WO2016035480A1 - 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置 - Google Patents

基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2016035480A1
WO2016035480A1 PCT/JP2015/071408 JP2015071408W WO2016035480A1 WO 2016035480 A1 WO2016035480 A1 WO 2016035480A1 JP 2015071408 W JP2015071408 W JP 2015071408W WO 2016035480 A1 WO2016035480 A1 WO 2016035480A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
lid
substrate
support member
housing
support
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/071408
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
本庄　一大
高橋　光和
波多野　章人
橋本　光治
Original Assignee
株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス filed Critical 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス
Priority to US15/508,688 priority Critical patent/US10910247B2/en
Priority to KR1020177002433A priority patent/KR101917544B1/ko
Publication of WO2016035480A1 publication Critical patent/WO2016035480A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67303—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H01L21/67309—Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements characterized by the substrate support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D43/00—Lids or covers for rigid or semi-rigid containers
    • B65D43/02—Removable lids or covers
    • B65D43/0202—Removable lids or covers without integral tamper element
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H01L21/67393—Closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover

Definitions

  • the present invention can be applied to a substrate storage container for storing a semiconductor wafer, a glass substrate for a photomask, a glass substrate for a liquid crystal display, a substrate for an optical disk (hereinafter simply referred to as “substrate”), and the like.
  • substrate for an optical disk
  • the present invention relates to a load port apparatus and a substrate processing apparatus.
  • the substrate storage container that supports a substrate in two support modes.
  • the substrate storage container includes a housing, a lid, a shelf, and a cushion.
  • the housing accommodates a plurality of substrates.
  • the lid is attached to and detached from the housing.
  • the shelf and the cushion are provided inside the housing.
  • the shelf supports the substrate with the lower surface of the substrate in contact with the shelf.
  • the cushion supports the substrate in a state where the substrate is separated from the shelf.
  • the substrate storage container can support the substrate in a mode in which the shelf supports the substrate and a mode in which the cushion supports the substrate.
  • the substrate When shifting from support of the substrate by the shelf to support of the substrate by the cushion, the substrate is raised by sliding the substrate along the surface of the cushion. Further, when shifting from the support of the substrate by the cushion to the support of the substrate by the shelf, the substrate is lowered by sliding the substrate along the surface of the cushion.
  • the inventors have found that the conventional example having such a configuration has the following problems. That is, since the cushion and the substrate slide relative to each other, particles are likely to be generated between the cushion and the substrate, and it becomes difficult to keep the atmosphere in the housing clean.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a substrate storage container, a load port device, and a substrate processing apparatus that can suppress the generation of particles.
  • the present invention has the following configuration. That is, the present invention is a substrate storage container, in which a substrate can be accommodated and which has an opening on the front surface thereof, provided inside the housing, and in contact with the lower surface of the substrate.
  • a shelf member that supports the substrate in a substantially horizontal position, a housing support member that is provided inside the housing and supports an end of the substrate, and the housing support relative to the housing
  • the support member for the case and the support member for the lid sandwich the end portion of the substrate in a state where the lower surface of the substrate is not in contact with the shelf member, and support the substrate from the shelf member by the shelf member.
  • the casing elevator When shifting to support of the substrate by the support member and the support member for lid, the casing elevator When the housing support member is raised, the housing support member lifts the substrate, so that the substrate is supported by the housing support member and the lid support member, thereby supporting the substrate by the shelf member.
  • the housing lifting member lowers the housing supporting member, whereby the housing supporting member is a substrate storage container for lowering the substrate.
  • the substrate storage container can support the substrate in two support modes.
  • the first support mode is support of the substrate by the shelf member. Specifically, the first support mode is that the shelf member supports the substrate while the shelf member is in contact with the lower surface of the substrate.
  • the second support mode is support of the substrate by the housing support member and the lid support member. Specifically, the second support mode is that the housing support member and the lid support member support the substrate in a state where the lower surface of the substrate is not in contact with the shelf member.
  • the case lifting mechanism When shifting from the first support mode to the second support mode, the case lifting mechanism raises the case support member. As a result, the housing support member lifts the substrate while supporting the substrate. In other words, the housing support member lifts the substrate W without sliding with the substrate. Therefore, it is possible to suppress the generation of particles between the substrate and the housing support member.
  • the case lifting mechanism When shifting from the second support mode to the first support mode, the case lifting mechanism lowers the case support member. Thereby, the supporting member for housing lowers the substrate while supporting the substrate. In other words, the housing support member lowers the substrate W without sliding with the substrate. Therefore, it is possible to suppress the generation of particles between the substrate and the housing support member.
  • the casing elevating mechanism elevates and lowers the casing support member in conjunction with the movement of the lid being attached to and detached from the casing.
  • the case elevating mechanism elevates and lowers the case support member using the movement of the lid that is attached to and detached from the case. Therefore, the case elevating mechanism does not need to include a power source for elevating the case support member.
  • substrate can be switched at the timing which attaches or detaches a lid
  • the case elevating mechanism includes a movable base that moves inside the case by movement of the lid being attached to and detached from the case, and the case supporting member is moved by the movement of the movable base. It is preferable to go up and down.
  • the movement of the lid that is attached to and detached from the housing brings about the movement of the movable table, and the movement of the movable table brings up and down the support member for the housing.
  • the movable base can suitably link the movement of the lid and the raising / lowering of the housing support member.
  • the housing lifting mechanism is elastically deformed by moving the housing support member in a substantially horizontal direction and applies a restoring force to the housing support member. It is preferable to provide a member.
  • the case elevating mechanism includes a case elastic member that elastically deforms when the case support member moves away from the cover support member and presses the case support member toward the cover support member. It is preferable. Since the case elevating mechanism includes the case elastic member, the distance between the case support member and the cover support member can easily follow the outer dimensions of the substrate. Thereby, the board
  • a housing guide mechanism for guiding the housing support member is provided.
  • the housing support member can be appropriately moved according to the housing guide mechanism.
  • the present invention is a substrate storage container that can accommodate a substrate therein and has an opening on the front surface thereof, and is provided inside the housing, in contact with the lower surface of the substrate.
  • a shelf member that supports the substrate in a substantially horizontal position, a housing support member that is provided inside the housing and supports an end of the substrate, and the housing support relative to the housing
  • a housing guide mechanism for guiding a member to be movable up and down; a lid that is attached to and detached from the housing to open and close the opening; and a lid support member that is attached to the back surface of the lid and holds an end of the substrate;
  • the support member for the housing and the support member for the lid sandwich the end of the substrate in a state where the lower surface of the substrate is not in contact with the shelf member, and from the support of the substrate by the shelf member, When shifting to support of the substrate by the support member for the case and the support member for the lid, When shifting to support of the substrate by the support member for the case and the support member for the lid, When shifting to support of the
  • the substrate storage container can support the substrate in the first and second support modes.
  • the housing support member rises according to the housing guide mechanism.
  • the housing support member lifts the substrate while supporting the substrate.
  • the housing support member descends according to the housing guide mechanism.
  • the supporting member for housing lowers the substrate while supporting the substrate. In this way, the substrate and the housing support member do not slide with each other even when shifting to either the first or second support mode. Therefore, the generation of particles between the substrate and the housing support member can be suppressed.
  • the housing support member is moved up and down in conjunction with the movement of the lid being attached to and detached from the housing.
  • the support member for a case moves up and down using the movement of a lid that is attached to and detached from the case. Therefore, the substrate storage container does not need to include a power source for raising and lowering the housing support member.
  • substrate can be switched at the timing which attaches or detaches a lid
  • the housing support member includes a housing elastic member that is elastically deformed by moving in a substantially horizontal direction and applies a restoring force to the housing support member.
  • the substrate storage container includes a housing elastic member that elastically deforms when the housing support member moves away from the lid support member and presses the housing support member toward the lid support member.
  • the substrate storage container includes the housing elastic member, the distance between the housing support member and the lid support member can easily follow the outer dimensions of the substrate. Thereby, the board
  • the lid support member can be moved up and down relative to the lid
  • the substrate storage container includes a lid lifting mechanism that lifts and lowers the lid support member relative to the lid, and the shelf member
  • the lid lifting member raises the lid support member, so that the lid support member is When the substrate is lifted and the substrate support by the shelf support member and the lid support member is shifted to the substrate support by the shelf member, the lid lifting mechanism lowers the lid support member.
  • the housing support member preferably lowers the substrate.
  • the lid support member can be raised and lowered with respect to the lid
  • the substrate storage container includes a lid guide mechanism for guiding the lid support member to be raised and lowered with respect to the lid
  • the present invention is a substrate storage container that can accommodate a substrate therein and has an opening on the front surface thereof, and is provided inside the housing, in contact with the lower surface of the substrate.
  • a shelf member that supports the substrate in a substantially horizontal position
  • a housing support member that is provided inside the housing and supports an end of the substrate, and is attached to and detached from the housing to open and close the opening.
  • a lid that is attached to the back surface of the lid so as to be movable up and down relative to the lid, and supports the end of the substrate; and a lid lifting mechanism that raises and lowers the lid support member relative to the lid And the support member for the case and the support member for the lid sandwich the end of the substrate with the lower surface of the substrate not in contact with the shelf member, and support the substrate by the shelf member
  • the lid raising / lowering mechanism raises the lid support member, whereby the lid support member lifts the substrate, and the substrate by the shelf member is supported from the substrate support by the housing support member and the lid support member.
  • the lid elevating mechanism lowers the lid support member, whereby the housing support member is a substrate storage container for lowering the substrate.
  • the substrate storage container can support the substrate in the first and second support modes.
  • the lid lifting mechanism raises the lid support member.
  • the support member for lids lifts the substrate without sliding with the substrate.
  • the lid lifting mechanism lowers the lid support member. Accordingly, the lid support member lowers the substrate without sliding with the substrate. Therefore, generation of particles between the substrate and the lid support member can be suppressed when shifting to either the first or second support mode.
  • the lid lifting mechanism moves the lid support member to the casing in conjunction with the movement of fixing the lid to the casing and the movement of releasing the fixing of the lid to the casing. It is preferable to move up and down.
  • the lid lifting mechanism lifts and lowers the lid support member using the movement of fixing the lid and the movement of releasing the fixation of the lid. Therefore, the lid lifting mechanism does not need to include a power source for lifting and lowering the lid support member.
  • substrate can be switched at the timing which fixes and cancels
  • the lid includes a lock mechanism that fixes the lid to the housing, and the lid lifting mechanism is interlocked with the lock mechanism, and the lid support member is interlocked with the operation of the lock mechanism. It is preferable to raise and lower.
  • the lid lifting mechanism can lift and lower the lid support member using the operation of the lock mechanism. Therefore, the structure of the lid lifting mechanism can be simplified.
