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GEBIET DER
ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Gasverarbeitungsagens zur Gasreinigung,
das Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff, die in einem verdichteten
Gas enthalten sind, in Anwesenheit von Sauerstoff oxidiert und dann
das gleichzeitig erzeugte Kohlendioxid und/oder Wasserdampf mittels
Adsorption entfernt. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung
ein Gasverarbeitungsagens für
die Gasreinigung, das in einer Gasreinigungsvorrichtung verwendet
wird, die Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff aus der verdichteten
Luft oxidiert und entfernt, in einem Speisegas-Reinigungssystem
einer Tieftemperatur-Lufttrennanlage, die das Speisegas trennt und
hochreinen Stickstoff, Sauerstoff und dergleichen produziert durch
Verdichten von Luft, Entfernen einer kleinen – darin enthaltenen Verunreinigungsmenge,
Kühlen
und Durchführen
einer Rektifizierung durch Verflüssigung.
Außerdem
betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Herstellen
eines Verarbeitungsagens für
die Gasreinigung und ein Gasreinigungsverfahren, eine Gasreinigungseinrichtung
und eine Gasreinigungsvorrichtung, wobei das Gasverarbeitungsagens
verwendet wird.
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BESCHREIBUNG
DES STANDS DER TECHNIK
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Herkömmlich werden
Aluminiumoxidkatalysator, der mit Platin imprägniert ist, oder Aluminiumoxidkatalysator,
der mit Palladium imprägniert
ist, und dergleichen als ein Gasverarbeitungsagens zum Reinigen
einer Speiseluft in einer Tieftemperatur-Lufttrennanlage zum Erzeugen von hochreinem
Stickstoff etc. verwendet. Es ist sehr wichtig, diese Katalysatoren
bei einer Temperatur in einem Bereich von 100 bis 250°C zu verwenden,
um Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff zu oxidieren und zu entfernen,
die im allgemeinen in der Atmosphäre in einem Anteil von 1 bis
zu einigen ppm enthalten sind, und zum Zweck des Einfangens von
Kohlendioxid und Wasserdampf, die durch die Oxidationsreaktion erzeugt
werden, ein Gas nach der Umsetzung zu kühlen und dann unter Anwendung
eines Adsorbens zu entfernen. Daher muß eine große Menge an Luft und Katalysator
erwärmt
werden, und Kühleinrichtungen
und Adsorbentien müssen
verwendet werden, um Kohlendioxid und Wasserdampf einzufangen, was
sehr unwirtschaftlich ist.
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Als
ein Beispiel einer Gasreinigung unter Verwendung eines Katalysators
im Raumtemperaturbereich zeigt die JP-OS Nr. 4-219111 ein Verfahren
zum Herstellen eines hochreinen Gases unter Verwendung eines Katalysators
bei einer Reaktionstemperatur in einem Bereich von 4,4 bis 50°C. Bei diesem
Verfahren wird ein erster Wasserdampf aus einem Luftstrom, der Kohlenmonoxid,
Wasserstoff, Kohlendioxid und Wasserdampf enthält, durch ein Adsorbens entfernt,
dann wird Kohlenmonoxid durch ein Gemisch aus Manganoxid und Kupferoxid
zu Kohlendioxid oxidiert, dann wird durch den Einsatz von Palladiumkatalysator
Wasserstoff zu Wasserdampf oxidiert, und dann werden Kohlendioxid
und Wasserdampf adsorbiert und entfernt durch Vorsehen eines Adsorbens
im hintersten Endbereich des Katalysators. Für die Oxidationsreaktion von
Kohlenmonoxid und für
die Oxidationsreaktion von Wasserstoff ist jedoch jeweils eine gesonderte
Katalysatorschicht erforderlich, und außerdem wird eine weitere Adsorbensschicht
benötigt,
die im hinteren Endbereich der Katalysatorschicht vorgesehen sein
muß, um
Kohlendioxid und Wasserdampf, die bei der Oxidationsreaktion erzeugt
werden, aus einem Prozeßgas
zu entfernen.
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Gleichermaßen zeigt
die JP-OS Nr. 10-85588 ein Beispiel einer Gasreinigung, die durchgeführt wird unter
Verwendung eines Katalysators bei einer Temperatur innerhalb eines
Bereichs von 0 bis 100°C.
Dieses Verfahren soll Kohlenmonoxid, Wasserstoff, Kohlendioxid und
Wasserdampf, die in einem Gas enthalten sind, entfernen durch einzelne
oder gemeinsame Verwendung jedes Katalysators, wobei mit Gold imprägnierte
Metalloxide oder Erdalkalimetallhydroxide oder Palladium in Adsorbentien
verwendet werden, die ein gutes Adsorptionsvermögen für Kohlendioxid und Wasserdampf
in Anwesenheit von Sauerstoff haben. Da jedoch die katalytischen
Komponenten in das Adsorbens selbst mit einem guten Adsorptionsvermögen für Kohlendioxid und
Wasserdampf imprägniert
sind, wird durch das Kohlendioxid und den Wasserdampf, die durch
die Oxidation von Kohlenmonoxid und Wasserstoff in dem katalytisch
aktiven Bereich erzeugt, adsorbiert und akkumuliert werden, die
Adsorption des Kohlenmonoxids und Wasserstoffs in dem Gasstrom an
dem katalytisch wirksamen Bereich behindert und die katalytische
Reaktion weiter beeinträchtigt.
Es besteht also das Problem, daß die
Oxidationsfähigkeit
für Kohlenmonoxid
und Wasserstoff in dem Gasstrom nicht über einen langen Zeitraum erhalten
bleibt.
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EP 0716877 von Johnson Matthey
Public Limited Company beschreibt eine kombinierte Katalysator-Kohlenwasserstoff-Falle
für die
Aufbereitung der Abgase eines Motors. Die Katalysator-Kohlenwasserstoff-Falle
weist folgendes auf: eine Unterschicht, die einen Adsorber aufweist,
der Kohlenwasserstoff aus dem Abgas bei einer niedrigeren Temperatur
adsorbiert und den Kohlenwasserstoff bei einer höheren Temperatur desorbiert,
und eine Oberschicht, die über
der Unterschicht angeordnet ist und Katalysator auf einem Träger aufweist.
Der Katalysator ist zur Umwandlung des Kohlenwasserstoffs zu Kohlendioxid
und Wasser katalytisch wirksam, wobei die Unterschicht und die Oberschicht
so angeordnet sind, daß die
Abgase durch die Oberschicht zu der Unterschicht strömen, damit
die Unterschicht den Kohlenwasserstoff bei der niedrigeren Temperatur
adsorbiert, und der Kohlenwasserstoff, der anschließend bei
der höheren
Temperatur5 desorbiert wird, wird zurück durch die Oberschicht geleitet.
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US 5 677 258 von Mazda Motor
Corporation zeigt einen Gasreinigungskatalysator zum Gebrauch in dem
Abgassystem einer Kraftfahrzeugmotors, der geeignet ist, Emissionspegel
von Stickoxiden sowie Kohlenwasserstoffen und Kohlenmonoxid signifikant
zu senken. Der Katalysator weist eine untere Katalysatorschicht und
eine Katalysatoroberschicht auf, welche die katalytisch wirksame
Komponente bildet.
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Unter
den oben angegebenen Umständen
besteht ein Bedarf für
ein Gasreinigungs-Verarbeitungsagens
mit Doppelfunktion, das Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff bei der
Temperatur innerhalb des Bereichs von 0 bis 100°C oxidiert und gleichzeitig
das erzeugte Kohlendioxid und/oder den Wasserdampf adsorbiert und entfernt
und dessen katalytische Oxidationsfähigkeit und Oxidationsvermögen über lange
Zeit erhalten bleiben.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung wurde entwickelt, um die oben angegebenen
Probleme zu lösen,
und die Aufgabe ist die Bereitstellung eines Gasverarbeitungsagens,
das Kohlenmonoxid, Wasserstoff, Kohlendioxid und Wasserdampf die
in Gas enthalten sind, gleichzeitig entfernen kann, ein hohes Adsorptionsvermögen und katalytische
Oxidationswirksamkeit behält
und eine lange Lebensdauer hat; ferner eines Herstellungsverfahrens
dafür,
eines Gasreinigungsverfahrens, eines Gasreinigers und einer Gasreinigungsvorrichtung.
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Die
Erfinder haben wichtige Untersuchungen durchgeführt, um die oben angegebene
Aufgabe zulösen,
und haben im Ergebnis ein Gasverarbeitungsagens mit langer Lebensdauer
gefunden, das Kohlenmonoxid (CO) und/oder Wasserstoff (H2) bei einer Temperatur in einem Bereich
von 0 bis 80°C
in Anwesenheit von Sauerstoff oxidieren kann und gleichzeitig das
erzeugte Kohlendioxid (CO2) und den erzeugten
Wasserdampf (H2O) entfernen kann, wodurch
die Aufgabe vollständig
gelöst
wird.
