JP2000046759A - Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置Info
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- JP2000046759A JP2000046759A JP21083298A JP21083298A JP2000046759A JP 2000046759 A JP2000046759 A JP 2000046759A JP 21083298 A JP21083298 A JP 21083298A JP 21083298 A JP21083298 A JP 21083298A JP 2000046759 A JP2000046759 A JP 2000046759A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線検査において検出すべき元素の情報に関
してより向上した結果を得ることができるＸ線検査方法
およびＸ線検査装置を提供する。 【解決手段】 元素の吸収係数がその元素の吸収端前後
で大きく異なることを利用し、測定試料（３）中の検出
対象となる元素の吸収端の波長より短波長の単色Ｘ線λ
１と長波長の単色Ｘ線λ２を測定試料に照射して得られ
る２種類のＸ線透過データを差分することにより、測定
試料中の検出対象となる元素のみのＸ線透過像を得る。
してより向上した結果を得ることができるＸ線検査方法
およびＸ線検査装置を提供する。 【解決手段】 元素の吸収係数がその元素の吸収端前後
で大きく異なることを利用し、測定試料（３）中の検出
対象となる元素の吸収端の波長より短波長の単色Ｘ線λ
１と長波長の単色Ｘ線λ２を測定試料に照射して得られ
る２種類のＸ線透過データを差分することにより、測定
試料中の検出対象となる元素のみのＸ線透過像を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を用いて対象
物体を検査する方法およびその方法に使用する装置、即
ち、Ｘ線検査方法およびＸ線検査装置に関する。詳しく
は、対象物体中における特定の元素の有無を検出するた
めのＸ線検査方法およびＸ線検査装置に関する。このよ
うな方法および装置は、例えば電子部品等の工業用Ｘ線
非破壊検査、医療用Ｘ線検査等に用いることができる。
物体を検査する方法およびその方法に使用する装置、即
ち、Ｘ線検査方法およびＸ線検査装置に関する。詳しく
は、対象物体中における特定の元素の有無を検出するた
めのＸ線検査方法およびＸ線検査装置に関する。このよ
うな方法および装置は、例えば電子部品等の工業用Ｘ線
非破壊検査、医療用Ｘ線検査等に用いることができる。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子部品等の非破壊検査および人
体内部の臓器撮影にはＸ線が多く用いられている。Ｘ線
による非破壊検査は、Ｘ線を発生して対象物体としての
測定試料に照射するＸ線発生・照射器、測定試料を透過
したＸ線を検出して透過したＸ線に関するデータを生成
するＸ線検出器、およびＸ線検出器により生成された透
過したＸ線に関するデータを処理して画像を形成するデ
ータ処理器を備えたＸ線検査装置を用いて実施される。
体内部の臓器撮影にはＸ線が多く用いられている。Ｘ線
による非破壊検査は、Ｘ線を発生して対象物体としての
測定試料に照射するＸ線発生・照射器、測定試料を透過
したＸ線を検出して透過したＸ線に関するデータを生成
するＸ線検出器、およびＸ線検出器により生成された透
過したＸ線に関するデータを処理して画像を形成するデ
ータ処理器を備えたＸ線検査装置を用いて実施される。
【０００３】この装置を用いて測定試料を検査するに
は、Ｘ線発生・照射器から白色Ｘ線を測定試料に照射
し、透過したＸ線をＸ線検出器で検出し、検出されたデ
ータを処理して測定試料に関するＸ線透過画像を表示す
る。このようなＸ線検査の原理は、Ｘ線の透過の程度が
測定試料を構成する物質の厚さ、物質の種類等によって
異なることに基づくものであり、測定試料内部の欠陥部
または内部に存在する異なる物質の形状、寸法、位置等
を、透過したＸ線に関するデータに対応する画像（いわ
ゆるＸ線透過画像）のコントラストの違いにより測定試
料を破壊することなく知ることができる。
は、Ｘ線発生・照射器から白色Ｘ線を測定試料に照射
し、透過したＸ線をＸ線検出器で検出し、検出されたデ
ータを処理して測定試料に関するＸ線透過画像を表示す
る。このようなＸ線検査の原理は、Ｘ線の透過の程度が
測定試料を構成する物質の厚さ、物質の種類等によって
異なることに基づくものであり、測定試料内部の欠陥部
または内部に存在する異なる物質の形状、寸法、位置等
を、透過したＸ線に関するデータに対応する画像（いわ
ゆるＸ線透過画像）のコントラストの違いにより測定試
料を破壊することなく知ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のような従来のＸ
線検査方法では、Ｘ線発生・照射器から白色Ｘ線を測定
試料に照射して、Ｘ線透過の程度で物質内部の欠陥部ま
たは異なる物質の形状、寸法、位置等を検知することに
関しては、透過画像のコントラストの違いのみに依存し
ている。従って、Ｘ線透過の度合いが似ている周期表で
近接する複数の元素で構成される物質の状態を判別した
り、複雑に入り組んだ構造を持つ、物質の内部の状態を
明らかにすることは極めて困難である。このことを以下
に簡単な例を用いて説明する。
線検査方法では、Ｘ線発生・照射器から白色Ｘ線を測定
試料に照射して、Ｘ線透過の程度で物質内部の欠陥部ま
たは異なる物質の形状、寸法、位置等を検知することに
関しては、透過画像のコントラストの違いのみに依存し
ている。従って、Ｘ線透過の度合いが似ている周期表で
近接する複数の元素で構成される物質の状態を判別した
り、複雑に入り組んだ構造を持つ、物質の内部の状態を
明らかにすることは極めて困難である。このことを以下
に簡単な例を用いて説明する。
【０００５】図１に模式的断面図で示すように、部分
ａ、部分ｂ、部分ｃおよび部分ｄから構成され、それぞ
れの部分は元素Ａ、元素Ｂおよび／または欠陥部（空隙
部）から構成されている厚さ５ｔの測定試料１０におけ
る元素Ａの存在を確認するためにＸ線検査する場合を考
える。図１では、測定試料１０の厚さ方向にＸ線を照射
する。尚、元素ＡのＸ線吸収係数はμAであり、元素Ｂ
のＸ線吸収係数はμBであり、簡単のためにμA＝２μB
であると仮定する。
ａ、部分ｂ、部分ｃおよび部分ｄから構成され、それぞ
れの部分は元素Ａ、元素Ｂおよび／または欠陥部（空隙
部）から構成されている厚さ５ｔの測定試料１０におけ
る元素Ａの存在を確認するためにＸ線検査する場合を考
える。図１では、測定試料１０の厚さ方向にＸ線を照射
する。尚、元素ＡのＸ線吸収係数はμAであり、元素Ｂ
のＸ線吸収係数はμBであり、簡単のためにμA＝２μB
であると仮定する。
【０００６】従って、試料の上部から強度Ｉ0のＸ線を
照射すると、各部分を透過するＸ線の強度Ｉは以下のよ
うに表される： 部分ａ Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（４μBｔ） 部分ｂ Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（μAｔ＋３μBｔ）＝Ｉ0ｅｘｐ（５μBｔ） 部分ｃ Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（５μBｔ） 部分ｄ Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（μAｔ＋２μBｔ）＝Ｉ0ｅｘｐ（４μBｔ） （但し、ｔは、図示するように、測定試料の厚さの１／
５である。）
照射すると、各部分を透過するＸ線の強度Ｉは以下のよ
うに表される： 部分ａ Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（４μBｔ） 部分ｂ Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（μAｔ＋３μBｔ）＝Ｉ0ｅｘｐ（５μBｔ） 部分ｃ Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（５μBｔ） 部分ｄ Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（μAｔ＋２μBｔ）＝Ｉ0ｅｘｐ（４μBｔ） （但し、ｔは、図示するように、測定試料の厚さの１／
５である。）
【０００７】従って、このような各部分における透過し
たＸ線の強度データを処理して、各データに対応する画
像を得ることができる。その画像（透過Ｘ線写真）の例
を図２に模式的に示す（測定試料１０を図１の上から見
た場合の断面に対応する）。明らかなように、部分ａお
よび部分ｄは同じ状態であると判断され、また、部分ｂ
および部分ｃは同じ状態であると判断される。従って、
このような検査方法では、Ｘ線透過写真に基づいて元素
Ａの正確な状態（例えば元素Ａの有無）を特定すること
は不可能である。
たＸ線の強度データを処理して、各データに対応する画
像を得ることができる。その画像（透過Ｘ線写真）の例
を図２に模式的に示す（測定試料１０を図１の上から見
た場合の断面に対応する）。明らかなように、部分ａお
よび部分ｄは同じ状態であると判断され、また、部分ｂ
および部分ｃは同じ状態であると判断される。従って、
このような検査方法では、Ｘ線透過写真に基づいて元素
Ａの正確な状態（例えば元素Ａの有無）を特定すること