  • the lid lifting mechanism lifts and lowers the lid support member in conjunction with the movement of the lid being attached to and detached from the housing.
  • the lid lifting mechanism lifts and lowers the lid support member using the movement of the lid that is attached to and detached from the housing. Therefore, the lid lifting mechanism does not need to include a power source for lifting and lowering the lid support member.
  • substrate can be switched at the timing which attaches or detaches a lid
  • the lid lifting mechanism includes a fixing base fixedly provided inside the casing, and the fixing base is connected to the lid supporting member when the lid is attached to and detached from the casing. It is preferable to have an inclined surface that slides to raise and lower the lid support member.
  • the movement of the lid that is attached to and detached from the housing causes a movement in which the lid support member slides on the inclined surface of the fixed base (that is, the elevation of the lid support member).
  • the fixed base can suitably link the movement of the lid and the elevation of the lid support member.
  • the lid lifting mechanism preferably includes a lid elastic member that elastically deforms when the lid support member approaches the lid and applies a restoring force to the lid support member.
  • the lid lifting mechanism includes a lid elastic member that elastically deforms when the lid support member moves away from the housing support member and presses the lid support member toward the housing support member.
  • the lid lifting mechanism includes the lid elastic member, the interval between the housing support member and the lid support member can easily follow the outer dimensions of the substrate. Thereby, the board
  • a lid guide mechanism for guiding the lid support member is provided.
  • the lid support member can be appropriately moved according to the lid guide mechanism.
  • the present invention is a substrate storage container that can accommodate a substrate therein and has an opening on the front surface thereof, and is provided inside the housing, in contact with the lower surface of the substrate.
  • a shelf member that supports the substrate in a substantially horizontal position
  • a housing support member that is provided inside the housing and supports an end of the substrate, and is attached to and detached from the housing to open and close the opening.
  • a guide mechanism for the housing, and the support member for the case and the support member for the lid sandwich the end of the substrate in a state where the lower surface of the substrate is not in contact with the shelf member. Transition from substrate support to substrate support by the housing support member and the lid support member. When the lid support member ascends along the lid guide mechanism, the lid support member lifts the substrate, and the substrate is supported by the housing support member and the lid support member.
  • the cover support member is a substrate storage container for lowering the substrate as the cover support member descends along the cover guide mechanism.
  • the substrate storage container can support the substrate in the first and second support modes.
  • the lid support member rises according to the lid guide mechanism.
  • the support member for lids lifts the substrate without sliding with the substrate.
  • the lid support member descends according to the lid guide mechanism. Accordingly, the lid support member lowers the substrate without sliding with the substrate. Therefore, generation of particles between the substrate and the lid support member can be suppressed when shifting to either the first or second support mode.
  • the lid support member is moved up and down in conjunction with the movement of the lid being attached to and detached from the housing.
  • the lid support member moves up and down using the movement of the lid attached to and detached from the housing. Therefore, the substrate storage container does not need to include a power source for raising and lowering the lid support member.
  • substrate can be switched at the timing which attaches or detaches a lid
  • the lid support member is provided with a lid elastic member that elastically deforms as the lid support member approaches the lid and applies a restoring force to the lid support member.
  • the substrate storage container preferably includes a lid elastic member that is elastically deformed by moving the lid support member away from the housing support member and presses the lid support member toward the housing support member. . Since the substrate storage container includes the lid elastic member, the distance between the housing support member and the lid support member can easily follow the external dimensions of the substrate. Thereby, the board
  • the present invention provides a load comprising: a mounting table on which the substrate storage container according to the above-described invention can be mounted; and a lid opening / closing mechanism that opens and closes the lid of the substrate storage container mounted on the mounting table. It is a port device.
  • the above-described substrate storage container can be suitably placed.
  • the present invention also provides a mounting table on which the substrate storage container according to the above-described invention can be mounted, a lid opening / closing mechanism that opens and closes the lid of the substrate storage container mounted on the mounting table, and a substrate.
  • a substrate processing apparatus comprising: a processing unit that performs processing; and a transport mechanism that unloads a substrate from the substrate storage container placed on the mounting table and loads the substrate into the processing unit.
  • the direction in which the housing support member moves up and down is not limited to the vertical direction.
  • the direction in which the lid support member moves up and down is not limited to the vertical direction.
  • the case elevating mechanism raises or lowers the case support member
  • the case support member may move in the horizontal direction, or the case support member may not move in the horizontal direction.
  • the direction in which the case elevating mechanism raises and lowers the case support member may include a horizontal component in addition to the vertical component, or may not include a horizontal component. Also good.
  • the direction in which the housing guide mechanism guides the housing support member the direction in which the lid lifting mechanism raises and lowers the lid support member, and the direction in which the lid guiding mechanism guides the lid support member are respectively up and down.
  • a horizontal component may be included, or a horizontal component may not be included.
  • the substrate when the housing support member starts to lift the substrate, the substrate may be in contact with the shelf member, or the substrate may already be separated from the shelf member. In other words, the substrate may be supported in the first support mode or may not be supported in the first support mode at the time when the case elevating mechanism starts to raise the case support member. Good.
  • the lid support member begins to lift the substrate, the substrate may be in contact with the shelf member, or the substrate may already be separated from the shelf member.
  • the substrate storage container, the load port device, and the substrate processing apparatus when shifting to the first support mode, the substrate does not slide with at least one of the support member for the case and the support member for the lid. Also, when shifting to the second support mode, the substrate does not slide with at least one of the housing support member and the lid support member.
  • generation of particles can be suppressed. Thereby, it can suppress that a particle adheres to a board
  • FIG. 1A is a perspective view showing the appearance of the substrate storage container when the lid is attached to the housing
  • FIG. 1B is the perspective view of the substrate storage container when the lid is not attached to the housing. It is a perspective view which shows an external appearance.
  • 2A is a plan view showing the inside of the housing
  • FIG. 2B is a side view showing the inside of the housing
  • FIG. 2C is a front view showing the inside of the housing.
  • FIG. 3A is a perspective view showing the lid and the lid support member
  • FIG. 3B is a side view showing the lid and the lid support member.
  • FIG. 4A is a plan view of the substrate processing apparatus
  • FIG. 4B is a side view of the substrate processing apparatus.
  • FIGS. 5A to 5C are views showing the inside of the substrate storage container when the lid is attached to and detached from the housing.
  • FIGS. 6A and 6B are a plan view and a front view showing the inside of the housing according to the second embodiment.
  • FIGS. 7A to 7C are plan views showing the inside of the substrate storage container when the lid is attached to and detached from the housing.
  • FIG. 8 is a side view illustrating the inside of the housing according to the third embodiment.
  • FIGS. 9A and 9B are a front view and a side view showing a lid according to the third embodiment.
  • 10A to 10C are side views showing the inside of the substrate storage container when the lid is attached to and detached from the housing.
  • FIG. 11A is a rear view of the lid according to the fourth embodiment, and FIGS.
  • FIGS. 11B to 11D are side views of the lid.
  • FIGS. 12A to 12C are side views showing the inside of the substrate storage container when the lid is attached to and detached from the housing.
  • FIGS. 13A and 13B are a rear view and a side view of a lid according to the fifth embodiment, respectively.
  • FIGS. 14A to 14C are side views showing the inside of the substrate storage container when the lid is attached to and detached from the housing. It is a side view which shows the inside of the housing
  • FIG. 20A is a side view of a lid according to a modified embodiment in a state where the spring is not elastically deformed
  • FIG. 20B is a lid according to the modified embodiment in a state where the spring is elastically deformed
  • FIG. 21A is a side view of a lid according to a modified embodiment in a state where the spring is not elastically deformed
  • FIG. 21B is a lid according to the modified embodiment in a state where the spring is elastically deformed.
  • FIG. 21A is a side view of a lid according to a modified embodiment in a state where the spring is not elastically deformed
  • FIG. 21B is a lid according to the modified embodiment in a state where the spring is elastically deformed.
  • FIG. 22A is a side view of a lid according to a modified embodiment in a state where the spring is not elastically deformed
  • FIG. 22B is a lid according to the modified embodiment in a state where the spring is elastically deformed.
  • FIG. FIGS. 23A and 23B are side views showing the inside of the substrate storage container according to the modified embodiment. It is a top view which shows the inside of the housing
  • Example 1 the case lifting mechanism according to the present invention is illustrated.
  • Example 2 the case guide mechanism according to the present invention is illustrated.
  • Example 3 the lid lifting mechanism according to the present invention is illustrated.
  • a lid lifting mechanism and a lid guiding mechanism according to the present invention will be exemplified.
  • Example 5 a lid guide mechanism according to the present invention is illustrated.
  • the outer shape of the substrate storage container 1 is a substantially rectangular parallelepiped.
  • the substrate storage container 1 can store a plurality of substrates W.
  • “Substrate W” is, for example, a semiconductor wafer, a glass substrate for a photomask, a glass substrate for a liquid crystal display device, a substrate for a plasma display, a substrate for an optical disk, a substrate for a magnetic disk, a substrate for a magneto-optical disk, etc. It is.
  • the substrate storage container 1 includes a housing 2 and a lid 3.
  • the lid 3 is attached to the front surface of the housing 2. As shown in FIG. 1B, an opening A is formed on the front surface of the housing 2.
  • the lid 3 opens and closes the opening A.
  • the opening A is a substantially vertical virtual surface.
  • the lid 3 moves in the front-rear direction substantially orthogonal to the opening A while facing the opening A.
  • the front-rear direction is substantially horizontal.
  • a space S (see FIGS. 2A to 2C) for accommodating the substrate W is formed inside the housing 2.
  • the substrate storage container 1 is configured to store at least one substrate W.
  • the substrate storage container 1 typically stores 25 substrates W. In the following, for the sake of convenience, description will be given by taking the substrate storage container 1 that can store up to three substrates W as an example.
  • the housing 2 includes an upper plate part 4, a bottom plate part 5, a right side wall part 6, a left side wall part 7, and a rear wall part 8.
  • or 8 demarcates the space S mentioned above.
  • FIG. 2A illustration of the upper plate portion 4 and the bottom plate portion 5 is omitted for convenience of illustration.
  • FIG. 2B illustration of the right side wall part 6 and the left side wall part 7 is omitted.
  • FIG. 2C illustration of the rear wall portion 8 is omitted.
  • front direction the direction from the rear wall 8 toward the opening A in the front-rear direction
  • rear direction the direction opposite to the front direction
  • shelf members 11a, 11b, and 11c are provided inside the housing 2, shelf members 11a, 11b, and 11c are provided.
  • the shelf members 11a, 11b, and 11c are arranged in the vertical direction.
  • Each of the shelf members 11a, 11b, and 11c mounts the substrates W one by one.
  • Each shelf member 11a, 11b, 11c supports the substrate W from below in a substantially horizontal posture.
  • Each shelf member 11a, 11b, 11c is in contact with the lower surface of the substrate W.
  • “the lower surface of the substrate W” is a concept including the lower peripheral edge of the substrate W.
  • the substrates W on the shelf members 11a, 11b, and 11c are arranged in the vertical direction.
  • shelf members 11 when the shelf members 11a, 11b, and 11c are not particularly distinguished, they are simply referred to as “shelf members 11”.
  • the holding arm 47 a provided outside the substrate storage container 1 loads the substrate W into each shelf member 11 and unloads the substrate W from each shelf member 11.
  • the holding arm 47a enters the position above each shelf member 11 and slightly lowers to place the substrate W on each shelf member 11.
  • the holding arm 47a When unloading the substrate W, the holding arm 47a enters a position below each shelf member 11 and slightly raises to hold the substrate W on each shelf member 11 (FIG. 4A). ), 4 (b)).
  • each shelf member 11 so that the holding arm 47a can enter safely (for example, the holding arm 47a can enter without colliding with the substrate W or the shelf member 11). Further, the vertical interval between the shelf members 11 is set so that the holding arm 47a can enter safely.
  • each shelf member 11 includes a right shelf member 12 and a left shelf member 13.
  • the right shelf member 12 and the left shelf member 13 are separated from each other.
  • the right shelf member 12 projects from the right wall portion 6, and the left shelf member 13 projects from the left wall portion 7.
  • a housing support block 14 is further provided inside the housing 2.
  • the housing support block 14 is formed with housing support members 16a, 16b, and 16c.
  • the casing support members 16a, 16b, and 16c are arranged in the vertical direction.
  • Each housing support member 16a, 16b, 16c supports the end of the substrate W. More specifically, each housing support member 16a, 16b, 16c supports the rear end of the substrate W.
  • “the rear portion of the substrate W” is a portion of the substrate W close to the rear wall portion 8.
  • the part near the opening A of the substrate W in the housing 2 is appropriately referred to as a “front portion of the substrate W”.
  • the housing support members 16a, 16b, and 16c are simply referred to as “housing support members 16” unless otherwise distinguished.
  • the material of the housing support member 16 is, for example, resin.
  • Each housing support member 16 is formed with one groove portion 17. As shown in FIG. 2B, the groove portion 17 is recessed backward.
  • the groove portion 17 has, for example, a substantially “V” shape that is laterally viewed from the side.
  • the groove portion 17 has a lower inclined portion 17a, an innermost portion 17b, and an upper inclined portion 17c.
  • the lower inclined portion 17a is adjacent to the lower side of the innermost portion 17b
  • the upper inclined portion 17c is adjacent to the upper side of the innermost portion 17b.
  • the substrate storage container 1 further includes a casing elevating mechanism 31.
  • the casing elevating mechanism 31 is provided in the casing 2.
  • the case elevating mechanism 31 moves the case support member 16 up and down with respect to the case 2.
  • the casing elevating mechanism 31 includes a spring 32, a casing connecting plate 33, two movable stands 34, and two rods 35.
  • the spring 32 supports the housing support block 14 so as to be movable up and down with respect to the housing 2.
  • One end of the spring 32 is connected to the rear wall 8, and the other end of the spring 32 is connected to the housing support block 14.
  • the spring 32 is bent and deformed when the housing support member 16 is raised. In a state where the spring 32 is bent and deformed, the spring 32 presses the housing support member 16 downward.
  • the housing connection plate 33 is connected to the bottom surface of the housing support block 14 (housing support member 16c).
  • the casing connection plate 33 extends downward from the casing support block 14.
  • the housing connecting plate 33 moves integrally with the housing support member 16.
  • the movable base 34 is provided so as to be movable inside the housing 2.
  • the movable table 34 can slide on the bottom plate portion 5, for example.
  • the movable table 34 has an inclined surface 34a (see FIG. 2B).
  • the inclined surface 34a is inclined with respect to the front-rear direction. In the present embodiment, the inclined surface 34a is inclined so as to become lower in the rearward direction.
  • the inclined surface 34a is slidably in contact with the housing connecting plate 33.
  • the rod 35 is movably provided inside the housing 2.
  • the rod 35 can slide on the bottom plate portion 5 in the front-rear direction.
  • the rear end, which is one end of the rod 35, is connected to the movable table 34.
  • the movable table 34 and the rod 35 move together.
  • the axis of each rod 35 is parallel to the front-rear direction.
  • the front end which is the other end of each rod 35 extends to the vicinity of the opening A. The front end of the rod 35 can come into contact with the lid 3.
  • the back-and-forth movement of the movable table 34 and the rod 35 and the vertical movement of the housing connecting plate 33 and the housing support member 16 are interlocked.
  • the height of the housing support member 16 when the lid 3 is not in contact with the rod 35 is equal to or less than the height of the housing support member 16 when the lid 3 is in contact with the rod 35.
  • the position of the housing support member 16 when the lid 3 is not in contact with the rod 35 is referred to as a “lower position”.
  • FIG. 2B clearly shows the housing support member 16 in the lower position.
  • the positions of the innermost portions 17b of the housing support members 16a, 16b, and 16c are substrates that are placed substantially horizontally on the shelf members 11a, 11b, and 11c, respectively.
  • the height is set substantially the same as the end of W.
  • a lid support block 21 is fixed to the back surface 3b.
  • the lid support block 21 is provided with lid support members 23a, 23b, and 23c.
  • the lid support members 23a, 23b, and 23c are arranged in the vertical direction.
  • Each lid support member 23 a, 23 b, 23 c supports the end portion of the substrate W. More specifically, the lid support members 23a, 23b, and 23c support the front end of the substrate W.
  • the end of the substrate W supported by the lid support members 23a, 23b, and 23c is opposed to the end of the substrate W supported by the housing support member 16 with the center of the substrate W interposed therebetween. It is preferable.
  • the material of the lid support member 23 is, for example, resin. More preferably, the material for the lid support member 23 is a resin having elasticity.
  • the lid support member 23 has the same shape as the housing support member 16. That is, a groove 24 is formed in each lid support member 23. Each groove portion 24 has a lower inclined portion 24a, an innermost portion 24b, and an upper inclined portion 24c.
  • the positions of the innermost portions 24b of the lid support members 23a, 23b, and 23c are substantially the same as the end portions of the substrate W placed on the shelf members 11a, 11b, and 11c, respectively. It is set to height.
  • the lid support members 23a, 23b, and 23c are not particularly distinguished, they are simply referred to as the “lid support member 23”.
  • the substrate processing apparatus 41 includes a load port unit 42 and a processing unit 43.
  • the load port unit 42 has a plurality of load ports 420, 421, 422.
  • Each load port 420, 421, 420 includes a mounting table 44 and a lid opening / closing mechanism 45.
  • the mounting table 44 mounts the substrate storage container 1 thereon.
  • the lid opening / closing mechanism 45 opens and closes the substrate storage container 1 placed on the placement table 44.
  • the lid opening / closing mechanism 45 includes a shutter member 45a and a shutter member drive mechanism 45b.
  • the shutter member 45 a attaches / detaches the lid 3 of the substrate storage container 1 on the mounting table 44 and holds the lid 3 removed from the substrate storage container 1.
  • the shutter member drive mechanism 45b moves the shutter member 45a in the order of positions P1, P2, and P3 (see FIG. 4B).
  • the shutter member 45a moves between the position P1 and the position P2, the shutter member 45a can move the lid 3 in the front-rear direction while keeping the lid 3 facing the opening A.
  • the load port devices 420, 421, and 422 are examples of load port devices in the present invention.
  • the processing unit 43 includes a transport mechanism 47 and a processing unit 48.
  • the transport mechanism 47 transports the substrate W.
  • the transport mechanism 47 accesses the substrate storage container 1 placed on the placement table 44. Further, the transport mechanism 47 accesses the processing unit 48.
  • the transport mechanism 47 includes a holding arm 47a for holding the substrate W and a holding arm drive mechanism 47b for moving the holding arm 47a.
  • the processing unit 48 performs a process such as a cleaning process on the substrate W.
  • the state where the lid 3 is removed from the housing 2 Referring to FIGS. 4 (a) and 4 (b).
  • the substrate storage container 1 is placed on the mounting table 44.
  • the lid 3 is removed from the housing 2, and the substrate storage container 1 is opened.
  • the lid 3 of the substrate storage container 1 is held by the shutter member 45a at, for example, the position P2 or the position P3.
  • the rod 35 is not in contact with the lid 3.
  • FIG. 5A shows a state where the lid 3 is removed from the housing 2.
  • Each substrate W is supported in the first support mode.
  • the “first support mode” is support of the substrate W by the shelf member 11. More specifically, the first support mode is that the shelf member 11 supports the substrate W while the shelf member 11 is in contact with the lower surface of the substrate W.
  • the housing support member 16 is in the lower position.
  • the housing support member 16 supports the end of the substrate W. More specifically, the innermost portion 17 b of the housing support member 16 is in contact with the rear end of the substrate W. Thus, when the substrate W is supported in the first support mode, the substrate W may be further supported by the housing support member 16.
  • the housing connecting plate 33 is in contact with the inclined surface 34 a of the movable table 34.
  • FIG. 5B shows a scene in the middle of the operation in which the lid 3 is attached to and detached from the housing 2.
  • FIG. 5C shows a state where the lid 3 is attached to the housing 2.
  • the lid 3 moves backward from the position shown in FIG. 5A while facing the opening A.
  • the lid 3 reaches the position shown in FIG. 5B, the back surface 3 b of the lid 3 comes into contact with the front end of the rod 35.
  • the lid 3 When the lid 3 further moves backward from the position shown in FIG. 5 (b), the lid 3 pushes the rod 35 and the movable table 34 backward.
  • the rod 35 and the movable base 34 start to move backward on the bottom plate portion 5 of the housing 2.
  • the housing connection plate 33 that is in contact with the inclined surface 34a is pushed upward. That is, the casing connecting plate 33 rises along the inclined surface 34a.
  • the casing support member 16 rises from the lower position against the action of the spring 32.
  • the spring 32 is elastically deformed by the rise of the housing support member 16.
  • the housing support member 16 lifts the substrate W while supporting the rear end of each substrate W.
  • the rear portion of the substrate W rises and begins to float from the shelf member 11.
  • the housing support member 16 lifts the substrate W
  • the end portion of the substrate W remains in contact with the innermost portion 17b. That is, in the operation in which the housing support member 16 lifts the substrate W, the substrate W and the housing support member 16 do not slide with each other. For this reason, generation
  • the lid support member 23 moves backward integrally with the lid 3, and the innermost portion 24 b of the lid support member 23 contacts the front end of the substrate W.