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Dabei
stellt die vorliegende Erfindung ein Gasverarbeitungsagens bereit,
das aufweist: einen Katalysator, der aus anorganischen porösen Materialien
besteht und wenigstens ein Element enthält, das aus der Gruppe ausgewählt ist,
die aus Platin, Palladium, Ruthenium, Rhodium oder Oxiden davon
besteht, und ein Adsorbens.
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Ferner
sieht die vorliegende Erfindung vor: ein Herstellungsverfahren für das Gasverarbeitungsagens, ein
Gasreinigungsverfahren unter Verwendung des Gasverarbeitungsagens,
einen Gasreiniger und eine Gasreinigungsvorrichtung.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 zeigt
schematisch den Querschnitt eines Gasverarbeitungsagens gemäß der vorliegenden
Erfindung, das mit einem Elektronensonden-Mikroanalystor untersucht
wurde;
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2 zeigt
eine Ausführungsform
eines Gasreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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3 zeigt
eine andere Ausführungsform
eines Gasreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung; und
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4 zeigt
eine Ausführungsform
eines Gasreinigers gemäß der vorliegenden
Erfindung bei Anwendung auf einen Vorprozeß für eine Tieftemperatur-Lufttrennanlage.
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GENAUE BESCHREIBUNG
BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Ein
Gasverarbeitungsagens der vorliegenden Erfindung wird erhalten durch
Bilden einer anorganischen porösen
Materialschicht, die wenigstens ein Element enthält, das aus einer Gruppe ausgewählt ist,
die aus Pt, Pd, Ru und Rh oder den Oxiden davon besteht, an der
Oberfläche
eines Adsorbens.
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Bei
dem Gasverarbeitungsagens der vorliegenden Erfindung wird ein Element,
das aus der aus Pt, Pd, Ru und Rh oder den Oxiden davon bestehenden
Gruppe ausgewählt
und in anorganische poröse
Materialien imprägniert
ist, als Katalysator für
die Oxidation von CO und/oder H2 in einem
Gas verwendet.
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Das
imprägnierte
Element kann eines von oder mehr als zwei Arten von Pt, Pd, Ru und
Rh sein. Ferner kann das imprägnierte
Element entweder in einem metallischen Zustand oder in einem Oxidzustand
sein. Der metallische Zustand wird jedoch stärker bevorzugt.
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Als
die anorganischen porösen
Materialien werden bevorzugt Aluminiumoxid, Titandioxid, Siliciumdioxid,
Siliciumdioxid-Aluminiumoxid, Zirconiumdioxid, Zinnoxid, Lanthanoxid,
Cerdioxid, Aktivkohle, Graphitkohle verwendet. Von den vorstehenden
Materialien werden besonders bevorzugt Aluminiumoxid, Titandioxid, Siliciumdioxid,
Siliciumdioxid-Aluminiumoxid, Zirconiumdioxid und Zinnoxid verwendet.
Die obigen Materialien können
für sich
oder als Gemisch aus mehr als einer Art davon verwendet werden.
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Die
spezifische Oberfläche
der anorganischen porösen
Materialien ist bevorzugt 10 m2/g oder größer, stärker bevorzugt
30 m2/g oder größer. Wenn die spezifische Oberfläche kleiner
als 10 m2/g ist, verschlechtert sich der
Verteilungszustand der in die anorganischen porösen Materialien imprägnierten
Komponente, und somit besteht die Tendenz zu geringerer Wirksamkeit.
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Ferner
ist der Elementanteil bevorzugt 0,25 bis 10 Gew.-% (als Metall),
stärker
bevorzugt 0,50 bis 5 Gew.-% des Gesamtgewichts des Gasverarbeitungsagens
(Gewicht des Katalysators + Gewicht des Adsorbens, wie noch beschrieben
wird). Wenn der Elementgehalt geringer als 0,25 Gew.-% ist, besteht
die Tendenz einer Verringerung des Oxidationswirkungsgrads für Wasserstoff,
und wenn der Elementgehalt größer als
10 Gew.-% ist, erhöht
sich die Wirksamkeit nicht proportional zu dem erhöhten Elementgehalt,
was zu Kostennachteilen führt.
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Der
oben beschriebene Katalysator wird in Schichtgestalt auf dem Adsorbens
gebildet. Die Dicke einer Katalysatorschicht ist bevorzugt 10 bis
500 μm,
stärker
bevorzugt 30 bis 200 μm.
Wenn sie unter 10 μm
ist, besteht die Tendenz, daß das
erzeugte CO2 oder H2O
die Adsorption von CO und/oder H2 an der
katalytisch wirksamen Stelle behindert. Wenn sie ferner über 500 μm ist, besteht
die Gefahr eines Abschälens
der Katalysatorschicht. CO und/oder H2 in
dem Gas wird von dem Katalysator zu CO2 oder
H2O oxidiert.
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Das
Gasverarbeitungsagens der vorliegenden Erfindung verwendet ein Adsorbens
zur Adsorption des erzeugten CO2 und/oder
H2O. Die Wahl des Adsorbens ist nicht besonders
begrenzt, so lange es für
die Zwecke der vorliegenden Erfindung geeignet ist. Das Adsorbens
kann z.B. Zeolith, Aktivtonerde oder Aktivkohle sein. Von diesen
wird bevorzugt Zeolith verwendet. Die spezifische Oberfläche des
Zeoliths ist bevorzugt mehr als 100 m2/g.
Wenn sie unter 100 m2/g ist, kann das Adsorptionsvermögen verringert
sein. Von den Zeolithen werden insbesondere Li-X-Typ, Na-X-Typ,
Ca-X-Typ, Ba-X-Typ,
Na-A-Typ, K-A-Typ und Ca-A-Typ bevorzugt. Die Gestalt des Adsorbens
ist nicht beschränkt
und kann geeignet ausgewählt
sein unter einer Kugelgestalt, einer extrudierten Form oder dergleichen
in Abhängigkeit
von den Einsatzbedingungen. Außerdem
kann auch die Größe des Adsorbens
in Abhängigkeit
von den Einsatzbedingungen zweckmäßig gewählt werden.
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Wie
oben ausgeführt,
hat das Gasverarbeitungsagens der vorliegenden Erfindung die Struktur,
bei der die Katalysatorschicht auf dem Adsorbens gebildet wird,
und somit werden CO2 und/oder H2O,
die in der Katalysatorschicht oxidiert werden, von der Katalysatorschicht
unmittelbar zu dem Adsorbens entfernt, ohne in der Katalysatorschicht
zu verbleiben. Aus diesem Grund kann die Katalysatorschicht gegenüber CO und/oder H2 eine hohe Oxidationswirksamkeit behalten.
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Daher
kann das Gasverarbeitungsagens der vorliegenden Erfindung CO, H2, CO2 und H2O gleichzeitig aus dem Gas entfernen und
hat eine lange Lebensdauer sowohl für die Oxidation von CO und
H2 als auch die Adsorption von CO2 und H2O.
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Das
obige Gasverarbeitungsagens kann nach dem folgenden Verfahren hergestellt
werden.
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Das
bevorzugte Herstellungsverfahren weist die folgenden Schritte auf:
- (a) den Schritt des Herstellens eines Vorläufers oder
eines Breis des Katalysators,
- (b) den Schritt des Auftragens des Breis auf das Adsorbens und
anschließendes
Kalzinieren desselben.
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Der
Brei des Katalysator-Vorläufers
kann beispielsweise durch ein Verfahren hergestellt werden, das aufweist:
Vermischen von Wasser, Pulver von anorganischem porösem Material,
wenigstens einer Verbindung, die aus einer Gruppe ausgewählt ist,
die aus Pt, Pd, Rh oder Ru besteht und die imprägniert wird, und eines Binders
oder dergleichen und anschließendes
Vermahlen derselben.
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Als
Ausgangsverbindung für
die zu imprägnierende
Komponente kann verwendet werden: Chlorid wie etwa Palladiumchlorid,
Rhodiumchlorid oder dergleichen, Nitrat wie etwa Palladiumnitrat,
Rutheniumnitrat oder dergleichen, Sulfate wie Rhodiumsulfat, Rutheniumsulfat
oder dergleichen, und Acetate wie Palladiumacetat, Rhodiumacetat
oder dergleichen. Außerdem
können
das organische Salz, Amin, Alkalisalz, organischer Komplex oder
dergleichen verwendet werden.
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Als
Binder kann beispielsweise verwendet werden: Aluminiumsulfat, Aluminiumnitrat,
Wasserglas, Siliciumdioxidsol, Aluminiumoxidsol, Zirconiumdioxidsol
oder dergleichen. Als Additivagens kann beispielsweise eine organische
Säure von
Essigsäure
oder dergleichen oder eine anorganische Säure von Salpetersäure oder
dergleichen verwendet werden. Erforderlichenfalls kann ein Entschäumungsmittel
zugegeben werden.
