WO2019131155A1

WO2019131155A1 - 外観検査装置、外観検査方法、プログラム及びワークの製造方法

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Publication number: WO2019131155A1
Application number: PCT/JP2018/045789
Authority: WO
Inventors: 雄司小堀; 誠利根川
Original assignee: ソニー株式会社
Priority date: 2017-12-26
Filing date: 2018-12-13
Publication date: 2019-07-04
Also published as: CN111492231B; CN111492231A; TW201930826A; JPWO2019131155A1; JP7415560B2

Abstract

本技術に係る外観検査装置は、第１のロボットアーム部と、第２のロボットアーム部と、制御部とを具備する。前記第１のロボットアーム部は、第１のアーム部と、第１のラインカメラを含み、前記第１のアーム部に設けられた第１の走査部とを有する。前記第２のロボットアーム部は、第２のアーム部と、第２のラインカメラを含み、前記第２のアーム部に設けられた第２の走査部とを有する。前記制御部は、前記第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で前記第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、前記第２のアーム部により、前記第２の面上で前記第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる。

Description

外観検査装置、外観検査方法、プログラム及びワークの製造方法

　本技術は、ワークの外観を検査する外観検査装置等の技術に関する。

　従来から、ワークの外観を検査する外観検査装置が広く知られている（例えば、下記特許文献１、２参照）。外観検査装置においては、ワークの画像を取得するために、一般的に、エリアカメラ、あるいは、ラインカメラが設けられている。

特開２０１１－０３８７８４号公報特開２０１０－２３７０３４号公報

　ワークの外観検査を効率的に素早く完了させることは重要であると考えらえる。

　以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、ワークの外観検査を効率的に素早く完了させることができる外観検査装置等の技術を提供することにある。

　本技術に係る外観検査装置は、第１のロボットアーム部と、第２のロボットアーム部と、制御部とを具備する。
　前記第１のロボットアーム部は、第１のアーム部と、第１のラインカメラを含み、前記第１のアーム部に設けられた第１の走査部とを有する。
　前記第２のロボットアーム部は、第２のアーム部と、第２のラインカメラを含み、前記第２のアーム部に設けられた第２の走査部とを有する。
　前記制御部は、前記第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で前記第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、前記第２のアーム部により、前記第２の面上で前記第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる。

　この外観検査装置では、第１の走査部によりワークの第１の面が走査されているときに、同時に、第２の走査部によりワークの第２の面を走査させることができる。これにより、ワークの外観検査を効率的に素早く完了させることができる。

　上記外観検査装置において、前記第１の走査部は、前記第１のラインカメラと共に前記走査方向に移動され、前記第１のラインカメラが撮像を行う箇所に対して光を照射する第１の発光部をさらに含んでいてもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記第１のラインカメラが前記第１の面を撮像する撮像角度を調整し、かつ、前記第１の発光部が前記第１の面に光を照射する照射角度を調整してもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第１の面を、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査させてもよい。

　上記外観検査装置において、前記第２の走査部は、前記第２のラインカメラと共に前記走査方向に移動され、前記第２のラインカメラが撮像を行う箇所に対して光を照射する第２の発光部をさらに含んでいてもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記第２のラインカメラが前記第２の面を撮像する撮像角度を調整し、かつ、前記第２の発光部が前記第２の面に光を照射する照射角度を調整してもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記第２の走査部により、前記第２の面を、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査させてもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第１の面を、異なる走査方向で複数回にわたって走査させてもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記第２の走査部により、前記第２の面を、異なる走査方向で複数回にわたって走査させてもよい。

　上記外観検査装置において、前記ワークは、第３の面をさらに有し、前記制御部は、前記第１の走査部及び第２の走査部により、前記第３の面を協同で走査させてもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第３の面を所定の走査方向で走査させ、前記第２の走査部により、前記第３の面を前記所定の走査方向とは異なる走査方向で走査させてもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記第１の発光部からの光が、前記第２のラインカメラの撮像に干渉してしまう光干渉、及び、前記第２の発光部からの光が前記第１のラインカメラの撮像に干渉してしまう光干渉が生じないように、前記第１の走査部及び前記第２の走査部による走査の動きを制御してもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記光干渉が生じないように、前記第１の発光部及び前記第２の発光部による点灯、消灯タイミングを制御してもよい。

　上記外観検査装置において、前記制御部は、前記光干渉が生じないように、前記第１のラインカメラ及び前記第２のラインカメラによる撮像開始、撮像終了タイミングを制御してもよい。

　上記外観検査装置において、前記第１の面及び前記第２の面は、互いに隣接する面であってもよい。

　上記外観検査装置において、前記第１の面、前記第２の面及び前記第３の面は、互いに隣接する面であってもよい。

　本技術に係る外観検査方法は、第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる。

　本技術に係るプログラムは、第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる
　制御部としてコンピュータを機能させる。

　本技術に係るワークの製造方法は、第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させ、
　第１のラインカメラにより撮像された画像及び第２のラインカメラにより撮像された画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する。

　以上のように、本技術によれば、ワークの外観検査を効率的に素早く完了させることができる外観検査装置等の技術を提供することができる。

本技術の第１実施形態に係る検査システムを示す上面図である。異音検査装置及びシール貼付装置を示す斜視図である。異音検査装置におけるハンド部を示す拡大図である。異音検査装置の電気的な構成を示すブロック図である。外観検査装置を示す斜視図である。ワークにおける筐体の展開図である。ラインカメラの撮像角度及び発光部の光の照射角度を示す図である。ラインカメラの撮像角度及び発光部の光の照射角度を示す図である。外観検査装置の電気的な構成を示すブロック図である。異音検査装置の制御部における処理を示すフローチャートである。外観検査装置の制御部における処理を示すフローチャートである。第１の外観検査装置における第１の走査部及び第２の走査部による走査の軌跡を示す図である。第１の外観検査装置における第１の走査部及び第２の走査部における走査時の動きを示す図である。第１の外観検査装置における第１の走査部及び第２の走査部における走査時の動きを示す図である。第１の外観検査装置における第１の走査部及び第２の走査部における走査時の動きを示す図である。第１の外観検査装置における第１の走査部及び第２の走査部における走査時の動きを示す図である。第１の外観検査装置における第１の走査部及び第２の走査部における走査時の動きを示す図である。第１の外観検査装置における第１の走査部及び第２の走査部における走査時の動きを示す図である。第１の外観検査装置における第１の走査部及び第２の走査部における走査時の動きを示す図である。

　以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。

　≪第１実施形態≫
　＜検査システム１００の全体構成及び各部の構成＞
　図１は、本技術の第１実施形態に係る検査システム１００を示す上面図である。図１に示すように、本技術に係る検査システム１００は、異音検査装置１０と、シール貼付装置４０と、第１の外観検査装置５０Ａと、第１の搬送装置８０と、第２の外観検査装置５０Ｂと、第２の搬送装置９０とを備えている。この検査システム１００は、例えば、ワーク１の生産ラインにおいて、最下流の付近に配置され、ワーク１の最終的な検査を行う。

　なお、本明細書中の説明において、２台の外観検査装置５０Ａ、５０Ｂの総称を単に外観検査装置５０と呼び、２台の外観検査装置５０Ａ、５０Ｂを区別する場合に、第１の外観検査装置５０Ａ、第２の外観検査装置５０Ｂと呼ぶ。

　図１においては、ワーク１の搬送ルートが破線の矢印によって示されている。本実施形態において、検査の対象とされるワーク１として、据え置き型のゲーム機が想定されている。このワーク１は、厚さ方向に薄い、略直方体形状を有する筐体２を備えている。

　図６は、ワーク１における筐体２の展開図である。この筐体２は、正面３と、背面４と、４つの側面５との合計で６つの面を有している。筐体２の内部には、ゲーム機に必要な各種の電子部品が内蔵される。

　なお、本明細書中の説明において、単に側面５と呼んだ場合には、４つの側面のうちいずれかの側面を指し、４つの側面５を特に区別する場合には、それぞれ、第１の側面５ａ、第２の側面５ｂ、第３の側面５ｃ、第４の側面５ｄと呼ぶ。

　ここで、検査システム１００における理解を容易にするために、ワーク１が検査システム１００によってどのように検査されるかについての全体的な流れについて簡単に説明する（図１の破線の矢印参照）。

　まず、ワーク１は、異音検査装置１０によって、上流側に配置された他の装置（不図示）からシール貼付装置４０へと搬送され、シール貼付装置４０によりシールが貼付される。シールの貼付が完了すると、ワーク１は、異音検査装置１０によって、第１のシール貼付装置４０から第１の外観検査装置５０Ａへと搬送される。

　なお、後述のように、異音検査装置１０は、ワーク１の搬送中にワーク１の異音を検査する機能を備えており、ワーク１は、異音検査装置１０における搬送中に異音が検査される。

　ワーク１は、第１の外観検査装置５０Ａにより、ワーク１における６つの面のうち３つの面が検査される。この検査が完了すると、ワーク１は、第１の搬送装置８０によって、第１の外観検査装置５０Ａから第２の外観検査装置５０Ｂへと搬送される。

　このワーク１は、第２の外観検査装置５０Ｂにより、ワーク１における６つの面のうち、残りの３つの面が検査される。この検査が終了すると、ワーク１は、第２の搬送装置９０によって、第２の外観検査装置５０Ｂから、下流側に配置された他の装置（例えば、梱包装置、収納装置等）へと搬送される。

　なお、第２の外見検査装置５０Ｂによりワークが検査されているとき、第１の外観検査装置５０Ａにより、次のワーク１の外観検査が行われる。また、このとき、異音検査装置１０、シール貼付装置４０により、さらにその次のワーク１の異音検査、シール貼付処理が行われる。

　［異音検査装置１０］
　図２は、異音検査装置１０及びシール貼付装置４０を示す斜視図である。図２に示すように、異音検査装置１０は、基台１１と、基台１１上に設けられたロボットアーム部１２とを備えている。ロボットアーム部１２は、多関節構造のアーム部２１と、アーム部２１の先端に設けられたハンド部３１（保持部）とを有している。

　アーム部２１は、基台１１上においてＺ軸回りに旋回可能に取り付けられた基部２２と、基部２２に対して屈曲可能に取り付けられた上腕部２３とを有している。また、アーム部２１は、上腕部２３に対して屈曲可能に取り付けられた前腕部２４と、前腕部２４に対して屈曲可能に取り付けられたリスト部２５とを有している。ハンド部３１は、リスト部２５に対して回転可能（リスト部２５の長手方向を軸方向としてこの軸回りの回転）に取り付けられている。

　アーム部２１は、基部２２の旋回動作、上腕部２３の屈曲動作、前腕部２４の屈曲動作、リスト部２５の屈曲動作、ハンド部３１の回転動作により、ハンド部３１（及びハンド部３１に保持されたワーク１）を３次元空間上で自由に移動させることが可能とされている。また、アーム部２１は、上記各動作により、ハンド部３１（及びハンド部３１に保持されたワーク１）の姿勢を任意の姿勢に変更することも可能とされている。

　なお、アーム部２１は、少なくとも、ハンド部３１の移動（つまり、ハンド部３１に保持されたワーク１の搬送）を自由に制御することができる構造であれば、どのような構造であっても構わない（例えば、上腕部２３を省略することもできる）。

　図３は、ハンド部３１を示す拡大図である。図２及び図３を参照して、ハンド部３１は、リスト部２５に対して回転可能に取り付けられたハンド部本体３２と、ハンド部本体３２に設けられた第１のチャック機構３３及び第２のチャック機構３４とを有している。また、ハンド部３１には、ワーク１の音を検出する音検出部３５が設けられている。

　第１のチャック機構３３及び第２のチャック機構３４は、互いに直交するように、ハンド部本体３２に設けられている。第１のチャック機構３３は、ワーク１の４つの側面５のうち、対向する２つの側面５を両側から挟みこむことが可能とされている。一方、第２のチャック機構３４は、ワーク１の４つの側面５のうち、対向する他の２つの側面５を両側から挟みこむことが可能とされている。

　ハンド部３１は、この第１のチャック機構３３及び第２のチャック機構３４により、ワーク１の保持及び離脱が可能とされている。

　なお、ハンド部３１は、ワーク１の保持及び離脱が可能な構成であれば、チャック機構３３、３４に限られず、どのような構成であっても構わない（例えば、吸引によりワーク１を保持する形態であってもよい）。

　アーム部２１及びハンド部３１は、それぞれ、モータ等の各種の駆動系を有しており、この駆動系が制御部１３（図４参照）によって制御されることで、アーム部２１及びハンド部３１の動きが制御される。

