DE3128880A1 - Maschine zum laeppen oder polieren - Google Patents

Maschine zum laeppen oder polieren

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DE3128880A1 DE19813128880 DE3128880A DE3128880A1 DE 3128880 A1 DE3128880 A1 DE 3128880A1 DE 19813128880 DE19813128880 DE 19813128880 DE 3128880 A DE3128880 A DE 3128880A DE 3128880 A1 DE3128880 A1 DE 3128880A1
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    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/005Control means for lapping machines or devices
    • B24B37/015Temperature control

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Description

COHAUSZ & FLORACK
PATBNTAN WALTS BÜRO
SCHUMANNSTR. 97 · D-4000 DÜSSELDORF
Telefon:(0210 683346' Telex:08586513 copd
PATENTANWÄLTE:
Dipl.-lng. W. COHAUSZ · Dipl.-lng. R. KNAUF ■ Dipl.-lng. H. B. COHAUSZ · Dipl.-lng. D. H. WERNER
Firma
Peter Wolters
2370 Rendsburg
Maschine zum Läppen oder Polieren
Bei der Arbeit mit einer rotierenden Läppscheibe - das gleiche gilt für Maschinen mit rotierender Polierscheibe ergeben sich oft Unterschiede in der Beanspruchung der Arbeitsfläche, die auf Unterschieden in der Läppgeschwindigkeit, Unterschieden in der Verteilung des Läppgemisches .#·>, und Unterschieden in den Pl äc hendr ücken beruht. Dadurch ergibt sich eine ungleiche Temperaturverteilung der Läppscheibe, Dadurch kann die vorgegebene Form der Arbeitsfläche in unerwünschter Weise geändert werden. Die Qualität der Werkstücke wird dann sowohl durch die verschiedenen Temperaturen als auch die Formänderung der Läppscheibe nachteilig beeinflußt. Manche Läppaufgaben lassen sich nur bei einer bestimmten Temperatur der Läppscheibe durchführen .
Es ist bekannt, Läppscheiben mit einer Kammer oder mit .. mehreren miteinander verbundenen Kammern zu versehen, die von einer Flüssigkeit durchströmt werden, die die gesamte überschüssige Wärme der Läppscheibe abführt. Es hat sich gezeigt, daß dadurch, insbesondere bei großen Läppscheiben, die Arbeitsfläche der Läppscheibe nicht an allen Stellen auf der gleichen Temperatur gehalten werden kann, wenn die durch das Läppen erzeugte Temperatur an verschiedenen Stellen der Arbeitsfläche voneinander abweicht.
Aufgabe der Erfindung ist die Arbeitsfläche der Läppscheibe an allen .Stellen bei beliebiger Läpp-Beanspruchung auf gleicher Temperatur zu halten.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß mehrere Zonen der Fläche der Läppscheibe, die ihrer Arbeitsfläche gegenüberliegen getrennte Zuführungen für Flüssigkeiten verschiedener Temperaturen und/oder Durchflußgeschwindigkeiten haben, für jede Zone der Arbeitsfläche, die einer dieser Zonen entspricht ein Temperaturfühler vorgesehen ist und diese Temperaturfühler mit einer Vorrichtung zum Steuern der Temperatur bzw. der Durchflußgeschwindigkeit der Flüssigkeit verbunden sind.
Vorzugsweise weist die der Arbeitsfläche gegenüberliegende Fläche der Läppscheibe mehrere ringförmige Ausnehmungen auf, . die je einen Einlaß und einen Auslaß für die Flüssigkeit
aufweisen. Diese Ausnehmungen sind vorzugsweise je mit einer eigenen Leitung verbunden, die zu einer eigenen Ringnut eines mit der Antriebswelle der Läppscheibe umlaufenden Teil führt.
Die gleichen Anordnungen können erfindungsgemäß auch bei Poliermaschinen vorgesehen sein.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels einer Läppmaschine mit kreisringförmiger Läppscheibe erläutert.
Fig. 1 zeigt einen vertikalen Schnitt nach der Linie I-I der Fig. 2,
Fig. 2 zeigt eine ünteransicht der Läppscheibe der Fig. 1,
Fig. 3 zeigt eine Draufsicht auf den vergrößerten Teil der Antriebswelle,
Die dargestellte Läppmaschine besitzt eine kreisscheibenförmige Läppscheibe 1, deren Rückseite mittels Schrauben ja . ~yf auf einem Tragflansch 2 befestigt ist, der durch eine
naohiräpifoh ^elle 4 mittels eines Motors 5 über ein Getriebe 6 in Drehung ge&ndert j
Versetzbar ist. Die Welle 4 weist einen Teil 7 etwas größeren Durchmessers auf, der in einem Lager 3 gelagert ist, das über ein Kugellager 3a den Tragflansch 2 stützt.
Die Rückseite 1'' der Läppscheibe 1 weist vier Ausnehmungen 1a, 1b, 1c, 1d auf, die die Form einander konzentrischer, an einer Stelle u unterbrochener Ringnuten haben. Das eine Ende dieser Ringnuten ist mit einer Leitung 8a bzw. 8b, 8c, 8d, das andere Ende mit einer Leitung 9a bzw. 9b, 9c, 9d verbunden. Die Leitungen 8a bis 8d führen zu Ringnuten 16a bis 16d des Teiles 7, während die Leitungen 9a bis 9d zu Ringnuten 17a bis 17d des Teiles 7 führen. Außen sind die Ring-
nuten geschlossen durch das Lager 3. Leitungen 15a bis 15d führen zu den Ringnuten 16a bis 16d; Leitungen 18a bis 18d führen zu den Ringnuten 17a bis 17d.
Oberhalb der waagerechten Arbeitsfläche 1' der Läppscheibe ist ein Arm 11 vorgesehen, der vier Meßgeräte 10a, 10b, 10c, 10d trägt die jeweils oberhalb der Ausnehmungen 1a, 1b, 1c, 1d der Läppscheibe 1 liegen. Es sind Meßgeräte, die die Temperatur der Arbeitsfläche 1' der Läppscheibe ermitteln beispielsweise nach dem Prinzip einer unmittelbaren Temperaturmessung oder Messung einer der Temperaturänderungen entsprechenden Längenänderung. Die Meßgeräte 10a bis 1Od sind über Leitungen 12 mit einer Vorrichtung 13 verbunden, in der eine durch eine Zuleitung 14 zugeführte Flüssigkeit in getrennten Mengen auf verschiedene Temperaturen gebracht wird, die den von den Meßgeräten 10a bis 1Od ermittelten Temperaturen derart entsprechen, daß bei Zufuhr dieser Flüssigkeitsmengen zu den Ausnehmungen 1a bis 1d die Temperatur der Arbeitsfläche 1' der Läppscheibe überall gleich hoch gehalten wird.
Die Verbindung der Vorrichtung 13 mit den Ausnehmungen 1a bis 1d erfolgt über Leitungen 15a, 15b, 15c, 15d und Leitungen 8a, 8b, 8c, 8d. Die Leitungen 15a bis 15d gehen durch Bohrungen des Lagerkörpers 3 und münden dort in Umfangsrillen 16a, 16b, 16c, 16d des Teiles 7 der Antriebswelle 4. In diese Rillen 16a bis 16d münden die Leitungen 8a bis 8d, so daß die Flüssigkeit die in der Vorrichtung 13 auf eine Temperatur gebracht worden ist, die der vom Meßgerät 10a ermittelten Temperatur entspricht, also dem Ausgleich der Temperatur der Arbeitsfläche 1' der Läppscheibe dient, über die Leitung 15a, die Ringnut 16a und die Leitung 8a der Ausnehmung 1a zugeführt wird. In gleicher Weise werden den Ausnehmungen 1b, 1c und 1d Flüssigkeiten die durch die Vor-
— "7 ■=*
richtung 13 entsprechend temperiert worden sind über die Leitungen 15b bis 15d, die Ringnuten 17b bis 17d und die Leitungen 8b bis 8d zugeführt. Die den Ausnehmungen 1a bis 1d zugeführten Flüssigkeiten werden über Leitungen 9a bis 9d, Ringnuten 17a bis 17d und Leitungen 18a bis 18d abgeführt. Bei der dargestellten Maschine kann statt einer Läppscheibe eine Polierscheibe verwendet werden.
Die Läppscheibe kann anstelle von Ausnehmungen 1a bis 1d, die nach dem Auflegen der Läppscheibe 1 auf den Tragflansch 2 geschlossene Kammern bilden, in ihrem Innern C entsprechende Hohlräume aufweisen. F
Statt getrennter Ringnuten 17a bis 17d kann der Teil 7 - außer den Ringnuten 16a bis 16d - eine einzige Ringnut besitzen, in die alle Leitungen 9a bis 9d münden, wobei dann die abführenden Leitungen 18a bis 18d durch eine einzige Leitung ersetzt sind. Für die Rückführung der Flüssigkeit aus den Räumen 1a - 1d können die getrennten Leitungen 9a - 9d durch eine gemeinsame Leitung ersetzt werden.
Leerseite

Claims (6)

  1. J ι λ ϋ 8 8 O
    COHAUSZ & FLORACK
    PATBNTAN WALTSBÜRO
    SCHUMANNSTR. 97 · D-4000 DÜSSELDORF
    Telefon: (0211) 68 33 46 Telex: 0858 6513 cop d
    PATENTANWÄLTE:
    Dipl.-Ing. W. COHAUSZ · Dipl.-Ing. R. KNAUF · Dipl-Ing. H. B. COHAUSZ · Dipl.-Ing. D. H. WERNER
    21 .7.1981
    Ansprüche
    f1.^Maschine zum Läppen oder Polieren, deren Werkzeug mittels einer Flüssigkeit gekühlt wird, dadurch gekennzeichnet , daß mehrere Zonen (1a, 1b, 1c, 1d) der Fläche (1BI) des Werkzeugs (1) getrennte Zuführungen (8a, 8b, 8c, 8d) für Flüssigkeiten verschiedener Temperaturen und/oder Durchflußgeschwindigkeiten haben, für jede der Zonen der Arbeitsfläche, die diesen Zonen entsprechen, ein Temperaturfühler (1oa, 10b, 10c, 1Od) vorgesehen ist und diese Temperaturfühler mit einer Vorrichtung (13) zum Steuern der Temperatur bzw. der Durchflußgeschwindigkeit der Flüssigkeit verbunden sind.
  2. 2. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die erstgenannten Zonen (1a, 1b, 1c, 1d) Hohlräume der Läppscheibe (1) sind.
  3. 3. Maschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Hohlräume die Form von Aus-
    35 150
    -/Ka
    nehmungen (1a, 1b, 1c, 1d) der Rückseite (111) der Läppscheibe (1) sind, die bei Benutzung der Läppscheibe durch den Tragflansch (2) der Läppscheibe (1) geschlossen werden.
  4. 4. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede Arbeitsfläche (11) gegenüberliegende Flächen (111) des Werkzeugs (1) mehrere ringförmige Ausnehmungen (8a, 8b, 8c, 8d) aufweist, die je einen Einlaß und einen Auslaß für die Flüssigkeit besitzen.
  5. 5. Maschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jede dieser Ausnehmungen (1a, 1b, 1c, 1d) über eine eigene Leitung (8a, 8b, 8c, 8d) mit einer Ringnut (16a, 16b, 16c, 16d) eines mit der Arbeitswelle (4) umlaufenden Teils (7) verbunden ist, in die jeweils eine der Ausgangsleitungen (15a, 15b, 15c,' 15d) der genannten Vorrichtung (13) münden.
  6. 6. Maschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Ausnehmungen (1a, 1b, 1c, 1d) an einem Ende, das der Einmündung der genannten Leitung (8a, 8b, 8c, 8d) gegenüberliegt mit einer Leitung (9a, 9b, 9c, 9d) zu einer Ringnut (17a, 17b, 17c, 17d) des mit der Arbeitswelle (4) umlaufenden Teils (7) führt.
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