  • the support member 16 for cases and the support member 23 for lids support so that the edge part of the board
  • the timing at which the lid support member 23 starts to contact the substrate W may be the same as the time when the mounting of the lid 3 is completed, or may be before the time when the mounting of the lid 3 is completed.
  • the “second support mode” is the support of the substrate W by the housing support member 16 and the lid support member 23. More specifically, the second support mode is that the housing support member 16 and the lid support member 23 support the substrate W in a state where the shelf member 11 is not in contact with the lower surface of the substrate W. .
  • the substrate W is inclined forward and downward.
  • the position of the housing support member 16 in a state where the lid 3 is attached to the housing 2 is referred to as an “upward position”.
  • the housing support member 16 is in the upper position.
  • the difference in height between the upper position (see FIG. 5A) and the lower position (see FIG. 5C) of the housing support member 16 is smaller than the interval between the shelf members 11 adjacent in the vertical direction.
  • the interval between the shelf members 11 is specifically the distance in the vertical direction of the shelf members 11a and 11b and the distance in the vertical direction of the shelf members 11b and 11c. 11 pitches ".
  • the casing elevating mechanism 31 lowers the casing support member 16. Specifically, when the lid 3 moves in the forward direction, the movable table 34 and the rod 35 are allowed to move in the forward direction. Here, the gravity acting on the housing support member 16 and the housing connection plate 33 and the restoring force of the spring 32 press the housing connection plate 33 downward, and the housing connection plate 33 is moved downward. Part of the force that presses the movable table 34 presses the movable table 34 and the rod 35 forward. For this reason, when the lid 3 moves in the forward direction, the movable table 34 and the rod 35 are pushed out in the forward direction. When the movable base 34 moves in the forward direction, the housing support member 16 and the housing connection plate 33 are lowered, and the spring 32 is restored.
  • the housing support member 16 By the lowering of the housing support member 16, the housing support member 16 lowers the substrate W while supporting the substrate W. In other words, the housing support member 16 lowers the substrate W without sliding with the substrate W.
  • the housing support member 16 places the substrate W on the shelf member 11. Thereby, the support mode of the substrate W shifts from the second support mode to the first support mode.
  • the lid support member 23 moves forward together with the lid 3. The innermost portion 24 b of the lid support member 23 is separated from the substrate W by the advancement of the lid support member 23.
  • the housing 2 is open. All the substrates W in the housing 2 are supported in the first support mode.
  • the lid 3 and the shutter member 45a are located at the position P3.
  • the holding arm 47 a enters the inside of the housing 2. Specifically, the holding arm 47a enters a position below the shelf member 11 on which the substrate W to be unloaded is placed. Then, the holding arm 47 a slightly rises and holds one substrate W while floating from the shelf member 11. Thereafter, the holding arm 47 a moves out of the housing 2 while holding the substrate W. In this way, the transport mechanism 47 carries out the substrate W in the substrate storage container 1. Then, the holding arm 47 a transports the substrate W to the processing unit 48.
  • Example 1 In the operation of shifting from the first support mode to the second support mode, the case lifting mechanism 31 raises the case support member 16. The housing support member 16 lifts the substrate W without sliding with the substrate W. In the movement from the second support mode to the first support mode, the case lifting mechanism 31 lowers the case support member 16. The support member 16 for housing lowers the substrate W without sliding with the substrate W. Therefore, generation of particles between the substrate W and the housing support member 16 can be suppressed. As a result, the adhesion of particles to the substrate W can be suppressed. Moreover, the atmosphere in the substrate storage container 1 can be kept clean.
  • the case elevating mechanism 31 moves the case support member 16 up and down in conjunction with the movement of attaching and detaching the lid 3 to the case 2. That is, the case elevating mechanism 31 uses the movement of the lid 3 to elevate and lower the case support member 16. Therefore, the case elevating mechanism 31 does not need to include a power source for elevating and lowering the case support member 16. Further, the support mode of the substrate W can be switched at the timing when the lid 3 is attached to and detached from the housing 2.
  • the housing lifting mechanism 31 raises the housing support member 16 in conjunction with the movement of attaching the lid 3 to the housing 2.
  • the substrate W is supported in the second support mode in a state where the lid 3 is attached to the housing 2. Therefore, in a state where the lid 3 is attached to the housing 2, the substrate storage container 1 can be transported while suitably protecting the substrate W.
  • the housing lifting mechanism 31 lowers the housing support member 16 in conjunction with the movement of the lid 3 separating from the housing 2.
  • the substrate W is supported in the first support mode when the lid 3 is detached from the housing 2. Therefore, when the lid 3 is detached from the housing 2, the substrate W can be suitably carried out from the housing 2.
  • the casing elevating mechanism 31 includes a movable table 34. Due to the movement of attaching the lid 3 to the housing 2, the movable base 34 moves backward, and when the movable base 34 moves backward, the housing support member 16 rises. Further, the movable table 34 moves forward by the movement of the lid 3 being removed from the housing 2, and the housing support member 16 is lowered by the advance of the movable table 34. As described above, the movable base 34 can suitably link the movement of the lid 3 and the elevation of the housing support member 16.
  • the movable table 34 includes the inclined surface 34a, the movement of the lid 3 in the front-rear direction and the movement of the casing support member 16 in the vertical direction can be suitably linked.
  • the movable base 34 receives a backward force from the lid 3, converts this force into an upward force, and supports the housing by the converted upward force.
  • the member 16 is raised.
  • the weight of the housing support member 16 is received by the movable base 34, and thus does not act on the substrate W. That is, in the state where the substrate W is supported in the second support mode, the housing support member 16 does not apply unnecessary force to the substrate W. Therefore, the substrate W can be protected more appropriately.
  • the rod 35 is connected to the movable table 34 and can contact the lid 3, so that the movement of the lid 3 can be transmitted to the movable table 34. Further, the rod 35 transmits the movement of the lid 3 to the movable base 34 without passing through the substrate W. Therefore, in the operation of attaching / detaching the lid 3 to / from the housing 2, unnecessary force is not applied to the substrate W, and the substrate W is not damaged.
  • the casing elevating mechanism 31 includes a spring 32. Since the spring 32 presses the housing support member 16 downward, the spring 32 can stabilize the upward movement of the housing support member 16. Further, the restoring force accumulated by the spring 32 is used to promote the lowering of the housing support member 16. Therefore, the case elevating mechanism 31 can smoothly elevate the case support member 16. In other words, the spring 32 can more smoothly synchronize the movement of the lid 3 and the elevation of the housing support member 16.
  • the portion of the lid support member 23 that contacts the substrate W is only the innermost portion 24b, and the lid support member 23 does not slide with the substrate W when shifting to either the first or second support mode. . Therefore, generation of particles can be suppressed between the lid support member 23 and the substrate W.
  • the lid support member 23 can accurately hold the substrate.
  • load port devices 420, 421, and 422 can suitably place the substrate storage container 1.
  • the substrate processing apparatus 41 can perform processing such as liquid processing or heat treatment on the substrate W stored in the substrate storage container 1.
  • Embodiment 2 of the present invention will be described below with reference to the drawings.
  • the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the substrate storage container 1 includes a guide mechanism 51 for the casing.
  • the case guide mechanism 51 is provided in the case 2.
  • the housing guide mechanism 51 guides the housing support member 16 relative to the housing 2 so as to be movable up and down.
  • the housing guide mechanism 51 includes a connecting bar 52 and a guide member 53.
  • the connecting bar 52 is fixed to the housing support block 14 (housing support member 16).
  • the connecting bar 52 has a flat plate shape (in other words, a belt shape).
  • the guide member 53 is fixed to the housing 2 (rear wall portion 8).
  • the guide member 53 has a hole for inserting the connecting bar 52.
  • the hole is inclined with respect to the front-rear direction. More specifically, the hole is inclined so as to be higher in the rear direction.
  • the connecting bar 52 is inserted into the hole.
  • the connecting bar 52 can be translated along the hole, but the connecting bar 52 cannot rotate about its axis.
  • the housing support member 16 moves back and forth with respect to the housing 2. That is, the direction in which the housing guide mechanism 51 guides the housing support member 16 includes a vertical component and a front-back component.
  • the lowest position to which the housing support member 16 can move is referred to as a “lower position”, and the highest position to which the housing support member 16 can move is referred to as an “upper position”.
  • 6A shows the lower position of the housing support member 16
  • FIG. 6B shows the upper position of the housing support member 16.
  • the positional relationship among the shelf member 11, the housing support member 16, and the lid support member 23 will be described.
  • the innermost portions 17b of the housing support members 16a, 16b, and 16c are respectively the end portions of the substrates W placed on the shelf members 11a, 11b, and 11c. It is almost the same height.
  • the height difference between the lower position and the upper position of the housing support member 16 is smaller than the pitch of the shelf members 11.
  • the lower inclined portions 24a of the lid support members 23a, 23b, 23c can come into contact with the end portions of the substrate W placed on the shelf members 11a, 11b, 11c, respectively.
  • a housing support member 16 is disposed.
  • Example of operation 2.1 A state where the lid 3 is removed from the casing 2 Referring to FIG.
  • the lid 3 is, for example, in the position shown in FIG.
  • the substrate W is supported in the first support mode.
  • the housing support member 16 is in the lower position.
  • the innermost portion 17 b of the housing support member 16 is in contact with the rear end of the substrate W.
  • the lid support member 23 pushes the substrate W backward.
  • the front end of the substrate W slides up the lower inclined portion 24a of the lid support member 23, and the substrate W moves backward.
  • the substrate W pushes the housing support member 16 backward.
  • the housing support member 16 rises from a lower position according to the housing guide mechanism 51.
  • the housing support member 16 As the housing support member 16 is raised, the housing support member 16 lifts the substrate W while the substrate W is supported by the innermost portion 17b. The front end portion of the substrate W slides up the lower inclined portion 24a.
  • the lid 3 further moves rearward, and the lid 3 is attached to the housing 2.
  • the housing support member 16 is raised to the upper position while supporting the substrate W.
  • the front end of the substrate W reaches the innermost portion 24b.
  • the substrate W is supported in the second support mode.
  • the substrate W is in a substantially horizontal posture in a state where the substrate W is supported in the second support mode.
  • FIGS. 7C and 7B Example of Operation when Lid 3 is Removed from Case 2
  • the lid 3 moves forward from the opening A (that is, the position shown in FIG. 7C).
  • the lid support member 23 moves forward together with the lid 3.
  • the housing support member 16 is lowered by its own weight while pushing the substrate W forward.
  • the housing support member 16 moves from the upper position to the lower position according to the housing guide mechanism 51.
  • the housing support member 16 lowers the substrate W while supporting the substrate W.
  • the front end of the substrate W is disengaged from the innermost portion 24b of the lid support member 23 and slides down the lower inclined portion 23a. Thereby, the substrate W is placed on the shelf member 11. That is, the substrate W is supported in the first support mode.
  • the housing support member 16 When shifting from the first support mode to the second support mode, the housing support member 16 is raised according to the housing guide mechanism 51. As a result, the housing support member 16 lifts the substrate W while supporting the substrate W. When shifting from the second support mode to the first support mode, the housing support member 16 is lowered according to the housing guide mechanism 51. As a result, the housing support member 16 lowers the substrate W while supporting the substrate W. Therefore, in the operation for shifting to the first support mode and the operation for shifting to the second support mode, the substrate W and the housing support member 16 do not slide with each other. Dust generation between the two can be suppressed.
  • the housing support member 16 moves up and down in conjunction with the operation of attaching and detaching the lid 3 to the housing 2. That is, the housing support member 16 moves up and down using the movement of the lid 3. Therefore, it is not necessary for the substrate storage container 1 to include a power source for raising and lowering the housing support member 16. Further, the support mode of the substrate W can be switched at the timing when the lid 3 is attached to and detached from the housing 2.
  • the substrate W Since the housing support member 16 rises in conjunction with the operation of attaching the lid 3 to the housing 2, the substrate W is supported in the second support mode when the lid 3 is attached to the housing 2. Therefore, in a state where the substrate storage container 1 is closed, the substrate storage container 1 can be suitably transported. In addition, since the housing support member 16 is lowered in conjunction with the operation of the lid 3 being detached from the housing 2, the substrate W is in the first support mode when the lid 3 is detached from the housing 2. Supported by Therefore, the substrate W can be suitably carried out from the substrate storage container 1 in a state where the substrate storage container 1 is opened.
  • the substrate W is moved by the movement of the lid 3 (lid support member 23), and the housing support member 16 is moved up and down by the movement of the substrate W. In this way, the substrate W raises and lowers the housing support member 16 using the movement of the lid 3. Therefore, the substrate storage container 1 does not need to include a mechanism such as the case lifting mechanism 31 of the first embodiment, and the structure of the substrate storage container 1 can be simplified.
  • the lower position of the housing support member 16 can be kept constant. For example, it is possible to suitably prevent the lower position of the housing support member 16 from changing in the horizontal direction each time the housing support member 16 moves up and down. Therefore, whenever the housing support member 16 is lowered, the housing support member 16 can lower the substrate W to the same position. Therefore, whenever it transfers to a 1st support mode, the position of the board
  • the hole of the guide member 53 is inclined with respect to the front-rear direction. Therefore, the guide member 53 can suitably convert the back-and-forth movement of the lid 3 into the vertical movement of the housing support member 16. Furthermore, since the connecting bar 52 is inserted into the hole, it is possible to suitably prevent the housing support member 16 from rotating about the axis of the connecting bar 52.
  • the direction in which the housing guide mechanism 51 guides the housing support member 16 includes a front-rear direction component in addition to a vertical direction component.
  • the housing support member 16 is provided to be movable in the horizontal direction (front-rear direction). Therefore, the distance between the housing support member 16 and the lid support member 23 (strictly speaking, the distance between the innermost portion 17b and the innermost portion 24b) can be made to coincide with the outer dimensions of the substrate W. Therefore, even if there are variations or errors in the external dimensions of the substrate W, the housing support member 16 and the lid support member 23 can favorably support the substrate W in the second support mode.
  • the housing support member 16 presses the substrate W against the lid support member 23 by its own weight.
  • covers can clamp the board
  • the distance between the housing support member 16 and the lid support member 23 naturally follows and varies so as to coincide with the outer dimensions of the substrate W. Thereby, it can transfer to a 2nd support mode smoothly.
  • Embodiment 3 of the present invention will be described below with reference to the drawings.
  • the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the housing support block 14 is fixed to the housing 2 via a fixed arm 15.
  • the housing support member 16 is immovable with respect to the housing 2.
  • the housing support member 16 is disposed so that the lower inclined portions 17a of the housing support members 16a, 16b, and 16c can come into contact with the ends of the substrates W placed on the shelf members 11a, 11b, and 11c, respectively. ing.
  • the substrate storage container 1 includes a lock mechanism 61 and a lid lifting mechanism 65.
  • the lock mechanism 61 fixes the lid 3 to the housing 2.
  • the lock mechanism 61 includes a key groove 62, a gear 63, and a coupling member 64.
  • the key groove 62 is disposed on the surface of the lid 3.
  • a key for operating the lock mechanism 61 is inserted into the key groove 62.
  • the gear 63 rotates in both forward and reverse directions according to the key operation.
  • the coupling member 64 is interlocked with the gear 63.
  • the coupling member 64 moves between the retracted position and the protruding position by the rotation of the gear 63. In the retracted position, the entire coupling member 64 is accommodated in the lid 3 (see FIG. 9A). At the protruding position, a part of the coupling member 64 protrudes outside the lid 3 (see FIG. 9B).
  • the lid opening / closing mechanism 45 operates the lock mechanism 61.
  • the lid opening / closing mechanism 45 includes a key (not shown), and operates the lock mechanism 61 by inserting the key into the key groove 62.
  • casing 2 has the recessed part (not shown) which can carry out uneven
  • the coupling member 64 moves to the protruding position when the lid 3 is attached to the housing 2, the coupling member 64 is coupled to the recess and the lid 3 is fixed to the housing 2. That is, the lid 3 cannot be detached from the housing 2.
  • the coupling member 64 moves to the retracted position when the lid 3 is attached to the housing 2, the coupling member 64 is detached from the recess, and the lid 3 is released from being fixed to the housing 2. That is, the lid 3 can be detached from the housing 2.
  • the lid elevating mechanism 65 moves the lid support member 23 up and down relative to the lid 3 in conjunction with the operation of the lock mechanism 61.
  • the lid lifting mechanism 65 includes a gear 66 and a rack 67.
  • the gear 66 meshes with the gear 63.
  • the rack 67 is interlocked with the gear 66.
  • the gear 63 rotates
  • the gear 66 rotates and the rack 67 moves in the vertical direction.
  • the lid lifting mechanism 65 is interlocked with the lock mechanism 61.
  • the lid support block 21 is fixed to the rack 67.
  • the lid support member 23 moves up.
  • the coupling member 64 moves to the retracted position, the lid support member 23 is lowered.
  • the position of the lid support member 23 when the coupling member 64 is in the retracted position is referred to as a “lower position”.
  • the position of the lid support member 23 when the coupling member 64 is in the protruding position is referred to as an “upward position”.
  • the innermost portion 24b of the lid support members 23a, 23b, 23c is placed on the shelf members 11a, 11b, 11c.
  • the height is substantially the same as the end of the substrate W.
  • the difference in height between the lower position and the upper position of the lid support member 23 is smaller than the pitch of the shelf members 11.
  • the lid 3 moves to the opening A, and the lid 3 is attached to the housing 2.
  • the lid support member 23 pushes the substrate W backward. Accordingly, the rear end of the substrate W slides up the lower inclined portion 17a and reaches the innermost portion 17b. The front end of the substrate W remains supported by the innermost portion 24b of the lid support member 23.
  • a lock mechanism 61 fixes the lid 3 to the housing 2. Specifically, the coupling member 64 moves from the retracted position to the protruding position, and the lid 3 is fixed to the housing 2. In conjunction with such movement of the locking mechanism 61 (movement of the coupling member 64), the lid lifting mechanism 65 raises the lid support member 23 from the lower position to the upper position. As a result, the lid support member 23 lifts the substrate W while supporting the substrate W. The substrate W floats above the shelf member 11 and is supported in the second support mode.
  • the coupling member 64 moves from the protruding position to the retracted position, and the lock mechanism 61 releases the fixation of the lid 3.
  • the lid lifting mechanism 65 lowers the lid support member 23.
  • the lid support member 23 When the lid support member 23 is lowered, the lid support member 23 lowers the substrate W while supporting the substrate W.
  • the lid 3 advances from the opening A to the position indicated by the dotted line.
  • the rear end of the substrate W is disengaged from the innermost portion 17b and slides down the lower inclined portion 17a.
  • the substrate W is placed on the shelf member 11. That is, the substrate W is supported in the first support mode.
  • the lid support member 23 moves away from the substrate W.
  • the lid lifting mechanism 65 raises the lid support member 23.
  • the lid support member 23 lifts the substrate W without sliding with the substrate W.
  • the lid lifting mechanism 65 lowers the lid support member 23. Accordingly, the lid support member 23 lowers the substrate W without sliding with the substrate W. Therefore, when shifting to the first and second support modes, dust generation between the substrate W and the lid support member 23 can be suppressed.
  • the lid lifting mechanism 65 moves the lid support member 23 up and down relative to the casing 2 in conjunction with the movement of fixing the lid 3 to the casing 2 and the movement of releasing the fixing of the lid 3 to the casing 2. Therefore, the lid lifting mechanism 65 does not need to include a power source for lifting the lid support member 23. In addition, the support mode of the substrate W can be switched at the timing when the lid 3 is fixed to the casing 2 and released.
  • the lid lifting mechanism 65 raises the lid support member 23 in conjunction with the movement of fixing the lid 3 to the housing 2. Thereby, the substrate W can be supported in the second support mode in a state where the lid 3 is fixed to the housing 2. Further, the lid lifting mechanism 65 lowers the lid support member 23 in conjunction with the movement of releasing the fixation of the lid 3 with respect to the housing 2. Thereby, the substrate W can be supported in the first support mode in a state where the lid 3 is not fixed to the housing 2. Therefore, in a state where the lid 3 is fixed to the housing 2, the substrate storage container 1 can be suitably transported. Further, in a state where the lid 3 is not fixed to the housing 2, the substrate W can be suitably carried out from the substrate storage container 1 by removing the lid 3.
  • the lid elevating mechanism 65 is interlocked and connected to the lock mechanism 61, and raises and lowers the lid support member 23 using the operation of the lock mechanism 61. Therefore, the structure of the lid lifting mechanism 85 can be simplified and the size can be reduced.
  • the direction in which the lid lifting mechanism 65 lifts and lowers the lid support member 23 does not include a horizontal component. Therefore, when the lid support member 23 moves up and down the substrate W, there is no possibility that the position of the substrate W is shifted in the horizontal direction. Therefore, the lower position of the lid support member 23 can be kept constant. Therefore, whenever it transfers to a 1st support mode, the position of the board
  • Embodiment 4 of the present invention will be described below with reference to the drawings.
  • the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the substrate storage container 1 includes a lid lifting mechanism 71 and a lid guide mechanism 77.
  • the lid lifting mechanism 71 lifts and lowers the lid support member 23 relative to the lid 3.
  • the lid guide mechanism 77 guides the lid support member 23.
  • the lid lifting mechanism 71 includes a lid connecting plate 72.
  • the lid connecting plate 72 is fixed to the lid support block 21 (lid support member 23).
  • the lid connection plate 72 extends downward from the lid support block 21.
  • the lid connecting plate 72 moves integrally with the lid support member 23.
  • the lid lifting mechanism 71 further includes a fixed base 73.
  • the fixed base 73 is fixed inside the housing 2. Specifically, the fixed base 73 is installed on the bottom plate portion 5 so as not to move with respect to the housing 2.
  • the fixing base 93 is disposed at a position where it can come into contact with the lid connecting plate 72.
  • the fixed base 73 has an inclined surface 73 a that can contact the lid connecting plate 72 and guide the lid connecting plate 72.
  • the inclined surface 73a is inclined with respect to the front-rear direction. In the present embodiment, the inclined surface 73a is inclined so as to increase in the rearward direction.
  • Example 4 the housing support member 16 is directly fixed to the housing 2 (rear wall portion 8).
  • the housing support member 16 is disposed so that the lower inclined portions 17a of the housing support members 16a, 16b, and 16c can come into contact with the ends of the substrates W placed on the shelf members 11a, 11b, and 11c, respectively. ing.
  • the lid lifting mechanism 71 further includes a spring 74.
  • the spring 74 is, for example, a compression coil spring. One end of the spring 74 is fixed to the lid 3 (back surface 3b), and the other end of the spring 74 is connected to the lid support block 21 (lid support member 23).
  • the spring 74 expands and contracts and bends following the movement of the lid support member 23. Specifically, the spring 74 expands and contracts when the lid support member 23 moves in a substantially horizontal direction with respect to the lid 3. Further, the spring 74 is bent as the lid support member 23 moves in the vertical direction with respect to the lid 3.
  • the substantially horizontal direction is, for example, the front-rear direction.
  • the spring 74 is elastically deformed, and a restoring force in a direction in which the lid support member 23 moves away from the lid 3 is applied to the lid support member 23.
  • the spring 74 is compressed and deformed by pressing the lid support member 23 away from the lid 3 and presses the lid support member 23 toward the housing support member 16.
  • the spring 74 is an example of a lid elastic member in the present invention.
  • the lid guide mechanism 77 includes a connecting pin 78 and a guide member 79.
  • the connecting pin 78 is fixed to the lid support block 21 (the lid support member 23).
  • the guide member 79 is fixed to the lid 3.
  • the guide member 79 has a hole for inserting the connecting pin 78.
  • the hole is bent in a substantially L shape. A part of the hole extends parallel to the vertical direction, and the other part extends parallel to the front-rear direction.
  • the connecting pin 78 is inserted into the hole. As the connecting pins 78 slide along the holes of the guide member 79, the lid support member 23 moves up and down and back and forth with respect to the lid 3.
  • the positions of the lid support member 23 shown in FIGS. 11B, 11C, and 11D are referred to as “lower position”, “upper position”, and “contracted position”, respectively.
  • the lower position is located directly below the upper position and is lower than the upper position.
  • the contraction position is the same height as the upper position.
  • the lid guide mechanism 77 guides the lid support member 23 in the vertical direction between the lower position and the upper position.
  • the lid guide mechanism 77 guides the lid support member 23 in the front-rear direction between the upper position and the contracted position.
  • the innermost portions 24b of the lid support members 23a, 23b, and 23c are placed on the shelf members 11a, 11b, and 11c, respectively.
  • the height is substantially the same as the end of the substrate W.
  • the difference in height between the lower position and the upper position of the lid support member 23 is smaller than the pitch of the shelf members 11.
  • Example of operation 2.1. State in which lid 3 is removed from housing 2 Refer to FIG. The lid 3 is at a position indicated by a dotted line, for example. The substrate W is supported in the first support mode. The lid support member 23 is in the lower position. The lower inclined portion 17 a of the housing support member 16 is in contact with the rear end portion of the substrate W.
  • the lid connecting plate 72 slides up the inclined surface 73 a and the lid support member 23 rises according to the lid guide mechanism 77.
  • the lid support member 23 lifts the substrate W by the rise of the lid support member 23.
  • the lid support member 23 also pushes the substrate W backward. Accordingly, the rear end of the substrate W slides up the lower inclined portion 17a of the housing support member 16.
  • the substrate W is supported in the second support mode.
  • the lid 3 moves to the opening A, and the lid 3 is attached to the housing 2.
  • the lid support member 23 receives a reaction force from the substrate W, approaches the lid 3, and the spring 74 is compressed and deformed. Specifically, the lid support member 23 moves from the upper position to the contracted position according to the lid guide mechanism 77. Note that the substrate W remains supported in the second support mode.
  • the lid lifting mechanism 71 lowers the lid support member 23. Specifically, the lid connecting plate 72 slides down the inclined surface 73 a, and the lid support member 23 moves from the upper position to the lower position according to the lid guide mechanism 77. When the lid support member 23 is lowered, the lid support member 23 lowers the substrate W and places the substrate W on the shelf member 11. The rear end of the substrate W is disengaged from the innermost portion 17b of the housing support member 16, and slides down the lower inclined portion 17a. As a result, the substrate W is supported in the first support mode.
  • the lid lifting mechanism 71 raises the lid support member 23.
  • the lid support member 23 lifts the substrate W without sliding with the substrate W.
  • the lid lifting mechanism 71 lowers the lid support member 23.
  • the lid support member 23 lowers the substrate W without sliding with the substrate W. Therefore, when shifting to the first and second support modes, dust generation between the substrate W and the lid support member 23 can be suppressed.
  • the lid lifting mechanism 71 lifts and lowers the lid support member 23 in conjunction with the movement of attaching and detaching the lid 3 to the housing 2. That is, the lid lifting mechanism 71 lifts and lowers the lid support member 23 using the movement of the lid 3. Therefore, the lid lifting mechanism 71 does not need to include a power source for lifting the lid support member 23. Further, the support mode of the substrate W can be switched at the timing when the lid 3 is attached to and detached from the housing 2.
  • the lid lifting mechanism 71 raises the lid support member 23 in conjunction with the movement of attaching the lid 3 to the housing 2, so that the substrate W is in the second support state when the lid 3 is mounted on the housing 2. Supported in an embodiment. In addition, the lid lifting mechanism 71 moves the lid support member 23 downward in conjunction with the movement of the lid 3 being detached from the housing 2, so that the substrate W is removed when the lid 3 is detached from the housing 2. Supported in the first support mode. Therefore, when the lid 3 is attached to the housing 2, the substrate storage container 1 can be suitably transported, and when the lid 3 is detached from the housing 2, the substrate W can be suitably unloaded from the substrate housing container 1. .
  • the fixed base 73 is fixedly provided inside the housing 2.
  • the inclined surface 73a of the fixing base 73 slides (indirectly) with the lid support member 23 when the lid 3 is attached to and detached from the housing 2, and moves the lid support member 23 up and down. According to such a fixing base 73, the back-and-forth movement of the lid 3 and the vertical movement of the lid support member 23 can be mutually converted.
  • the weight of the lid support member 23 is received by the fixing base 73 and thus does not act on the substrate W. That is, when the substrate W is supported in the second support mode, the lid support member 23 does not apply unnecessary force to the substrate W. Therefore, the substrate W can be protected more appropriately.
  • the lid support member 23 is provided to be movable in the horizontal direction (specifically, the front-rear direction). Accordingly, the interval between the housing support member 16 and the lid support member 23 can be matched with the outer dimension of the substrate W. Therefore, even if there are variations or errors in the external dimensions of the substrate W, the housing support member 16 and the lid support member 23 can favorably support the substrate W in the second support mode.
  • the spring 74 presses the lid support member 23 backward.
  • the lid support member 23 presses the substrate W against the housing support member 16.
  • the distance between the housing support member 16 and the lid support member 23 can be automatically adjusted according to the outer dimensions of the substrate W.
  • the housing support member 16 and the lid support member 23 can hold the substrate W with an appropriate strength.
  • the lower position of the lid support member 23 can be kept constant. For example, every time the lid support member 23 moves up and down, the lower position of the lid support member 23 can be suitably prevented from shifting in the horizontal direction. Therefore, whenever it transfers to a 1st support mode, the position of the board
  • the direction in which the lid guide mechanism 77 guides the lid support member 23 between the lower position and the upper position is only the vertical component, and does not include the horizontal component. Therefore, there is no possibility that the lower position of the lid support member 23 is shifted in the horizontal direction. Therefore, whenever it transfers to a 1st support mode, the position of the board
  • Embodiment 5 of the present invention will be described below with reference to the drawings.
  • the same components as those in the first and third embodiments are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the substrate storage container 1 includes a lid guide mechanism 81.
  • the lid guide mechanism 81 guides the lid support member 23 to the lid 3 so as to be movable up and down.
  • the lid guide mechanism 81 includes a connecting pin 82 and a guide member 83.
  • the connecting pin 82 is fixed to the lid support block 21 (lid support member 23).
  • the guide member 83 is fixed to the lid 3.
  • the guide member 83 has a hole for inserting the connecting pin 82.
  • the hole is inclined with respect to the front-rear direction. More specifically, the hole is inclined so as to be higher in the forward direction.
  • the connecting pin 82 is inserted into the hole. As the connecting pin 82 slides with respect to the guide member 83, the lid support member 23 moves back and forth while moving up and down relative to the lid 3. That is, the direction in which the lid guide mechanism 81 guides the lid support member 23 includes a vertical component and a front-back component.
  • FIGS. 13A and 13B the lowest position at which the lid support member 23 shown in FIGS. 13A and 13B can move is referred to as “lower position”, and the highest position at which the lid support member 23 can move is referred to as “upper position”.
  • FIG. 13A shows the lower position of the lid support member 23, and
  • FIG. 13B shows the upper position of the lid support member 23.
  • the housing support member 16 is fixed to the housing 2 via a fixed arm 15.
  • the innermost portion 17 b of the housing support member 16 has substantially the same height as the end portion of the substrate W placed on the shelf member 11.
  • the innermost portion 24b of the lid support member 23 is substantially the same as the end portion of the substrate W placed on the shelf member 11. It is height. The difference in height between the lower position and the upper position of the lid support member 23 is smaller than the pitch of the shelf members 11.
  • the lid support member 23 When the lid 3 further moves rearward, the lid support member 23 receives a forward pressing (reaction force) from the substrate W. As a result, the lid support member 23 rises while approaching the lid 3. Specifically, the lid support member 23 rises from the lower position according to the lid guide mechanism 81. By the raising of the lid support member 23, the lid support member 23 lifts the substrate W while supporting the substrate W at the innermost portion 17b. At this time, the rear end of the substrate W remains supported by the innermost portion 17 b of the housing support member 16.
  • the lid 3 moves to the opening A, and the lid 3 is attached to the housing 2.