　音検出部３５は、ワーク１の移動（搬送）や、姿勢の変化（回転を含む）等に応じて、ワーク１から発生する音を検出する。音検出部３５は、ワーク１において発生する音を電気信号に変換（検出）し、この信号を増幅して、制御部１３（図４参照）へ出力することが可能とされている。

　ここで、例えば、異物がワーク１の内部に混入した状態で、ワーク１が移動（搬送）されたり、ワーク１の姿勢が変化されたりすると、異物がワーク１内で移動して、異音が発生する場合がある。なお、異物とは、例えば、ワーク１内において内部の電子部品から外れてしまった螺子や、電子部品の一部が破損して発生した破片、ワーク１内に外部から混入してしまったごみなどである。

　また、例えば、ワーク１内部において、ケーブルの先のコネクタが外れた状態で、ワーク１が移動（搬送）されたり、ワーク１の姿勢が変化されたりすると、ケーブルやコネクタがワーク１内で移動して、異音が発生する場合がある。

　本実施形態に係る異音検査装置１０では、上記したような各種の状況で発生する異音が音検出部３５によって検出される。なお、本実施形態において、異音とは、正常なワーク１がロボットアーム部１２により移動（搬送）、姿勢変化されても発生しない音であるが、異常なワーク１（異物混入、コネクタ外れ等）がロボットアーム部１２により移動（搬送）、姿勢変化されると発生する音を意味する。

　本実施形態において、音検出部３５は、ＡＥ（Acoustic Emission）センサにより構成されており、ハンド部３１によりワーク１が保持されている状態でワーク１に接触するように配置される。ＡＥセンサは、圧電素子（例えば、ＰＺＴ）を有しており、この圧電素子により、ワーク１の筐体２を伝搬するＡＥ弾性波を電気信号へと変換する。

　音検出部３５は、ワーク１においてどの位置で異音が発生しても適切にその異音を検知することができるように、ハンド部３１により保持されたワーク１の中央に近い位置に配置される。一方、ワーク１において異音が発生しやすい領域が予めわかっている場合（例えば、螺子、コネクタ等が密集している等の理由）には、その領域に対応する位置に音検出部３５が配置されてもよい。

　図４は、異音検査装置１０の電気的な構成を示すブロック図である。図４に示すように、異音検査装置１０は、上記したロボットアーム部１２、音検出部３５の他に、制御部１３と、記憶部１４と、通信部１５とを備えている。

　制御部１３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等により構成される。制御部１３は、記憶部１４に記憶された各種のプログラムに基づき種々の演算を実行し、異音検査装置１０の各部を統括的に制御する。

　典型的には、この制御部１３は、アーム部２１により、ワーク１を保持した状態のハンド部３１を移動させてワーク１を搬送し、音検出部３５により、ワーク１が搬送されているときにワーク１の音を検出させる。そして、制御部１３は、検出された音信号に基づいて、ワーク１から発生する異音を検査する。なお、制御部１３の処理についての詳細は、後述する。

　記憶部１４は、制御部１３の処理に必要な各種のプログラムや、各種のデータが記憶される不揮発性のメモリと、制御部１３の作業領域として用いられる揮発性のメモリとを含む。上記プログラムは、半導体メモリ、光ディスクなどの可搬性の記録媒体から読み取られてもよいし、ネットワーク上のサーバ装置からダウンロードされてもよい。

　通信部１５は、有線又は無線により生産ライン内における他の装置との間で通信を行う。

　［シール貼付装置４０］
　図２を参照して、シール貼付装置４０は、基台４１と、基台４１上に設けられたロボットアーム部４２とを備えている。ロボットアーム部４２は、多関節構造のアーム部４３と、アーム部４３の先端に設けられた作業用ハンド部４４とを有している。

　なお、シール貼付装置４０のロボットアーム部４２と、異音検査装置１０のロボットアーム部１２とでは、アーム部４３、２１の構成は、基本的に同様の構成であり、アーム部４３、２１の先端に設けられるハンド部４４、３１の構成が異なっている。なお、これについては、第１の外観検査装置５０Ａ、第１の搬送装置８０、第２の外観検査装置５０Ｂ、第２の搬送装置９０におけるロボットアーム部についても同様である。

　アーム部４３は、基台４１上においてＺ軸回りに旋回可能に取り付けられた基部４５と、基部４５に対して屈曲可能に取り付けられた上腕部４６とを有している。また、アーム部４３は、上腕部４６に対して屈曲可能に取り付けられた前腕部４７と、前腕部４７に対して屈曲可能に取り付けられたリスト部４８とを有している。作業用ハンド部４４は、リスト部２５に対して回転可能（リスト部２５の長手方向を軸方向としてこの軸回りの回転）に取り付けられている。

　作業用ハンド部４４は、シール収納部（不図示）からシールを取り出すことが可能とされており、異音検査装置１０のハンド部３１にワーク１が保持された状態において、ワーク１の側面５に対して上側からシールを貼付することが可能とされている。

　なお、図示は省略するが、シール貼付装置４０は、シール貼付装置４０の各部を統括的に制御する制御部、制御部の処理に必要な各種のプログラムやデータが記憶される記憶部、他の装置との間で通信を行う通信部等を有している。

　［外観検査装置５０］
　図５は、外観検査装置５０（第１の外観検査装置５０Ａ又は第２の外観検査装置５０Ｂ）を示す斜視図である。第１の外観検査装置５０Ａ及び第２の外観検査装置５０Ｂは、協同で、分担してワーク１の外観を検査する。第１の外観検査装置５０Ａ及び第２の外観検査装置５０Ｂは、基本的に同様の構成である。

　第１の外観検査装置５０Ａは、ワーク１における筐体２の６つの面のうち、正面３と、第１の側面５ａと、第２の側面５ｂとの合計で３つの面（これらの３つの面は互いに隣接している）の外観検査を担当する。一方、第２の外観検査装置５０Ｂは、残りの３つの面、つまり、背面４と、第３の側面５ｃと、第４の側面５ｄとの合計で３つの面（これらの面は、互いに隣接する）の外観の検査を担当する。

　第１の外観検査装置５０Ａでは、正面３が上側にされて検査が行われ、第２の外観検査装置５０Ｂでは、背面４が上側にされて検査が行われる。第１の外観検査装置５０Ａ、第２の外観検査装置５０Ｂは、ワーク１の各面において、例えば、傷（かすり傷、打痕）やテープ痕などの外観上の異常がないかどうかを検査する。

　なお、外観検査装置５０によって検査される外観上の異常は、傷やテープ痕に限られない。典型的には、外観上の異常は、正常なワーク１にはない外観上の異常であればどのような異常であってもよい。

　外観検査装置５０は、基台５１と、ワーク１の載置台５２と、第１のロボットアーム部６０及び第２のロボットアーム部７０とを備えている。

　第１の外観検査装置５０Ａにおける第１のロボットアーム部６０は、正面３の走査と、第２の側面５ｂにおける走査の一部とを担当する。一方、第１の外観検査装置５０Ａにおける第２のロボットアーム部７０は、第１の側面５ａの走査と、第２の側面５ｂにおける走査の一部とを担当する。

　また、第２の外観検査装置５０Ｂにおける第１のロボットアーム部６０は、背面４の走査と、第４の側面５ｄにおける走査の一部とを担当する。一方、第２の外観検査装置５０Ｂにおける第２のロボットアーム部７０は、第３の側面５ｃの走査と、第４の側面５ｄにおける走査の一部と担当する。

　第１のロボットアーム部６０と、第２のロボットアーム部７０とは、基本的に同様の構成である。

　第１のロボットアーム部６０は、多関節構造の第１のアーム部６１と、第１のアーム部６１の先端に設けられた第１の走査部６２とを有している。同様に、第２のロボットアーム部７０は、多関節構造の第２のアーム部７１と、第２のアーム部７１の先端に設けられた第２の走査部７２とを有している。

　第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）は、基台５１上においてＺ軸回りに旋回可能に取り付けられた基部６３（基部７３）と、基部６３（基部７３）に対して屈曲可能に取り付けられた上腕部６４（上腕部７４）とを有している。

　また、第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）は、上腕部６４（上腕部７４）に対して屈曲可能に取り付けられた前腕部６５（前腕部７５）と、前腕部６５（前腕部７５）に対して屈曲可能に取り付けられたリスト部６６（リスト部７６）とを有している。第１走査部（第２の走査部７２）は、リスト部６６（リスト部７６）に対して回転可能（リスト部の長手方向を軸方向としてこの軸回りの回転）に取り付けられている。

　第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）は、基部６３（基部７３）の旋回動作、上腕部６４（上腕部７４）の屈曲動作、前腕部６５（前腕部７５）の屈曲動作、リスト部６６（リスト部７６）の屈曲動作、第１の走査部６２（第２の走査部７２）の回転動作により、第１の走査部６２（第２の走査部７２）を３次元空間上で自由に移動させることが可能とされている。また、第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）は、上記各動作により、第１の走査部６２（第２の走査部７２）の姿勢を、任意の姿勢に変更することが可能とされている。

　なお、第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）は、少なくとも、第１の走査部６２（第２の走査部７２）の移動を自由に制御することができる構造であれば、どのような構造であっても構わない（例えば、上腕部を省略することもできる）。

　第１の走査部６２は、リスト部６６に対して回転可能に取り付けられた支持部材６９と、支持部材６９に固定された第１のラインカメラ６７と、支持部材６９に固定された第１の発光部６８とを有している。同様に、第２の走査部７２は、リスト部７６に対して回転可能に取り付けられた支持部材７９と、支持部材７９に固定された第２のラインカメラ７７と、支持部材７９に固定された第２の発光部７８とを有している。

　第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）は、一方向に沿って並べられた複数の撮像素子と、結像レンズ等の各種の光学レンズとを含む。第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）は、第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）により、上記一方向（撮像素子が並べられた方向）に直交する方向に移動されながら、ワーク１の筐体２における特定の面を撮像して画像を取得し、この画像を制御部５３（図９参照）へと出力する。

　第１の発光部６８（第２の発光部７８）は、上記一方向（ラインカメラにおいて撮像素子が並べられた方向）に長い形状を有している。第１の発光部６８（第２の発光部７８）は、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、白色電球などの各種の発光体により構成される。この第１の発光部６８（第２の発光部７８）は、第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）により、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）と共に一体的に移動されながら、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）が撮像を行う箇所に対して光を照射する。

　第１の走査部６２（第２の走査部７２）は、ワーク１における特定の面上で走査方向に移動されるとき、その特定の面に対して一定の距離を保った状態で、その特定の面と平行に移動される。

　第１の走査部６２（第２の走査部７２）は、第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）により走査方向が調整される。また、第１の走査部６２（第２の走査部７２）は、第１のアーム部６１（第２のアーム部７１）により、ワーク１の筐体２における特定の面に対する第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）の撮像角度、及び第１の発光部６８（第２の発光部７８）による光の照射角度が調整される。

　図７及び図８は、ラインカメラの撮像角度及び発光部の光の照射角度を示す図である。

　図７に示す例では、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）の撮像角度が９０°に設定され、第１の発光部６８（第２の発光部７８）の光の照射角度が３０°に設定された場合の一例が示されている。一方、図８に示す例では、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）の撮像角度が６０°に設定され、第１の発光部６８（第２の発光部７８）の光の照射角度が６０°に設定された場合の一例が示されている。

　本実施形態では、最初に、図７に示すように、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）の撮像角度が９０°に設定され、第１の発光部６８（第２の発光部７８）の照射角度が３０°に設定されて、第１の走査部６２（第２の走査部７２）により特定の面が走査される。その後、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）の撮像角度が６０°に設定され、第１の発光部６８（第２の発光部７８）の照射角度が６０°に設定されて第１の走査部６２（第２の走査部７２）により特定の面が走査される。つまり、本実施形態では、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）の撮像角度及び第１の発光部６８（第２の発光部７８）の照射角度が変えられて、ワーク１の同じ領域が走査される。

　なお、図７及び図８に示すように、本実施形態では、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）と、第１の発光部６８（第２の発光部７８）とは、一体的に特定の面に対する角度が変化される。一方、第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）と、第１の発光部６８（第２の発光部７８）とは、個別に、特定の面に対する角度が調整可能であってもよい。

　以降の説明では、１回目の走査が行われるときの第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）の撮像角度を第１の撮像角度（本実施形態では９０°）と呼び、２回目の走査が行われるときの第１のラインカメラ６７（第２のラインカメラ７７）の撮像角度を第２の撮像角度（本実施形態では６０°）と呼ぶ。

　同様に、１回目の走査が行われるときの第１の発光部６８（第２の発光部７８）の照射角度を第１の照射角度（本実施形態では３０°）と呼び、２回目の走査が行われるときの第１の発光部６８（第２の発光部７８）の照射角度を第２の照射角度（本実施形態では６０°）と呼ぶ。

　なお、第１の撮像角度、第２の撮像角度、第１の照射角度、第２の照射角度における各値については、適宜変更可能である。典型的には、これらの各値については、ワーク１における筐体２の材質、外観検査において検出すべき異常の種類（例えば、傷、テープ痕等）等に応じて、適宜設定される。

　図９は、外観検査装置５０（第１の外観検査装置５０Ａ、又は第２の外観検査装置５０Ｂ）の電気的な構成を示すブロック図である。図９に示すように、外観検査装置５０は、上記した第１のロボットアーム部６０、第２のロボットアーム部７０の他に、制御部５３と、記憶部５４と、通信部５５とを備えている。

　制御部５３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等により構成され、記憶部５４に記憶された各種のプログラムに基づき種々の演算を実行し、外観検査装置５０の各部を統括的に制御する。

　この制御部１３は、外観検査装置５０において、第１のアーム部６１により、ワーク１の特定の面上で第１の走査部６２を走査方向に移動させながら、第１のラインカメラ６７により、ワーク１の特定の面を撮像させて、第１の走査部６２にワーク１の特定の面を走査させる。

　また、制御部１３は、ワーク１の特定の面が第１の走査部６２により走査されているときに、第２のアーム部７１により、ワーク１の他の特定の面上で第２の走査部７２を走査方向に移動させながら、第２のラインカメラ７７により、ワーク１の他の特定の面を撮像させて、第２の走査部７２に他の特定の面を走査させる。なお、制御部５３の処理についての詳細は、後述する。

　図９に示す例では、第１のロボットアーム部６０及び第２のロボットアーム部７０が１つの制御部５３により制御される例が示されているが、第１のロボットアーム部６０及び第２のロボットアーム部７０が、それぞれ別々の制御部によって制御されてもよい

　記憶部５４は、制御部５３の処理に必要な各種のプログラムや、各種のデータが記憶される不揮発性のメモリと、制御部５３の作業領域として用いられる揮発性のメモリとを含む。上記プログラムは、半導体メモリ、光ディスクなどの可搬性の記録媒体から読み取られてもよいし、ネットワーク上のサーバ装置からダウンロードされてもよい。

　通信部５５は、有線又は無線により生産ライン内における他の装置との間で通信を行う。

　［第１の搬送装置８０］
　図１に示すように、第１の搬送装置８０は、基台８１と、基台８１上に設けられたロボットアーム部８２とを備えている。ロボットアーム部８２は、多関節構造のアーム部８３と、アーム部８３の先端に設けられたハンド部８４とを有している。

　アーム部８３の構成については、異音検査装置１０、外観検査装置５０におけるロボットアーム部におけるアーム部２１、６１、７１の構成と同様である。ハンド部８４は、ワーク１の４つの側面５のうち、対向する２つの側面５を両側から挟みこむことが可能なチャック機構を備えている。

　第１の搬送装置８０のロボットアーム部８２は、第１の外観検査装置５０Ａの載置台５２に載置されているワーク１を保持して、ワーク１の上下方向を反転させながらワーク１を搬送し、第２の外観検査装置５０Ｂの載置台５２に載置させる。

　なお、図示は省略するが、第１の搬送装置８０は、第１の搬送装置８０を統括的に制御する制御部と、制御部の処理に必要な各種のプログラム、データ等が記憶される記憶部と、生産ライン内における他の装置と通信を行う通信部とを備えている。

　［第２の搬送装置９０］
　図１に示すように、第２の搬送装置９０は、基台９１と、基台９１上に設けられたロボットアーム部９２とを備えている。ロボットアーム部９２は、多関節構造のアーム部９３と、アーム部９３の先端に設けられたハンド部９４とを有している。

　第２の搬送装置９０における機械的構成、及び電気的構成については、音検出部３５が設けられていない点を除いて、異音検査装置１０と同様である。

　第２の搬送装置９０のロボットアーム部９２は、第２の外観検査装置５０Ｂの載置台５２に載置されているワーク１を保持し、下流側に設けられた他の装置（梱包装置、収納装置）へと搬送して、ワーク１を次の工程へと進める。

　なお、第２の搬送装置９０には、異音検査装置１０、第１の外観検査装置５０Ａ、第２の外観装置から、搬送すべきワーク１の良、不良が通知される。

　第２の搬送装置９０のロボットアーム部９２は、これらの３つの全ての装置１０、５０Ａ、５０Ｂにおいて良品と判定されたワーク１を次の工程へ進める。一方、３つの装置１０、５０Ａ、５０Ｂのうち少なくとも１つの装置において不良品と判定されたワーク１については、ワーク１を次の工程へと進めずに、ワーク１を不良品収納用の収納棚（不図示）へと搬送する。

　なお、不良品と判定されたワーク１は、不良の原因毎に、上記収納棚において異なる領域に配置されてもよい。

＜動作説明＞
　次に、検査システム１００における処理について説明する。

　［異音検査装置１０の処理］
　ここでの説明では、まず、異音検査装置１０の処理について説明する。図１０は、異音検査装置１０の制御部１３における処理を示すフローチャートである。

　まず、異音検査装置１０の制御部１３は、ロボットアーム部１２のアーム部２１を制御して、ハンド部３１をワーク１の保持位置まで移動させる（ステップ１０１）。そして、制御部１３は、ハンド部３１によりワーク１を保持させる（ステップ１０２）。ワーク１がハンド部３１により保持されると、図３に示すように、音検出部３５がワーク１の中央付近に接触する。

　次に、制御部１３は、音検出部３５から音信号を取得する処理を開始する（ステップ１０３）。そして、制御部１３は、検出された音信号に基づくワーク１の異音検査を開始する（ステップ１０４）。なお、この異音検査についての詳細は、後述する。

　次に、制御部１３は、アーム部２１を時計回りに旋回させて、ワーク１を保持した状態のハンド部３１を時計回りに旋回（第１の方向へ移動）させ、ワーク１をシール貼付装置４０における処理位置へと搬送する（ステップ１０５）。

　なお、アーム部２１を旋回させてワーク１を搬送しているとき、制御部１３は、アーム部２１における各部の屈曲動作及びハンド部３１におけるアーム部２１に対する回転動作により、ワーク１の姿勢を、シールを貼付するための任意の姿勢に変更する。なお、このときのワーク１の姿勢は、ワーク１の特定の側面５が上方を向く、ワーク１が立てられた姿勢とされる（図２参照）。

　制御部１３は、ワーク１をシール貼付装置４０における処理位置まで搬送させると、ロボットアーム部１２の動きを停止させ、ハンド部３１によりワーク１を保持した状態で待機させる（ステップ１０６）。この状態で、シール貼付装置４０により、ワーク１における上側の側面５に対して、シールが貼付される。

　次に、制御部１３は、シール貼付装置４０における処理が完了したかどうかを判定する（ステップ１０７）。なお、シール貼付装置４０における処理が完了した場合、シール貼付装置４０からその完了を示す信号が送信され、この信号が異音検査装置１０によって受信される。

　シール貼付装置４０における処理が完了した場合（ステップ１０７のＹＥＳ）、制御部１３は、ステップ１０８へ進む。ステップ１０８では、制御部１３は、アーム部２１を反時計回りに旋回させて、ワーク１を保持した状態のハンド部３１を反時計回りに旋回（第２の方向へ移動）させ、ワーク１を、シール貼付装置４０から第１の外観検査装置５０Ａへと搬送する。そして、制御部１３は、ハンド部３１からワーク１を離脱させ、第１の外観検査装置５０Ａの載置台５２上に、ワーク１を載置する。

　なお、アーム部２１を反時計回りに旋回させてワーク１を搬送しているとき、制御部１３は、アーム部２１における各部の屈曲動作及びハンド部３１におけるアーム部２１に対する回転動作により、ワーク１の姿勢を、載置台５２上にワーク１を載置するための任意の姿勢に変更する。なお、このときのワーク１の姿勢は、ワーク１の正面３が上方を向く姿勢とされる。

　ワーク１が載置台５２上に載置されてワーク１がハンド部３１から離脱されると、音検出部３５がワーク１から離れ、このとき、制御部１３は、音検出部３５から音信号を取得する処理を終了する（ステップ１０９）。そして、制御部１３は、音信号に基づくワーク１の異音検査を終了する（ステップ１１０）。

　次に、制御部１３は、異音検査において、異音が検出されたかどうかを判定する（ステップ１１１）。異音が検出されなかった場合（ステップ１１１のＮＯ）、制御部１３は、そのワーク１の識別情報と共に、そのワーク１が良品であることを示す情報を、第２の搬送装置９０へと送信する（ステップ１１２）。一方、異音が検出された場合（ステップ１１１のＹＥＳ）、制御部１３は、そのワーク１の識別情報と共に、そのワーク１が不良品であることを示す情報を、第２の搬送装置９０へと送信する（ステップ１１３）。

　異音検査において不良品と判定されたワーク１は、第１の外観検査装置５０Ａ及び第２の外観検査装置５０Ｂにおける外観検査の後に、第２の搬送装置９０によって、不良品収納用の収納棚に収納され、これにより、不良品が良品と分別される。

　なお、本実施形態では、異音検査において良、不良の判定が行われたワーク１が、第２の搬送装置９０によって分別されているが、この分別は、異音検査装置１０におけるロボットアーム部１２自体により行われてもよい。この場合、異音検査装置１０におけるロボットアーム部１２の稼働領域内に、不良品収納用の収納棚が設置される。

　（異音検査手法）
　次に、音信号に基づく異音検査の方法について具体的に説明する。上述のように、異物がワーク１内に混入した状態、ワーク１内部においてコネクタが外れた状態等の各種の状況において、ワーク１が移動（搬送）されたり、ワーク１の姿勢が変化されたりすると、異音が発生する場合がある。

　一方で、正常なワーク１の場合、ワーク１が移動（搬送）されたり、ワーク１の姿勢が変化されたりしても、このような異音は発生しない。従って、典型的には、検査対象としてのワーク１における音信号の波形が、正常なワーク１における音信号の波形と比較されることで、異音の検査が行われる。

　ここで、異常なワーク１における音信号の波形では、正常なワーク１の音信号の波形と比べて、異音を示す特定の周波数帯における音の大きさが大きくなる。例えば、螺子が混入したワーク１の場合、音信号によって示される値が、１．５ｋＨｚ、３ｋＨｚ、６ｋＨｚ、１２ｋＨｚ、２４ｋＨｚの周波数において大きくなるといった実験結果が得られた。

　つまり、螺子が混入したワーク１では、ワーク１の移動（搬送）や姿勢変化に応じて、螺子がワーク１の内壁や他の部材に衝突し、このときに、１．５ｋＨｚ、３ｋＨｚ、６ｋＨｚ、１２ｋＨｚ、２４ｋＨｚの周波数の異音が発生する。なお、異音としての特定の周波数帯の音は、ワーク１の移動（搬送）速度、ワーク１の姿勢変化の速度、ワーク１の筐体２における材質、ワーク１内部の構造、ワーク１に混入する異物の種類等に応じて異なる。

　異音の周波数帯が予めわかっている場合、音検出部３５により検出された全体の音信号から、異音に対応する特定の周波数帯における音信号が抽出され（例えば、ＦＦＴ（Fast Fourier transform））てもよい。そして、この特定の周波数帯における音信号に基づいて、異音が発生したかどうかが判定されてもよい。また、この場合、この特定の周波数帯における音信号が積分され、積分値に基づいて、異音が発生したかどうかが判定されてもよい。

　例えば、１．５ｋＨｚ、３ｋＨｚ、６ｋＨｚ、１２ｋＨｚ、２４ｋＨｚの周波数の異音が発生する場合、音検出部３５によって検出された音信号から、１ｋＨｚ～３０ｋＨｚの周波数帯における音信号が抽出される。そして、この１ｋＨｚ～３０ｋＨｚの周波数帯における音信号に基づいて、異音が発生したかどうかが判定されてもよい。また、この場合、例えば、１ｋＨｚ～３０ｋＨｚの周波数帯における音信号が積分され、この積分値が閾値を超えるかどうかに基づいて異音が発生したかどうかが判定されてもよい。

　（ワーク１における時計回り、反時計回りの搬送等）
　上述のように、シール貼付装置４０へとワーク１が搬送されるとき、ワーク１は、時計回りに旋回されて搬送される。一方、シール貼付装置４０から第１の外観検査装置５０Ａへとワーク１が搬送されるとき、ワーク１は、反時計回りに旋回されて搬送される。

　ここで、ワーク１が時計回りに搬送されたとしても異音が発生しないが、ワーク１が反時計回りに搬送されると異音が発生する場合がある。逆に、ワーク１が反時計回りに搬送されたとしても異音が発生しないが、ワーク１が時計回りに搬送されると異音が発生する場合がある。

　例えば、異物が混入しているワーク１の場合、異物のワーク１内部の位置によっては、時計回りの搬送及び反時計回りの搬送のうち、一方でしか異物がワーク１内で移動しない場合があり、一方でしか異音が発生しない場合がある。

　一方、本実施形態においては、ワーク１が時計回り及び反時計回りの両方の方向に搬送されるので、異音を適切に検出することができる。

　また、上述のように、シール貼付装置４０へとワーク１が搬送されるとき、並びに、シール貼付装置４０から第１の外観検査装置５０Ａへとワーク１が搬送されるとき、ワーク１の姿勢が変化される。

　ここで、ワーク１が単純に搬送されたとしても異音が発生しないが、ワーク１の姿勢が変化されると、異音が発生する場合がある。例えば、異物が混入しているワーク１の場合、異物のワーク１内部の位置によっては、ワーク１の姿勢が変化されることで、初めて異物が筐体１内部で移動し、初めて異音が発生する場合がある。

　従って、本実施形態のように、ワーク１の搬送時においてワーク１の姿勢を変化させることで、さらに適切に異音を検出することができる。

　［外観検査装置５０の処理］
　次に、第１の外観検査装置５０Ａ及び第２の外観検査装置５０Ｂの処理について説明する。なお、第１の外観検査装置５０Ａの処理及び第２の外観検査装置５０Ｂの処理については、検査する面が異なる点を除いて、基本的に同様の処理である。

　従って、以降では、特に明示した場合を除き、第１の外観検査装置５０Ａの処理について代表的に説明する。なお、第２の外観検査装置５０Ｂの処理については、正面３を背面４と読み替え、第１の側面５ａを第３の側面５ｃと読み替え、第２の側面５ｂを第４の側面５ｄと読み替えればよい。

　図１１は、外観検査装置５０の制御部５３における処理を示すフローチャートである。まず、第１の外観検査装置５０Ａの制御部５３は、ワーク１が載置台５２に載置されたかどうかを判定する（ステップ２０１）。

　ワーク１が載置されたかどうかの判定は、異音検査装置１０から送信されてくる信号に基づいて行われる。例えば、異音検査装置１０が載置台５２にワーク１を載置したとき、ワーク１が載置されたことを示す信号が、異音検査装置１０から第１の外観検査装置５０Ａへと送信される。

　なお、第２の外観検査装置５０Ｂの場合には、第１の搬送装置８０が載置台５２にワーク１を載置したとき、ワーク１が載置されたことを示す信号が、第１の搬送装置８０から第２の外観検査装置５０Ｂへと送信される。

　ワーク１が載置台５２に載置された場合（ステップ２０１のＹＥＳ）、制御部５３は、第１のロボットアーム部６０及び第２のロボットアーム部７０を制御して、筐体２の正面３、第１の側面５ａ及び第２の側面５ｂの合計で３つの面を走査する（ステップ２０２）。なお、この３つの面の走査については、図１２～図１９を参照して、後に詳述する。

　次に、制御部５３は、第１のラインカメラ６７及び第２のラインカメラ７７によって得られた画像に基づいて、ワーク１において外観上の異常が検出されたかどうか（ワーク１の良否）を判定する（ステップ２０３）。

　例えば、一定以上の大きさ（ユーザが見てすぐ分かるような大きさ）の傷やテープ痕が、３つの面において１つでも検出された場合には、制御部５３は、外観上の異常が検出されたと判定する（ステップ２０３のＹＥＳ）。

　また、一定以下の大きさ（ユーザが見てもすぐ分からないような大きさ）の傷やテープ痕が、３つの面において所定数以上検出された場合には、制御部５３は、外観上の異常が検出されたと判定する（ステップ２０３のＹＥＳ）。

　外観上の異常が検出されなかった場合（ステップ２０３のＮＯ）、制御部５３は、そのワーク１の識別情報と共に、そのワーク１が良品であることを示す情報を、第２の搬送装置９０へと送信する（ステップ２０４）。

　一方、外観上の異常が検出された場合（ステップ２０３のＹＥＳ）、制御部５３は、そのワーク１の識別情報と共に、そのワーク１が不良品であることを示す情報を、第２の搬送装置９０へと送信する（ステップ２０５）。

　第１の外観検査装置５０Ａにおいて不良品と判定されたワーク１は、第２の外観検査装置５０Ｂにおける外観検査の後に、第２の搬送装置９０によって、不良品収納用の収納棚に収納され、これにより、不良品が良品と分別される。

　次に、第１の外観検査装置５０Ａにおける外観検査について具体的に説明する。図１２は、第１の外観検査装置５０Ａにおける第１の走査部６２及び第２の走査部７２による走査の軌跡を示す図である。

　図１２では、実線の矢印が第１の走査部６２による走査の軌跡を示しており、破線の矢印が第２の走査部７２による走査の軌跡を示している。

　実線の矢印には、１．～１２．までの番号が付されており、この番号は、第１の走査部６２が走査を行う順番を示している。また、破線の矢印には、「１」～「８」までの番号が付されており、この番号は、第２の走査部７２が走査を行う順番を示している。

　また、１．～１２．「１」～「８」の番号の傍には、（１）、（２）、（１'）、（２'）、（１"）、（２"）のいずれかの記号が付されている。

　（）内における１の番号は、ワーク１の特定の面に対して、ラインカメラ６７、７７の撮像角度が第１の撮像角度（９０°）に設定され、かつ、発光部６８、７８の照射角度が第１の照射角度（３０°）に設定されることを意味している（図７参照）。また、（）内における２の番号は、ワーク１の特定の面に対して、ラインカメラ６７、７７の撮像角度が第２の撮像角度（６０°）に設定され、かつ、発光部６８、７８の照射角度が第２の照射角度（６０°）に設定されることを意味している（図８参照）。

　（）内における１又は２の番号の右上には、何も付されていないか、「'」が付されているか、又は、「"」が付されている。（）内における１又は２の番号の右上に何も付されていない場合、その１又は２の番号は、正面３に対する撮像角度、照射角度を示している。

　また、（）内における１又は２の番号の右上に「'」が付されている場合、その１又は２の番号は、第１の側面５ａに対する撮像角度、照射角度を示している。また、（）内における１又は２の番号の右上に「"」が付されている場合、その１又は２の番号は、第２の側面５ｂに対する撮像角度、照射角度を示している。

　例えば、一例として、実線の矢印において、１１．（２"）の記号が付されている場合について説明する。この場合、実線の矢印であるので、第１の走査部６２による走査の軌跡を示している。また、１１．の番号は、第１の走査部６２による走査の軌跡において、１１番目の走査であることを示している。さらに、（２"）は、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７の撮像角度が、第２の側面５ｂに対して第２の撮像角度（６０°）に設定され、第１の走査部６２における第１の発光部６８の照射角度が、第２の側面５ｂに対して第２の照射角度（６０°）に設定されることを意味している。

　図１２においては、正面３、第１の側面５ａ、第２の側面５ｂについて、それぞれ、「上」、「下」、「左」、「右」と記載されている。図１２の説明において、正面３、第１の側面５ａ、第２の側面５ｂについて、「上」、「下」、「左」、「右」との用語は、図１２に示された方向を示すとして説明する（後述の図１３～図１９において同様）。

　なお、正面３における上下方向、左右方向は、地球座系における水平面内において直交する方向である。一方、第１の側面５ａ、第２の側面５ｂにおける上下方向は、地球座標系における上下方向であり、第１の側面５ａ、第２の側面５ｂにおける左右方向は、地球座系における水平面内の方向である。

　図１２に示されているように、ワーク１の正面３に対する走査は、第１の走査部６２により担当され（正面３における実線の矢印参照）、ワーク１の第１の側面５ａに対する走査は、第２の走査部７２により担当される（第１の側面５ａにおける破線の矢印参照）。一方、第２の側面５ｂに対する走査は、第１の走査部６２及び第２の走査部７２により、協同で分担して行われる（第２の側面５ｂにおける実線の矢印及び破線の矢印参照）。

　本実施形態では、ワーク１の同じ領域が、異なる撮像角度（第１の撮像角度、第２の撮像角度）及び異なる照射角度（第１の照射角度、第２の照射角度）で、複数回にわたって走査される。なお、本実施形態では、撮像角度及び照射角度として２つのパターン（図７、図８参照）が用いられるが、撮像角度及び照射角度として３つ以上のパターンが用いられてもよい。

　例えば、一例として、１．（１）及び４．（２）では、第１の走査部６２により、正面３の同じ領域（正面３の左側）が、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、２回にわたって走査される。また、例えば、一例として、「１」（１'）及び「４」（２'）では、第２の走査部７２により、第１の側面５ａの同じ領域（第１の側面５ａの左側）が、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、２回にわたって走査される。

　また、本実施形態では、ワーク１の同じ領域が、異なる走査方向（上下方向、左右方向）で、複数回にわたって走査される。なお、本実施形態では、走査方向として、上下方向、左右方向の２方向が用いられるが、走査方向として、３以上の方向が用いられてもよい。

　なお、本実施形態の説明において、走査方向が上下方向であれば、上方向、下方向のいずれであっても同じ走査方向として扱う。同様に、走査方向が左右方向であれば、右方向、左方向のいずれであっても同じ走査方向として扱う。

　例えば、１．(１)、２．(１)、３．(２)、４．(２)では、第１の走査部６２により、ワーク１の正面３が、上下方向で走査されるのに対して、５．(１)、８．(１)、９．(２)、１２．(２)では、第１の走査部６２により、ワーク１の正面３が、左右方向で走査される。また、例えば、「１」(１')、「２」(１')、「３」(２')、「４」(２')では、第２の走査部７２により、ワーク１の第１の側面５ａが、上下方向で走査されるのに対して、「５」(１')、「６」(２')では、第２の走査部７２により、ワーク１の第１の側面５ａが、左右方向で走査される。

　なお、本実施形態では、第２の側面５ｂにおいて、走査方向に応じて、第１の走査部６２及び第２の走査部７２に対する分担が割り合てられている。つまり、第１の走査部６２が、第２の側面５ｂにおける上下方向での走査を担当し（６．(１")、７．(１")、１０．(２")、１１．(２")参照）、第２の走査部７２が、第２の側面５ｂにおける左右方向での走査を担当する（「７」(１")、「８」(２")参照）。

　ここで、正面３における左右方向の幅、上下方向の幅、第１の側面５ａにおける左右方向の幅、第２の側面５ｂにおける左右方向の幅は、走査部６２、７２が１回で走査可能な幅を超えている。このため、正面３における上下方向、左右方向の走査、第１の側面５ａにおける上下方向の走査、第２の側面５ｂにおける上下方向の走査は、同じ走査方向で、２回に分けて行われる（撮像角度、照射角度を異ならせる必要があるので、同じ走査方向で、合計で４回）。

　一方、第１の側面５ａにおける上下方向の幅、第２の側面５ｂにおける上下方向の幅は、走査部６２、７２が１回で走査可能な幅以下の幅とされている。このため、第１の側面５ａにおける左右方向の走査、第２の側面５ｂにおける左右方向の走査は、同じ走査方向で、２回に分けて行う必要はない（撮像角度、照射角度を異ならせる必要があるので、同じ走査方向で、合計で２回）。

　図１３～図１９は、第１の外観検査装置５０Ａにおける第１の走査部６２及び第２の走査部７２における走査時の動きを示す図である。なお、図１３～図１９では、図面を見やすく表示するために、第１の走査部６２、第２の走査部７２のうち、第１の発光部６８、第２の発光部７８のみを図示し、第１のラインカメラ６７、第２のラインカメラ７７においては、図示を省略している。また、図１３～図１９では、（１）、（２）、（１'）、（２'）、（１"）、（２"）の記号は、図１２と同じ意味で使用されている。

　図１３（Ａ）を参照して、まず、制御部５３は、第１のアーム部６１を制御して、第１の走査部６２を正面３の左上の位置まで移動させる（なお、正面３における上、下、左、右との用語については、図１２参照）。そして、制御部５３は、正面３に対する第１のラインカメラ６７の撮像角度を第１の撮像角度（９０°）に設定し、正面３に対する第１の発光部６８の照射角度を第１の照射角度（３０°）に設定する。

　これと同時に、制御部５３は、第２のアーム部７１を制御して、第２の走査部７２を第１の側面５ａの左上の位置まで移動させる（なお、第１の側面５ａにおける上、下、左、右との用語については、図１２参照）。そして、制御部５３は、第１の側面５ａに対する第２のラインカメラ７７の撮像角度を第１の撮像角度（９０°）に設定し、第１の側面５ａに対する第２の発光部７８の照射角度を第１の照射角度（３０°）に設定する。

　次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、ワーク１の正面３上において、第１の走査部６２を下方向（地球座標系においては、水平面内の方向）に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の正面３を撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の正面３の左側が、第１の撮像角度、第１の照射角度で下方向に向けて走査される（図１２における１．（１）参照）。

　制御部５３は、第１の発光部６８の点灯と同時に、第２の走査部７２における第２の発光部７８を点灯させる。そして、制御部５３は、第２のアーム部７１により、ワーク１の第１の側面５ａ上において、第２の走査部７２を下方向（地球座標系においても、下方向）に移動させながら、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７によりワーク１の第１の側面５ａを撮像させる。これにより、第２の走査部７２によって、ワーク１の第１の側面５ａの左側が、第１の撮像角度、第１の照射角度で下方向に向けて走査される（図１２における「１」（１'）参照）。

　図１３（Ｂ）を参照して、第２の走査部７２が第１の側面５ａの左下の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における下方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７の撮像を停止させ、第２の発光部７８を消灯させる。このとき、第１の走査部６２は、未だ、ワーク１の正面３を走査している。次に、制御部５３は、第２のアーム部７１を制御して、第２の走査部７２を右方向に移動させる。

　図１３（Ｃ）を参照して、第２の走査部７２が、第１の側面５ａの右下の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における右方向への移動を停止させる。次に、制御部５３は、第２の走査部７２における第２の発光部７８を点灯させる。

　そして、制御部５３は、第２のアーム部７１により、第１の側面５ａ上において、第２の走査部７２を上方向（地球座標系においても、上方向）に移動させながら、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７によりワーク１の第１の側面５ａを撮像させる。これにより、第２の走査部７２によって、ワーク１の第１の側面５ａの右側が、第１の撮像角度、第１の照射角度で上方向に向けて走査される（図１２における「２」（１'）参照）。

　第２の走査部７２が、第１の側面５ａの右下の位置に到達したとき、第１の走査部６２は、正面３の左下の位置に到達している。第１の走査部６２が正面３の左下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における下方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。次に、制御部５３は、第１のアーム部６１を制御して、第１の走査部６２を右方向に移動させる。

　図１３（Ｄ）を参照して、第１の走査部６２が、正面３の右下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における右方向への移動を停止させる。次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。

　そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、正面３上において、第１の走査部６２を上方向（地球座標系においては、水平面内の方向）に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の正面３を撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の正面３の右側が、第１の撮像角度、第１の照射角度で上方向に向けて走査される（図１２における２．（１）参照）。

　第１の走査部６２が、正面３の右下の位置に到達したとき、第２の走査部７２は、第１の側面５ａの右上の位置に到達している。第２の走査部７２が第１の側面５ａの右上の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における上方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７の撮像を停止させ、第２の発光部７８を消灯させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２を第１の側面５ａの右上の位置で待機させる。

　図１３（Ｅ）を参照して、第１の走査部６２が正面３の右上の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における上方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。このとき、第２の走査部７２は、未だ、第１の側面５ａの右上の位置で待機している。

　図１３（Ｆ）を参照して、次に、制御部５３は、第１のラインカメラ６７の撮像角度を、正面３に対する第１の撮像角度（９０°）から、正面３に対する第２の撮像角度（６０°）へと変更する。また、制御部５３は、第１の発光部６８の照射角度を、正面３に対する第１の照射角度（３０°）から、正面３に対する第２の照射角度（６０°）へと変更する。

　これと同時に、制御部５３は、第２のラインカメラ７７の撮像角度を、第１の側面５ａに対する第１の撮像角度（９０°）から、第１の側面５ａに対する第２の撮像角度（６０°）に変更する。また、制御部５３は、第２の発光部７８の照射角度を、第１の側面５ａに対する第１の照射角度（３０°）から、第１の側面５ａに対する第２の照射角度（６０°）に変更する。

　図１４（Ｇ）を参照して、次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、ワーク１の正面３上において、第１の走査部６２を下方向（地球座標系においては、水平面内の方向）に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の正面３を撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の正面３の右側が、第２の撮像角度、第２の照射角度で下方向に向けて走査される（図１２における、３．（２）参照）。

　制御部５３は、第１の発光部６８の点灯と同時に、第２の走査部７２における第２の発光部７８を点灯させる。そして、制御部５３は、第２のアーム部７１により、ワーク１の第１の側面５ａ上において、第２の走査部７２を下方向（地球座標系においても、下方向）に移動させながら、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７によりワーク１の第１の側面５ａを撮像させる。これにより、第２の走査部７２によって、ワーク１の第１の側面５ａの右側が、第２の撮像角度、第２の照射角度で下方向に向けて走査される（図１２における「３」（２'）参照）。

　図１４（Ｈ）を参照して、第２の走査部７２が第１の側面５ａの右下の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における下方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７の撮像を停止させ、第２の発光部７８を消灯させる。このとき、第１の走査部６２は、未だ、ワーク１の正面３を走査している。次に、制御部５３は、第２のアーム部７１を制御して、第２の走査部７２を左方向に移動させる。

　図１４（Ｉ）を参照して、第２の走査部７２が、第１の側面５ａの左下の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における左方向への移動を停止させる。次に、制御部５３は、第２の走査部７２における第２の発光部７８を点灯させる。

　そして、制御部５３は、第２のアーム部７１により、第１の側面５ａ上において、第２の走査部７２を上方向（地球座標系においても、上方向）に移動させながら、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７によりワーク１の第１の側面５ａを撮像させる。これにより、第２の走査部７２によって、ワーク１の第１の側面５ａの左側が、第２の撮像角度、第２の照射角度で上方向に向けて走査される（図１２における「４」（２'）参照）。

　第２の走査部７２が、第１の側面５ａの左下の位置に到達したとき、第１の走査部６２は、正面３の右下の位置に到達している。第１の走査部６２が正面３の右下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における下方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。次に、制御部５３は、第１のアーム部６１を制御して、第１の走査部６２を左方向に移動させる。

　図１４（Ｊ）を参照して、第１の走査部６２が、正面３の左下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における左方向への移動を停止させる。次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。

　そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、正面３上において、第１の走査部６２を上方向（地球座標系においては、水平面内の方向）に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の正面３を撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の正面３の左側が、第２の撮像角度、第２の照射角度で上方向に向けて走査される（図１２における４．（２）参照）。

　第１の走査部６２が、正面３の左下の位置に到達したとき、第２の走査部７２は、第１の側面５ａの左上の位置に到達している。第２の走査部７２が第１の側面５ａの左上の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における上方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７の撮像を停止させ、第２の発光部７８を消灯させる。

　図１４（Ｋ）を参照して、次に、制御部５３は、第２のアーム部７１により、第２の走査部７２を回転させて、第２の走査部７２を第１の側面５ａの左側に位置させる。これにより、第２の走査部７２における第２の側面５ｂに対する走査方向が、上下方向から左右方向に変更される。

　また、このとき、制御部５３は、第２のラインカメラ７７の撮像角度を、第１の側面５ａに対する第２の撮像角度（６０°）から、第１の側面５ａに対する第１の撮像角度（９０°）に変更する。また、制御部５３は、第２の発光部７８の照射角度を、第１の側面５ａに対する第２の照射角度（６０°）から、第１の側面５ａに対する第１の照射角度（３０°）に変更する。

　第２の走査部７２における回転、並びに、撮像角度及び照射角度の変更が完了したとき、第１の走査部６２は、正面３の左上の位置に到達している。第１の走査部６２が正面３の左上の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２の上方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。

　図１４（Ｌ）を参照して、第２の走査部７２における回転、並びに、撮像角度及び照射角度の変更が完了すると、制御部５３は、第２の走査部７２における第２の発光部７８を点灯させる。そして、制御部５３は、第２のアーム部７１により、ワーク１の第１の側面５ａ上において、第２の走査部７２を右方向に移動させながら、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７によりワーク１の第１の側面５ａを撮像させる。これにより、第２の走査部７２によって、ワーク１の第１の側面５ａが、第１の撮像角度、第１の照射角度で右方向に向けて走査される（図１２における「５」（１'）参照）。

　図１５（Ｍ）を参照して、第２の走査部７２が第１の側面５ａを右方向に向けて走査しているとき、制御部５３は、第１のアーム部６１により、第１の走査部６２を回転させて、第１の走査部６２を正面３の左上に位置させる。これにより、第１の走査部６２における正面３に対する走査方向が、上下方向から左右方向に変更される。

　また、このとき、制御部５３は、第１のラインカメラ６７の撮像角度を、正面３に対する第２の撮像角度（６０°）から、正面３に対する第１の撮像角度（９０°）に変更する。また、制御部５３は、第１の発光部６８の照射角度を、正面３に対する第２の照射角度（６０°）から、正面３に対する第１の照射角度（３０°）に変更する。

　第１の走査部６２における回転、並びに、撮像角度及び照射角度の変更が完了したとき、第２の走査部７２は、未だ、第１の側面５ａを右方向に向けて走査している。

　図１５（Ｎ）を参照して、第１の走査部６２における回転、並びに、撮像角度及び照射角度の変更が完了すると、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、ワーク１の正面３上において、第１の走査部６２を右方向に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の正面３を撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の正面３の上側が、第１の撮像角度、第１の照射角度で右方向に向けて走査される（図１２における５．（１）参照）。

　図１５（Ｏ）を参照して、第２の走査部７２が第１の側面５ａの右側の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における右方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７の撮像を停止させ、第２の発光部７８を消灯させる。このとき、第１の走査部６２は、未だ、ワーク１の正面３を右方向に向けて走査している。

　図１５（Ｐ）を参照して、次に、制御部５３は、第２のラインカメラ７７の撮像角度を、第１の側面５ａに対する第１の撮像角度（９０°）から、第１の側面５ａに対する第２の撮像角度（６０°）に変更する。また、制御部５３は、第２の発光部７８の照射角度を、第１の側面５ａに対する第１の照射角度（３０°）から、第１の側面５ａに対する第２の照射角度（６０°）に変更する。

　第２の走査部７２における撮像角度及び照射角度の変更が完了したとき、第１の走査部６２は、正面３の右上の位置に到達している。

　図１５（Ｑ）を参照して、第１の走査部６２が正面３の右上の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２の右方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。

　このとき、制御部５３は、第２の走査部７２における第２の発光部７８を点灯させる。そして、制御部５３は、第２のアーム部７１により、ワーク１の第１の側面５ａ上において、第２の走査部７２を左方向に移動させながら、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７によりワーク１の第１の側面５ａを撮像させる。これにより、第２の走査部７２によって、ワーク１の第１の側面５ａが、第２の撮像角度、第２の照射角度で左方向に向けて走査される（図１２における「６」（２'）参照）。

　図１５（Ｒ）を参照して、第２の走査部７２が第１の側面５ａを左方向に向けて走査しているとき、制御部５３は、第１のラインカメラ６７の撮像角度を、正面３に対する第１の撮像角度（９０°）から、第２の側面５ｂに対する第１の撮像角度（９０°）に変更する。また、制御部５３は、第１の発光部６８の照射角度を、正面３に対する第１の照射角度（３０°）から、第２の側面５ｂに対する第１の照射角度（３０°）に変更する。このとき、第１の走査部６２は、第２の側面５ｂに対して右上の位置に位置することになる（第２の側面５ｂにおける、上、下、左、右との用語については、図１２参照）。

　第１の走査部６２における撮像角度及び照射角度の変更が完了したとき、第２の走査部７２は、未だ、第１の側面５ａを左方向に向けて走査している。

　図１６（Ｓ）を参照して、第１の走査部６２における撮像角度及び照射角度の変更が完了すると、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、ワーク１の第２の側面５ｂ上において、第１の走査部６２を下方向（地球座標系においても下方向）に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の第２の側面５ｂを撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の第２の側面５ｂの右側が、第１の撮像角度、第１の照射角度で下方向に向けて走査される（図１２における６．（１"）参照）。

　図１６（Ｔ）を参照して、第１の走査部６２が第２の側面５ｂの右下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における下方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。次に、制御部５３は、第１のアーム部６１を制御して、第１の走査部６２を、第２の側面５ｂに対して左方向に移動させる。

　第１の走査部６２が第２の側面５ｂの右下の位置に到達したとき、第２の走査部７２は、ワーク１の第１の側面５ａの左側の位置に到達している。第２の走査部７２が第１の側面５ａの左側の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２の左方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７の撮像を停止させ、第２の発光部７８を消灯させる。

　図１６（Ｕ）を参照して、第１の走査部６２が第２の側面５ｂの左下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における左方向への移動を停止させる。次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。

　そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、第２の側面５ｂ上において、第１の走査部６２を上方向（地球座標系においても上方向）に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の第２の側面５ｂを撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の第２の側面５ｂの左側が、第１の撮像角度、第１の照射角度で上方向に向けて走査される（図１２における、７．（１"）参照）。

　なお、このとき、制御部５３は、第２のアーム部７１により、第２の走査部７２を待機位置に移動させ、第２の走査部７２を待機状態とする。

　図１６（Ｖ）を参照して、第１の走査部６２が第２の側面５ｂの左上の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における上方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。

　図１６（Ｗ）を参照して、次に、制御部５３は、第１のラインカメラ６７の撮像角度を、第２の側面５ｂに対する第１の撮像角度（９０°）から、正面３に対する第１の撮像角度（９０°）に変更する。また、制御部５３は、第１の発光部６８の照射角度を、第２の側面５ｂに対する第１の照射角度（６０°）から、正面３に対する第１の照射角度（６０°）に変更する。このとき、第１の走査部６２は、正面３に対して右下の位置に位置することになる（正面３における、上、下、左、右との用語については、図１２参照）。

　図１６（Ｘ）を参照して、第１の走査部６２における撮像角度及び照射角度の変更が完了すると、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、ワーク１の正面３上において、第１の走査部６２を左方向に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の正面３を撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の正面３の下側が、第１の撮像角度、第１の照射角度で左方向に向けて走査される（図１２における８．（１）参照）。

　図１７（Ｙ）を参照して、第１の走査部６２が正面３の左下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における左方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。

　図１７（Ｚ）を参照して、次に、制御部５３は、第１のラインカメラ６７の撮像角度を、正面３に対する第１の撮像角度（９０°）から、正面３に対する第２の撮像角度（６０°）に変更する。また、制御部５３は、第１の発光部６８の照射角度を、正面３に対する第１の照射角度（３０°）から、正面３に対する第２の照射角度（６０°）に変更する。

　図１７（Ａ'）を参照して、次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、ワーク１の正面３上において、第１の走査部６２を右方向に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の正面３を撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の正面３の下側が、第２の撮像角度、第２の照射角度で右方向に向けて走査される（図１２における９．（２）参照）。

　図１７（Ｂ'）を参照して、第１の走査部６２が正面３の右下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における右方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。

　図１７（Ｃ'）を参照して、次に、制御部５３は、第１のラインカメラ６７の撮像角度を、正面３に対する第２の撮像角度（６０°）から、第２の側面５ｂに対する第２の撮像角度（６０°）に変更する。また、制御部５３は、第１の発光部６８の照射角度を、正面３に対する第２の照射角度（６０°）から、第２の側面５ｂに対する第２の照射角度（６０°）に変更する。このとき、第１の走査部６２は、第２の側面５ｂに対して左上の位置に位置することになる（第２の側面５ｂにおける、上、下、左、右との用語については、図１２参照）。

　図１７（Ｄ'）を参照して、次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、ワーク１の第２の側面５ｂ上において、第１の走査部６２を下方向（地球座標系においても下方向）に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の第２の側面５ｂを撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の第２の側面５ｂの左側が、第２の撮像角度、第２の照射角度で下方向に向けて走査される（図１２における１０．（２"）参照）。

　図１８（Ｅ'）を参照して、第１の走査部６２が第２の側面５ｂの左下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における下方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。次に、制御部５３は、第１のアーム部６１を制御して、第１の走査部６２を、第２の側面５ｂに対して右方向に移動させる。

　図１８（Ｆ'）を参照して、第１の走査部６２が第２の側面５ｂの右下の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における右方向への移動を停止させる。次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。

　そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、第２の側面５ｂ上において、第１の走査部６２を上方向（地球座標系においても上方向）に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の第２の側面５ｂを撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の第１の側面５ａの右側が、第２の撮像角度、第２の照射角度で上方向に向けて走査される（図１２における、１１．（２"）参照）。

　図１８（Ｇ'）を参照して、第１の走査部６２が第２の側面５ｂの右上の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における上方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。

　図１８（Ｈ'）を参照して、次に、制御部５３は、第１のラインカメラ６７の撮像角度を、第２の側面５ｂに対する第２の撮像角度（６０°）から、正面３に対する第２の撮像角度（６０°）に変更する。また、制御部５３は、第１の発光部６８の照射角度を、第２の側面５ｂに対する第２の照射角度（６０°）から、正面３に対する第２の照射角度（６０°）に変更する。このとき、第１の走査部６２は、正面３に対して右上の位置に位置することになる（正面３における、上、下、左、右との用語については、図１２参照）。

　図１８（Ｉ'）を参照して、次に、制御部５３は、第１の走査部６２における第１の発光部６８を点灯させる。そして、制御部５３は、第１のアーム部６１により、ワーク１の正面３上において、第１の走査部６２を左方向に移動させながら、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７によりワーク１の正面３を撮像させる。これにより、第１の走査部６２によって、ワーク１の正面３の上側が、第２の撮像角度、第２の照射角度で左方向に向けて走査される（図１２における１２．（２）参照）。

　図１８（Ｊ'）を参照して、第１の走査部６２が正面３の左上の位置に到達すると、制御部５３は、第１の走査部６２における左方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７の撮像を停止させ、第１の発光部６８を消灯させる。

　このとき、制御部５３は、第２のアーム部７１を制御して、第２の走査部７２を第２の側面５ｂの左側に位置させる（第２の側面５ｂにおける、上、下、左、右との用語については、図１２参照）。そして、制御部５３は、第２のラインカメラ７７の撮像角度を、第２の側面５ｂに対する第１の撮像角度（９０°）に設定し、第２の発光部７８の照射角度を、第２の側面５ｂに対する第１の照射角度（３０°）に設定する。

　次に、制御部５３は、第２の走査部７２における第２の発光部７８を点灯させる。そして、制御部５３は、第２のアーム部７１により、ワーク１の第２の側面５ｂ上において、第２の走査部７２を右方向に移動させながら、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７によりワーク１の第２の側面５ｂを撮像させる。これにより、第２の走査部７２によって、ワーク１の第２の側面５ｂが、第１の撮像角度、第１の照射角度で右方向に向けて走査される（図１２における「７」（１"）参照）。

　図１９（Ｋ'）を参照して、第２の走査部７２が、第２の側面５ｂの右側の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における右方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７の撮像を停止させ、第２の発光部７８を消灯させる。

　なお、このとき、制御部５３は、第１のアーム部６１により、第１の走査部６２を待機位置に移動させ、第１の走査部６２を待機状態とする。

　図１９（Ｌ'）を参照して、次に、制御部５３は、第２のラインカメラ７７の撮像角度を、第２の側面５ｂに対する第１の撮像角度（９０°）から、第２の側面５ｂに対する第２の撮像角度（６０°）に変更する。また、制御部５３は、第２の発光部７８の照射角度を、第２の側面５ｂに対する第１の照射角度（３０°）から、第２の側面５ｂに対する第２の照射角度（６０°）に変更する。

　図１９（Ｍ'）を参照して、次に、制御部５３は、第２の走査部７２における第２の発光部７８を点灯させる。そして、制御部５３は、第２のアーム部７１により、ワーク１の第２の側面５ｂ上において、第２の走査部７２を左方向に移動させながら、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７によりワーク１の第２の側面５ｂを撮像させる。これにより、第２の走査部７２によって、ワーク１の第２の側面５ｂが、第２の撮像角度、第２の照射角度で左方向に向けて走査される（図１２における「８」（２"）参照）。

　図１９（Ｎ'）を参照して、第２の走査部７２が第２の側面５ｂの左側の位置に到達すると、制御部５３は、第２の走査部７２における左方向への移動を停止させる。そして、制御部５３は、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７の撮像を停止させ、第２の発光部７８を消灯させる。

　図１９（Ｏ'）を参照して、次に、制御部５３は、第２のアーム部７１により、第２の走査部７２を待機位置に移動させ、第２の走査部７２を待機状態とする。

　なお、この後、ワーク１は、第１の搬送装置８０により、上下が反転されて、背面４が上側を向くようにして、第２の外観検査装置５０Ｂの載置台５２に載置される。そして、上記した流れと同様の流れで、第２の外観検査装置５０Ｂによって、ワーク１の背面４、第３の側面５ｃ及び第４の側面５ｄが検査される。

　（図１２～図１９に示す動作でワーク１が検査される理由）
　ここで、図１２～図１９に示す動作でワーク１が検査される理由について説明する。第１の走査部６２及び第２の走査部７２において３つの面の外観を検査する場合、以下の１）～４）に示す点を考慮する必要がある。

　１）　第１の走査部６２及び第２の走査部７２により、できるだけ短時間で３つの面の走査を完了させること（検査時間の短縮）。
　２）　第１の走査部６２及び第２の走査部７２により、できるだけ正確にワーク１の外観を検査すること。
　３）　第１の走査部６２及び第２の走査部７２が、互いに衝突しないこと。
　４）　第１の走査部６２における第１の発光部６８による光が、第２の走査部７２における第２のラインカメラ７７の撮像に悪影響を与えてしまう光干渉が発生しないようにすること。同様に、第２の走査部７２における第２の発光部７８による光が、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７の撮像に悪影響を与えてしまう光干渉が発生しないようにすること。

　まず、検査時間の短縮のために、制御部５３は、第１の走査部６２によりワーク１の正面３を走査させているときに、同時に、第２の走査部７２によりワーク１の第１の側面５ａを走査させている。また、検査時間の短縮のために、制御部５３は、第１の走査部６２及び第２の走査部７２により、協同で、分担して、第２の側面５ｂを走査させている。

　なお、第１の走査部６２及び第２の走査部７２において、同時に第２の側面５ｂの走査が行われると、２台の走査部６２、６７が互いに衝突してしまう。このため、第１の走査部６２により第２の側面５ｂが走査されるタイミング（図１６（Ｓ）～１６（Ｖ）、図１７（Ｄ'）～図１８（Ｇ'）参照）と、第２の走査部７２により第２の側面５ｂが走査されるタイミング（図１８（Ｊ'）～図１９（Ｎ'）参照）とは、ずらされている。

　また、正確にワーク１の外観を検査するために、制御部５３は、第１の走査部６２により、ワーク１の正面３を、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査させている。同様に、制御部５３は、第２の走査部７２により、ワーク１の第１の側面５ａを、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査させている。

　また、正確にワーク１の外観を検査するために、制御部５３は、第１の走査部６２により、ワーク１の正面３を、異なる走査方向（上下方向、左右方向）で、複数回にわたって走査させている。同様に、制御部５３は、第２の走査部７２により、ワーク１の第１の側面５ａを、異なる走査方向で、複数回にわたって走査させている。

　なお、第２の側面５ｂについては、走査方向に応じて、第１の走査部６２及び第２の走査部７２に対する分担が割り合てられている。具体的には、本実施形態では、制御部５３は、第１の走査部６２により、第２の側面５ｂを上下方向で走査させ、第２の走査部７２により、第２の側面５ｄを左右方向で走査させている。

　ここで、図１２において、５．（１）、６．（１"）、７．（１"）、８．（１）における第１の走査部６２の動きに着目する（図１５（Ｎ）～図１７（Ｙ）に対応）。まず、第１の走査部６２は、正面３の上側を右方向に向けて走査して、正面３の右上の位置に到達する（図１２の５．（１））。正面３の右上の位置の先には、第２の側面５ｂが存在しており、第１の走査部６２は、そのままの流れで、第１の側面５ａの右側を下方向に向けて走査する（図１２の６．（１"））。

　その後、第１の走査部６２は、第２の側面５ｂの左側を上方向に向けて走査して、第２の側面５ｂの左上の位置に到達する（図１２の７．（１"））。第２の側面５ｂの左上の位置の先には、正面３が存在しており、第１の走査部６２は、そのままの流れで、正面３の下側を左方向に向けて走査する（図１２の８．（１））。

　なお、図１２において、９．（２）、１０．（２"）、１１．（２"）、１２．（２）においても、撮像角度、照射角度が異なる点を除いて、第１の走査部６２は、５．（１）、６．（１"）、７．（１"）、８．（１）と基本的に同じ動きをしている。

　つまり、本実施形態では、制御部５３は、第１の走査部６２により、ワーク１の正面３における左右方向での走査と、ワーク１の第１の側面５ａ（正面３に対して走査方向で隣接する面）における上下方向での走査とを一連の流れとして行わせることで、検査時間を短縮している。

　次に、光干渉について説明する。本実施形態では、制御部５３は、光干渉が生じないように、第１の走査部６２及び第２の走査部７２による走査の動きを制御している。

　典型的には、制御部５３は、走査を行っている第１の走査部６２及び第２の走査部７２の距離ができるだけ近づかないように、第１の走査部６２及び第２の走査部７２の動きを制御している。

　これは、例えば、図１３（Ａ）、図１４（Ｇ）、図１５（Ｎ）、図１６（Ｓ）等に表れている。図１３（Ａ）、図１４（Ｇ）では、第１の走査部６２が、ワーク１の正面３において下方向に向けて移動されているとき、第２の走査部７２は、ワーク１の第１の側面５ａにおいて下方向に向けて移動されている。これにより、第１の走査部６２及び第２の走査部７２の間の距離が保たれ、光干渉が防止される。

　図１５（Ｎ）では、第２の走査部７２が、ワーク１の第１の側面５ａにおいて右方向へ向けて移動されて、ある程度進んだときに、第１の走査部６２が、ワーク１の正面３において右方向へ向けての走査を開始している。これにより、第１の走査部６２及び第２の走査部７２の間の距離が保たれ、光干渉が防止される。

　図１６（Ｓ）では、第２の走査部７２が、ワーク１の第１の側面５ａにおいて左方向へ向けて移動されて、ある程度進んだときに、第１の走査部６２が、ワーク１の第２の側面５ｂにおいて下方向へ向けての走査を開始している。これにより、第１の走査部６２及び第２の走査部７２の間の距離が離れ、光干渉が防止される。

　また、制御部５３は、第１の走査部６２及び第２の走査部７２の距離が一定の距離以下となる場合には、第１の発光部６８及び第２の発光部７８の点灯、消灯タイミング、第１のラインカメラ６７及び第２のラインカメラ７７の撮像開始、撮像終了タイミング（走査開始、終了タイミング）を制御する。

　これは、例えば、図１３（Ｃ）、図１３（Ｄ）、図１４（Ｉ）、図１４（Ｊ）、図１５（Ｑ）等に表れている。

　図１３（Ｃ）、図１４（Ｉ）では、第１の走査部６２及び第２の走査部７２の距離が一定の距離以下となっている。一方、第１の走査部６２が正面３の下側に到達して第１のラインカメラ６７の撮像が終了され、第１の発光部６８が消灯されるタイミングで、第２の発光部７８が発光されて第２のラインカメラ７７の撮像が開始される。これにより、光干渉が防止される。

　同様に、図１３（Ｄ）、図１４（Ｊ）でも、第１の走査部６２及び第２の走査部７２の距離が一定の距離以下となっている。一方、第２の走査部７２が第１の側面５ａの上側に到達して第２のラインカメラ７７の撮像が終了され、第２の発光部７８が消灯されるタイミングで、第１の発光部６８が発光されて第１のラインカメラ６７の撮像が開始される。これにより、光干渉が防止される。

　同様に、図１５（Ｑ）でも、第１の走査部６２及び第２の走査部７２の距離が一定の距離以下となっている。一方、第１の走査部６２が正面３の右側に到達して第１のラインカメラ６７の撮像が終了され、第１の発光部６８が消灯されるタイミングで、第２の発光部７８が発光されて第２のラインカメラ７７の撮像が開始される。これにより、光干渉が防止される。

　ここで、図１４（Ｌ）～図１６（Ｔ）を参照して、第２の走査部７２は、第２の発光部７８が立てられた状態（第１の発光部６８の長手方向が、地球座標系の上下方向となる状態）で第１の側面５ａを走査している。また、図１８（Ｊ'）～図１９（Ｎ'）を参照して、第２の走査部７２は、第２の発光部７８が立てられた状態で第２の側面５ｂを走査している。

　一方、第１の側面５ａ、第２の側面５ｂの上下方向の幅は、第２の発光部７８の長さよりも小さい。従って、第２の発光部７８が立てられた状態で、側面５に光が照射されると、第２の発光部７８が寝かされた状態（第２の発光部７８の長手方向が、地球座標系の水平方向となる状態）で、側面５に光が照射される場合よりも、正面３に対して漏れる光の量が多い。

　つまり、第２の発光部７８が立てられた状態では、第２の発光部７８が寝かされた状態よりも、第２の走査部７２における第２の発光部７８が、第１の走査部６２における第１のラインカメラ６７による撮像に悪影響を与えてしまう光干渉が発生しやすい。

　このため、基本的には、図１８（Ｊ'）～図１９（Ｎ'）に示すように、第２の発光部７８が立てられた状態で第２の走査部７２により側面５が走査されているときに、第１の走査部６２は、正面３を走査しない。あるいは、図１４（Ｌ）～図１５（Ｏ）に示すように、第２の発光部７８が立てられた状態で第２の走査部７２により側面５が走査されているときに、第１の走査部６２が正面３を走査してもよいが、この場合には、少なくとも、第１の走査部６２と、第２の走査部７２と間の距離が一定の距離以上に保たれる。

　なお、第２の発光部７８は、部分的に点灯可能なように構成されていてもよい。この場合、第２の発光部７８は、立てられた状態において、側面５の上下方向の幅に対応する箇所が部分的に点灯され、それ以外の箇所は消灯される。これにより、光干渉が防止される。

　また、第１の発光部６８と、第２の発光部７８とが、異なる波長領域の光を出射可能に構成されていてもよい。このような方法でも光干渉を防止することができる。

　＜作用等＞
　［異音検査装置１０］
　上述のように、本実施形態に係る異音検査装置１０では、アーム部２１により、ワーク１を保持した状態のハンド部３１が移動されてワーク１が搬送され、音検出部３５により、ワーク１が搬送されているときにワーク１の音が検出される。そして、検出された音信号に基づいて、ワーク１から発生する異音が検査される。

　つまり、本実施形態に係る異音検査装置１０は、ワーク１を搬送する搬送装置としての機能と、ワーク１から発生する異音を検査する異音検査装置としての機能との２つの機能を兼ね備えている。従って、この異音検査装置１０では、ワーク１を搬送中に、ワーク１の異音を検査することができ、効率的にワーク１の異音検査を行うことができる。さらに、本実施形態に係る異音検査装置１０では、搬送装置と、異音検査装置とを別々に用意する場合に比べ、コストを削減することができる。

　また、本実施形態に係る異音検査装置１０では、ワーク１を保持した状態のハンド部３１が時計回りに移動されて、シール貼付装置４０へとワーク１が搬送される。一方で、ワーク１を保持した状態のハンド部３１が反時計回りに移動されてシール貼付装置４０から第１の外観検査装置５０Ａへとワーク１が搬送される。

　そして、ワーク１の時計回りでの移動に応じてワーク１から発生する音、及びワーク１の反時計回りでの移動に応じてワーク１から発生する音が、音検出部３５によって検出され、検出された音信号に基づいて、ワーク１から発生する異音が検査される。

　このように、ワーク１を時計回り及び反時計回りに搬送させて、そのときにワーク１から発生する音に基づいてワーク１から発生する異音を検査することで、適切に異音を検査することができる。なお、ワーク１を移動させる方向は、地球座標系における上方向及び下方向などであってもよい。

　また、本実施形態に係る異音検査装置１０では、シール貼付装置４０へとワーク１が搬送されるとき、シール貼付装置４０がワーク１に対して処理を行うことができるように、ワーク１の姿勢（ハンド部３１の姿勢）が変化される。同様に、シール貼付装置４０から第１の外観検査装置５０Ａへとワーク１が搬送されるとき、第１の外観検査装置５０Ａの載置台５２上にワーク１を載置するために、ワーク１の姿勢（ハンド部３１の姿勢）が変化される。

　そして、ワーク１の姿勢の変化に応じてワーク１から発生する音が、音検出部３５によって検出され、検出された音信号に基づいて、ワーク１から発生する異音が検査される。

　このように、ワーク１の搬送中にワーク１の姿勢を変化させて、そのときにワーク１から発生する音に基づいて、ワーク１から発生する異音を検査することで、適切に異音を検査することができる。

　また、本実施形態に係る異音検査装置１０では、音検出部３５がハンド部３１に設けられている。これにより、ワーク１の搬送中にワーク１から発生する音を適切に検出することができる。なお、音検出部３５は、ロボットアーム部１２における他の部分（アーム部２１等）に設けられていてもよい。

　さらに、本実施形態に係る異音検査装置１０では、音検出部３５は、ワーク１に対して接触して音を検出するように構成されおり、この音検出部３５は、ＡＥセンサにより構成されている。これにより、ワーク１から発生する異音をさらに適切に検出することができる。

　なお、音検出部３５は、ワーク１に対して非接触で音を検出するように構成されていれもよい。この場合、音検出部３５は、マイクロフォンによって構成されていてもよい。音検出部３５がこのように構成されていても、ワーク１から発生する異音を適切に検出することができる。

　なお、検出すべき異音の周波数帯が、周囲の環境音の周波数帯と同じ周波数帯である場合がある。この場合、ワーク１に対して非接触で音を検出するタイプの音検出部３５では、周囲の環境音によって、異音を適切に検出することができない場合がある。従って、例えば、このような場合には、ワーク１に対して接触して音を検出するタイプの音検出部３５が用いられてもよい。

　また、異音検査装置１０では、音検出部３５により検出された音信号における特定の周波数帯（異音に対応する周波数帯）の信号に基づいて、ワーク１から発生する異音が検査される。これにより、適切に異音を検査することができる。

　また、本実施形態に係る異音検査装置１０では、異音検査装置１０において、特定の周波数帯（異音に対応する周波数帯）の信号が積分され、積分値に基づいてワーク１から発生する異音が検査される。これにより、異音に対応する周波数帯において、異音の平均的な大きさを判断することができるので、さらに適切に異音を検査することができる。

　［外観検査装置５０］
　本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の走査部６２によりワークの正面３（背面４）が走査されているときに、同時に、第２の走査部７２により第１の側面５ａ（第３の側面５ｃ）が走査される。これにより、本実施形態に係る外観検査装置では、ワーク１の外観検査を効率的に素早く完了させることができる。

　ここで、外観検査においては、生産ライン上での他の工程よりも、時間が掛かりやすいといった問題があり、他の工程とのタクトタイムバランスを取ることが困難であるといった問題がある。特に、ワーク１が、据え置き型のゲーム機のように、検査すべき領域が比較的広い物である場合、このような問題が発生しやすい。一方、本実施形態では、外観検査における検査時間を短縮することができるので、他の工程とのタクトタイムバランスを取ることも容易となる。

　また、本実施形態では、１台の外観検査装置５０が２台のロボットアーム部６０、７０を備えているので、例えば、１台の外観検査装置５０が１台のロボットアーム部を備えている場合に比べて、外観検査装置５０の台数を減らすことができる。これにより、コストを削減することができる。また、検査システム１００の設置スペースを縮小することができ、生産エリアのスペースマネージメントの自由度が高まる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の走査部６２は、第１の発光部６８を有しており、第２の走査部７２は、第２の発光部７８を有している。

　これにより、第１のラインカメラ６７、第２のラインカメラ７７が撮像を行う箇所に対して、適切に光を照射することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の走査部６２において、第１のラインカメラ６７がワーク１の正面３（背面４）を撮像する撮像角度が調整され、かつ、第１の発光部６８がワーク１の正面３（背面４）に光を照射する照射角度が調整される。同様に、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第２の走査部７２において、第２のラインカメラ７７がワーク１の第１の側面５ａ（第３の側面５ｃ）を撮像する撮像角度が調整され、かつ、第２の発光部７８がワーク１の第１の側面５ａ（第３の側面５ｃ）に光を照射する照射角度が調整される。

　これにより、ワーク１の外観を正確に検査することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の走査部６２により、ワーク１の正面３（背面４）が、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査される。これにより、ワーク１の外観をさらに正確に検査することができる。

　同様に、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第２の走査部７２により、ワーク１の第１の側面５ａ（第３の側面５ｃ）が、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査される。これにより、ワーク１の外観をさらに正確に検査することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の走査部６２により、ワーク１の正面３（背面４）が、異なる走査方向で複数回にわたって走査される。これにより、ワーク１の外観をさらに正確に検査することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第２の走査部７２により、ワーク１の第１の側面５ａ（第３の側面５ｃ）が、異なる走査方向で複数回にわたって走査される。これにより、ワーク１の外観をさらに正確に検査することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の走査部６２及び第２の走査部７２により、第２の側面５ｂ（第４の側面５ｄ）が協同で走査される。これにより、外観検査における検査時間をさらに短縮することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の走査部６２により、第２の側面５ｂ（第４の側面５ｄ）が上下方向で走査され、第２の走査部７２により、第２の側面５ｂ（第４の側面５ｄ）が左右方向で走査される。これにより、外観検査における検査時間をさらに短縮することができる。なお、第２の側面５ｂ（第４の側面５ｄ）については、撮像角度、照射角度に応じて、第１の走査部６２及び第２の走査部７２に対する分担が割り合てられていてもよい。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の発光部６８からの光が、第２のラインカメラ７７の撮像に干渉してしまう光干渉、及び、第２の発光部７８からの光が第１のラインカメラ６７の撮像に干渉してしまう光干渉が生じないように、第１の走査部６２及び第２の走査部７２による走査の動きが制御される。これにより、適切に光干渉を防止することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、光干渉が生じないように、第１の発光部６８及び第２の発光部７８による点灯、消灯タイミングが制御される。これにより、さらに適切に光干渉を防止することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、光干渉が生じないように、第１のラインカメラ６７及び第２のラインカメラ７７による撮像開始、撮像終了タイミングが制御される。これにより、さらに適切に光干渉を防止することができる。

　また、本実施形態に係る外観検査装置５０では、第１の走査部６２が走査を担当する正面３（背面４）と、第２の走査部７２が走査を担当する第１の側面５ａ（第３の側面５ｃ）と、第１の走査部６２及び第２の走査部７２が共同で走査を担当する第２の側面５ｂ（第４の側面５ｄ）が、互いに隣接する面とされている。これにより、第１の走査部６２及び第２の走査部７２により効率的にワーク１の多面を検査することができる。

　ここで、本実施形態では、第１の外観検査装置５０Ａ、第２の外観検査装置５０Ｂがそれぞれユニット化されている。このように、外観検査装置５０をユニット化することで、生産ラインにおけるワーク１の生産量の変動（生産量の増加、減少）に適切に対応することができる。特に、外観検査装置５０をユニット化することで、ワーク１の生産量が１．３倍や、１．５倍とされるような、小数倍での生産量の変動に適切に対応することができる。

　生産量の変動に対応する場合、例えば、第１の外観検査装置５０Ａ、第２の外観検査装置５０Ｂの後方に、別の一台の外観検査装置５０が直列に配置されてもよい。この場合、３台の外観検査装置５０は、ワーク１における６面のうち２面の検査をそれぞれ行ってもよい。なお、加えられる別の外観検査装置５０は、第１の外観検査装置５０Ａ、第２の外観検査装置５０Ｂに対して、並列に配置されてもよい。また、加えられる外観検査装置５０の数についても１台に限定されない。また、第１の外観検査装置５０Ａ、第２の外観検査装置５０Ｂのうち、一方の外観検査装置５０が省略されてもよい。この場合、１台の外観検査装置５０が、ワーク１の６面を全て検査する。

≪各種変形例≫
　以上の説明では、ワーク１が、据え置き型のゲーム機である場合について説明した。一方、ワーク１は、据え置き型のゲーム機以外の各種の電子機器や、各種の自動車部品等であってもよい。典型的には、ワーク１は、多面を有する形状であれば、どのような検査対象物であってもよい（基板のような薄い物であってもよい）。

　本技術は、以下の構成をとることもできる。
（１）第１のアーム部と、第１のラインカメラを含み、前記第１のアーム部に設けられた第１の走査部とを有する第１のロボットアーム部と、
　第２のアーム部と、第２のラインカメラを含み、前記第２のアーム部に設けられた第２の走査部とを有する第２のロボットアーム部と、
　前記第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で前記第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、前記第２のアーム部により、前記第２の面上で前記第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる制御部と
　を具備する外観検査装置。
（２）　上記（１）に記載の外観検査装置であって、
　前記第１の走査部は、前記第１のラインカメラと共に前記走査方向に移動され、前記第１のラインカメラが撮像を行う箇所に対して光を照射する第１の発光部をさらに含む
　外観検査装置。
（３）　上記（２）に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１のラインカメラが前記第１の面を撮像する撮像角度を調整し、かつ、前記第１の発光部が前記第１の面に光を照射する照射角度を調整する
　外観検査装置。
（４）　上記（４）に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第１の面を、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査させる
　外観検査装置。
（５）　上記（２）～（４）のうちいずれか１つに記載の外観検査装置であって、
　前記第２の走査部は、前記第２のラインカメラと共に前記走査方向に移動され、前記第２のラインカメラが撮像を行う箇所に対して光を照射する第２の発光部をさらに含む
　外観検査装置。
（６）　上記（５）に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第２のラインカメラが前記第２の面を撮像する撮像角度を調整し、かつ、前記第２の発光部が前記第２の面に光を照射する照射角度を調整する
　外観検査装置。
（７）　上記（６）に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第２の走査部により、前記第２の面を、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査させる
　外観検査装置。
（８）　上記（１）～（７）のうちいずれか１つに記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第１の面を、異なる走査方向で複数回にわたって走査させる
　外観検査装置。
（９）　上記（１）～（８）のうちいずれか１つに記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第２の走査部により、前記第２の面を、異なる走査方向で複数回にわたって走査させる
　外観検査装置。
（１０）　上記（１）～（９）のうちいずれか１つに記載の外観検査装置であって、
　前記ワークは、第３の面をさらに有し、
　前記制御部は、前記第１の走査部及び第２の走査部により、前記第３の面を協同で走査させる
　外観検査装置。
（１１）　上記（１０）に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第３の面を所定の走査方向で走査させ、前記第２の走査部により、前記第３の面を前記所定の走査方向とは異なる走査方向で走査させる
　外観検査装置。
（１２）　上記（５）に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１の発光部からの光が、前記第２のラインカメラの撮像に干渉してしまう光干渉、及び、前記第２の発光部からの光が前記第１のラインカメラの撮像に干渉してしまう光干渉が生じないように、前記第１の走査部及び前記第２の走査部による走査の動きを制御する
　外観検査装置。
（１３）　上記（１２）に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記光干渉が生じないように、前記第１の発光部及び前記第２の発光部による点灯、消灯タイミングを制御する
　外観検査装置。
（１４）　上記（１２）又は（１３）に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記光干渉が生じないように、前記第１のラインカメラ及び前記第２のラインカメラによる撮像開始、撮像終了タイミングを制御する
　外観検査装置。
（１５）　上記（１）～（１４）のうちいずれか１つに記載の外観検査装置であって、
　前記第１の面及び前記第２の面は、互いに隣接する面である
　外観検査装置。
（１６）　上記（１０）に記載の外観検査装置であって、
　前記第１の面、前記第２の面及び前記第３の面は、互いに隣接する面である
　外観検査装置。
（１７）　第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる
　外観検査方法。
（１８）　第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる
　制御部としてコンピュータを機能させるプログラム。
（１９）　第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させ、
　第１のラインカメラにより撮像された画像及び第２のラインカメラにより撮像された画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する
　ワークの製造方法。

　１…ワーク
　２…筐体
　３…正面
　４…背面
　５…側面
　５ａ～５ｄ…第１の側面～第４の側面
　１３…制御部
　１０…異音検査装置
　１２…ロボットアーム部
　２１…アーム部
　３１…ハンド部
　３５…音検出部
　４０…シール貼付装置
　５０…外観検査装置
　５０Ａ…第１の外観検査装置
　５０Ｂ…第２の外観検査装置
　５３…制御部
　６０…第１のロボットアーム部
　６１…第１のアーム部
　６２…第１の走査部
　６７…第１のラインカメラ
　６８…第１の発光部
　７０…第２のロボットアーム部
　７１…第２のアーム部
　７２…第２の走査部
　７７…第２のラインカメラ
　７８…第２の発光部
　８０…第１の搬送装置
　９０…第２の搬送装置
　１００…検査システム

Claims

　第１のアーム部と、第１のラインカメラを含み、前記第１のアーム部に設けられた第１の走査部とを有する第１のロボットアーム部と、
　第２のアーム部と、第２のラインカメラを含み、前記第２のアーム部に設けられた第２の走査部とを有する第２のロボットアーム部と、
　前記第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で前記第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、前記第２のアーム部により、前記第２の面上で前記第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる制御部と
　を具備する外観検査装置。
　請求項１に記載の外観検査装置であって、
　前記第１の走査部は、前記第１のラインカメラと共に前記走査方向に移動され、前記第１のラインカメラが撮像を行う箇所に対して光を照射する第１の発光部をさらに含む
　外観検査装置。
　請求項２に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１のラインカメラが前記第１の面を撮像する撮像角度を調整し、かつ、前記第１の発光部が前記第１の面に光を照射する照射角度を調整する
　外観検査装置。
　請求項３に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第１の面を、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査させる
　外観検査装置。
　請求項２に記載の外観検査装置であって、
　前記第２の走査部は、前記第２のラインカメラと共に前記走査方向に移動され、前記第２のラインカメラが撮像を行う箇所に対して光を照射する第２の発光部をさらに含む
　外観検査装置。
　請求項５に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第２のラインカメラが前記第２の面を撮像する撮像角度を調整し、かつ、前記第２の発光部が前記第２の面に光を照射する照射角度を調整する
　外観検査装置。
　請求項６に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第２の走査部により、前記第２の面を、異なる撮像角度及び異なる照射角度で、複数回にわたって走査させる
　外観検査装置。
　請求項１に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第１の面を、異なる走査方向で複数回にわたって走査させる
　外観検査装置。
　請求項１に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第２の走査部により、前記第２の面を、異なる走査方向で複数回にわたって走査させる
　外観検査装置。
　請求項１に記載の外観検査装置であって、
　前記ワークは、第３の面をさらに有し、
　前記制御部は、前記第１の走査部及び第２の走査部により、前記第３の面を協同で走査させる
　外観検査装置。
　請求項１０に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１の走査部により、前記第３の面を所定の走査方向で走査させ、前記第２の走査部により、前記第３の面を前記所定の走査方向とは異なる走査方向で走査させる
　外観検査装置。
　請求項５に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記第１の発光部からの光が、前記第２のラインカメラの撮像に干渉してしまう光干渉、及び、前記第２の発光部からの光が前記第１のラインカメラの撮像に干渉してしまう光干渉が生じないように、前記第１の走査部及び前記第２の走査部による走査の動きを制御する
　外観検査装置。
　請求項１２に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記光干渉が生じないように、前記第１の発光部及び前記第２の発光部による点灯、消灯タイミングを制御する
　外観検査装置。
　請求項１２に記載の外観検査装置であって、
　前記制御部は、前記光干渉が生じないように、前記第１のラインカメラ及び前記第２のラインカメラによる撮像開始、撮像終了タイミングを制御する
　外観検査装置。
　請求項１に記載の外観検査装置であって、
　前記第１の面及び前記第２の面は、互いに隣接する面である
　外観検査装置。
　請求項１０に記載の外観検査装置であって、
　前記第１の面、前記第２の面及び前記第３の面は、互いに隣接する面である
　外観検査装置。
　第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる
　外観検査方法。
　第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させる
　制御部としてコンピュータを機能させるプログラム。
　第１のロボットアーム部の第１のアーム部により、第１の面及び第２の面を有するワークの前記第１の面上で、前記第１のロボットアーム部の第１の走査部を走査方向に移動させながら、前記第１の走査部の第１のラインカメラにより、前記第１の面を撮像させて、前記第１の走査部に前記第１の面を走査させ、
　前記第１の面が前記第１の走査部により走査されているときに、第２のロボットアームの第２のアーム部により、前記第２の面上で、前記第２のロボットアームの第２の走査部を走査方向に移動させながら、前記第２の走査部の第２のラインカメラにより、前記第２の面を撮像させて、前記第２の走査部に前記第２の面を走査させ、
　第１のラインカメラにより撮像された画像及び第２のラインカメラにより撮像された画像に基づいて、前記ワークの良否を判定する
　ワークの製造方法。