JP3968350B2 - X線回折装置及び方法 - Google Patents
X線回折装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3968350B2 JP3968350B2 JP2003584692A JP2003584692A JP3968350B2 JP 3968350 B2 JP3968350 B2 JP 3968350B2 JP 2003584692 A JP2003584692 A JP 2003584692A JP 2003584692 A JP2003584692 A JP 2003584692A JP 3968350 B2 JP3968350 B2 JP 3968350B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- ray
- rays
- detector
- normal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
2θresolution〜{L1[tan(Δω)/sin(ω)]sin(2θ−ω)/2+D/2}/L2
特定の実行例にこれを当てはめると、GaAs及びSiサンプルの両者に関して、約0.01°の角分解能を与える。これは、データ収集に関してより適切である。0.01°の角分解能は、1μmの膜厚に対応する増加を与える。従って、この装置は、約0.3μm以上の厚みと同定可能であって、従って、高分解能となる。
Claims (11)
- サンプルを含む単結晶の薄層の高分解能X線回折のためのX線装置であって、
所定の法線方向に対して垂直に向けられた前面に、単結晶の薄層を有し、且つ、k空間内で前記法線と平行な方向に広がる逆格子点を有する前記サンプルを保持するための、サンプルステージと、
前記法線方向に対して0°から60°の間の角度で、前記サンプルステージ上の所定の標的位置に、前記サンプルステージで0.01°から0.20°の範囲内の角ダイバージェンスを有するX線の平行ビームを発生するための手段と、
前記サンプルによって前記法線方向に対する所定範囲の角度に散乱されるX線を検出するために、前記サンプルステージの横方向に配置されたX線検出器とを含み、前記所定範囲の角度は、80°から90°の範囲内にあり、
前記X線の平行ビームを発生するための手段は、X線源と、該X線源と前記サンプルステージとの間のスリットとを含み、
前記X線の平行ビームを発生するための手段は、前記サンプル上に入射する異なる波長のX線を有する平行ビームを発生する、
X線装置。 - 前記X線検出器は、前記X線検出器から前記所定の標的位置までの距離の0.002倍未満の法線方向における線形分解能を有する、請求項1に記載のX線装置。
- 前記X線源は、前記法線、前記サンプル上に入射する前記平行ビーム、及び、前記サンプルによって散乱される前記X線を有する平面において、前記平行ビームに対して法線方向に0.2mm以下の寸法を有する、請求項1又は2に記載のX線装置。
- 前記サンプルによって回折されるX線を、前記法線方向に沿う、故に、前記法線方向に対する所定範囲の角度に亘る距離の関数として並行して検出するために、前記X線検出器は、前記法線方向と平行な方向に延びる細長いX線検出器である、上記請求項のうちいずれか1項に記載のX線装置。
- 前記X線検出器は、固体検出器である、上記請求項のうちいずれか1項に記載のX線装置。
- 前記単結晶の薄層は、半導体層である、上記請求項のうちいずれか1項に記載のX線装置。
- 前記サンプルを測定するために、前記サンプルは、前記サンプルステージ上に取り付けられ、且つ、前記X線の平行ビームを前記X線検出器上に回折するよう向けられる、上記請求項のうちいずれか1項に記載のX線装置の、使用。
- 高分解能X線回折の方法であって、
サンプルステージと、該サンプルステージの横方向に配置されるX線検出器とを設けるステップと、
平面に延びる単結晶の薄層材料を有し、且つ、k空間内で前記法線と平行な方向に広がる逆格子点を有するサンプルを、前記サンプルステージ上に取り付けるステップと、
異なる波長のX線を有するX線の平行ビームを、前記平面に対する前記法線に対して0°から60°の角度で前記サンプル上に向けるステップと、
前記サンプルによって前記平面に対する前記法線に対して80°から90°の範囲内の角度の範囲に回折される前記X線を、前記X線検出器を用いて測定するステップとを含む、
方法。 - 前記サンプル上に入射する前記平行ビームは、0.01°から0.20°の範囲内の角ダイバージェンスを有する、請求項8に記載の方法。
- 前記サンプル上に入射する前記平行ビームは、前記平面の前記法線に対して0°から40°の方向にある、請求項8又は9に記載の方法。
- 前記サンプルによって回折される前記X線を測定するステップは、前記検出器上に入射するX線の強度を、前記検出器の長さに沿う多数の場所で同時に記録するステップを含む、請求項8乃至10のうちいずれか1項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0208572.8A GB0208572D0 (en) | 2002-04-13 | 2002-04-13 | X-ray diffraction apparatus and method |
PCT/NL2003/000272 WO2003087795A2 (en) | 2002-04-13 | 2003-04-10 | High-resolution x-ray diffraction apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005528594A JP2005528594A (ja) | 2005-09-22 |
JP3968350B2 true JP3968350B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=9934825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003584692A Expired - Fee Related JP3968350B2 (ja) | 2002-04-13 | 2003-04-10 | X線回折装置及び方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7242743B2 (ja) |
EP (1) | EP1495311B1 (ja) |
JP (1) | JP3968350B2 (ja) |
AU (1) | AU2003223145A1 (ja) |
GB (1) | GB0208572D0 (ja) |
WO (1) | WO2003087795A2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7120228B2 (en) * | 2004-09-21 | 2006-10-10 | Jordan Valley Applied Radiation Ltd. | Combined X-ray reflectometer and diffractometer |
US7406153B2 (en) * | 2006-08-15 | 2008-07-29 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Control of X-ray beam spot size |
EP2209352B1 (en) * | 2009-01-16 | 2018-10-03 | Whirlpool Corporation | Induction cooking heater and method for the control thereof |
EP2209350B1 (en) * | 2009-01-16 | 2018-11-28 | Whirlpool Corporation | Method for the synchronization of induction coils supplied by power converters of an induction cooking hob and induction heating system carrying out such method |
US8243878B2 (en) * | 2010-01-07 | 2012-08-14 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
US8687766B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
US8437450B2 (en) | 2010-12-02 | 2013-05-07 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Fast measurement of X-ray diffraction from tilted layers |
US8781070B2 (en) | 2011-08-11 | 2014-07-15 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Detection of wafer-edge defects |
US9726624B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-08-08 | Bruker Jv Israel Ltd. | Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03156350A (ja) | 1989-11-14 | 1991-07-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線回折装置 |
WO1996023211A1 (en) * | 1995-01-27 | 1996-08-01 | Philips Electronics N.V. | Method for ge-xrf x-ray analysis of materials, and apparatus for carrying out the method |
JP2001141674A (ja) | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Canon Inc | 斜出射x線回折測定用試料ホルダ及びこれを用いた斜出射x線回折測定装置、並びに、これを用いた斜出射x線回折測定方法 |
US6970532B2 (en) * | 2000-05-10 | 2005-11-29 | Rigaku Corporation | Method and apparatus for measuring thin film, and thin film deposition system |
-
2002
- 2002-04-13 GB GBGB0208572.8A patent/GB0208572D0/en not_active Ceased
-
2003
- 2003-04-10 AU AU2003223145A patent/AU2003223145A1/en not_active Abandoned
- 2003-04-10 US US10/511,571 patent/US7242743B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-04-10 WO PCT/NL2003/000272 patent/WO2003087795A2/en active Application Filing
- 2003-04-10 JP JP2003584692A patent/JP3968350B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-04-10 EP EP03719264A patent/EP1495311B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003087795A3 (en) | 2004-02-12 |
AU2003223145A1 (en) | 2003-10-27 |
EP1495311B1 (en) | 2013-01-09 |
US7242743B2 (en) | 2007-07-10 |
EP1495311A2 (en) | 2005-01-12 |
WO2003087795A2 (en) | 2003-10-23 |
US20050226379A1 (en) | 2005-10-13 |
GB0208572D0 (en) | 2002-05-22 |
JP2005528594A (ja) | 2005-09-22 |
AU2003223145A8 (en) | 2003-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7076024B2 (en) | X-ray apparatus with dual monochromators | |
TWI536014B (zh) | 用於分析來自傾斜層的x射線繞射之方法及設備 | |
KR101275532B1 (ko) | 표면 층을 갖는 샘플을 분석하기 위한 장치 및 방법 | |
US9606073B2 (en) | X-ray scatterometry apparatus | |
US5619548A (en) | X-ray thickness gauge | |
US6359964B1 (en) | X-ray analysis apparatus including a parabolic X-ray mirror and a crystal monochromator | |
US7600916B2 (en) | Target alignment for X-ray scattering measurements | |
US9080944B2 (en) | Method and apparatus for surface mapping using in-plane grazing incidence diffraction | |
JP3968350B2 (ja) | X線回折装置及び方法 | |
JP2007285923A (ja) | 反射モードのx線回折を用いた限界寸法の測定 | |
JP2001124711A (ja) | 蛍光x線分析方法及び試料構造の評価方法 | |
JP4521573B2 (ja) | 中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 | |
JP2010286346A (ja) | 分光器 | |
JP2002529699A (ja) | X線光学基準チャネルを有するx線回折装置 | |
SU1257482A1 (ru) | Рентгенодифракционный способ исследовани структурных нарушений в тонких приповерхностных сло х кристаллов | |
JPH11304729A (ja) | X線測定方法及びx線測定装置 | |
JPH1151883A (ja) | 蛍光x線分析装置および方法 | |
JP2921597B2 (ja) | 全反射スペクトル測定装置 | |
JPH06160312A (ja) | X線評価装置 | |
JP2004503771A (ja) | X線反射率装置および方法 | |
JP2006133000A (ja) | 微小部積層構造検査装置 | |
JPH11248652A (ja) | X線回折測定法およびx線回折装置 | |
RU2216010C2 (ru) | Многоканальный рентгеновский дифрактометр | |
JPS6353457A (ja) | 二次元走査型状態分析装置 | |
JPS60210746A (ja) | 固体表面の状態分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20070123 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20070130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070522 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070604 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3968350 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100608 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110608 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120608 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |