して、第２酸化物層をＴｉＯ2層とＺｎＯ層
（最上層）の２層に成膜した。各層の膜厚は表１に示す
通りである。
法と比較して、第２酸化物層をＴｉＯ2層とＺｎＯ層
（最上層）の２層に成膜した。各層の膜厚は表１に示す
通りである。
【００２９】実施例８〜１０ 実施例１と同様な方法で成膜した。なお、実施例１の方
法と比較して、第２酸化物層をＺｎＯ層とＴｉＯ2層
（最上層）の２層に成膜した。各層の膜厚は表１にに示
す通りである。
法と比較して、第２酸化物層をＺｎＯ層とＴｉＯ2層
（最上層）の２層に成膜した。各層の膜厚は表１にに示
す通りである。
【００３０】実施例１１〜１２ 実施例１と同様な方法で成膜した。なお、実施例１の方
法と比較して、第１酸化物層をＺｎＯ層（最下層）とＴ
ｉＯ2の２層に成膜するとともに、第２酸化物層もＺｎ
Ｏ層とＴｉＯ2層の２層に成膜した。各層の膜厚は表１
に示す通りである。
法と比較して、第１酸化物層をＺｎＯ層（最下層）とＴ
ｉＯ2の２層に成膜するとともに、第２酸化物層もＺｎ
Ｏ層とＴｉＯ2層の２層に成膜した。各層の膜厚は表１
に示す通りである。
【００３１】実施例１３ 実施例１と同様な方法で成膜した。なお実施例１と比較
して、第１酸化物層と第２酸化物層はＳｎＯ層とし、保
護金属にはＺｎを用いた。各層の膜厚は表１に示す通り
である。
して、第１酸化物層と第２酸化物層はＳｎＯ層とし、保
護金属にはＺｎを用いた。各層の膜厚は表１に示す通り
である。
【００３２】実施例１４ 実施例１と同様な方法で成膜した。なお、実施例１と比
較して、第１酸化物層はＳｎＯ層とし、第２酸化物層は
ＺｎＯ層とＴｉＯ2層を用いた。各層の膜厚は表１に示
す通りである。
較して、第１酸化物層はＳｎＯ層とし、第２酸化物層は
ＺｎＯ層とＴｉＯ2層を用いた。各層の膜厚は表１に示
す通りである。
【００３３】以上の実施例２〜１４は、可視光線透過率
がいずれも６５％以上と高く、且つ日射透過率が４５％
以下と低く、高い日射熱軽減性能を有し、またガラス面
及び膜面の反射をシルバー乃至淡いブルー色、透過色調
は淡いイエローであり、透明感と同時に優れた意匠性を
有している。
がいずれも６５％以上と高く、且つ日射透過率が４５％
以下と低く、高い日射熱軽減性能を有し、またガラス面
及び膜面の反射をシルバー乃至淡いブルー色、透過色調
は淡いイエローであり、透明感と同時に優れた意匠性を
有している。
【００３４】比較例１〜３ 実施例１と同じターゲットを用い、実施例１と同様な方
法で成膜した。なお、比較例１については第２酸化物層
であるＺｎＯ層の厚みを本発明の範囲外である６５ｎｍ
に成膜し、比較例２はＡｇ層の膜厚を本発明の範囲外で
ある１５ｎｍに成膜し、比較例３はＡｇ層の膜厚を本発
明の範囲外である２０ｎｍに成膜した。
法で成膜した。なお、比較例１については第２酸化物層
であるＺｎＯ層の厚みを本発明の範囲外である６５ｎｍ
に成膜し、比較例２はＡｇ層の膜厚を本発明の範囲外で
ある１５ｎｍに成膜し、比較例３はＡｇ層の膜厚を本発
明の範囲外である２０ｎｍに成膜した。
【００３５】結果、比較例１及び比較例２は日射透過率
が４５％以上であり、日射熱軽減性能が低くかった。比
較例３は膜面の反射の主波長が−５６１ｎｍで、赤味が
かった色調である。
が４５％以上であり、日射熱軽減性能が低くかった。比
較例３は膜面の反射の主波長が−５６１ｎｍで、赤味が
かった色調である。
【００３６】
【表１】
【００３７】
【発明の効果】本発明は、透明ガラス基板上に、第１誘
電体層、Ａｇ層、金属保護層、第２誘電体層の順に形成
した積層体において、各層を特定することにより、高い
可視光透過率と同時に低い日射透過率を実現して高い日
射熱軽減性能をもたせ、また、ガラス面及び膜面の反射
をシルバーないしは淡いブルー色、透過色調を淡いグリ
ーン色にすることで、透明感と同時に優れた意匠性を付
与したものである。さらに、Ａｇ層を１層とし、第１及
び第２の誘電体には反応性スパッタリングで高速成膜が
可能な、ＺｎＯまたはＳｎＯ2を主成分とする酸化物層
を用いることにより、従来の銀２層タイプの低放射ガラ
スよりも高い生産性を持ち、居住性の向上と省エネルギ
ーに寄与する高性能の板ガラスを安価に提供するもので
あり、特に温暖地の夏季用に日射軽減ガラスとして好適
である。
電体層、Ａｇ層、金属保護層、第２誘電体層の順に形成
した積層体において、各層を特定することにより、高い
可視光透過率と同時に低い日射透過率を実現して高い日
射熱軽減性能をもたせ、また、ガラス面及び膜面の反射
をシルバーないしは淡いブルー色、透過色調を淡いグリ
ーン色にすることで、透明感と同時に優れた意匠性を付
与したものである。さらに、Ａｇ層を１層とし、第１及
び第２の誘電体には反応性スパッタリングで高速成膜が
可能な、ＺｎＯまたはＳｎＯ2を主成分とする酸化物層
を用いることにより、従来の銀２層タイプの低放射ガラ
スよりも高い生産性を持ち、居住性の向上と省エネルギ
ーに寄与する高性能の板ガラスを安価に提供するもので
あり、特に温暖地の夏季用に日射軽減ガラスとして好適