  • the lid support member 23 reaches the upper position. Thereby, the substrate W is supported in the second support mode.
  • the lid support member 23 moves up and down in conjunction with the movement of attaching and detaching the lid 3 to the housing 2. Therefore, the support mode of the substrate W can be switched at the timing when the lid 3 is attached to and detached from the housing 2.
  • the lid support member 23 rises in conjunction with the movement of attaching the lid 3 to the housing 2, the substrate W is supported in the second support mode when the lid 3 is attached to the housing 2. Further, since the lid support member 23 is lowered in conjunction with the movement of the lid 3 being detached from the housing 2, the substrate W is supported in the first support mode when the lid 3 is detached from the housing 2. .
  • the movement of the lid 3 is transmitted to the lid support member 23 through the substrate W. That is, it is the substrate W that links the movement of the lid 3 and the movement of the lid support member 23. Therefore, the lid lifting mechanism 65 of the third embodiment can be omitted, and the structure of the substrate storage container 1 can be simplified.
  • the lower position of the lid support member 23 can be kept constant. For example, every time the lid support member 23 moves up and down, the lower position of the lid support member 23 can be suitably prevented from shifting in the horizontal direction. Therefore, whenever it transfers to a 1st support mode, the position of the board
  • the hole of the guide member 83 is inclined with respect to the front-rear direction. Therefore, the guide member 83 can suitably convert the longitudinal movement of the lid 3 into the vertical movement of the housing support member 16.
  • the direction in which the lid guide mechanism 81 guides the lid support member 23 includes a longitudinal component in addition to the vertical component. For this reason, the support member 23 for lid
  • the lid support member 23 presses the substrate W against the housing support member 16 by its own weight. Thereby, the space
  • the present invention is not limited to the above embodiment, and can be modified as follows.
  • the case supporting member 16 may be configured to be movable in the horizontal direction, and the case elevating mechanism 31 may further include a case elastic member.
  • the housing elastic member is elastically deformed by moving the housing support member 16 in the horizontal direction, and applies a restoring force to the housing support member 16.
  • the case elevating mechanism 31 includes a case connecting plate 33, a movable base 34, a rod 35, and a spring 91.
  • the spring 91 is, for example, a compression coil spring.
  • the spring 91 is disposed between the housing 2 and the housing support member 16. One end of the spring 91 is connected to the housing 2, and the other end of the spring 91 is connected to the housing support member 16. When the housing support member 16 moves rearward with respect to the housing 2, the spring 91 is compressed and deformed to press the housing support member 16 forward.
  • the casing elevating mechanism 31 includes a movable base 34, a rod 35, a casing connecting plate 92, and a spring 93.
  • the housing connecting plate 92 is slidably in contact with the movable table 34 (the inclined surface 34a).
  • the spring 93 is disposed between the housing connecting plate 92 and the housing support member 16.
  • One end of the spring 93 is connected to the housing connection plate 92, and the other end of the spring 93 is connected to the housing support member 16.
  • the spring 93 is elastically deformed and presses the housing support member 16 forward.
  • Each of the springs 91 and 93 described above is an example of a housing elastic member in the present invention.
  • the case elevating mechanism 31 includes the spring 91 or the spring 93, so that the case support member 16 and the cover support member 23 have the substrate W in the second support mode. Can be suitably supported.
  • the substrate storage container 1 may further include a housing guide mechanism for guiding the housing support member 16.
  • a housing guide mechanism for guiding the housing support member 16.
  • the substrate storage container 1 includes a housing guide mechanism 95.
  • the housing guide mechanism 95 includes a connecting pin 96 and a guide member 97.
  • the connecting pin 96 is fixed to the housing support block 14 (housing support member 16).
  • the guide member 97 is fixed to the housing 2.
  • the guide member 97 has a hole for inserting the connecting pin 96.
  • the hole may extend parallel to the up-down direction or may be inclined with respect to the front-rear direction. In FIG. 17, the hole which inclines so that it may become higher in the back direction is shown.
  • the housing guide mechanism 95 can guide the housing support member 16 in a predetermined direction.
  • the casing elevating mechanism 31 includes a movable table 34 and a rod 35, and further includes a casing connecting plate 92 and a spring 93 illustrated in FIG.
  • the substrate storage container 1 includes a housing guide mechanism 101.
  • the housing guide mechanism 101 includes a connecting bar 102 and a guide member 103.
  • the connecting bar 102 is fixed to the casing connecting plate 92.
  • the guide member 103 is fixed to the housing 2.
  • the guide member 103 has a hole for inserting the connecting bar 102.
  • the hole may extend parallel to the up-down direction or may be inclined with respect to the front-rear direction. In FIG. 18, a hole extending in parallel with the vertical direction is shown.
  • the connecting bar 102 is inserted into the hole.
  • the connecting bar 102 can be translated along the hole, but the connecting bar 102 cannot rotate about its axis.
  • the housing connecting plate 92 moves up and down with respect to the housing 2
  • the housing support member 16 moves up and down with the housing connecting plate 92.
  • the housing guide mechanism 101 guides the housing support member 16 via the housing connecting plate 92.
  • the spring 32 may be omitted. Also in this modified example, the case elevating mechanism 31 can lower the case support member 16 by using the gravity acting on the case support member 16.
  • the substrate storage container 1 may include an elastic member for a casing.
  • the substrate storage container 1 includes a spring 105.
  • the spring 105 is disposed between the housing 2 and the housing support member 16. One end of the spring 105 is connected to the housing 2, and the other end of the spring 105 is connected to the housing support member 16.
  • the spring 105 is compressed and deformed, and presses the housing support member 16 forward.
  • the spring 105 is elastically deformed by moving the housing support member 16 away from the lid support member 23 and presses the housing support member 16 toward the lid support member 23.
  • the spring 105 is an example of the housing elastic member in the present invention.
  • the substrate storage container 1 includes the spring 105, the housing support member 16 and the lid support member 23 suitably support the substrate W in the second support mode. it can.
  • the lid lifting mechanism 65 may include a lid elastic member.
  • the lid elastic member is provided between the lid 3 and the lid support member 23, and is elastically deformed when the lid support member 23 moves in the horizontal direction with respect to the lid 3. To apply the restoring force.
  • modified embodiments will be illustrated.
  • the lid lifting mechanism 65 includes a spring 111 in addition to the gear 66 and the rack 67.
  • the spring 111 is disposed between the rack 67 and the lid support member 23.
  • One end of the spring 111 is connected to the rack 67, and the other end of the spring 111 is connected to the lid support member 23.
  • the spring 111 is compressed and deformed and presses the lid support member 23 in a direction away from the rack 67 (lid 3).
  • the spring 111 is elastically deformed when the housing support member 23 moves away from the lid support member 16 and presses the housing support member 23 toward the lid support member 16.
  • the spring 111 is an example of a housing elastic member in the present invention.
  • the lid lifting mechanism 65 includes the spring 111, the housing support member 16 and the lid support member 23 can suitably support the substrate W in the second support mode. .
  • the substrate storage container 1 may further include a lid guide mechanism for guiding the lid support member 23.
  • a lid guide mechanism for guiding the lid support member 23.
  • the lid lifting mechanism 65 includes a spring 111 illustrated in FIGS. 20A and 20B in addition to the gear 66 and the rack 67.
  • the substrate storage container 1 includes a guide mechanism 113 for the lid.
  • the lid guide mechanism 113 includes a connecting pin 114 and a guide member 115.
  • the connecting pin 113 is fixed to the lid support block 21.
  • the guide member 115 is fixed to the rack 67.
  • the guide member 115 has a hole for inserting the connecting pin 114. The hole extends in the front-rear direction. The connecting pin 114 is inserted into the hole.
  • the lid guide mechanism 113 can guide the lid support member 23 in a predetermined direction.
  • the spring 74 may be omitted.
  • the guide member 79 preferably has a hole extending in a direction inclined with respect to the front-rear direction.
  • the lid support member 23 can be moved in the front-rear direction by using the gravity acting on the lid support member 23 and the pressure received by the lid support member 23 from the substrate W.
  • the lid guide mechanism 77 may be omitted. Also according to this modified embodiment, the lid lifting mechanism 71 can suitably lift and lower the lid support member 23.
  • the substrate storage container 1 may further include an elastic member for lid.
  • the substrate storage container 1 includes a spring 117.
  • the spring 117 is disposed between the lid 3 and the lid support member 23. One end of the spring 117 is connected to the lid 3, and the other end of the spring 117 is connected to the lid support member 23.
  • the spring 117 is elastically deformed and presses the lid support member 23 in a direction away from the lid 3.
  • the spring 117 is elastically deformed by moving the lid support member 23 away from the housing support member 16 and presses the lid support member 23 toward the housing support member 16.
  • the spring 117 is an example of a lid elastic member in the present invention.
  • the substrate storage container 1 includes the spring 117, the housing support member 16 and the lid support member 23 can suitably support the substrate W in the second support mode.
  • the substrate storage container 1 includes one of the housing lifting mechanism 31 and the housing guide mechanism 51 described in the first and second embodiments, the lid lifting mechanisms 65 and 71 described in the third to fifth embodiments, and Any one of the lid guide mechanisms 81 may be provided.
  • the substrate storage container 1 includes the housing lifting mechanism 31 of the first embodiment and the lid lifting mechanism 65 of the third embodiment.
  • the substrate storage container 1 includes the housing guide mechanism 51 of the second embodiment and the lid guide mechanism 81 of the fifth embodiment.
  • both the housing support member 16 and the lid support member 23 do not slide with the substrate W when shifting to either the first or second support mode. Therefore, the generation of particles can be effectively suppressed. Furthermore, since the substrate W is held horizontally, the substrate W can be stored more stably.
  • the plurality of housing support members 16 are integrally formed.
  • the present invention is not limited to this.
  • the housing support members 16 may be separated from each other.
  • the structure of the lid support member 23 may be similarly changed.
  • the housing support member 16 is in contact with the substrate W when the lid 3 is detached from the housing 2, but the present invention is not limited to this. That is, the housing support member 16 may not be in contact with the substrate W in a state where the lid 3 is detached from the housing 2.
  • the shapes of the housing support member 16 and the lid support member 23 may be appropriately changed.
  • the lower inclined portion 17a and the upper inclined portion 17c may be omitted.
  • the lid support member 23 is in contact with the substrate W only at the innermost portion 24b, the lower inclined portion 24a and the upper inclined portion 24c may be omitted.
  • the plurality of housing support members 16 are arranged in a line in the vertical direction, but the present invention is not limited to this.
  • a plurality of housing support members 16 may be arranged in a plurality of rows in the vertical direction.
  • a plurality of housing support members 16 may be arranged in a staggered manner in the vertical direction.
  • the arrangement of the lid support member 23 may be similarly changed.
  • the substrate storage container 1 may further include a shielding member for shielding the atmosphere in the housing 2.