は不可能である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するもので、Ｘ線検査において検出すべき元素の情報に
関してより向上した結果を得ることができるＸ線検査方
法及びＸ線検査装置を提供することを目的とする。
するもので、Ｘ線検査において検出すべき元素の情報に
関してより向上した結果を得ることができるＸ線検査方
法及びＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】上記課題を解決するために検討した結果、
元素のＸ線吸収係数がその元素の吸収端の波長を境にし
て長波長側のＸ線と短波長側のＸ線で大きく異なること
を利用することによって、そのような元素を検出対象と
して含む対象物体を検査する場合には、そのような元素
に関して向上した情報を得ることができることを見いだ
した。
元素のＸ線吸収係数がその元素の吸収端の波長を境にし
て長波長側のＸ線と短波長側のＸ線で大きく異なること
を利用することによって、そのような元素を検出対象と
して含む対象物体を検査する場合には、そのような元素
に関して向上した情報を得ることができることを見いだ
した。
【００１０】即ち、本発明は、対象物体としての測定試
料中に存在する検出すべき物質を構成する元素の吸収端
の波長より長波長の単色Ｘ線を測定試料に照射して得ら
れるＸ線透過データ、および吸収端の波長より短波長の
単色Ｘ線を測定試料に照射して得られるＸ線透過データ
である、吸収端を挟む２種類の波長のＸ線についてのＸ
線透過データを差分することにより、測定試料中の検出
すべき物質を構成する元素のみの情報を得る、例えばＸ
線透過像を得るＸ線検査方法を提供する。
料中に存在する検出すべき物質を構成する元素の吸収端
の波長より長波長の単色Ｘ線を測定試料に照射して得ら
れるＸ線透過データ、および吸収端の波長より短波長の
単色Ｘ線を測定試料に照射して得られるＸ線透過データ
である、吸収端を挟む２種類の波長のＸ線についてのＸ
線透過データを差分することにより、測定試料中の検出
すべき物質を構成する元素のみの情報を得る、例えばＸ
線透過像を得るＸ線検査方法を提供する。
【００１１】ここで、この情報とは、例えば検出すべき
物質を構成する元素の測定試料中の有無または測定試料
中の存在位置に関する種々のデータが含まれ、情報を得
るとは、例えば、検出すべき物質を構成する元素の位
置、分布状態を特定できることが含まれる。従って、検
出すべき物質の測定試料における状態を確認することが
できる。より具体的には、２種類のＸ線透過データを差
分した結果を処理して画像にて表示する場合、目視的に
検出すべき物質の測定試料における状態を確認すること
ができる。このようなデータから画像を得るための処
理、いわゆる画像処理が、一般的に行われていることは
周知であり、これ以上の詳細な説明は省略する。即ち、
２種類の波長におけるＸ線透過データを得て、これを差
分することを除いた事項、例えばデータの画像処理につ
いては一般的に実施されている方法を採用できる。尚、
本発明において、検出すべき対象は、測定試料中におけ
る元素そのものであってよい。
物質を構成する元素の測定試料中の有無または測定試料
中の存在位置に関する種々のデータが含まれ、情報を得
るとは、例えば、検出すべき物質を構成する元素の位
置、分布状態を特定できることが含まれる。従って、検
出すべき物質の測定試料における状態を確認することが
できる。より具体的には、２種類のＸ線透過データを差
分した結果を処理して画像にて表示する場合、目視的に
検出すべき物質の測定試料における状態を確認すること
ができる。このようなデータから画像を得るための処
理、いわゆる画像処理が、一般的に行われていることは
周知であり、これ以上の詳細な説明は省略する。即ち、
２種類の波長におけるＸ線透過データを得て、これを差
分することを除いた事項、例えばデータの画像処理につ
いては一般的に実施されている方法を採用できる。尚、
本発明において、検出すべき対象は、測定試料中におけ
る元素そのものであってよい。
【００１２】更に、上述のような２種類の波長の単色Ｘ
線を測定試料に照射して所定方向にスキャンさせて２種
類のＸ線透過データを得、これらのデータを差分するこ
とによりスキャン方向に対して平行な測定試料の断面に
関して検出すべき物質を構成する元素に関する情報を
得、次に、スキャン方向を変えて測定試料の別の断面に
関して検出すべき物質を構成する元素に関する情報を得
る。このような操作を繰り返し、画像処理することによ
り検出される元素が構成する物質の画像を、断面画像、
立体画像等として得ることができる。得られたＸ線透過
データからこのような断面画像、立体画像等を得る方法
自体は既知の画像処理方法を適用できる。
線を測定試料に照射して所定方向にスキャンさせて２種
類のＸ線透過データを得、これらのデータを差分するこ
とによりスキャン方向に対して平行な測定試料の断面に
関して検出すべき物質を構成する元素に関する情報を
得、次に、スキャン方向を変えて測定試料の別の断面に
関して検出すべき物質を構成する元素に関する情報を得
る。このような操作を繰り返し、画像処理することによ
り検出される元素が構成する物質の画像を、断面画像、
立体画像等として得ることができる。得られたＸ線透過
データからこのような断面画像、立体画像等を得る方法
自体は既知の画像処理方法を適用できる。
【００１３】例えば、所定のスキャン幅で異なる波長を
有する２種類の単色Ｘ線を用いて、最初に試料をその幅
方向でスキャンして、次に試料をその厚さ方向でスキャ
ンしてよく、更に、必要であれば、試料をその奥行き方
向でスキャンしてよい。また、試料の表面に沿って試料
の周囲で回転するようにスキャンしてよい。更に、これ
らを適当に組み合わせてもよい。これらのスキャンによ
り得られた透過Ｘ線データを周知の方法で処理して検査
対象の物質を構成する元素の状態をに関する情報、例え
ば画像を表示できる。
有する２種類の単色Ｘ線を用いて、最初に試料をその幅
方向でスキャンして、次に試料をその厚さ方向でスキャ
ンしてよく、更に、必要であれば、試料をその奥行き方
向でスキャンしてよい。また、試料の表面に沿って試料
の周囲で回転するようにスキャンしてよい。更に、これ
らを適当に組み合わせてもよい。これらのスキャンによ
り得られた透過Ｘ線データを周知の方法で処理して検査
対象の物質を構成する元素の状態をに関する情報、例え
ば画像を表示できる。
【００１４】更に、本発明は、Ｘ線発生器、Ｘ線発生器
から照射された白色Ｘ線を単色化して、測定試料中の検
出対象となる物質を構成する元素の吸収端の波長より長
波長の単色Ｘ線と短波長の単色Ｘ線を形成するモノクロ
メータ、および単色化されたＸ線を測定試料に照射し、
測定試料を透過したＸ線を検出して透過Ｘ線に関するデ
ータを発生するＸ線検出器を有して成るＸ線検査装置を
提供する。
から照射された白色Ｘ線を単色化して、測定試料中の検
出対象となる物質を構成する元素の吸収端の波長より長
波長の単色Ｘ線と短波長の単色Ｘ線を形成するモノクロ
メータ、および単色化されたＸ線を測定試料に照射し、
測定試料を透過したＸ線を検出して透過Ｘ線に関するデ
ータを発生するＸ線検出器を有して成るＸ線検査装置を
提供する。
【００１５】この装置は、更に、吸収端の波長より長波
長の単色Ｘ線を測定試料に照射して得たＸ線透過データ
と短波長の単色Ｘ線を測定試料に照射して得たＸ線透過
データを処理して、例えば画像処理して、測定試料中の
検出対象である物質を構成する元素のみの状態に関する
情報、例えば検出対象である物質のＸ線透過像を得るＸ
線透過データ処理器を備えたＸ線検査装置を提供する。
この装置は、画像表示装置を更に有してもよい。
長の単色Ｘ線を測定試料に照射して得たＸ線透過データ
と短波長の単色Ｘ線を測定試料に照射して得たＸ線透過
データを処理して、例えば画像処理して、測定試料中の
検出対象である物質を構成する元素のみの状態に関する
情報、例えば検出対象である物質のＸ線透過像を得るＸ
線透過データ処理器を備えたＸ線検査装置を提供する。
この装置は、画像表示装置を更に有してもよい。
【００１６】本発明において、モノクロメータは、白色
Ｘ線から吸収端を挟んで異なる波長の単色化Ｘ線を発生
する必要がある。そのためには、白色Ｘ線がモノクロメ
ータに入射する角度を変えることができるように、Ｘ線
発生器、モノクロメータおよび測定試料（必要な場合は
測定試料およびＸ線検出器）の少なくとも２つが相対的
に移動できるように配置されていればよい。
Ｘ線から吸収端を挟んで異なる波長の単色化Ｘ線を発生
する必要がある。そのためには、白色Ｘ線がモノクロメ
ータに入射する角度を変えることができるように、Ｘ線
発生器、モノクロメータおよび測定試料（必要な場合は
測定試料およびＸ線検出器）の少なくとも２つが相対的
に移動できるように配置されていればよい。
【００１７】モノクロメータが異なる波長の単色化Ｘ線
を発射する場合、発射される単色化Ｘ線のモノクロメー
タに対する角度が変わるので、モノクロメータからの単
色化Ｘ線が測定試料の同じ箇所を好ましくは同じ角度
（例えば直角）で測定試料に入射するように、測定試料
も相対的に移動できるようになっているのが好ましい。
「相対的に」なる用語は、その要素自体が動く場合の他
に、その要素が動かずに他の要素が動くことによって実
質的にその要素が動いたことに等しくなる場合をも含む
意味で使用している。
を発射する場合、発射される単色化Ｘ線のモノクロメー
タに対する角度が変わるので、モノクロメータからの単
色化Ｘ線が測定試料の同じ箇所を好ましくは同じ角度
（例えば直角）で測定試料に入射するように、測定試料
も相対的に移動できるようになっているのが好ましい。
「相対的に」なる用語は、その要素自体が動く場合の他
に、その要素が動かずに他の要素が動くことによって実
質的にその要素が動いたことに等しくなる場合をも含む
意味で使用している。
【００１８】具体的には、モノクロメータ自体を回転さ
せて、白色Ｘ線の入射角θ１からθ２になるようにす
る。モノクロメータの回転に対応させて測定試料も回転
させて、単色化Ｘ線が常に測定試料の同じ位置で好まし
くは同じ角度（通常直角）で測定試料に当るようにする
（後述する図５参照）。
せて、白色Ｘ線の入射角θ１からθ２になるようにす
る。モノクロメータの回転に対応させて測定試料も回転
させて、単色化Ｘ線が常に測定試料の同じ位置で好まし
くは同じ角度（通常直角）で測定試料に当るようにする
（後述する図５参照）。
【００１９】別の態様では、モノクロメータを固定し
て、Ｘ線発生器および測定試料（必要な場合は測定試料
およびＸ線検出器）を回転できるようにしてよい。更に
別の態様では、測定試料（必要な場合は測定試料および
Ｘ線検出器）を固定してモノクロメータおよびＸ線発生
器を回転できるようにしてもよい。いずれの態様を選択
するかということは、特に限定されるものではないが、
一般的には、それぞれの要素の回転を容易にできるか否
かにより判断することができる。
て、Ｘ線発生器および測定試料（必要な場合は測定試料
およびＸ線検出器）を回転できるようにしてよい。更に
別の態様では、測定試料（必要な場合は測定試料および
Ｘ線検出器）を固定してモノクロメータおよびＸ線発生
器を回転できるようにしてもよい。いずれの態様を選択
するかということは、特に限定されるものではないが、
一般的には、それぞれの要素の回転を容易にできるか否
かにより判断することができる。
【００２０】本発明の別の態様では、上述のような要素
の移動に代えて、Ｘ線発生器と測定試料を結ぶ軸に対し
て垂直な方向にモノクロメータを平行移動することによ
り、白色Ｘ線の入射角画θ１からθ２になるようにす
る。この場合、単色化Ｘ線は、反射角がθ１からθ２に
変わっても、測定試料の常に同じ箇所に当るという利点
がある。尚、単色化Ｘ線が測定試料に当る角度も同じに
するには、測定試料を軸回転できるようにすればよい。
の移動に代えて、Ｘ線発生器と測定試料を結ぶ軸に対し
て垂直な方向にモノクロメータを平行移動することによ
り、白色Ｘ線の入射角画θ１からθ２になるようにす
る。この場合、単色化Ｘ線は、反射角がθ１からθ２に
変わっても、測定試料の常に同じ箇所に当るという利点
がある。尚、単色化Ｘ線が測定試料に当る角度も同じに
するには、測定試料を軸回転できるようにすればよい。
【００２１】本発明の更に別の態様では、２種のモノク
ロメータを用いて、これを入れかえることにより、入射
角が同じであっても異なる波長の単色化Ｘ線を発生でき
るように使用してよい。例えば格子間隔を変えた２種類
の多層膜をモノクロメータとして使用できる。
ロメータを用いて、これを入れかえることにより、入射
角が同じであっても異なる波長の単色化Ｘ線を発生でき
るように使用してよい。例えば格子間隔を変えた２種類
の多層膜をモノクロメータとして使用できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】「発明が解決しようとする課題」
の欄にて用いた２種類の元素ＡおよびＢから構成され、
部分的に欠陥を持つ試料（図１）について考える。一般
的に元素のＸ線吸収係数は、図３に示すように、Ｘ線波
長の関数であり、元素固有の吸収端（波長λ０）で不連
続に大きく変化することが知られている。元素の吸収端
に関しては、ある元素に関して、その吸収端近傍の波長
領域において吸収端波長（λ０）より長波長側と短波長
側でその元素の線吸収係数が大きく変化するが、他の元
素の線吸収係数はほとんど変化しない。
の欄にて用いた２種類の元素ＡおよびＢから構成され、
部分的に欠陥を持つ試料（図１）について考える。一般
的に元素のＸ線吸収係数は、図３に示すように、Ｘ線波
長の関数であり、元素固有の吸収端（波長λ０）で不連
続に大きく変化することが知られている。元素の吸収端
に関しては、ある元素に関して、その吸収端近傍の波長
領域において吸収端波長（λ０）より長波長側と短波長
側でその元素の線吸収係数が大きく変化するが、他の元
素の線吸収係数はほとんど変化しない。
【００２３】（１）最初に、元素Ａが図３に示すような
線吸収特性を有する場合、吸収端波長（λ０）より短波
長の単色Ｘ線（波長λ１）を測定試料に照射した場合、
元素ＡのＸ線吸収係数はμA1であり、元素ＢのＸ線吸収
係数はμB1であると仮定する。
線吸収特性を有する場合、吸収端波長（λ０）より短波
長の単色Ｘ線（波長λ１）を測定試料に照射した場合、
元素ＡのＸ線吸収係数はμA1であり、元素ＢのＸ線吸収
係数はμB1であると仮定する。
【００２４】従って、試料の上部からＸ線（強度Ｉ01）
を照射すると、透過するＸ線の強度（Ｉ1）は以下のよ
うになる： 部分ａ Ｉ1＝Ｉ01ｅｘｐ（４μB1ｔ） 部分ｂ Ｉ1＝Ｉ01ｅｘｐ（μA1ｔ＋３μBｔ） 部分ｃ Ｉ1＝Ｉ01ｅｘｐ（５μB1ｔ） 部分ｄ Ｉ1＝Ｉ01ｅｘｐ（μA1ｔ＋２μBｔ） （但し、ｔは、図示するように、試料の厚さの１／５で
ある。）
を照射すると、透過するＸ線の強度（Ｉ1）は以下のよ
うになる： 部分ａ Ｉ1＝Ｉ01ｅｘｐ（４μB1ｔ） 部分ｂ Ｉ1＝Ｉ01ｅｘｐ（μA1ｔ＋３μBｔ） 部分ｃ Ｉ1＝Ｉ01ｅｘｐ（５μB1ｔ） 部分ｄ Ｉ1＝Ｉ01ｅｘｐ（μA1ｔ＋２μBｔ） （但し、ｔは、図示するように、試料の厚さの１／５で
ある。）
【００２５】（２）次に、吸収端より長波長の単色Ｘ線
（波長λ２）を測定試料に照射した場合、元素ＡのＸ線
吸収係数はμA2であり、元素ＢのＸ線吸収係数はμB2で
あると仮定する。従って、試料の上部からＸ線（強度Ｉ
02）を照射すると、透過するＸ線の強度（Ｉ2）は以下
のようになる： 部分ａ Ｉ2＝Ｉ02ｅｘｐ（４μB2ｔ） 部分ｂ Ｉ2＝Ｉ02ｅｘｐ（μA2ｔ＋３μB2ｔ） 部分ｃ Ｉ2＝Ｉ02ｅｘｐ（５μB2ｔ） 部分ｄ Ｉ2＝Ｉ02ｅｘｐ（μA2ｔ＋２μB2ｔ） （但し、ｔは、図示するように、試料の厚さの１／５で
ある。）
（波長λ２）を測定試料に照射した場合、元素ＡのＸ線
吸収係数はμA2であり、元素ＢのＸ線吸収係数はμB2で
あると仮定する。従って、試料の上部からＸ線（強度Ｉ
02）を照射すると、透過するＸ線の強度（Ｉ2）は以下
のようになる： 部分ａ Ｉ2＝Ｉ02ｅｘｐ（４μB2ｔ） 部分ｂ Ｉ2＝Ｉ02ｅｘｐ（μA2ｔ＋３μB2ｔ） 部分ｃ Ｉ2＝Ｉ02ｅｘｐ（５μB2ｔ） 部分ｄ Ｉ2＝Ｉ02ｅｘｐ（μA2ｔ＋２μB2ｔ） （但し、ｔは、図示するように、試料の厚さの１／５で
ある。）
【００２６】ここで、吸収端は元素Ａに固有のものであ
り、元素Ａの吸収端の両側の波長λ１またはλ２を有す
る単色Ｘ線を使用しているので、元素Ｂの吸収係数は両
波長λ１およびλ２において大差なく、μＢ1＝μＢ2と
してよい。また、通常、Ｉ01＝Ｉ02＝Ｉ0である。
り、元素Ａの吸収端の両側の波長λ１またはλ２を有す
る単色Ｘ線を使用しているので、元素Ｂの吸収係数は両
波長λ１およびλ２において大差なく、μＢ1＝μＢ2と
してよい。また、通常、Ｉ01＝Ｉ02＝Ｉ0である。
【００２７】これらの２種類のＸ線を照射することによ
り得られるＸ線透過データを画像処理して得られる画像
は、上記Ｉ1およびＩ2に対応する画像であり、各部分の
Ｉ1およびＩ2の大きさに応じて例えばコントラストの差
として画像を表現できる。その画像をＩ1に付いては図
４（ａ）に、また、Ｉ2に付いては図４（ｂ）に模式的
に示している。
り得られるＸ線透過データを画像処理して得られる画像
は、上記Ｉ1およびＩ2に対応する画像であり、各部分の
Ｉ1およびＩ2の大きさに応じて例えばコントラストの差
として画像を表現できる。その画像をＩ1に付いては図
４（ａ）に、また、Ｉ2に付いては図４（ｂ）に模式的
に示している。
【００２８】（３）次に、得られた２種類の画像データ
を差分する。即ち、Ｉ1−Ｉ2を計算する： 部分ａ Ｉ1−Ｉ2＝０ 部分ｂ Ｉ1−Ｉ2＝Ｉ0ｅｘｐ（μA1ｔ−μA2ｔ） 部分ｃ Ｉ1−Ｉ2＝０ 部分ｄ Ｉ1−Ｉ2＝Ｉ0ｅｘｐ（μA1ｔ−μA2ｔ） 明らかなように、元素Ａが存在する部分のみ画像データ
が得られ、元素Ａが存在しない部分については、データ
が相殺されるので画像データは得られない。このＩ1−
Ｉ2に対応する画像を図４（ｃ）に模式的に示してい
る。
を差分する。即ち、Ｉ1−Ｉ2を計算する： 部分ａ Ｉ1−Ｉ2＝０ 部分ｂ Ｉ1−Ｉ2＝Ｉ0ｅｘｐ（μA1ｔ−μA2ｔ） 部分ｃ Ｉ1−Ｉ2＝０ 部分ｄ Ｉ1−Ｉ2＝Ｉ0ｅｘｐ（μA1ｔ−μA2ｔ） 明らかなように、元素Ａが存在する部分のみ画像データ
が得られ、元素Ａが存在しない部分については、データ
が相殺されるので画像データは得られない。このＩ1−
Ｉ2に対応する画像を図４（ｃ）に模式的に示してい
る。
【００２９】明らかなように、検出すべき元素Ａが存在
する部分ｂおよび部分ｄが、元素Ａが存在しない部分ａ
および部分ｃから区別されている。即ち、本発明のよう
に、検出すべき元素の吸収端を挟んで異なる２種類の波
長の単色化Ｘ線を用いてＸ線透過データを得、これらの
データを差分することにより、その元素のみの状態を確
認することができる。元素の吸収端は、いずれの波長領
域にあってもよいが、一般的には１〜４Å程度の範囲に
吸収端が存在するのが好ましい。それは、１Åより短い
波長を良好に分光できる適当なモノクロメーターが少な
いこと、また、波長が４Åより大きくなるとＸ線強度が
小さくなり、Ｘ線が透過しにくいからである。
する部分ｂおよび部分ｄが、元素Ａが存在しない部分ａ
および部分ｃから区別されている。即ち、本発明のよう