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｅ０６Ｂ 9/24 Ｅ０６Ｂ 9/24 Ａ
Claims (6)
- 【請求項１】透明なガラス基板上に銀層を一層介在させ
て被膜を多層に形成してなる積層体において、ガラス基
板と銀層の間に酸化亜鉛または酸化錫を主成分とする膜
厚が１５ｎｍ以上４５ｎｍ以下の第１酸化物層と、その
上層に膜厚が１６ｎｍ以上２０ｎｍ未満の銀層と、銀層
の直上部に膜厚が１ｎｍ以上３ｎｍ以下の保護金属層
と、さらに保護金属層の上層に酸化亜鉛または酸化錫を
主成分とする膜厚が４０ｎｍ以上６０ｎｍ以下の第２酸
化物層をそれぞれ成膜してなる熱線遮蔽ガラス。 - 【請求項２】第１酸化物層、第２酸化物層の少なくとも
何れか１層の一部を膜厚が５ｎｍ以上１０ｎｍ以下のＴ
ｉＯ2層で置換した請求項１記載の熱線遮蔽ガラス。 - 【請求項３】保護金属層はＴｉ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｎ
ｉ、Ｃｒの内から選ばれた少なくとも１種類の金属或い
は該金属を主成分とする合金である請求項１記載の熱線
遮蔽ガラス - 【請求項４】可視光透過率が６５％以上で、且つ日射透
過率が４５％以下の請求項１記載の熱線遮蔽ガラス。 - 【請求項５】透過主波長が５６５ｎｍ〜５７５ｎｍの範
囲で、且つガラス面と膜面の反射主波長が４７０ｎｍ〜
４８５ｎｍの範囲である請求項１または４記載の熱線遮
蔽ガラス。 - 【請求項６】表面抵抗値が２．５〜４．０Ω／□である
請求項１記載の熱線遮蔽ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9298384A JPH11130472A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | 熱線遮蔽ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9298384A JPH11130472A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | 熱線遮蔽ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11130472A true JPH11130472A (ja) | 1999-05-18 |
Family
ID=17859008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9298384A Pending JPH11130472A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | 熱線遮蔽ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11130472A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101820003A (zh) * | 2010-04-27 | 2010-09-01 | 南开大学 | 薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 |
| WO2013047244A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 国立大学法人大阪大学 | 導電層付き基板 |
| CN108975726A (zh) * | 2018-09-30 | 2018-12-11 | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 | 超低反可钢化low-e玻璃 |
-
1997
- 1997-10-30 JP JP9298384A patent/JPH11130472A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101820003A (zh) * | 2010-04-27 | 2010-09-01 | 南开大学 | 薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 |
| WO2013047244A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 国立大学法人大阪大学 | 導電層付き基板 |
| CN108975726A (zh) * | 2018-09-30 | 2018-12-11 | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 | 超低反可钢化low-e玻璃 |
| CN108975726B (zh) * | 2018-09-30 | 2024-02-23 | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 | 超低反可钢化low-e玻璃 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |