JPS6353456A - 単色ｘ線画像計測装置 - Google Patents
単色ｘ線画像計測装置Info
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- JPS6353456A JPS6353456A JP61197124A JP19712486A JPS6353456A JP S6353456 A JPS6353456 A JP S6353456A JP 61197124 A JP61197124 A JP 61197124A JP 19712486 A JP19712486 A JP 19712486A JP S6353456 A JPS6353456 A JP S6353456A
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 15
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、工業材料等つ非破壊検食（で用いられ。
＃Ｑて材料内部の化学結合状態を非破壊で計測するに好
適な単色Ｘ線画像計測装置に関する。
適な単色Ｘ線画像計測装置に関する。
従来７Ｘ線の吸収端を利用する画像計１１１装置として
は、ニュークリア インスルメンツ アンドメソツズ
２２２（１９８４年）第３１９頁から３２３頁（Ｎｕｃ
ｌ Ｉｎ５ｔｒ ａｎｄ〜１ｅｔ１１２２２ （１９８
４）ｐＩ）３１９へ−３２３）において報告されている
ように。
は、ニュークリア インスルメンツ アンドメソツズ
２２２（１９８４年）第３１９頁から３２３頁（Ｎｕｃ
ｌ Ｉｎ５ｔｒ ａｎｄ〜１ｅｔ１１２２２ （１９８
４）ｐＩ）３１９へ−３２３）において報告されている
ように。
試料中の特定元素のＸ線吸収端工竿ルギ一つ前後の２点
のＸ線透過像の差分から特定元素に：る画像を描出する
ようになっていた。しかしながら元素のＸ＠吸収端のエ
ネルギー値がその元素の結合状態によって異なる（直を
有する点については配意されていなかった。
のＸ線透過像の差分から特定元素に：る画像を描出する
ようになっていた。しかしながら元素のＸ＠吸収端のエ
ネルギー値がその元素の結合状態によって異なる（直を
有する点については配意されていなかった。
丑記従来技術は２元素のＸ線吸収端か元素固有のｆ直で
あるとしており、兄貴の化学結合のちがいによって吸収
端のエネルギー値が変化することシてついて配慮されて
分らず１元素分布慢の計測が可能となるだけであった。
あるとしており、兄貴の化学結合のちがいによって吸収
端のエネルギー値が変化することシてついて配慮されて
分らず１元素分布慢の計測が可能となるだけであった。
本発明の目的は、対象試料中の元素分布のみならず、試
料内部の特定元素がどのような化学結合状態にあるかを
Ｘ＠透過像を計測することによって求めることにある。
料内部の特定元素がどのような化学結合状態にあるかを
Ｘ＠透過像を計測することによって求めることにある。
上記目的は、連続的にエネルギーを変化させ得る単色Ｘ
線を利用し１着目する元素のＸ線吸収端エネルギーの近
傍の相異なる多数のエネルギーの単色Ｘ＠による透過像
を計測し、これから透過像各点におけるＸ線吸収係数の
エネル千−依存性を求め、これによって透過像各点にお
ける吸収端のエネルギー値を得て、このエネルギー値を
画像情報として用いることによって達成される。
線を利用し１着目する元素のＸ線吸収端エネルギーの近
傍の相異なる多数のエネルギーの単色Ｘ＠による透過像
を計測し、これから透過像各点におけるＸ線吸収係数の
エネル千−依存性を求め、これによって透過像各点にお
ける吸収端のエネルギー値を得て、このエネルギー値を
画像情報として用いることによって達成される。
本発明においては、Ｘ線透過像の各点に対してＸ線吸収
係数だけでなく吸収端エネルギーの２種類の情報が得ら
れる。本発明では以下のように２埋類の表示方法を用い
た。
係数だけでなく吸収端エネルギーの２種類の情報が得ら
れる。本発明では以下のように２埋類の表示方法を用い
た。
第一の方法は、吸収端エネルギー値を表示画素の輝度に
対応させることてよシ達成される。これによって画面上
に表示された透過像は元素の化学結合状態に対応した像
となる。
対応させることてよシ達成される。これによって画面上
に表示された透過像は元素の化学結合状態に対応した像
となる。
第二の方法は、あらかじめ特定の化学結合状態にあるこ
とが判っている標準試料から得られた特定の吸収端エネ
ルギー値を利用し、このエネルギ４における吸収係数の
エネルギー微分を用いて。
とが判っている標準試料から得られた特定の吸収端エネ
ルギー値を利用し、このエネルギ４における吸収係数の
エネルギー微分を用いて。
この（直を画素の輝度に対応させることにより達成され
る。これによって特定の結合状態にある元素のみの濃度
分布像を得ることが出来る。
る。これによって特定の結合状態にある元素のみの濃度
分布像を得ることが出来る。
以下１本発明の一実施例を第１図によシ説明する。Ｘ線
発生装置１からのＸ線は分光器２を通ることによシ任意
の波長の単色Ｘ線となる。試料透過前後のＸ線強度ｔ−
Ｘ線検出器３，４で検出し。
発生装置１からのＸ線は分光器２を通ることによシ任意
の波長の単色Ｘ線となる。試料透過前後のＸ線強度ｔ−
Ｘ線検出器３，４で検出し。
吸収係数を求める。試料を移動機構５によりＸ。
７両方向に走査しながらその各点における吸収係数を測
定し１画像処理装置６に入力し、透過像を形成する。分
光器２を走査することによυ、エネルギーの異なる多数
の透過像が得られる。したがつて透過像の各点における
吸収スペクトルが得られる。本実施例に２いては吸収ス
ペクトルを微分し、その極太値すなわち吸収係数におけ
る勾配極大の点によって吸収端エネルギーを定めた。表
示画ｘ７にはこのエネルギー直を輝度として透過像が表
示される。透過像のある場所では走査したエネルギー範
囲に吸収端が無いことがあるが、その場所は輝度を零と
して処理した。本実施例における検出器３，４は一次元
あるいは二次元の検出器としても良い。その場合は試料
移動機構５を省くことも出来る。
定し１画像処理装置６に入力し、透過像を形成する。分
光器２を走査することによυ、エネルギーの異なる多数
の透過像が得られる。したがつて透過像の各点における
吸収スペクトルが得られる。本実施例に２いては吸収ス
ペクトルを微分し、その極太値すなわち吸収係数におけ
る勾配極大の点によって吸収端エネルギーを定めた。表
示画ｘ７にはこのエネルギー直を輝度として透過像が表
示される。透過像のある場所では走査したエネルギー範
囲に吸収端が無いことがあるが、その場所は輝度を零と
して処理した。本実施例における検出器３，４は一次元
あるいは二次元の検出器としても良い。その場合は試料
移動機構５を省くことも出来る。
本発明の他の実施例では頻準試料によりあらかじめ測定
し九吸収端エネルギー値を利用した。実際の試料におけ
るそのエネルギーでの吸収係数の勾配を表示画面の４度
に対応させることによって標準試料の化学結合と同一の
化学結合状態にある元素のみの濃度分布を得た。
し九吸収端エネルギー値を利用した。実際の試料におけ
るそのエネルギーでの吸収係数の勾配を表示画面の４度
に対応させることによって標準試料の化学結合と同一の
化学結合状態にある元素のみの濃度分布を得た。
本発明の他の実施例ではあらかじめいくつかの化学結合
の異なる標準試料について吸収端近傍のスペクトルを測
定しておき、実際のスペクトルに対して濃度比を未知の
パラメータとして当てはめることによって透過像の各点
において種々の結合状態にあるものの濃度を定めた。本
実施例によれば、吸収端近傍の吸収スペクトルが複雑な
形状であったり、吸収端エネルギーのちがいが小さいた
めに、複数の相が混在する場合に吸収端の分離が困難な
試料に対しても適用出来るという効果がある。
の異なる標準試料について吸収端近傍のスペクトルを測
定しておき、実際のスペクトルに対して濃度比を未知の
パラメータとして当てはめることによって透過像の各点
において種々の結合状態にあるものの濃度を定めた。本
実施例によれば、吸収端近傍の吸収スペクトルが複雑な
形状であったり、吸収端エネルギーのちがいが小さいた
めに、複数の相が混在する場合に吸収端の分離が困難な
試料に対しても適用出来るという効果がある。
本発明の他の実施例では、試料移動機５に試料回転機構
を加えることによって、多数方向の透過像から計算機ト
モグラフィーの手法を用いて任意断面における吸収係数
の分布を得られるようにした。本実施例によれば、試料
内の化学結合状、態の３次元的な分布が測定出来るとい
う効果がある。
を加えることによって、多数方向の透過像から計算機ト
モグラフィーの手法を用いて任意断面における吸収係数
の分布を得られるようにした。本実施例によれば、試料
内の化学結合状、態の３次元的な分布が測定出来るとい
う効果がある。
本発明によれば、試料内部の化学結合状態の種類及び特
定の化学結合状態にある元素の分布が非破壊で測定出来
るので、従来のＸ線検査法に比べて↓ｐ多くの知見が得
られるという効果がある。
定の化学結合状態にある元素の分布が非破壊で測定出来
るので、従来のＸ線検査法に比べて↓ｐ多くの知見が得
られるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す単色Ｘ線画像計測装置
の測面図でちる。 １・・・Ｘ線発生装置、２・・・分光器、３・・・Ｘ線
検出器、４・・・Ｘ＠検出器、５・・・試料走査機構、
６・・・画像処理装置、７・・・画像表示装置。 ｌで・、 代理人 弁理士 小川勝男 、゛ ＼−立 奉 １ ｚ １・Ｘ線発生り量 ２−分光器 ３・・・Ｘ未笈検血汰 ４・・Ｘ線検出器 ５・・ハ料乏参像橋
の測面図でちる。 １・・・Ｘ線発生装置、２・・・分光器、３・・・Ｘ線
検出器、４・・・Ｘ＠検出器、５・・・試料走査機構、
６・・・画像処理装置、７・・・画像表示装置。 ｌで・、 代理人 弁理士 小川勝男 、゛ ＼−立 奉 １ ｚ １・Ｘ線発生り量 ２−分光器 ３・・・Ｘ未笈検血汰 ４・・Ｘ線検出器 ５・・ハ料乏参像橋
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｘ線源と試料移動機構とＸ線検出器と画像処理装置
から成るＸ線透過像計測装置において、そのＸ線源を任
意の波長の単色Ｘ線とし、Ｘ線の波長を試料構成元素の
Ｘ線吸収端エネルギーの近傍で連続的に変化させ、これ
によつて透過像の各点における吸収端エネルギーを求め
、このエネルギー値を画像化するように構成したことを
特徴とする単色Ｘ線画像計測装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の装置において、特定元
素の化学結合状態による吸収端エネルギーの変化をあら
かじめ標準試料により求めておくことにより、試料構成
元素の特定の化学結合状態にあるものを描出してその分
布を画像化する単色Ｘ線画像計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61197124A JPH07104293B2 (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 単色ｘ線画像計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61197124A JPH07104293B2 (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 単色ｘ線画像計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6353456A true JPS6353456A (ja) | 1988-03-07 |
| JPH07104293B2 JPH07104293B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=16369136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61197124A Expired - Lifetime JPH07104293B2 (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 単色ｘ線画像計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104293B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2694049B2 (ja) * | 1991-05-14 | 1997-12-24 | ブイ―レイ イメージング コーポレイション | 物体の内部構造の像を得るための方法 |
| KR20210138260A (ko) * | 2020-05-12 | 2021-11-19 | 경북대학교 산학협력단 | 방사광 기반 단색 x-선 대면적 ct 영상 장치 |
| CN116577358A (zh) * | 2023-05-18 | 2023-08-11 | 杭州宇称电子技术有限公司 | 基于x射线k-吸收边的书画文物颜料成像方法及其应用 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7813470B2 (en) | 2006-04-13 | 2010-10-12 | Shimadzu Corporation | Three-dimensional contents determination method using transmitted x-ray |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP61197124A patent/JPH07104293B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2694049B2 (ja) * | 1991-05-14 | 1997-12-24 | ブイ―レイ イメージング コーポレイション | 物体の内部構造の像を得るための方法 |
| KR20210138260A (ko) * | 2020-05-12 | 2021-11-19 | 경북대학교 산학협력단 | 방사광 기반 단색 x-선 대면적 ct 영상 장치 |
| CN116577358A (zh) * | 2023-05-18 | 2023-08-11 | 杭州宇称电子技术有限公司 | 基于x射线k-吸收边的书画文物颜料成像方法及其应用 |
| CN116577358B (zh) * | 2023-05-18 | 2024-01-23 | 杭州宇称电子技术有限公司 | 基于x射线k-吸收边的书画文物颜料成像方法及其应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07104293B2 (ja) | 1995-11-13 |
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