に、検出すべき元素の吸収端を挟んで異なる２種類の波
長の単色化Ｘ線を用いてＸ線透過データを得、これらの
データを差分することにより、その元素のみの状態を確
認することができる。元素の吸収端は、いずれの波長領
域にあってもよいが、一般的には１〜４Å程度の範囲に
吸収端が存在するのが好ましい。それは、１Åより短い
波長を良好に分光できる適当なモノクロメーターが少な
いこと、また、波長が４Åより大きくなるとＸ線強度が
小さくなり、Ｘ線が透過しにくいからである。
【００３０】吸収端の波長（λ０）とλ１またはλ２と
の差は、検出すべき元素のＸ線透過係数の特性に応じて
適当に選択できる。一般的には吸収端の波長に近い波長
を選択すると、吸収係数の差が大きいので好ましい。例
えば、以下の範囲のλ１およびλ２を選択できる：
の差は、検出すべき元素のＸ線透過係数の特性に応じて
適当に選択できる。一般的には吸収端の波長に近い波長
を選択すると、吸収係数の差が大きいので好ましい。例
えば、以下の範囲のλ１およびλ２を選択できる：
【００３１】 検出すべき元素 λ０（Å） λ１（Å） λ２（Å） Ａｕ １．０４０３ ０．９９ １．０９ Ｃｕ １．３８０ １．３３ １．４３ Ｆｅ １．７４３ １．７０ １．７９ Ｃａ ３．０７０２ ３．０３ ３．１１ Ａｇ ３．６７２９ ３．６３ ３．７１
【００３２】尚、元素が有する吸収端は必ずしも１つで
はなく、複数存在する場合が多い。従って、測定試料が
検出すべき元素の他に、周期律表においてその元素に近
接する他の元素を含む場合において、複数の吸収端の
内、他の元素の線透過係数の変化が大きくない波長領域
に存在する吸収端を使用するのが好ましい。
はなく、複数存在する場合が多い。従って、測定試料が
検出すべき元素の他に、周期律表においてその元素に近
接する他の元素を含む場合において、複数の吸収端の
内、他の元素の線透過係数の変化が大きくない波長領域
に存在する吸収端を使用するのが好ましい。
【００３３】また、場合により、異なる２種類の波長λ
1およびλ2を使用する場合において、Ｉ0が異なる（Ｉ
01≠Ｉ02）場合には、Ｘ線透過強度を入射Ｘ線強度によ
り規格化した（即ち、Ｉ1／Ｉ01およびＩ2／Ｉ02を算出
する）データを用いて差分すればよい。本発明において
は、このようにデータを規格化してから差分する場合
も、差分することに含めている。
1およびλ2を使用する場合において、Ｉ0が異なる（Ｉ
01≠Ｉ02）場合には、Ｘ線透過強度を入射Ｘ線強度によ
り規格化した（即ち、Ｉ1／Ｉ01およびＩ2／Ｉ02を算出
する）データを用いて差分すればよい。本発明において
は、このようにデータを規格化してから差分する場合
も、差分することに含めている。
【００３４】このように、元素Ａの吸収端より短波長の
単色Ｘ線（波長λ１）と長波長の単色Ｘ線（波長λ２）
の強度差が大きい場合は、測定試料に照射されるＸ線の
強度（Ｉ0）が大きく異なる場合がある。その場合、例
えば、モノクロメータと測定試料との間に測定試料に入
射するＸ線強度をモニターする別のＸ線検出器を用い
る。この検出器として、透過型プロポーショナルカウン
ター、透過型イオンチャンバーあるいは金属箔やポリマ
ー箔からのＸ線散乱モニターが使用できる。先に説明し
たように、この検出器で検出した、測定試料に入射する
Ｘ線強度で測定試料を透過したＸ線強度を規格化するこ
とにより、λ１とλ２が大きく異なる場合でも精度良く
元素ＡのみのＸ線透過データを、従って、精度の良い画
像を得ることができる。
単色Ｘ線（波長λ１）と長波長の単色Ｘ線（波長λ２）
の強度差が大きい場合は、測定試料に照射されるＸ線の
強度（Ｉ0）が大きく異なる場合がある。その場合、例
えば、モノクロメータと測定試料との間に測定試料に入
射するＸ線強度をモニターする別のＸ線検出器を用い
る。この検出器として、透過型プロポーショナルカウン
ター、透過型イオンチャンバーあるいは金属箔やポリマ
ー箔からのＸ線散乱モニターが使用できる。先に説明し
たように、この検出器で検出した、測定試料に入射する
Ｘ線強度で測定試料を透過したＸ線強度を規格化するこ
とにより、λ１とλ２が大きく異なる場合でも精度良く
元素ＡのみのＸ線透過データを、従って、精度の良い画
像を得ることができる。
【００３５】Ｘ線発生器としては、例えばＸ線管を用い
ることができる。本発明では、特性Ｘ線ではなく、白色
Ｘ線を単色化して利用できるため、強度のより強いＸ線
を発生できる回転対陰極のＸ線管を用いるのが好まし
い。Ｘ線管の管電圧は、検出したい元素の吸収端波長よ
り短波長のＸ線を発生できれば良いが、白色Ｘ線の最大
強度を示す波長と吸収端波長が同じになるように設定す
るのが好ましい。
ることができる。本発明では、特性Ｘ線ではなく、白色
Ｘ線を単色化して利用できるため、強度のより強いＸ線
を発生できる回転対陰極のＸ線管を用いるのが好まし
い。Ｘ線管の管電圧は、検出したい元素の吸収端波長よ
り短波長のＸ線を発生できれば良いが、白色Ｘ線の最大
強度を示す波長と吸収端波長が同じになるように設定す
るのが好ましい。
【００３６】Ｘ線管のターゲットとして、材質は特に限
定されない。しかし、強度の強い白色Ｘ線を必要とする
ため、原子番号の大きい元素、例えばモリブテン、タン
グステン、金、ロジュウムなどを用いるのが好ましい。
定されない。しかし、強度の強い白色Ｘ線を必要とする
ため、原子番号の大きい元素、例えばモリブテン、タン
グステン、金、ロジュウムなどを用いるのが好ましい。
【００３７】モノクロメータは、検出したい元素の吸収
端波長近傍の波長のＸ線に単色化できる格子定数を持つ
ものであればよく、通常のＸ線用モノクロメータを使用
できる。例えば、検出したい元素の吸収端が約１〜４Å
あれば、グラファイト（００２）（格子定数２ｄ＝６．
７２Å）、シリコン（１１１）（格子定数２ｄ＝６．２
７Å）、フッ化リチウム（２００）（格子定数２ｄ＝
４．０３Å）、フッ化リチウム（２２０）（格子定数２
ｄ＝２．８５Å）、フッ化リチウム（４２０）（格子定
数２ｄ＝１．８０Å）、ゲルマニウム（１１１）（格子
定数２ｄ＝６．５３Å）、ＩｎＳｂ（１１１）（格子定
数２ｄ＝７．４８Å）等を使用することができる。ま
た、単色化したい波長に応じて多層膜（例えばカーボン
と金との多層膜）を用いることもできる。一般的には、
反射強度を考慮すると、グラファイト（００２）を用い
るのが好ましく、分解能および平行性を考慮すると、Ｓ
ｉ（１１１）を使用するのが好ましい。
端波長近傍の波長のＸ線に単色化できる格子定数を持つ
ものであればよく、通常のＸ線用モノクロメータを使用
できる。例えば、検出したい元素の吸収端が約１〜４Å
あれば、グラファイト（００２）（格子定数２ｄ＝６．
７２Å）、シリコン（１１１）（格子定数２ｄ＝６．２
７Å）、フッ化リチウム（２００）（格子定数２ｄ＝
４．０３Å）、フッ化リチウム（２２０）（格子定数２
ｄ＝２．８５Å）、フッ化リチウム（４２０）（格子定
数２ｄ＝１．８０Å）、ゲルマニウム（１１１）（格子
定数２ｄ＝６．５３Å）、ＩｎＳｂ（１１１）（格子定
数２ｄ＝７．４８Å）等を使用することができる。ま
た、単色化したい波長に応じて多層膜（例えばカーボン
と金との多層膜）を用いることもできる。一般的には、
反射強度を考慮すると、グラファイト（００２）を用い
るのが好ましく、分解能および平行性を考慮すると、Ｓ
ｉ（１１１）を使用するのが好ましい。
【００３８】また、単色化したいＸ線の波長が短い（例
えば０．１Å以下）場合には、例えばＳｉ（３１１）、
Ｓｉ（５５３）などを使用できる。また、単色化したい
Ｘ線の波長が長い（例えば１０Å以上）場合には、例え
ばＫＡＰ［フタル酸水素カリウム（ＫＨＣ8Ｈ4Ｏ4）］
（００１）（格子定数２ｄ＝２６．６４Å）、多層膜、
回折格子を使用できる。
えば０．１Å以下）場合には、例えばＳｉ（３１１）、
Ｓｉ（５５３）などを使用できる。また、単色化したい
Ｘ線の波長が長い（例えば１０Å以上）場合には、例え
ばＫＡＰ［フタル酸水素カリウム（ＫＨＣ8Ｈ4Ｏ4）］
（００１）（格子定数２ｄ＝２６．６４Å）、多層膜、
回折格子を使用できる。
【００３９】Ｘ線検出器として、デジタル処理のできる
検出器、例えばイメージングプレート、Ｘ線ＣＣＤカメ
ラを使用することができる。本発明の方法の実施に際し
て使用する装置としては、吸収端波長の両側でその波長
に近い波長を有する単色化Ｘ線を発生させることを除い
て、Ｘ線発生器、モノクロメータ、Ｘ線検出器、データ
処理器等に関しては、通常のＸ線分析に使用されている
既知の装置を使用することができる。
検出器、例えばイメージングプレート、Ｘ線ＣＣＤカメ
ラを使用することができる。本発明の方法の実施に際し
て使用する装置としては、吸収端波長の両側でその波長
に近い波長を有する単色化Ｘ線を発生させることを除い
て、Ｘ線発生器、モノクロメータ、Ｘ線検出器、データ
処理器等に関しては、通常のＸ線分析に使用されている
既知の装置を使用することができる。
【００４０】上述のように構成したＸ線検査装置を用い
て、図１に示すようなＡおよびＢの２種類の元素で構成
され、部分的に欠陥部を持つ測定試料中の元素Ａの状態
を確認するためのＸ線検査は、例えば次のように実施で
きる。
て、図１に示すようなＡおよびＢの２種類の元素で構成
され、部分的に欠陥部を持つ測定試料中の元素Ａの状態
を確認するためのＸ線検査は、例えば次のように実施で
きる。
【００４１】Ｘ線発生器より照射された白色Ｘ線をモノ
クロメータにより検出対象である元素Ａの吸収端波長よ
り短波長λ１のＸ線に単色化する。その単色化されたＸ
線を測定試料に照射し、測定試料を透過するＸ線をＸ線
検出器で検出して透過Ｘ線に関するデータを得、それを
データ処理器に送り蓄積する。
クロメータにより検出対象である元素Ａの吸収端波長よ
り短波長λ１のＸ線に単色化する。その単色化されたＸ
線を測定試料に照射し、測定試料を透過するＸ線をＸ線
検出器で検出して透過Ｘ線に関するデータを得、それを
データ処理器に送り蓄積する。
【００４２】次に、Ｘ線発生器、モノクロメータ、なら
びに測定試料およびＸ線検出器の３者から選択される２
つ、通常、比較的容易に移動できるものを回転させ、Ｘ
線発生器から照射された白色Ｘ線を元素Ａの吸収端波長
より長波長λ２の単色Ｘ線に単色化し、測定試料に照射
する。測定試料を透過するＸ線をＸ線検出器で検出して
透過Ｘ線に関するデータを得、それをデータ処理器に送
り蓄積する。波長λ１の場合のデータおよび波長λ２の
場合のデータをデータ処理器にて差分処理して、検出対
象である元素Ａだけの情報を得ることができる。
びに測定試料およびＸ線検出器の３者から選択される２
つ、通常、比較的容易に移動できるものを回転させ、Ｘ
線発生器から照射された白色Ｘ線を元素Ａの吸収端波長
より長波長λ２の単色Ｘ線に単色化し、測定試料に照射
する。測定試料を透過するＸ線をＸ線検出器で検出して
透過Ｘ線に関するデータを得、それをデータ処理器に送
り蓄積する。波長λ１の場合のデータおよび波長λ２の
場合のデータをデータ処理器にて差分処理して、検出対
象である元素Ａだけの情報を得ることができる。
【００４３】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）本発明に基づい
てＸ線検査を実施する１つの態様の基本構成をブロック
図で模式的に図５に示す。図５に示す態様では、Ｘ線発
生器１から照射された白色Ｘ線は、入射角θ１でモノク
ロメータ２に入射して、モノクロメータ２により単色化
される（例えば波長λ１）。単色化されたＸ線は測定試
料３に照射され、測定試料を透過したＸ線はＸ線検出器
４により検出される。検出された画像はデータ処理器５
で画像処理され、表示部６に表示される。
てＸ線検査を実施する１つの態様の基本構成をブロック
図で模式的に図５に示す。図５に示す態様では、Ｘ線発
生器１から照射された白色Ｘ線は、入射角θ１でモノク
ロメータ２に入射して、モノクロメータ２により単色化
される（例えば波長λ１）。単色化されたＸ線は測定試
料３に照射され、測定試料を透過したＸ線はＸ線検出器
４により検出される。検出された画像はデータ処理器５
で画像処理され、表示部６に表示される。
【００４４】尚、本発明では、単色化Ｘ線の測定試料へ
の入射方向の延長線上に検出すべき元素が存在するか否
かを測定することになる。従って、測定試料に照射され
る単色化Ｘ線の波長が異なる場合であっても、単色化Ｘ
線の測定試料に対する入射点および好ましくは入射角は
同じであるのが好ましい。一般的に、測定試料に照射さ
れる単色化Ｘ線の波長が異なる場合であっても、単色化
Ｘ線の測定試料に対する入射点は同じであり、入射角は
９０°であるのがより好ましい。例えばθ１およびθ２
が大きく異ならない場合には、入射点のみが保持される
ように、測定試料を保持しても実用上は差し支えない場
合がある。
の入射方向の延長線上に検出すべき元素が存在するか否
かを測定することになる。従って、測定試料に照射され
る単色化Ｘ線の波長が異なる場合であっても、単色化Ｘ
線の測定試料に対する入射点および好ましくは入射角は
同じであるのが好ましい。一般的に、測定試料に照射さ
れる単色化Ｘ線の波長が異なる場合であっても、単色化
Ｘ線の測定試料に対する入射点は同じであり、入射角は
９０°であるのがより好ましい。例えばθ１およびθ２
が大きく異ならない場合には、入射点のみが保持される
ように、測定試料を保持しても実用上は差し支えない場
合がある。
【００４５】図示した態様では、モノクロメータ２は、
それに入射する白色Ｘ線の入射角をθ１からθ２に変え
ることにより異なる波長（例えばλ２）の単色化Ｘ線を
得ることができるように回転可能である（矢印Ａ参
照）。例えば、照射される白色Ｘ線に対してモノクロメ
ータ２の反射面の角度を変えることができるように軸回
転可能である。
それに入射する白色Ｘ線の入射角をθ１からθ２に変え
ることにより異なる波長（例えばλ２）の単色化Ｘ線を
得ることができるように回転可能である（矢印Ａ参
照）。例えば、照射される白色Ｘ線に対してモノクロメ
ータ２の反射面の角度を変えることができるように軸回
転可能である。
【００４６】更に、波長λ２の単色化Ｘ線が測定試料３
の実質的に同じ位置において同じ角度で入射するように
測定試料３も（必要な場合にはＸ線検出器４と一緒に）
回転可能である（矢印Ｂ参照）。例えば、モノクロメー
タ２への白色Ｘ線の入射点Ｏを中心として、測定試料３
とＸ線検出器４を矢印Ｂのように回転させることにより
行う。尚、この場合において、Ｘ線発生器１は固定され
ていてよく、白色Ｘ線を発生してモノクロメータ２に向
かって照射する。
の実質的に同じ位置において同じ角度で入射するように
測定試料３も（必要な場合にはＸ線検出器４と一緒に）
回転可能である（矢印Ｂ参照）。例えば、モノクロメー
タ２への白色Ｘ線の入射点Ｏを中心として、測定試料３
とＸ線検出器４を矢印Ｂのように回転させることにより
行う。尚、この場合において、Ｘ線発生器１は固定され
ていてよく、白色Ｘ線を発生してモノクロメータ２に向
かって照射する。
【００４７】別の態様では、モノクロメータ２を固定し
て、Ｘ線発生器１と測定試料３（および必要な場合には
Ｘ線検出器４）が回転可能であってもよい。この態様に
おいても、白色Ｘ線のモノクロメータに入射する角度を
変えることができ、別の波長λ２の単色化Ｘ線を得るこ
とができる。
て、Ｘ線発生器１と測定試料３（および必要な場合には
Ｘ線検出器４）が回転可能であってもよい。この態様に
おいても、白色Ｘ線のモノクロメータに入射する角度を
変えることができ、別の波長λ２の単色化Ｘ線を得るこ
とができる。
【００４８】更に別の態様では、測定試料３およびＸ線
測定器４を固定して、Ｘ線発生器１とＸ線検出器４が回
転可能であってもよい。この態様においても、白色Ｘ線
のモノクロメータに入射する角度をθ１からθ２に変え
ることができ、別の波長λ２の単色化Ｘ線を得ることが
できる。
測定器４を固定して、Ｘ線発生器１とＸ線検出器４が回
転可能であってもよい。この態様においても、白色Ｘ線
のモノクロメータに入射する角度をθ１からθ２に変え
ることができ、別の波長λ２の単色化Ｘ線を得ることが
できる。
【００４９】従って、測定装置を構成するＸ線発生器
１、モノクロメータ２および測定試料３（Ｘ線検出器４
を含んでよい）の３つの内の少なくともいずれか２つを
回転可能にしておけば、モノクロメータに入射する白色
Ｘ線の入射角をθ１からθ２に変えることができ、それ
により、同じモノクロメータを使用する場合でも、異な
る波長の単色化Ｘ線（λ１およびλ２）を得ることがで
きる。この場合、異なる波長の単色化Ｘ線のモノクロメ
ータからの出射角は異なるので、測定試料３を固定して
おくと、測定試料への単色Ｘ線の入射の位置および角度
が変わるので、これらが変わらないようにするために、
同じモノクロメータを使用する場合には、測定試料（Ｘ
線測定器を含んでよい）も対応して相対的に回転可能と
なるようにするのが好ましい。
１、モノクロメータ２および測定試料３（Ｘ線検出器４
を含んでよい）の３つの内の少なくともいずれか２つを
回転可能にしておけば、モノクロメータに入射する白色
Ｘ線の入射角をθ１からθ２に変えることができ、それ
により、同じモノクロメータを使用する場合でも、異な
る波長の単色化Ｘ線（λ１およびλ２）を得ることがで
きる。この場合、異なる波長の単色化Ｘ線のモノクロメ
ータからの出射角は異なるので、測定試料３を固定して
おくと、測定試料への単色Ｘ線の入射の位置および角度
が変わるので、これらが変わらないようにするために、
同じモノクロメータを使用する場合には、測定試料（Ｘ
線測定器を含んでよい）も対応して相対的に回転可能と
なるようにするのが好ましい。
【００５０】（実施の形態２）図６は、本発明を実施す
る別の態様に使用するＸ線検査装置の基本構成を示すブ
ロック図である。図６において、Ｘ線検査装置を構成す
るＸ線発生器１、モノクロメータ２、測定試料３、Ｘ線
検出器４、データ処理器５および表示部６は実施の形態
１で示した図５と同様であるが、Ｘ線発生器１から照射
された白色Ｘ線を単色化する方法が異なる。
る別の態様に使用するＸ線検査装置の基本構成を示すブ
ロック図である。図６において、Ｘ線検査装置を構成す
るＸ線発生器１、モノクロメータ２、測定試料３、Ｘ線
検出器４、データ処理器５および表示部６は実施の形態
１で示した図５と同様であるが、Ｘ線発生器１から照射
された白色Ｘ線を単色化する方法が異なる。
【００５１】図６においては、Ｘ線発生器１と測定試料
３を結ぶ軸（破線にて示す）に対して垂直な方向に矢印
Ｃで示すように、モノクロメータ２を平行移動すること
により、白色Ｘ線のモノクロメータへの入射角をθ１か
らθ２に変えることにより、波長λ１の単色Ｘ線および
波長λ２の単色Ｘ線を得ることができる。
３を結ぶ軸（破線にて示す）に対して垂直な方向に矢印
Ｃで示すように、モノクロメータ２を平行移動すること
により、白色Ｘ線のモノクロメータへの入射角をθ１か
らθ２に変えることにより、波長λ１の単色Ｘ線および
波長λ２の単色Ｘ線を得ることができる。
【００５２】例えば、モノクロメータ２を白色Ｘ線の入
射角がθ１となって波長λ１の単色Ｘ線の得られる位置
へ配置し、波長λ１の場合のＸ線透過データを得る（図
６の上部の配置）。その後、波長λ２の単色Ｘ線が得ら
れるようにＸ線発生装置１と測定試料３を結ぶ軸に対し
て垂直な方向に矢印Ｃで示すようにモノクロメータ２を
平行移動して入射角がθ２となるようにし、波長λ２の
場合のＸ線透過データを得る（図６の下部の配置）。そ
の際、測定試料３に照射する波長λ２の単色Ｘ線が測定
試料３に対して照射される位置および好ましくは角度
が、波長λ１の単色Ｘ線の場合と同じになるようにす
る。例えば、矢印Ｄで示すように、モノクロメータ２へ
の白色Ｘ線の入射点Ｏを中心として、測定試料３とＸ線
検出器４を回転させることにより行う。
射角がθ１となって波長λ１の単色Ｘ線の得られる位置
へ配置し、波長λ１の場合のＸ線透過データを得る（図
６の上部の配置）。その後、波長λ２の単色Ｘ線が得ら
れるようにＸ線発生装置１と測定試料３を結ぶ軸に対し
て垂直な方向に矢印Ｃで示すようにモノクロメータ２を
平行移動して入射角がθ２となるようにし、波長λ２の
場合のＸ線透過データを得る（図６の下部の配置）。そ
の際、測定試料３に照射する波長λ２の単色Ｘ線が測定
試料３に対して照射される位置および好ましくは角度
が、波長λ１の単色Ｘ線の場合と同じになるようにす
る。例えば、矢印Ｄで示すように、モノクロメータ２へ
の白色Ｘ線の入射点Ｏを中心として、測定試料３とＸ線
検出器４を回転させることにより行う。
【００５３】尚、このような測定試料およびＸ線検出器
４の移動は、波長が異なることにより生じる測定試料の
Ｘ線照射状態（位置および角度）の変化が測定結果に与
える影響を実質的に無視できるほどに小さい場合には、
移動を省略することも可能である。このようにして得た
波長λ１の単色Ｘ線によるＸ線透過データと波長λ２の
単色Ｘ線によるＸ線透過データとを差分することによ
り、検出対象である元素Ａのみの状態に関する情報とし
てＸ線透過像を得ることができる。
４の移動は、波長が異なることにより生じる測定試料の
Ｘ線照射状態（位置および角度）の変化が測定結果に与
える影響を実質的に無視できるほどに小さい場合には、
移動を省略することも可能である。このようにして得た
波長λ１の単色Ｘ線によるＸ線透過データと波長λ２の
単色Ｘ線によるＸ線透過データとを差分することによ
り、検出対象である元素Ａのみの状態に関する情報とし
てＸ線透過像を得ることができる。
【００５４】（実施の形態３）図７は、本発明を実施す
る更に別の態様に使用するＸ線検査装置の基本構成を示
すブロック図である。図７において、Ｘ線発生器１、測
定試料３、Ｘ線検出器４、データ処理器５、表示部６は
実施の形態２で示した図５と同様であるが、波長λ１と
λ２の２種の単色化Ｘ線を得るため、２種のモノクロメ
ータ２−１および２−２を装備している。この２種のモ
ノクロメータはそれぞれ同じＸ線の入射角θで波長λ１
とλ２の単色Ｘ線が得られるような格子間隔をもつもの
で、このようなモノクロメータとして例えば多層膜が用
いられる。
る更に別の態様に使用するＸ線検査装置の基本構成を示
すブロック図である。図７において、Ｘ線発生器１、測
定試料３、Ｘ線検出器４、データ処理器５、表示部６は
実施の形態２で示した図５と同様であるが、波長λ１と
λ２の２種の単色化Ｘ線を得るため、２種のモノクロメ
ータ２−１および２−２を装備している。この２種のモ
ノクロメータはそれぞれ同じＸ線の入射角θで波長λ１
とλ２の単色Ｘ線が得られるような格子間隔をもつもの
で、このようなモノクロメータとして例えば多層膜が用
いられる。
【００５５】具体的には、波長λ１の単色Ｘ線が得るた
めモノクロメータ２−１を配置してＸ線透過データを得
る。その後、波長λ２の単色Ｘ線を得るため、モノクロ
メータ２−１と同じ位置にモノクロメータ２−２を配置
し、Ｘ線透過データを得る。これらのデータを差分する
ことにより検出対象である元素ＡのみのＸ線透過像を得
ることができる。この場合では、測定試料３およびＸ線
検出器４の位置を変更する必要がないという利点があ
る。
めモノクロメータ２−１を配置してＸ線透過データを得
る。その後、波長λ２の単色Ｘ線を得るため、モノクロ
メータ２−１と同じ位置にモノクロメータ２−２を配置
し、Ｘ線透過データを得る。これらのデータを差分する
ことにより検出対象である元素ＡのみのＸ線透過像を得
ることができる。この場合では、測定試料３およびＸ線
検出器４の位置を変更する必要がないという利点があ
る。
【００５６】
【実施例】次に、本発明を実施例により具体的に説明す
る。 （実施例１）図５に示したＸ線検査装置を用いて、ＩＣ
内部の電極接合部のＸ線検査を行った。Ｘ線発生器１と
して、タングステンターゲットの回転対陰極型Ｘ線発生
装置を用いた。最大管電圧は１００ＫＶ、最大管電流は
１０ｍＡである。モノクロメータ２としてはグラファイ
ト（００２）を、Ｘ線検出器としてはイメージングプレ
ートを使用した。測定試料３であるＩＣにおいては金バ
ンプと金ワイヤーが接続されており、その外部は樹脂で
モールドされているため、金バンプと金ワイヤーとの接
続状態を外部から確認することはできない。この接続状
態を本発明に基づいて検査した。
る。 （実施例１）図５に示したＸ線検査装置を用いて、ＩＣ
内部の電極接合部のＸ線検査を行った。Ｘ線発生器１と
して、タングステンターゲットの回転対陰極型Ｘ線発生
装置を用いた。最大管電圧は１００ＫＶ、最大管電流は
１０ｍＡである。モノクロメータ２としてはグラファイ
ト（００２）を、Ｘ線検出器としてはイメージングプレ
ートを使用した。測定試料３であるＩＣにおいては金バ
ンプと金ワイヤーが接続されており、その外部は樹脂で
モールドされているため、金バンプと金ワイヤーとの接
続状態を外部から確認することはできない。この接続状
態を本発明に基づいて検査した。
【００５７】実施の形態１で述べたＸ線検査方法により
Ｘ線検査を行った。この検査で検出対象である物質は金
バンプと金ワイヤーとの間の接続部であり、その物質を
構成する元素は金であり、その他の元素は炭素、水素、
酸素などである。そこで、検出対象である元素の吸収端
として金のＬ（ＩＩＩ）吸収端を選んだ。金のＬ（ＩＩ
Ｉ）吸収端の波長λ０は１．０４オングストロームであ
るので、λ０より短波長の単色Ｘ線の波長λ１として
１．００オングストロームを、長波長の単色Ｘ線の波長
λ２として１．１０オングストロームを選択し、モノク
ロメータ２を回転して白色Ｘ線の入射角を調節すること
により単色化Ｘ線を得る。面間隔ｄ＝３．３５４オング
ストロームのグラファイト（００２）を使用する。この
場合のブラッグ反射角を計算すると、波長λ１のＸ線を
得るにはブラッグ反射角はと８．５７゜となり、波長λ
２のＸ線の場合は、ブラッグ反射角は９．４４゜とな
る。
Ｘ線検査を行った。この検査で検出対象である物質は金
バンプと金ワイヤーとの間の接続部であり、その物質を
構成する元素は金であり、その他の元素は炭素、水素、
酸素などである。そこで、検出対象である元素の吸収端
として金のＬ（ＩＩＩ）吸収端を選んだ。金のＬ（ＩＩ
Ｉ）吸収端の波長λ０は１．０４オングストロームであ
るので、λ０より短波長の単色Ｘ線の波長λ１として
１．００オングストロームを、長波長の単色Ｘ線の波長
λ２として１．１０オングストロームを選択し、モノク
ロメータ２を回転して白色Ｘ線の入射角を調節すること
により単色化Ｘ線を得る。面間隔ｄ＝３．３５４オング
ストロームのグラファイト（００２）を使用する。この
場合のブラッグ反射角を計算すると、波長λ１のＸ線を
得るにはブラッグ反射角はと８．５７゜となり、波長λ
２のＸ線の場合は、ブラッグ反射角は９．４４゜とな
る。
【００５８】まず、モノクロメータへ入射する白色Ｘ線
の入射角θ１が８．５７°となるようにモノクロメータ
を調整し、モノクロメータからの反射角８．５７°の単
色化Ｘ線がＩＣ表面に垂直に当る位置に測定試料をお
く。そして、λ１のＸ線を測定試料に照射した後、モノ
クロメータをＸ線の入射角θ２が９．４４°となるよう
に回転させ、測定試料３、Ｘ線検出器４も反射角の変化
に応じて同じ状態でＸ線が入射するように位置を移動さ
せる。λ２のＸ線を測定試料に照射し、検出した２種類
の画像データをデータ処理器で差分した結果、金だけの
Ｘ線透過像を得ることができた。
の入射角θ１が８．５７°となるようにモノクロメータ
を調整し、モノクロメータからの反射角８．５７°の単
色化Ｘ線がＩＣ表面に垂直に当る位置に測定試料をお
く。そして、λ１のＸ線を測定試料に照射した後、モノ
クロメータをＸ線の入射角θ２が９．４４°となるよう
に回転させ、測定試料３、Ｘ線検出器４も反射角の変化
に応じて同じ状態でＸ線が入射するように位置を移動さ
せる。λ２のＸ線を測定試料に照射し、検出した２種類
の画像データをデータ処理器で差分した結果、金だけの
Ｘ線透過像を得ることができた。
【００５９】（実施例２）実施の形態２に示したＸ線検
査装置により、ＩＣ内部の電極接合部のＸ線検査を行っ
た。Ｘ線発生器、モノクロメータ、Ｘ線検出器、および
測定試料は実施例１と同様のものを使用した。実施例１
と同様に検出対象である元素の吸収端として金のＬ（Ｉ
ＩＩ）吸収端を選択し、金のＬ（ＩＩＩ）吸収端より短
波長のＸ線λ１を１．００オングストローム、長波長の
Ｘ線λ２を１．１０オングストロームとする。ブラッグ
反射角はそれぞれ８．５７゜および９．４４゜である。
査装置により、ＩＣ内部の電極接合部のＸ線検査を行っ
た。Ｘ線発生器、モノクロメータ、Ｘ線検出器、および
測定試料は実施例１と同様のものを使用した。実施例１
と同様に検出対象である元素の吸収端として金のＬ（Ｉ
ＩＩ）吸収端を選択し、金のＬ（ＩＩＩ）吸収端より短
波長のＸ線λ１を１．００オングストローム、長波長の
Ｘ線λ２を１．１０オングストロームとする。ブラッグ
反射角はそれぞれ８．５７゜および９．４４゜である。
【００６０】まず、モノクロメータへ入射するＸ線の入
射角θ１が８．５７°となる位置にモノクロメータを配
置し、反射角が８．５７°の位置へ測定試料をおく。測
定試料は、反射した単色化Ｘ線が垂直に照射するように
調整する。そして、λ１のＸ線を測定試料に照射した
後、モノクロメータをＸ線の入射角θ２が９．４４°と
なるようにＸ線発生器と測定試料を結ぶ軸に対して垂直
な方向へ平行移動させる。λ２のＸ線を測定試料に照射
し、検出した２種類の画像データをデータ処理器で差分
した結果、金だけのＸ線透過像を得ることができた。
射角θ１が８．５７°となる位置にモノクロメータを配
置し、反射角が８．５７°の位置へ測定試料をおく。測
定試料は、反射した単色化Ｘ線が垂直に照射するように
調整する。そして、λ１のＸ線を測定試料に照射した
後、モノクロメータをＸ線の入射角θ２が９．４４°と
なるようにＸ線発生器と測定試料を結ぶ軸に対して垂直
な方向へ平行移動させる。λ２のＸ線を測定試料に照射
し、検出した２種類の画像データをデータ処理器で差分
した結果、金だけのＸ線透過像を得ることができた。
【００６１】（実施例３）実施の形態３に示したＸ線検
査装置により、ＩＣ内部の電極接合部のＸ線検査を行っ
た。Ｘ線発生器、Ｘ線検出器、および測定試料は実施例
１と同様のものを使用し、２種類のモノクロメータは白
金／カーボンの多層膜（白金層厚：カーボン層厚＝１：
２）を用いた。
査装置により、ＩＣ内部の電極接合部のＸ線検査を行っ
た。Ｘ線発生器、Ｘ線検出器、および測定試料は実施例
１と同様のものを使用し、２種類のモノクロメータは白
金／カーボンの多層膜（白金層厚：カーボン層厚＝１：
２）を用いた。
【００６２】実施例１に示したように検出対象である元
素の吸収端として金のＬ（ＩＩＩ）吸収端を選択し、金
のＬ（ＩＩＩ）吸収端より短波長のＸ線λ１を１．００
オングストローム、長波長のＸ線λ２を１．１０オング
ストロームとする。ブラッグ反射角が２種類のモノクロ
メータ共に３．００゜となるように多層膜周期を計算し
たところ、モノクロメータ２−１の多層膜周期（白金層
１層とカーボン層１層の和）のは９．５５オングストロ
ーム、モノクロメータ２−２の多層膜周期は１０．５１
オングストロームとなる。このような多層膜周期をもつ
白金／カーボンの多層膜を作製した。層数は５０層とし
た。。
素の吸収端として金のＬ（ＩＩＩ）吸収端を選択し、金
のＬ（ＩＩＩ）吸収端より短波長のＸ線λ１を１．００
オングストローム、長波長のＸ線λ２を１．１０オング
ストロームとする。ブラッグ反射角が２種類のモノクロ
メータ共に３．００゜となるように多層膜周期を計算し
たところ、モノクロメータ２−１の多層膜周期（白金層
１層とカーボン層１層の和）のは９．５５オングストロ
ーム、モノクロメータ２−２の多層膜周期は１０．５１
オングストロームとなる。このような多層膜周期をもつ
白金／カーボンの多層膜を作製した。層数は５０層とし
た。。
【００６３】まず、モノクロメータ２−１をＸ線の入射
角３．００°の位置に配置する。測定試料３とＸ線検出
器４は反射角３．００°の位置へＸ線が垂直に入射する
ようにおき、Ｘ線を照射する。モノクロメータ２−１で
波長λ１に単色化されたＸ線を測定試料３に照射し、測
定試料３を透過したＸ線をＸ線検出器で検出する。その
後、モノクロメータ２−１の代わりにモノクロメータ２
−２を同位置に配置し、Ｘ線を照射する。モノクロメー
タ２−２では波長λ２に単色化されたＸ線が得られ、波
長λ２の単色Ｘ線を測定試料３に照射し、測定試料３を
透過したＸ線をＸ線検出器４で検出し、このデータと波
長λ１の単色Ｘ線で得られたデータを差分することによ
り、金だけのＸ線透過像を得ることができた。尚、いず
れの実施例においても、金だけのＸ線透過像からバンプ
と金ワイヤーとの接続状態、即ち、接続されているか、
あるいは断線しているかを判断することができた。
角３．００°の位置に配置する。測定試料３とＸ線検出
器４は反射角３．００°の位置へＸ線が垂直に入射する
ようにおき、Ｘ線を照射する。モノクロメータ２−１で
波長λ１に単色化されたＸ線を測定試料３に照射し、測
定試料３を透過したＸ線をＸ線検出器で検出する。その
後、モノクロメータ２−１の代わりにモノクロメータ２
−２を同位置に配置し、Ｘ線を照射する。モノクロメー
タ２−２では波長λ２に単色化されたＸ線が得られ、波
長λ２の単色Ｘ線を測定試料３に照射し、測定試料３を
透過したＸ線をＸ線検出器４で検出し、このデータと波
長λ１の単色Ｘ線で得られたデータを差分することによ
り、金だけのＸ線透過像を得ることができた。尚、いず
れの実施例においても、金だけのＸ線透過像からバンプ
と金ワイヤーとの接続状態、即ち、接続されているか、
あるいは断線しているかを判断することができた。
【００６４】
【発明の効果】本発明によれば、測定試料中のある物質
が検出対象となる元素に加えて他の元素を含み、その他
の物質が検出対象となる元素を含まない場合、検出対象
となる元素を含む物質だけの形状、寸法、場所、状態を
知ることができる。そのため、検出対象となる元素以外
の元素の情報によって、検出対象となる元素のを含む物
質の情報が得られ難い場合、本発明により正確に検出対
象となる元素を含む物質だけの情報を得ることができ
る。
が検出対象となる元素に加えて他の元素を含み、その他
の物質が検出対象となる元素を含まない場合、検出対象
となる元素を含む物質だけの形状、寸法、場所、状態を
知ることができる。そのため、検出対象となる元素以外
の元素の情報によって、検出対象となる元素のを含む物
質の情報が得られ難い場合、本発明により正確に検出対
象となる元素を含む物質だけの情報を得ることができ
る。
【００６５】実施例において説明した電子部品の内部の
接続状態の確認の他、体内における物質の状態の確認に
も本発明を適用できる。一例としては、造影剤、例えば
硫酸バリウムが内部に存在する臓器のＸ線検査におい
て、バリウムを検出すべき元素として本発明を適用する
と、硫酸バリウムを含む臓器の状態を把握できる。ま
た、胆石のような結石の状態をＸ線検査する場合には、
カルシウムを検出すべき元素として選択して本発明を適
用してよい。
接続状態の確認の他、体内における物質の状態の確認に
も本発明を適用できる。一例としては、造影剤、例えば
硫酸バリウムが内部に存在する臓器のＸ線検査におい
て、バリウムを検出すべき元素として本発明を適用する
と、硫酸バリウムを含む臓器の状態を把握できる。ま
た、胆石のような結石の状態をＸ線検査する場合には、
カルシウムを検出すべき元素として選択して本発明を適
用してよい。
【図１】 図１は、ＡとＢの２種類の元素で構成され、
部分的に欠陥部をもつ測定試料の模式的断面図を示す。
部分的に欠陥部をもつ測定試料の模式的断面図を示す。
【図２】 図２は、従来のＸ線検査装置を用いて図１の
測定試料を検査した場合の透過画像の模式図を示す。
測定試料を検査した場合の透過画像の模式図を示す。
【図３】 図３は、元素の波長と線吸収係数の関係を示
す模式的グラフである。
す模式的グラフである。
【図４】 図４は、本発明のＸ線検査方法を適用する場
合のＸ線透過画像の模式図であり、（ａ）は、波長λ１
の場合の模式的Ｘ線透過画像であり、（ｂ）は、波長λ
２の場合の模式的Ｘ線透過画像であり、（ｃ）は、これ
らの画像を差分して得られる模式的Ｘ線透過画像であ
る。。
合のＸ線透過画像の模式図であり、（ａ）は、波長λ１
の場合の模式的Ｘ線透過画像であり、（ｂ）は、波長λ
２の場合の模式的Ｘ線透過画像であり、（ｃ）は、これ
らの画像を差分して得られる模式的Ｘ線透過画像であ
る。。
【図５】 図５は、本発明の実施の形態１のＸ線検査装
置の基本構成を示す模式的ブロック図である。
置の基本構成を示す模式的ブロック図である。
【図６】 図６は、本発明の実施の形態２のＸ線検査装
置の基本構成を示す模式的ブロック図である。
置の基本構成を示す模式的ブロック図である。
【図７】 図７は、本発明の実施の形態３のＸ線検査装
置の基本構成を示す模式的ブロック図である。
置の基本構成を示す模式的ブロック図である。
１ Ｘ線発生器 ２ モノクロメータ ２−１ 波長λ１の単色Ｘ線を得るためのモノクロメー
タ ２−２ 波長λ２の単色Ｘ線を得るためのモノクロメー
タ ３ 測定試料 ４ Ｘ線検出器 ５ データ処理器 ６ 表示部
タ ２−２ 波長λ２の単色Ｘ線を得るためのモノクロメー
タ ３ 測定試料 ４ Ｘ線検出器 ５ データ処理器 ６ 表示部
フロントページの続き (72)発明者 松原 英一郎 京都府京都市左京区高野西開町１番地 第 ２久米マンション４−16 (72)発明者 川島 勉 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 西木 直巳 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 AA09 BA11 BA13 CA01 DA02 EA01 EA02 FA29 GA01 HA13 HA14 KA01 KA03 LA01 LA11 NA09 NA15 PA11
Claims (12)
- 【請求項１】 対象物体としての測定試料中に存在する
検出すべき物質を構成する元素の吸収端の波長より長波
長の単色Ｘ線を測定試料に照射して得られるＸ線透過デ
ータ、および吸収端の波長より短波長の単色Ｘ線を測定
試料に照射して得られるＸ線透過データである、吸収端
を挟む２種類の波長のＸ線についてのＸ線透過データを
差分することにより、測定試料中の検出すべき物質を構
成する元素のみの情報を得るＸ線検査方法。 - 【請求項２】 吸収端より長波長および短波長の２種類
の波長の単色Ｘ線を測定試料に照射して所定方向にスキ
ャンさせて２種類のＸ線透過データを得、これらのデー
タを差分することによりスキャン方向に対して平行な測
定試料の断面に関して検出すべき物質を構成する元素に
関する情報を得、次に、スキャン方向を変えて測定試料
の別の断面に関して検出すべき物質を構成する元素に関
する情報を得る請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 情報をデータ処理して元素が構成する物
質の画像を得る請求項１または２記載の方法。 - 【請求項４】 工業用非破壊検査に適用する請求項１〜
３のいずれかに記載の方法。 - 【請求項５】 医療用Ｘ線検査に適用する請求項１〜３
のいずれかに記載の方法。 - 【請求項６】 Ｘ線発生器、Ｘ線発生器から照射された
白色Ｘ線を単色化して、測定試料中の検出対象となる物
質を構成する元素の吸収端の波長より長波長の単色Ｘ線
と短波長の単色Ｘ線を形成するモノクロメータ、および
単色化されたＸ線を測定試料に照射し、測定試料を透過
したＸ線を検出して透過Ｘ線に関するデータを発生する
Ｘ線検出器を有して成るＸ線検査装置。 - 【請求項７】 Ｘ線検出器からのデータを処理する、Ｘ
線透過データ処理器を更に有して成る請求項６記載の装
置。 - 【請求項８】 Ｘ線発生器、モノクロメータおよび測定
試料のいずれか２つを相対的に移動することができ、そ
れにより、モノクロメータに入射する白色Ｘ線の入射角
を変えることができ、その結果、異なる波長の単色Ｘ線
を形成できる請求項６または７記載の装置。 - 【請求項９】 モノクロメータは、Ｘ線発生器および測
定試料を結ぶ線に対して垂直な方向に移動することがで
き、それにより、モノクロメータに入射する白色Ｘ線の
入射角を変えることができ、その結果、異なる波長の単
色Ｘ線を形成できる請求項６または７記載の装置。 - 【請求項１０】 元素の吸収端の波長より長波長の単色
Ｘ線を形成するモノクロメータ、および短波長の単色Ｘ
線を形成するモノクロメータを有して成る請求項６また
は７記載の装置。 - 【請求項１１】 請求項１〜５のいずれかに記載の方法
を実施する請求項６〜１０のいずれかに記載の装置。 - 【請求項１２】 モノクロメータがグラファイトである
請求項６〜１１のいずれかに記載の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21083298A JP4031113B2 (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21083298A JP4031113B2 (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000046759A true JP2000046759A (ja) | 2000-02-18 |
| JP4031113B2 JP4031113B2 (ja) | 2008-01-09 |
Family
ID=16595860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21083298A Expired - Fee Related JP4031113B2 (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | Ｘ線検査方法およびｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4031113B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2058623A2 (en) * | 2000-06-14 | 2009-05-13 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Method and apparatus for measuring a bump on a substrate |
| JP2010286406A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sii Nanotechnology Inc | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 |
| JP2010286405A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sii Nanotechnology Inc | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 |
| JP2011007759A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Scienergy Co Ltd | 低エネルギーｘ線画像形成装置 |
| JP2011017690A (ja) * | 2009-06-12 | 2011-01-27 | Sii Nanotechnology Inc | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 |
| JP2013156172A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | X-Ray Precision Inc | Ｘ線検査装置 |
| WO2014136194A1 (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-12 | 東京エレクトロン株式会社 | Ｘ線非破壊検査装置 |
| JP2020018846A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | シーメンス ヘルスケア ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | Ｘ線装置及びその操作方法 |
-
1998
- 1998-07-27 JP JP21083298A patent/JP4031113B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2058623A2 (en) * | 2000-06-14 | 2009-05-13 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Method and apparatus for measuring a bump on a substrate |
| EP2058623A3 (en) * | 2000-06-14 | 2009-12-02 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Method and apparatus for measuring a bump on a substrate |
| JP2010286406A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sii Nanotechnology Inc | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 |
| JP2010286405A (ja) * | 2009-06-12 | 2010-12-24 | Sii Nanotechnology Inc | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 |
| JP2011017690A (ja) * | 2009-06-12 | 2011-01-27 | Sii Nanotechnology Inc | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 |
| JP2011007759A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Scienergy Co Ltd | 低エネルギーｘ線画像形成装置 |
| JP2013156172A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | X-Ray Precision Inc | Ｘ線検査装置 |
| WO2014136194A1 (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-12 | 東京エレクトロン株式会社 | Ｘ線非破壊検査装置 |
| JP2020018846A (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | シーメンス ヘルスケア ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | Ｘ線装置及びその操作方法 |
| US11229411B2 (en) | 2018-08-02 | 2022-01-25 | Siemens Healthcare Gmbh | X-ray apparatus including x-ray reflector and method for operating the x-ray apparatus |
| JP7023897B2 (ja) | 2018-08-02 | 2022-02-22 | シーメンス ヘルスケア ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | Ｘ線装置及びその操作方法 |
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| JP4031113B2 (ja) | 2008-01-09 |
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