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In
Bezug auf ein Verfahren zum Auftragen des Breis auf das Adsorbens
gibt es keine spezielle Beschränkung,
und herkömmliche
Methoden wie Tauchen oder Aufsprühen
können
angewandt werden.
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Die
Kalzinierung kann entweder in Luft oder in einem Schutzgas erfolgen,
und die Kalzinierungstemperatur ist bevorzugt 200 bis 600°C und stärker bevorzugt
400 bis 500°C.
Die Kalzinierungsdauer ist bevorzugt 0,5 bis 5 h und stärker bevorzugt
1 bis 3 h.
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Ferner
kann auf den obigen Schritt (b) ein Gasphasenreduktionsvorgang folgen,
der es möglich
macht, das Gasverarbeitungsagens mit höherer Wirksamkeit zu erzeugen.
Als Reduktionsmittel für
den Gasphasenreduktionsschritt können
Wasserstoff oder Gasgemische aus Wasserstoff und Inertgasen wie
Stickstoff oder dergleichen verwendet werden. Die Reduktionstemperatur
ist bevorzugt 150 bis 500°C
und stärker
bevorzugt 200 bis 400°C,
und die Reduktionsdauer ist bevorzugt 0,5 bis 5 h und stärker bevorzugt
2 bis 3 h.
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Ein
weiteres bevorzugtes Herstellungsverfahren für das Gasverarbeitungsagens
weist die folgenden Schritte auf:
- (a) Herstellen
eines Breis aus den oben angegebenen anorganischen porösen Materialien,
- (b) Auftragen des Breis (a) auf das Adsorptionsmittel und anschließendes Kalzinieren
desselben;
- (c) Herstellen eines Breis aus wenigstens einer Verbindung,
die aus einer aus Platin, Palladium, Rhodium und Ruthenium bestehenden
Gruppe ausgewählt
ist;
- (d) Auftragen des Breis (c) auf das Adsorptionsmittel und anschließendes Kalzinieren
desselben.
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Außerdem kann
nach dem Schritt (d) eine Gasphasenreduktion durchgeführt werden.
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1 ist
eine schematische Ansicht, die durch die Analyse eines Querschnitts
des Gasverarbeitungsagens, das nach dem oben angegebenen Verfahren
hergestellt war, mit einem Elektronensonden-Mikroanalysator (EPMA)
erhalten ist. Dabei ist zu sehen, daß die Katalysatorschicht auf
dem Adsorbens gebildet ist.
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Nachstehend
wird ein Gasreinigungsverfahren zum Erreichen des oben angegebenen
Zwecks erläutert.
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Eine
Ausführungsform
gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt ein Gasreinigungsverfahren zum Reinigen eines Speisegases,
das wenigstens Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff als eine sehr
kleine Menge an Verunreinigungen enthält, und zum Entfernen der sehr
kleinen Menge an Verunreinigungen, wobei das Speisegas durch Verwendung
eines Gasverarbeitungsagens gereinigt wird, das die oxidierende
Katalysatorfähigkeit
und Adsorptionsfähigkeit
hat, bei einer Gebrauchstemperatur von 0 bis 80°C.
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Das
oben angegebene Gasverarbeitungsagens kann zweckmäßig um Raumtemperatur
herum verwendet werden, wie sich in dem folgenden Ergebnis des Auswertungstests
zeigt. Es ist in Bezug auf Arbeitskosten sehr vorteilhaft, daß ein Gasreiniger
und eine Gasreinigungsvorrichtung um Raumtemperatur herum betrieben
werden können.
Außerdem
haben die Oxidationsreaktionen von Kohlenmonoxid und Wasserstoff
die Tendenz, bei hoher Temperatur leichter abzulaufen, und das Adsorptions-
und Entfernungsvermögen
für Kohlendioxid
und Wasser, die durch die Oxidationsreaktion erzeugt werden, wird
bei niedrigerer Temperatur beschleunigt. Daher kann das vorliegende
Gasverarbeitungsagens den gewünschten
Gasverarbeitungsvorgang vorteilhafter bei der Temperatur von 100°C oder niedriger,
stärker
bevorzugt bei 80°C
oder niedriger, ausführen.
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2 zeigt
eine Ausführungsform
eines Gasreinigers und einer Gasreinigungsvorrichtung der vorliegenden
Erfindung bei Anwendung für
die Vorbehandlung für
eine Tieftemperatur-Lufttrennanlage. 2 zeigt den
Gasreiniger 11a, 11b, der eine erste Adsorbensschicht 28,
eine zweite Adsorbensschicht 29 und eine Gasverarbeitungsagensschicht 30 aufweist,
die in der Reihenfolge entsprechend der Luftströmungsrichtung in einem Verdichtungsbehälter gebildet
sind, der eine Speisegaseinlaßöffnung und
eine Speisegasauslaßöffnung hat.
Die erste Adsorbensschicht 28 weist ein Adsorbens (z.B.
Aktivaluminiumoxid) auf, das in einem verdichteten Luftstrom enthaltenen
Wasserdampf adsorbiert und entfernt, die zweite Adsorbensschicht 29 weist
ein Adsorbens (z.B. Na-X-Zeolith)
auf, das in der verdichteten Luft enthaltenes Kohlendioxid adsorbiert
und entfernt, und die Gasverarbeitungsagensschicht 30 weist
ein Gasverarbeitungsagens auf, bei dem eine Katalysatorschicht,
die ein Element zur Oxidation von Kohlenmonoxid und Wasserstoff
in Anwesenheit von Sauerstoff enthält, auf ein Adsorbens aufgetragen
ist.
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Von
einem Luftverdichter verdichtete Speiseluft wird durch Luftkühlung oder
Wasserkühlung
auf eine geeignete Temperatur gekühlt und nach Abscheidung des
Kondenswassers in die erste Adsorbensschicht 28 eingeleitet.
Das Adsorbens der ersten Adsorbensschicht 28 ist ein Trocknungsmittel,
und der größte Teil
des in der verdichteten Luft enthaltenen Wasserdampfs wird adsorbiert
und entfernt, nimmt einen hochtrockenen Gaszustand an und wird zu
der zweiten Adsorbensschicht 29 geleitet. Dabei wird der
Trockengaszustand mit einem Taupunkt von –70°C oder tiefer bevorzugt.
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In
der zweiten Adsorbensschicht 29 wird in der verdichteten
Luft enthaltenes Kohlendioxid adsorbiert und auf eine sehr kleine
Menge (von ungefähr
unter 1 ppm) entfernt. Ferner hat das Adsorbens für den Wasserdampf
und/oder das Kohlendioxid die Fähigkeit,
die in dem Speisegas enthaltene Katalysatorgiftkomponente zu adsorbieren.
Während
also die verdichtete Luft durch die erste und die zweite Adsorbensschicht 28, 29 geleitet
wird, werden die Komponenten, die in der Luft enthalten und für die Wirksamkeit
des Katalysators selbst in sehr kleiner Menge von flüchtigen
Kohlenwasserstoffen, Halogen enthaltenden Kohlenwasserstoffen, organischen
Schwefelverbindungen, Schwefeloxid, Stickoxid oder dergleichen schädlich sind,
adsorbiert und entfernt, so daß Reinheitsbedingungen
für den
Katalysator erhalten werden.
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Die
verdichtete Luft, die inzwischen einen Reinheitszustand für den Katalysator
angenommen hat, wird zu der Gasverarbeitungsagensschicht 30 geleitet,
um Kohlenmonoxid und Wasserstoff umzuwandeln und zu entfernen, und
die sehr kleine Menge an Kohlenmonoxid und Wasserstoff, die in der
verdichteten Luft enthalten ist, reagiert mit Sauerstoff in der
verdichteten Luft durch die Katalyse mittels der Katalysatorschicht,
die das Element zur Oxidation von Kohlenmonoxid und Wasserstoff
enthält,
welches auf das Adsorbens aufgetragen ist. Das Kohlendioxid und
der Wasserdampf werden in das Adsorbens als Katalysatorträger unmittelbar adsorbiert
und aus der Speiseluft entfernt.
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Nachstehend
wird eine andere Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf 3 erläutert. 3 zeigt
eine Ausführungsform,
wobei der Reiniger 11a, 11b ein Zweischichtbeladungstyp-Reiniger
ist, bei dem in einem vorderen Teil der Gasverarbeitungsagensschicht 30 nur
eine Adsorbensschicht 31 ausgebildet ist. Bei dieser Ausführungsform
werden durch Verwendung eines Adsorbens, das gleichzeitig sowohl
Wasserdampf als auch Kohlendioxid adsorbiert (ein Adsorbens, welches
das Adsorptionsvermögen
der Adsorbensschicht 28 + 29 hat, z.B. Na-X-Zeolith),
in der vorderen Adsorbensschicht 31 das in der Speiseluft
enthaltene Wasser und Kohlendioxid vorher entfernt, und die sehr
kleine Menge an Kohlenmonoxid und Wasserstoff wird von der Gasverarbeitungsagensschicht 30 entfernt.
Außerdem
kann das Adsorbens (z.B. aktiviertes Aluminiumoxid) zur Adsorption
und zum Entfernen von Wasserdampf in der vorderen Adsorbensschicht 31 verwendet
werden.
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Zum
Erreichen des vorher genannten Zwecks kann der Gasreiniger mit dem
Adsorbens und dem Gasverarbeitungsagens in dem Verdichtungsbehälter, der
eine Speisegaseinlaßöffnung und
eine Speisegasauslaßöffnung hat,
in der Reihenfolge von der Einlaßöffnung einer Wasseradsorbens-Packschicht,
einer Kohlendioxidadsorbens-Packschicht
und einer Gasverarbeitungsagens-Packschicht, welche die Oxidationskatalysatorfähigkeit
und das Adsorptionsvermögen
hat, oder einer Wasserdampfadsorbens-Packschicht und der Gasverarbeitungsagens-Packschicht
angeordnet sein. Speziell hat das Adsorbens des Gasreinigers die
Fähigkeit, die
in dem Speisegas enthaltene Katalysatorgiftkomponente zu adsorbieren.
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Die
Gasreinigungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung zur Lösung der
genannten Aufgabe weist eine Vielzahl von Gasreinigungsmitteln,
eine Umschalteinrichtung zum abwechselnden Umschalten des Gasreinigers
zwischen einem Reinigungsschritt und einem Regenerierungsschritt
und eine Regenerationsgas-Zuführeinrichtung
zum Zuführen
eines Regenerationsgases für
den Gasreiniger in Gegenstromrichtung auf, wobei der Gasreiniger
durch abwechselndes Umschalten alternierend betrieben und immer
wieder regeneriert wird.
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Bei
dem vorliegenden Gasreinigungsverfahren, bei dem ein Speisegas,
das eine kleine Menge an Wasserdampf und Kohlendioxid als Verunreinigungen
und wenigstens Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff als eine sehr
kleine Menge an Verunreinigungen enthält, so gereinigt wird, daß die kleine
Menge an Verunreinigungen und die sehr kleine Menge an Verunreinigungen
entfernt werden, wird zuerst der enthaltene Wasserdampf von dem
Wasserdampfadsorbens adsorbiert und entfernt, dann wird das enthaltene
Kohlendioxid von dem Kohlendioxidadsorbens adsorbiert und entfernt,
und dann wird die enthaltene sehr kleine Menge an Kohlenmonoxid
und/oder Wasserstoff von dem Gasverarbeitungsagens entfernt.
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Ferner
werden bei dem vorliegenden Verfahren, bei dem ein Speisegas, das
eine kleine Menge an Wasserdampf und/oder Kohlendioxid als Verunreinigungen
und wenigstens Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff als eine sehr
kleine Menge an Verunreinigungen enthält, gereinigt wird, so daß die kleine
Menge an Verunreinigungen und die sehr kleine Menge an Verunreinigungen
entfernt werden, zuerst der enthaltene Wasserdampf und/oder das
Kohlendioxid durch das Adsorbens für Wasserdampf und Kohlendioxid
adsorbiert und entfernt, und dann wird die sehr kleine Menge an
Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff durch das Gasverarbeitungsagens
mit der katalytischen Oxidationsfähigkeit und Adsorptionsfähigkeit
entfernt, oder es wird zuerst der Wasserdampf von dem Wasserdampfadsorbens
adsorbiert und entfernt, und dann wird die sehr kleine Menge an
Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff durch das Gasverarbeitungsagens
mit der katalytischen Oxidationsfähigkeit und Adsorptionsfähigkeit
entfernt.
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Durch
Verwendung des angegebenen Gasverarbeitungsagens kann die Doppelfunktion
mit nur einem Verarbeitungsagens erzielt werden, daß nämlich nicht
nur Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff bei der Temperatur innerhalb
des Bereichs von 0 bis 80°C
in Anwesenheit von Sauerstoff effektiv zu der geringen Konzentration
oxidiert werden kann, sondern auch der gleichzeitig erzeugte Wasserdampf
und/oder Kohlendioxid effektiv adsorbiert und zu der geringen Konzentration
entfernt werden können.
Daher kann das Verarbeitungsagens an der untersten Position in Richtung
des Gasdurchflusses in dem Gasreiniger vorgesehen werden, und die
in dem hinteren Endbereich des Verarbeitungsagens vorgesehene Adsorbensschicht
bei der herkömmlichen
Reinigungsvorrichtung zum Entfernen von Kohlendioxid und Wasserdampf,
die durch Oxidation erzeugt werden, ist nicht erforderlich; daher
kann die Gesamtvorrichtung klein gebaut werden.
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Auch
in einem Fall, in dem die Katalysatorgiftkomponente wie Chlor, Schwefelverbindungen
usw. in dem Gas vor der Reinigung enthalten ist, kann die Wirkung
der Giftkomponente auf das Katalysatorelement in dem vorliegenden
Gasverarbeitungsagens dadurch minimiert werden, daß das vorliegende
Gasverarbeitungsagens an der untersten Position des Reinigers angeordnet
wird.
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Auch
in einem Fall, in dem Oxidationsfähigkeit oder das Adsorptionsvermögen des
vorliegenden Gasverarbeitungsagens durch die Adsorption von Kohlendioxid
und/oder Wasserdampf verringert ist und die Verarbeitung daher durch
das Gegenstrom-Regenerationsgas
ausgeführt
wird, indem das Gasverarbeitungsagens im hintersten Endbereich angeordnet
ist, wird das Gasverarbeitungsagens durch das hochreine Regenerationsgas
regeneriert, was zur Folge hat, daß eine wirkungsvolle Regeneration
durchgeführt
und die Wartung vorteilhaft wird.
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Das
vorliegende Gasverarbeitungsagens hat ein Oxidationsvermögen für Kohlenmonoxid
und/oder Wasserstoff bei einer Temperatur innerhalb eines Bereichs
von 0 bis 80°C,
und das gleichzeitig erzeugte Kohlendioxid und der Wasserdampf können über einen
langen Zeitraum auf eine niedrige Konzentration adsorbiert und entfernt
werden. Daher kann das Reingas auf einfache Weise erhalten werden,
indem die Wasserdampf- und/oder Kohlendioxidadsorbens-Packschicht
an der Seite der Einlaßöffnung angeordnet
wird und das Gasverarbeitungsagens in der Reihenfolge um die Gasdurchflußrichtung
herum in dem Reiniger angeordnet wird, um Gase wie etwa die Atmosphärenluft
zu reinigen, die Kohlenmonoxid, Wasserstoff, Kohlendioxid, Wasserdampfgas
usw. enthält.
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Das
vorliegende Gasverarbeitungsagens kann Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff
gleichzeitig bei einer Temperatur innerhalb des Bereichs von 0 bis
80°C reinigen,
und gleichzeitig erzeugtes Kohlendioxid und Wasserdampf können über einen
langen Zeitraum auf niedrige Konzentration adsorbiert werden. Daher
kann die Packschicht des vorliegenden Gasverarbeitungsagens, die
eine Katalysatorschicht ist, in der untersten Position in der Gasdurchflußrichtung
in dem Gasreiniger vorgesehen werden, und es ist nicht notwendig,
eine Adsorptionseinrichtung zum Entfernen von Kohlendioxid und Wasserdampf,
die durch Oxidation erzeugt werden, an dem hinteren Endbereich der
Gasverarbeitungsagensschicht in der Reinigungsvorrichtung vorzusehen;
somit kann die gesamte Einrichtung klein und einfach ausgebildet
werden.
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In
der Luft sind vor der Reinigung als Katalysatorgiftkomponenten,
die sich beim Langzeitgebrauch des Katalysators an der Katalysatoroberfläche ansammeln
und von Industrieabgasen, Fahrzeugabgasen oder dergleichen stammen,
Chlorverbindungen wie Chlor, Chlorwasserstoff, Trichlorethylen etc.,
Schwefelverbindungen wie Hydrogensulfid, Mercaptan etc., VOC (flüchtige organische
Verbindungen), Ruß usw.
enthalten, wenn auch in sehr kleiner Menge. Auch in einem Fall,
in dem der Zustand des Speisegases schlecht ist, kann das vorliegende
Gasverarbeitungsagens in der hintersten Position in dem Reiniger
vorgesehen sein, und somit kann die Auswirkung der Giftkomponente
auf den Katalysator in dem vorliegenden Verarbeitungsagens minimiert
werden.
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In
dem Regenerierungsschritt durch Reingas-Gegenstrom in einem Fall,
in dem das Katalysatoroxidationsvermögen oder Adsorptionsvermögen des
vorliegenden Verarbeitungsagens infolge der Adsorption von Kohlendioxid
und/oder Wasserdampf verringert ist, wird das Gasverarbeitungsagens
in der hintersten Position vorgesehen, und somit kann die Wirkung
der von der am Vorderende angeordneten Schicht desorbierten Verunreinigungen
vermieden und die wirksame Regenerierung erreicht werden.
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Die
Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die folgenden Ausführungsbeispiele
des Herstellungsverfahrens des vorliegenden Gasverarbeitungsagens
im einzelnen beschrieben. Es versteht sich jedoch, daß die Erfindung
nicht auf die Ausführungsbeispiele
beschränkt
ist.
-
Ausführungsbeispiel 1
-
- (1) 330 g handelsübliches 5 Gew.-% Pd-Aluminiumoxidpulver
wurde mit 740 g entionisiertem Wasser und 30 ml Essigsäure vermischt.
Dieses Gemisch wurde für
15 h in einer Kugelmühle
vermahlen, und Katalysatorbrei wurde erhalten.
- (2) 900 g des Adsorbens (Na-X-Typ, Durchmesser 1,5 mm, Länge 3 mm)
wurde in eine Tablettenbeschichtungsmaschine eingebracht und diese
elektrisch angetrieben. 550 g des Katalysatorbreis, der aus (1)
erhalten war, wurde als Spray auf das Adsorbens aufgebracht. Nach
Entnahme wurde es für
1 h bei 100°C im
Trockner getrocknet, in eine Quarzschale verbracht und für 1 h bei
500°C in
Luft in einem Elektroofen kalziniert, und so wurde ein Gasverarbeitungsagens
A-1 erhalten.
-
Ausführungsbeispiel 2
-
Das
in Ausführungsbeispiel
1 erhaltene Gasverarbeitungsagens A-1 wurde für 2 h bei 200°C mit dem 10
Vol.-% H2-Gas (Basisgas ist N2)
in dem Ofen reduziert, so daß ein
Gasverarbeitungsagens A-2 erhalten wurde.
-
Ausführungsbeispiel 3
-
Das
in Ausführungsbeispiel
1 erhaltene Gasverarbeitungsagens A-1 wurde für 2 h bei 400°C mit dem 10
Vol.-% H2-Gas (Basisgas ist N2)
in dem Ofen reduziert, so daß ein
Gasverarbeitungsagens A-3 erhalten wurde.
-
Ausführungsbeispiel 4
-
- (1) 462,5 g handelsübliches Aluminiumoxidpulver
(spezifische Oberfläche
100 m2/g) wurde mit 715,5 g entionisiertem
Wasser vermischt, das Palladiumnitrat (Pd(NO3)2) (12,5 g als Palladiummetall) und 250 g
Aluminiumoxidsol (Aluminiumoxid 10 Gew.-%) enthielt. Dieses Gemisch
wurde für
15 h in der Kugelmühle
vermahlen und der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (2) 742 g des in Ausführungsbeispiel
1(2) verwendeten Adsorbens wurde in die Tablettenbeschichtungsmaschine
verbracht und diese elektrisch angetrieben, und 472 g des in (1)
erhaltenen Katalysatorbreis wurde als Spray auf das Adsorbens aufgetragen.
Nach Entnahme wurde es für
1 h bei 100°C
im Trockner getrocknet. Nach dem Einbringen in die Tablettenbeschichtungsmaschine
und elektrischem Antreiben derselben wurden die vorstehenden Auftrag-
und Trocknungsvorgänge
wiederholt. Dann wurde es in die Quarzschale verbracht, für 1 h bei
500°C in
Luft in dem Elektroofen kalziniert und dem Reduzierungsvorgang für 2 h bei 200°C in dem
10 Vol.-% H2-Gas (Basisgas ist N2) in dem Ofen unterzogen, und so wurde ein
Gasverarbeitungsagens A-4 erhalten.
-
Ausführungsbeispiel 5
-
- (1) 165 g handelsübliches 10 Gew.-% Pd-Aluminiumoxidpulver
wurde mit 645 g entionisiertem Wasser und 15 ml Essigsäure vermischt,
und dieses Gemisch wurde für
15 h in der Kugelmühle
vermahlen, so daß der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten wurde.
- (2) 989 g des Adsorbens, das in Ausführungsbeispiel 1(2) verwendet
wurde, wurde in die Tablettenbeschichtungsmaschine verbracht und
diese elektrisch angetrieben, und 413 g des in (1) erhaltenen Breis wurde
als Spray auf das Adsorbens aufgetragen. Nach der Entnahme wurde
es bei 100°C
für 1 h
unter Verwendung des Heißlufttrockners
getrocknet. Dann wurde es in die Quarzschale verbracht und für 1 h bei 500°C in Luft
in dem Elektroofen kalziniert.
- (3) Dann wurde es dem Reduktionsvorgng für 2 h bei 200°C in dem
10 Vol.-% H2-Gas (Basisgas ist N2) in dem Ofen unterzogen, so daß ein Gasverarbeitungsagens
A-5 erhalten wurde.
-
Ausführungsbeispiel 6
-
- (1) 330 g handelsübliches 5 Gew.-% Pt-Aluminiumoxidpulver
wurde mit 740 g entionisiertem Wasser und 30 ml Essigsäure vermischt,
und dieses Gemisch wurde für
15 h in der Kugelmühle
vermahlen und der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (2) 900 g des Adsorbens von Ausführungsbeispiel 1(2) wurde in
die Tablettenbeschichtungsmaschine eingebracht und diese elektrisch
angetrieben, und 550 g des in (1) erhaltenen Katalysatorbreis wurde
als Spray auf das Adsorbens aufgebracht. Nach der Entnahme wurde
es bei 100°C
für 2 h
im Trockner getrocknet. Dann wurde es in die Quarzschale verbracht
und für
1 h bei 500°C
in Luft in dem Elektroofen kalziniert.
- (3) Dann wurde es dem Reduktionsvorgang für 2 h bei 200°C in dem
10 Vol.-%-H2-Gas (Basisgas ist N2) in dem Ofen unterzogen, so daß ein Gasverarbeitungsagens
A-6 erhalten wurde.
-
Ausführungsbeispiel 7
-
- (1) 442 g handelsübliches Aluminiumoxid (spezifische
Oberfläche
100 m2/g) wurde mit 487,5 g wäßriger Palladiumnitrat(Pd(NO3)2)-Lösung, die
25 g als Palladiummetall enthielt, 487,5 g wäßriger Tetraaminplatin(II)-diacetat
([Pt(NH3)4])(OAc)2)-Lösung,
enthaltend 8,35 g als Platinmetall, und 250 g Aluminiumoxidsol (Aluminiumoxid
10 Gew.-%) vermischt, und dieses Gemisch wurde für 15 h in der Kugelmühle vermahlen, so
daß der
Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten wurde.
- (2) 900 g des in Ausführungsbeispiel
1(2) verwendeten Adsorbens wurde in die Tablettenbeschichtungsmaschine
eingebracht und diese elektrisch angetrieben, und 550 g des in (1)
erhaltenen Breis wurde als Spray auf das Adsorbens aufgetragen.
Nach der Entnahme wurde es bei 100°C für 1 h mit einem Trockner getrocknet.
Dann wurde es in die Quarzschale verbracht und für 1 h bei 500°C in Luft
in dem Elektroofen kalziniert.
- (3) Dann wurde es dem Reduktionsvorgang für 2 h bei 200°C in dem
10 Vol.-%-H2-Gas (Basisgas ist N2) in dem Ofen unterzogen, so daß ein Gasverarbeitungsagens
A-7 erhalten wurde.
-
Ausführungsbeispiel 8
-
- (1) 442 g handelsübliches Aluminiumoxidpulver
(spezifische Oberfläche
100 m2/g) wurde mit 487,5 g wäßriger Palladiumnitrat(Pd(NO3)2)-Lösung, enthaltend
25 g als Palladiummetall, 487,5 g wäßriger Rhodiumnitrat([Rh(NO3)3])-Lösung, enthaltend
8,35 als Rhodiummetall, und 250 g Aluminiumoxidsol (Aluminiumoxid 10
Gew.-%) vermischt, und dieses Gemisch wurde für 15 h in der Kugelmühle vermahlen
und der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (2) Der gleiche Vorgang wie in Ausführungsbeispiel 7(2) wurde durchgeführt.
- (3) Durch die gleiche Behandlung wie in Ausführungsbeispiel 7(3) mit der
Ausnahme, daß die
Temperatur 400°C
war, wurde ein Gasverarbeitungsagens A-8 erhalten.
-
Ausführungsbeispiel 9
-
- (1) 442 g handelsübliches Aluminiumoxidpulver
(spezifische Oberfläche
100 m2/g) wurde mit 487,5 g wäßriger Palladiumnitrat(Pd(NO3)2)-Lösung, enthaltend
25 g als Palladiummetall, 487,5 g wäßriger Rutheniumnitrosylnitrat([Ru(NO)(NO3)3])-Lösung, enthaltend
8,35 g als Rutheniummetall, und 250 g Aluminiumoxidsol (Aluminiumoxid
10 Gew.-%) vermischt, und dieses Gemisch wurde für 15 h in der Kugelmühle vermahlen und
der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (2) Der gleiche Vorgang wie in Ausführungsbeispiel 7(2) wurde durchgeführt.
- (3) Durch die gleiche Behandlung wie in Ausführungsbeispiel 8(3) wurde ein
Gasverarbeitungsagens A-9 erhalten.
-
Ausführungsbeispiel 10
-
- (1) 450 g handelsübliches Siliciumdioxidpulver
(spezifische Oberfläche
100 m2/g) wurde mit 1067 g wäßriger Palladiumnitrat(Pd(NO3)2)-Lösung, enthaltend
25 g als Palladiummetall, und 125 g Siliciumdioxidsol (Siliciumdioxid
20 Gew.-%) vermischt, und dieses Gemisch wurde für 15 h in der Kugelmühle vermahlen
und der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (2) Der gleiche Vorgang wie in Ausführungsbeispiel 7(2) wurde durchgeführt.
- (3) Durch die gleiche Behandlung wie in Ausführungsbeispiel 8(3) wurde ein
Gasverarbeitungsagens A-10 erhalten.
-
Ausführungsbeispiel 11
-
- (1) 80 g handelsübliches Aluminiumoxidpulver
(spezifische Oberfläche
100 m2/g) wurde mit Palladiumschwarz (80
g als Palladiummetall), 191 g entionisiertem Wasser und 200 g Aluminiumoxidsol
(Aluminiumoxid 10 Gew.-%) vermischt, und dieses Gemisch wurde für 15 h in
der Kugelmühle
vermahlen und der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (2) 400 g des in Ausführungsbeispiel
1(2) verwendeten Adsorbens wurden in die Tablettenbeschichtungsmaschine
eingebracht und diese elektrisch angetrieben, und 286 g des in (1)
erhaltenen Katalysatorbreis wurden als Spray auf das Adsorbens aufgetragen.
Nach der Entnahme wurde es bei 100°C für 1 h in einem Trockner getrocknet.
- (3) Durch die gleiche Behandlung wie in Ausführungsbeispiel 8(3) wurde ein
Gasverarbeitungsagens A-11 erhalten.
-
Ausführungsbeispiel 12
-
- (1) Ein Gemisch aus 180 g handelsüblichem
Aluminiumoxidpulver (spezifische Oberfläche 100 m2/g),
287 g entionisiertem Wasser und 200 g Aluminiumoxidsol (Aluminiumoxid
10 Gew.-%) wurde für
15 h in der Kugelmühle
vermahlen und der Aluminiumoxidbrei erhalten.
- (2) 900 g des in Ausführungsbeispiel
1(2) verwendeten Adsorbens wurde in die Tablettenbeschichtungsmaschine
verbracht und diese elektrisch angetrieben, und 522 g des in (1)
erhaltenen Aluminiumoxidbreis wurde als Spray auf das Adsorbens
aufgetragen. Nach der Entnahme wurde es bei 100°C für 1 h im Trockner getrocknet
und in die Quarzschale verbracht und für 1 h bei 500°C in Luft
im Elektroofen kalziniert. Dann wurde das kalzinierte Adsorbens
erneut in die Tablettenbeschichtungsmaschine verbracht und diese
elektrisch angetrieben, und es wurde mit 300 g wäßriger Palladiumnitrat(Pd(NO3)2)-Lösung, enthaltend
8,25 g als Palladiummetall, sprühbeschichtet.
Dann
wurden das Trocknen und die Kalzinierung von (2) wiederholt.
- (3) Durch Ausführen
des gleichen Vorgangs wie in Ausführungsbeispiel 8(3) wurde ein
Gasverarbeitungsagens A-12 erhalten.
-
Ausführungsbeispiel 13
-
- (1) 330 g handelsübliches 5 Gew.-% Pr-Aluminiumoxidpulver
wurde mit 580 g entionisiertem Wasser und 30 ml Essigsäure vermischt,
und dieses Gemisch wurde für
15 h in der Kugelmühle
vermahlen und der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (2) 330 g handelsübliches
5 Gew.-% Pd-Aluminiumpulver wurde mit 580 g entionisiertem Wasser
und 30 ml Essigsäure
vermischt, und dieses Gemisch wurde für 15 h in der Kugelmühle vermahlen
und der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (3) 635 g des Adsorbens (Na-X-Typ, Durchmesser 1,5 mm, Länge 3 mm)
wurde in die Tablettenbeschichtungsmaschine verbracht und diese
elektrisch angetrieben. 117 g des in (1) erhaltenen Vorläuferbreis
des Katalysators wurde als Spray auf das Adsorbens aufgetragen.
- (4) Und als nächstes
wurde 354 g des in (2) erhaltenen Vorläuferbreis des Katalysators
als Spray auf das Adsorbens aufgetragen.
- (5) Nach der Entnahme wurde es für 1 h bei 100°C in einem
Trockner getrocknet, in eine Quarzschale verbracht und für 1 h bei
500°C in
Luft in einem Elektroofen kalziniert.
- (6) Durch Ausführen
des gleichen Vorgangs wie in Ausführungsbeispiel 8(3) wurde ein
Gasverarbeitungsagens A-13 erhalten.
-
Vergleichsbeispiel 1
-
Es
wurde entsprechend dem Ausführungsbeispiel
1-1 der JP-OS 10-85588 hergestellt.
- (1) Palladiumnitrat(Pd(NO3)2)-Lösung, enthaltend
5,3 g Palladiumnitrat, wurde mit entionisiertem Wasser auf 310 g
verdünnt.
- (2) 500 g des Adsorbens, das in Ausführungsbeispiel 1(2) verwendet
wurde, wurde in die Tablettenbeschichtungsmaschine verbracht und
diese elektrisch angetrieben, und 310 g der oben erwähnten Palladiumnitratlösung (1)
wurde als Spray auf Zeolith aufgetragen. Nach der Entnahme wurde
es bei 100°C
für 1 h
mit einem Trockner getrocknet und in die Quarzschale verbracht und
für 1 h
bei 500°C
in Luft im Elektroofen kalziniert, und es wurde ein Gasverarbeitungsagens
B-1 erhalten.
-
Vergleichsbeispiel 2
-
Das
in Vergleichsbeispiel 1 erhaltene Gasverarbeitungsagens B-1 wurde
auf die gleiche Weise wie das Ausführungsbeispiel 2 unter Verwendung
des Wasserstoffreduktionsofens behandelt, wobei ein Gasverarbeitungsagens
B-2 erhalten wurde.
-
Vergleichsbeispiel 3
-
- (1) 330 g handelsübliches 2 Gew.-% Pd-Aluminiumoxidpulver,
740 g entionisiertes Wasser und 30 ml Essigsäure wurden vermischt, und dieses
Gemisch wurde für
15 h in der Kugelmühle
vermahlen und der Vorläuferbrei
des Katalysators erhalten.
- (2) 1115 g des in Ausführungsbeispiel
1(2) verwendeten Adsorbens wurde in die Tablettenbeschichtungsmaschine
eingebracht und diese elektrisch angetrieben, und 550 g des aus
(1) erhaltenen Breis wurde als Spray auf das Adsorbens aufgetragen.
Nach der Entnahme wurde es bei 100°C für 1 h im Trockner getrocknet.
Dann wurde es in die Quarzschale verbracht und für 1 h bei 500°C in Luft
im Elektroofen kalziniert.
- (3) Durch Ausführen
des gleichen Schritts wie in Ausführungsbeispiel 2 wurde ein
Gasverarbeitungsagens B-3 erhalten.
-
Vergleichsbeispiel 4
-
Handelsübliche 0,50%
Pd-Aluminiumoxidkügelchen
(Katalysatordurchmesser 3 mm) wurde als ein Gasverarbeitungsagens
B-4 festgelegt.
-
Die
Einzelheiten der aus dem Vorstehenden erhaltenen Gasverarbeitungsagentien
sind in der Tabelle 1 angegeben.
-
-
-
Als
nächstes
wurden Bewertungsprüfungen
für die
Gasverarbeitungsagentien der Ausführungsbeispiele 1 bis 13 und
der Vergleichsbeispiele 1 bis 4 durchgeführt.
-
77
ml Gasverarbeitungsagens wurde in den Gasreiniger mit einem Innendurchmesser
von 17,5 mm und einer Länge
von 320 mm gepackt, und die Temperatur des Gasreinigers wurde auf
10°C und
der Druck auf 880 kPa gehalten. Ein Speisegas der nachstehenden
Zusammensetzung wurde vom Einlaß des
Gasreinigers eingeführt,
und der CO-, H2-, CO2-Gehalt
und der Taupunkt des aus dem Auslaß des Gasreinigers austretenden
Gases wurden gemessen. Der Zeitpunkt, zu dem die Meßwerte von
CO, H2 und CO2 und
der Taupunkt 10 ppb bzw. 10 ppb bzw. 10 ppb bzw. –80°C erreichten,
wurde als eine Durchbruchzeit vorgegeben.
-
Zusammensetzung des Speisegases:
-
- CO: 5 ppm
- H2: 10 ppm
- Reinluft: Basisgas
-
Das
Ergebnis der Bewertungsprüfung
des hergestellten Gasverarbeitungsagens ist in der Tabelle 2 gezeigt.
-
-
-
Wie
die obigen Ergebnisse der Bewertungsprüfung zeigen, besteht hinsichtlich
des Leistungsvermögens
ein großer
Unterschied zwischen den Ausführungsbeispielen
1 bis 13 der vorliegenden Erfindung und den Vergleichsbeispielen
1 bis 4.
-
Die
Durchbruchzeiten der Gasverarbeitungsagentien der Ausführungsbeispiele
1 bis 13 sind viel länger
gegenüber
denen der Vergleichsbeispiele 1, 2 und 4. Im Fall des Vergleichsbeispiels
3 sind die Durchbruchzeiten von CO und CO2 nahezu
gleich mit dem vorliegenden Gasverarbeitungsagens. Die H2-Durchbruchzeit ist jedoch sehr kurz.
-
Die
Ergebnisse der Bewertungsprüfungen
zeigen klar, daß die
folgenden vorteilhaften Auswirkungen bei Anwendung des vorliegenden
Gasverarbeitungsagens erreicht werden können.
- (1)
Bei dem Verfahren zum Erzeugen eines hochreinen Stickgases aus der
Speiseluft in der Halbleiterindustrie können Kohlenmonoxid und/oder
Wasserstoff, die in der Speiseluft enthalten sind, bei einer Temperatur
in einem Bereich von 0 bis 80°C
in Anwesenheit von Sauerstoff wirksam oxidiert werden, und der Wasserdampf
und/oder das Kohlendioxid, der/die gleichzeitig erzeugt werden,
können
adsorbiert und auf einen sehr niedrigen Konzentrationsgrad entfernt
werden, und daher ist das vorliegende Verfahren aus ökonomischer
Sicht zu bevorzugen, da hierbei keine Erwärmung notwendig ist im Gegensatz
zu dem herkömmlichen
Verfahren, bei dem die Speiseluft auf 100 bis 250°C erwärmt und
Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff, die in der Luft enthalten sind,
durch die katalytische Reaktion oxidiert und entfernt werden.
- (2) Da mit nur einem Gasverarbeitungsagens eine Doppelfunktion
ausgeführt
werden kann, kann das Agens im hintersten Bereich in Gasdurchflußrichtung
in dem Gasreiniger vorgesehen sein. Außerdem ist es im Gegensatz
zu dem herkömmlichen
Verfahren nicht notwendig, im hinteren Endbereich des Verarbeitungsagens
in der Reinigungsvorrichtung einen Kühler und eine Adsorptionsschicht
zum Entfernen von Kohlendioxid und Wasserdampf vorzusehen, die durch
Oxidation erzeugt werden, und somit kann die Gesamtvorrichtung auf
kostengünstige
Weise vereinfacht werden.
- (3) Auch dann, wenn ein Katalysatorgift wie Chlor, eine Schwefelverbindung
und VOC oder dergleichen in dem Speisegas enthalten ist, kann der
Einfluß der
Giftkomponente auf die Katalysatorkomponente in dem Gasverarbeitungsagens
dadurch minimiert werden, daß das
Verarbeitungsagens der vorliegenden Erfindung im hintersten Bereich
der Reinigungsvorrichtung vorgesehen wird, und somit kann die Gesamtlebensdauer
des Gasverarbeitungsagens verlängert
werden.
-
Bei
dem Regenerierungsprozeß durch
Gegenstromleiten des gereinigten Gases in einem Fall, in dem das
Katalysatoroxidationsvermögen
oder das Adsorptionsvermögen
des Gasverarbeitungsagens durch die Adsorption von Kohlendioxid
und/oder Wasserdampf abnehmen, ist dadurch, daß das Gasverarbeitungsagens mit
Hilfe des reinsten Regenerationsgases regeneriert wird, indem das
Gasverarbeitungsagens im hintersten Endbereich vorgesehen wird,
eine wirksame Regenerierung besser möglich, und somit wird der Rückgewinnungsgrad
der Wirksamkeit des Gasverarbeitungsagens hoch, und die Lebensdauer
wird länger.
-
Als
nächstes
wird eine Ausführungsform
der Vorverarbeitungsvorrichtung der Tieftemperatur-Lufttrennanlage
erläutert,
in der das vorliegende Gasverarbeitungsagens verwendet wird. In
dem Schema von 4 sind 11a und 11b der
vorgenannte Reiniger, in den eine erste Adsorbensschicht 28,
die mit dem den Wasserdampf adsorbierenden Adsorbens (z.B. aktiviertem
Aluminiumoxid) gepackt ist, eine zweite Adsorbensschicht 29,
die mit dem Kohlendioxid adsorbierenden Adsorbens (z.B. Zeolith)
gepackt ist, und eine Gasverarbeitungsagensschicht 30,
die mit dem Gasverarbeitungsagens gepackt ist, das Kohlenmonoxid
und Wasserstoff in Anwesenheit von Sauerstoff oxidiert, in dieser
Reihenfolge in drei Schichten gepackt, um eine Gaseinlaßöffnungsseite
in einem Packungsbehälter 27a, 27b zu
bilden, der eine Gaseinlaßöffnung 25a, 25b und eine
Gasauslaßöffnung 26a, 26b hat.
-
Im
Inneren einer Lufteinlaßöffnung 1 ist
ein Filter 2 vorgesehen, und die Lufteinlaßöffnung 1 ist
mit einem Luftverdichter 4 durch eine Leitung 3 verbunden,
und der Luftverdichter 4 ist mit einem Kühler 6 durch eine
Leitung 5 verbunden. Ein Wasserabscheider 7 ist
in einer Auslaßseite
des Kühlers 6 vorgesehen,
so daß die
Sättigungsmenge überschreitendes Überschußwasser
aus dem Gas, das verdichtet und gekühlt wird, entfernt wird. Eine
Leitung 8 einer Auslaßseite
des Wasserabscheiders 7 verzweigt sich in eine Speiselufteinlaßöffnungsleitung 10a,
die ein Einlaßöffnungsventil 9a hat,
und eine Speiselufteinlaßöffnungsleitung 10b,
die ein Einlaßöffnungsventil 9b hat,
so daß eine
entsprechende Verbindung mit den Gasreinigern 11a, 11b an
den Gaseinlaßöffnungen 25a, 25b erfolgen
kann. Eine Reinluftauslaßöffnungsleitung 13a,
die ein Auslaßöffnungsventil 12a von
der Gasauslaßöffnung 26a des
Reinigers 11a hat, und eine Reinluftauslaßöffnungsleitung 13b,
die ein Auslaßöffnungsventil 12b von
der Gasauslaßöffnung 26b des
Reinigers 11b hat, vereinigen sich zu einer Reinluftauslaßleitung 14,
um Reinluft aus der Leitung 14 in eine Tieftemperatur-Lufttrennanlage 15 zu
leiten.
-
Ferner
verzweigt sich eine Regenerierungsgaseinlaßleitung 17 in eine
Regenerierungsgaseinlaßöffnungsleitung 19a,
die ein Regenerierungsgaseinlaßöffnungsventil 18a hat,
und eine Regenerierungsgaseinlaßöffnungsleitung 19b,
die ein Regenerierungsgaseinlaßöffnungsventil 18b hat,
so daß sie
jeweils mit einer Aufstromseite des Gasstroms aus den Auslaßöffnungsventilen 12a, 12b der
Reingasauslaßöffnungsleitungen 13a, 13b verbindbar
sind. Regenerierungsgasauslaßöffnungsleitungen 21a, 21b haben
ein Regenerierungsgasauslaßöffnungsventil 20a bzw. 20b,
die jeweils mit den Speiselufteinlaßöffnungsleitungen 10a bzw. 10b verbunden
und mit einer Regenerierungsgasauslaßleitung 22 vereinigt
sind. Außerdem
ist die Aufstromseite des Gasstroms aus den Auslaßöffnungsventilen 12a, 12b der
Reingasauslaßöffnungsleitungen 13a, 13b mit einer
Druckversorgungsleitung 24 verbunden, die ein Druckversorgungsventil 23 hat.
-
Als
nächstes
wird ein Luftreinigungsverfahren mit Hilfe der vorstehenden Vorrichtung
beschrieben. Die durch die Lufteinlaßöffnung 1 zugeführte Speiseluft
wird durch den Filter 2 und die Leitung 3 in den
Luftverdichter 4 eingeleitet und auf ungefähr 5 bis
10 kg/cm2 G verdichtet und dann durch die
Leitung 5 in die Kühleinheit 6 eingeleitet,
um auf eine Temperatur von ungefähr
5°C bis
50°C gekühlt zu werden.
Der Kondenswasserdampf der Speiseluft wird von dem Wasserabscheider 7 abgeschieden,
so daß der
enthaltene Wasserdampf Sattdampfdruck annimmt. Dann wird die Speiseluft
in den einen Gasreiniger, beispielsweise den Gasreiniger 11a eingeleitet
zur Durchführung
eines Adsorptionsschritts, und zwar von der Leitung 8 durch
die Speiselufteinlaßleitung 10a,
die das Einlaßöffnungsventil 9a hat,
das geöffnet
wird.
-
Der
größte Teil
des in der verdichteten Luft, die in den Gasreiniger 11a eingeleitet
wird, enthaltenen Wasserdampfs wird in der ersten Adsorptionsschicht 28,
die im nächstliegenden
Teil der Einlaßöffnung gepackt
ist, adsorbiert und entfernt. Anschließend wird der größte Teil
des enthaltenen Kohlendioxids in der zweiten Adsorbensschicht 29 adsorbiert
und entfernt, die in der oberen Seite der ersten Adsorbensschicht
gebildet ist. Dann werden das Kohlenmonoxid und/oder der Wasserstoff,
die in der Speiseluft enthalten sind, in der Gasverarbeitungsagensschicht 30,
die nächst
der Gasauslaßöffnung gebildet
ist, durch den in der verdichteten Luft enthaltenen Sauerstoff oxidiert
und in Kohlendioxid und Wasserdampf umgewandelt. Das durch die Umwandlung
gebildete Kohlendioxid und der Wasserdampf werden unmittelbar an
dem Adsorbens der Gasverarbeitungsagensschicht 30 adsorbiert,
so daß die
Speiseluft zu der Reinluft wird. Die Reinluft wird der Tieftemperatur-Lufttrennanlage 15 aus
der Gasauslaßöffnung 26a durch
die Reinluftauslaßöffnungsleitung 13a,
die das Auslaßöffnungsventil 12a hat,
das geöffnet
ist, und durch die Reinluftauslaßleitung 14 zugeführt.
-
Während die
verdichtete Luft in dem Reiniger 11a gereinigt wird, wird
in dem Reiniger 11b der anderen Seite eine Regenerierung
durchgeführt,
um die in der Gasverarbeitungsagensschicht 30, der ersten
Adsorbensschicht 28 und der zweiten Adsorbensschicht 29 adsorbierten
Verunreinigungen zu entfernen. Dabei wird nach dem Öffnen des
Regenerierungsgasauslaßöffnungsventils 20b zur
Verringerung des Drucks im Inneren des Reinigers 11b auf
Atmosphärendruck
durch die Regenerierungsgasauslaßöffnungsleitung 21b und
die Regenerierungsauslaßleitung 22 das
Regenerierungsgaseinlaßöffnungsventil 18b geöffnet, und
das Regenerierungsgas, beispielsweise ein Anteil der gereinigten
Luft, wird auf eine Temperatur von ungefähr 150°C in einer Heizeinrichtung 16 durch
die Regenerierungsgaseinlaßleitung 17 erwärmt und
dann aus der Gasauslaßöffnung 26b durch
die Regenerierungsgaseinlaßöffnungsleitung 19b und
das Regenerierungsgaseinlaßöffnungsventil 18b in
das Innere des Reinigers 11b geleitet, um dadurch das Gasverarbeitungsagens
und das Adsorbens des Reinigers 11b zu regenerieren. Dann
wird die Regenerierungsluft durch die Speiselufteinlaßöffnungsleitung 10b,
das Regenerierungsgasauslaßöffnungsventil 20b,
die Regenerierungsgasauslaßöffnungsleitung 21b und
die Regenerierungsgasauslaßleitung 22 zur
Atmosphäre
abgeleitet.
-
Nachdem
der Gasreiniger 11b für
einen vorbestimmten Zeitraum erwärmt
wurde, gelangt der Gasreiniger 11b in eine Kühlphase
durch Abschalten der Heizeinrichtung. Wenn das Innere des Gasreinigers 11b auf die
vorbestimmte Temperatur gekühlt
ist, ist der Regenerationsvorgang abgeschlossen. Wenn der Regenerationsprozeß abgeschlossen
ist, werden das Regenerierungsgaseinlaßöffnungsventil 18b und
das Regenerierungsauslaßöffnungsventil 20b geschlossen,
und das Druckventil 23 wird geöffnet. Dann wird ein Anteil
des Reingases aus dem Gasreiniger 11a aus der Gasauslaßöffnung 26b durch
die Reinluftauslaßöffnungsleitung 13a,
die Druckleitung 24 und die Reinluftauslaßöffnungsleitung 13b in
den Gasreiniger 11b eingeleitet, um den Druck im Gasreiniger 11b zu
erhöhen.
Nachdem die Druckbeaufschlagung abgeschlossen ist, wird das Druckventil 23 geschlossen
und das Einlaßöffnungsventil 9b geöffnet, um
die verdichtete Luft in den Gasreiniger 11b einzuleiten,
so daß der
Reiniger 11b wieder auf einen Arbeitsdruck gebracht wird.
Dann werden das Einlaßöffnungsventil 9a und
das Auslaßöffnungsventil 12a geschlossen,
und gleichzeitig werden das Einlaßöffnungsventil 9b und
das Auslaßöffnungsventil 12b geöffnet. Die
Druckluft wird in den Gasreiniger 11b eingeleitet, um die
Reinigung durch den Reiniger 11b zu beginnen. Der Prozeß in dem
Gasreiniger 11b, welcher der gleiche Prozeß wie in dem Gasreiniger 11a ist,
wird durchgeführt,
um die Druckluft zu reinigen. Dann wird die Reinluft aus dem Gasreiniger 11b der
Tieftemperatur-Lufttrennanlage ebenso wie im Fall des Gasreinigers 11a zugeführt. Inzwischen
wird der Regenerierungsvorgang wie oben erläutert in bezug auf den Gasreiniger 11a durchgeführt.
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Für ein Adsorptions-Desorptions-System
mit den Reinigern 11a, 11b wurde zwar ein TSA-Verfahren (TSA
= Thermal Swing Adsorption) bzw. thermisches Pendeladsorptionsverfahren
beschrieben, aber ein PSA-Verfahren (PSA = Pressure Swing Adsorption)
bzw. Druck-Pendeladsorptionsverfahren kann ebenfalls durchgeführt werden.
Außerdem
kann der in 3 gezeigte Zweischichtpackungstyp
als Gasreiniger verwendet werden.
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Außerdem ist
die vorstehende Ausführungsform
ein Beispiel für
den Fall, in dem die vorliegende Erfindung bei der Reinigung der
Speiseluft in Tieftemperatur-Lufttrennanlagen
angewandt wird. Die vorliegende Erfindung ist aber nicht auf Luft
beschränkt
und kann für
die Reinigung eines Gases angewandt werden, das die gleichen Verunreinigungen
enthält.
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Das
Gasverarbeitungsagens der vorliegenden Erfindung ist so ausgebildet,
daß die
Katalysatorschicht an dem Adsorbens gebildet ist, und daher werden
CO2 und/oder H2O,
die in der Katalysatorschicht oxidiert und erzeugt werden, von der
Katalysatorschicht unmittelbar an das Adsorbens adsorbiert, ohne
in der Katalysatorschicht zu verbleiben. Daher kann die Katalysatorschicht
eine hohe Oxidationswirksamkeit für CO und/oder H2 beibehalten.
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Somit
kann das Gasverarbeitungsagens der vorliegenden Erfindung CO, H2, CO2 und H2O gleichzeitig entfernen und hat eine lange
Lebensdauer sowohl in Bezug auf die Oxidation von CO und H2 als auch die Adsorption von CO2 und
H2O.
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Das
Gasreinigungsverfahren der vorliegenden Erfindung, bei dem das vorstehende
Gasverarbeitungsagens verwendet wird, ist der herkömmlichen
Gasreinigungsmethode aus folgendem Grund überlegen. Bei dem Gasreinigungsverfahren
der vorliegenden Erfindung ist es möglich, daß Kohlenmonoxid und/oder Wasserstoff,
die in einem Gas enthalten sind, in dem Temperaturbereich von 0°C bis 80°C in Anwesenheit
von Sauerstoff wirksam auf eine geringe Konzentration oxidiert werden
und Wasserdampf und/oder Kohlendioxid, die gleichzeitig erzeugt
werden, über
einen langen Zeitraum wirkungsvoll adsorbiert und auf eine geringe
Konzentration entfernt werden. Es ist somit möglich, ein Gas mit einem hohen
Reinheitsgrad auf kostengünstige Weise
aus einem Gasgemisch herzustellen, das diese Komponenten als Verunreinigungen
enthält.