  • the substrate storage container 1 may further include a shielding member for keeping the space around the substrate W in the housing 2 clean.
  • the shielding member may block the atmosphere between the space in which the substrate W is supported and the space in which at least a part of the casing elevating mechanism 31 is installed.
  • the shielding member may block the atmosphere between a space where the substrate W is supported and a space where at least a part of the housing guide mechanism 51 is installed.
  • the substrate storage container 1 includes a partition wall 121 and a bellows 123 as shielding members.
  • the partition wall 121 separates the space S1 in which the substrate W is supported from the space S2 in which the housing elevating mechanism 31 is installed.
  • An opening for inserting the housing support member 16 is formed in the partition wall 121.
  • the housing support member 16 is installed so as to penetrate the partition wall 121.
  • a bellows 123 is attached to the housing support member 16.
  • a base end portion of the bellows 123 is attached to the partition wall 121.
  • the bellows 123 can expand and contract or / and bend following the movement of the housing support member 16.
  • the partition wall 121 and the bellows 123 block the atmosphere of the space S1 and the space S2.
  • the spring 32, the guide member 53, etc. may be attached to the partition wall 121.
  • a shielding member may be attached to the lid 3. According to this, it is possible to prevent particles generated by the lid lifting mechanisms 65 and 71 or the lid guide mechanisms 77 and 81 from entering the space where the substrate W is supported.
  • the substrate storage container 1 may further include a gas supply port for supplying gas into the housing 2 and a gas exhaust port for discharging the gas in the housing 2. It is preferable that the gas supply port and the gas discharge port are arranged so that the gas flows backward from the substrate W toward the housing elevating mechanism 31 or the housing guide mechanism 51.
  • the gas supply port may be disposed in the forward direction from the gas discharge port.
  • FIG. 25 is a plan view of the substrate storage container 1 according to the modified embodiment described above.
  • a plurality of gas supply ports 201 communicating with the space S1 are formed at positions close to the opening A of the bottom plate portion 5.
  • the gas supply port 201 is connected to a gas supply port (not shown).
  • the gas supply port can be connected to an external device that supplies gas.
  • a plurality of gas discharge ports 202 communicating with the space S ⁇ b> 2 are formed at positions close to the rear wall portion 8 of the bottom plate portion 5.
  • the gas exhaust port 202 is provided with a gas exhaust port (not shown).
  • the gas discharge supply port can be connected to an external device that discharges gas.
  • a plurality of communication holes 203 are formed in the rearward portion of the partition wall 121 so as to be aligned in the vertical direction. The space S1 and the space S2 communicate with each other through these communication holes 203.
  • the gas supply port is connected to an external device, and the gas discharge port is connected to the external device.
  • An external device supplies a gas such as an inert gas to the substrate storage container 1 through the gas supply port, and discharges the gas from the substrate storage container 1 through the gas discharge port.
  • the gas supplied to the substrate storage container 1 flows into the space S1 through the gas supply port 201.
  • the gas in the space S ⁇ b> 2 is discharged to the outside of the substrate storage container 1 through the gas discharge port 202.
  • an air flow from the space S ⁇ b> 1 to the space S ⁇ b> 2 through the communication hole 203 is formed inside the housing 2.
  • the direction of the airflow is substantially backward.
  • the gas in the space S1 is discharged toward the space S2.
  • the gas in the space S2 is prevented from flowing into the space S1.
  • the guide members 79 and 83 are separate from the lid 3, but are not limited thereto. That is, the lid 3 and the guide members 79 and 83 may be integrated.
  • a groove in which the connecting pins 78 and 82 slide may be formed in the lid 3.
  • the groove may be formed inside the lid 3 (specifically, a position recessed from the back surface 3b of the lid 3).
  • a recess capable of accommodating at least a part of the lid support member 23 may be formed on the back surface 3 b of the lid 3. According to these modified embodiments, the entire lid 3 and the lid support member 23 can be thinned.
  • each of the load port devices 420, 421, and 422 includes one mounting table 44, but is not limited thereto. That is, you may change into a load port apparatus provided with several mounting bases.
  • each of the load port devices 420, 421, and 422 mounts one substrate storage container 1, but the present invention is not limited to this. That is, you may change into the load port apparatus which can mount the some board
  • each configuration is further replaced with the configuration of another embodiment or the configuration of another modified embodiment. Or you may change suitably by combining.
  • SYMBOLS 1 Substrate storage container 2 ... Housing 3 ... Lid 3b ... Back surface 11a, 11b, 11c, 11 ... Shelf member 16a, 16b, 16c, 16 ... Housing support member 23a, 23b, 23c, 23 ... Lid support member DESCRIPTION OF SYMBOLS 31 ... Elevating mechanism for housing
  • Lid raising / lowering mechanism 73 Fixing base 74, 111, 117 ... Spring (elastic member for lid) 73 ... Inclined surfaces 77, 81, 113 ... Lid guide mechanisms 91, 93, 105 ... Spring (elastic member for housing) 420, 421, 422 ... Load port device A ... Opening W ... Substrate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

　基板収納容器１であって、筐体２と、棚部材１１と、筐体用支持部材１６と、筐体用昇降機構３１と、蓋３と、蓋用支持部材１６と、を備える。棚部材１１による基板Ｗの支持から筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とによる基板Ｗの支持に移行するとき、筐体用昇降機構３１が筐体用支持部材１６を上昇させることによって、筐体用支持部材１６は基板Ｗを持ち上げる。筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とによる基板Ｗの支持から棚部材１１による基板Ｗの支持に移行するとき、筐体用昇降機構３１が筐体用支持部材１６を下降させることによって、筐体用支持部材１６は基板Ｗを下ろす。

Description

基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
　本発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に「基板」と称する）を収容する基板収納容器、および、これに適用可能なロードポート装置および基板処理装置に関する。
　従来、基板を２つの支持態様で支持する基板収納容器がある。この基板収納容器は、筐体と蓋と棚とクッションを備えている。筐体は複数の基板を収容する。蓋は筐体に着脱する。棚とクッションは、筐体の内部に設けられる。棚は、基板の下面が棚と接触した状態で、基板を支持する。クッションは、基板が棚から離れた状態で、基板を支持する。このように、基板収納容器は、棚が基板を支持する態様、および、クッションが基板を支持する態様で、基板を支持できる。
　棚による基板の支持からクッションによる基板の支持に移行するとき、クッションの表面に沿って基板を摺動させることによって、基板を上昇させる。また、クッションによる基板の支持から棚による基板の支持に移行するとき、クッションの表面に沿って基板を摺動させることによって、基板を下降させる。
特開２００７－２２７９４１号公報
　しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題があること
が発明者によって見出された。
　すなわち、クッションと基板とが互いに摺動するので、クッションと基板との間でパーティクルが発生し易くなり、筐体内の雰囲気を清浄に保つことが困難となる。
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、パーティクルの発生を抑制できる基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
　本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
　すなわち、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に対して前記筐体用支持部材を昇降させる筐体用昇降機構と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記筐体用昇降機構が前記筐体用支持部材を上昇させることによって、前記筐体用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記筐体用昇降機構が前記筐体用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす基板収納容器
である。
　［作用・効果］基板収納容器は、基板を２つの支持態様で支持できる。第１の支持態様は、棚部材による基板の支持である。具体的には、第１の支持態様は、棚部材が基板の下面と接触した状態で、棚部材が基板を支持することである。第２の支持態様は、筐体用支持部材と蓋用支持部材とによる基板の支持である。具体的には、第２の支持態様は、基板の下面が棚部材と接触していない状態で、筐体用支持部材と蓋用支持部材とが基板を支持することである。
　第１の支持態様から第２の支持態様に移行するとき、筐体用昇降機構は筐体用支持部材を上昇させる。これにより、筐体用支持部材は、基板を支持したまま、基板を持ち上げる。換言すれば、筐体用支持部材は、基板と摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。よって、基板と筐体用支持部材との間でパーティクルが発生することを抑制できる。
　第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、筐体用昇降機構は筐体用支持部材を下降させる。これにより、筐体用支持部材は、基板を支持したまま、基板を下ろす。換言すれば、筐体用支持部材は、基板と摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、基板と筐体用支持部材との間でパーティクルが発生することを抑制できる。
　上述した発明において、前記蓋が前記筐体に着脱する動きに連動して、前記筐体用昇降機構は前記筐体用支持部材を昇降させることが好ましい。筐体用昇降機構は、筐体に着脱する蓋の動きを利用して、筐体用支持部材を昇降させる。よって、筐体用昇降機構は、筐体用支持部材を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、蓋を筐体に着脱するタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
　上述した発明において、前記筐体用昇降機構は、前記蓋が前記筐体に着脱する動きにより前記筐体の内部を移動する可動台を備え、前記可動台の移動により前記筐体用支持部材が昇降することが好ましい。筐体に着脱する蓋の動きが可動台の移動をもたらし、可動台の移動が筐体用支持部材の昇降をもたらす。このように、可動台は、蓋の動きと筐体用支持部材の昇降とを好適に連動させることができる。
　上述した発明において、前記筐体用昇降機構は、前記筐体用支持部材が略水平方向に移動することによって弾性変形し、前記筐体用支持部材に対して復元力を作用させる筐体用弾性部材を備えることが好ましい。言い換えれば、筐体用昇降機構は、筐体用支持部材が蓋用支持部材から遠ざかることによって弾性変形し、筐体用支持部材を蓋用支持部材に向かって押圧する筐体用弾性部材を備えることが好ましい。筐体用昇降機構は筐体用弾性部材を備えているので、筐体用支持部材と蓋用支持部材との間隔を、基板の外形寸法に容易に追従させることができる。これにより、筐体用支持部材と蓋用支持部材とは、基板を好適に挟持できる。
　上述した発明において、前記筐体用支持部材を案内する筐体用案内機構を備えていることが好ましい。筐体用支持部材は筐体用案内機構に従って適切に移動できる。
　また、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に対して前記筐体用支持部材を昇降可能に案内する筐体用案内機構と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を保持する蓋用支持部材と、を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記筐体用支持部材が前記筐体用案内機構に沿って上昇することによって、前記筐体用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記筐体用支持部材が前記筐体用案内機構に沿って下降することによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす基板収納容器である。
　［作用・効果］基板収納容器は、第１、第２の支持態様で基板を支持できる。第２の支持態様に移行するとき、筐体用支持部材は筐体用案内機構に従って上昇する。これにより、筐体用支持部材は、基板を支持したまま、基板を持ち上げる。第１の支持態様に移行するとき、筐体用支持部材は筐体用案内機構に従って下降する。これにより、筐体用支持部材は、基板を支持したまま、基板を下ろす。このように、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と筐体用支持部材とが互いに摺動しない。よって、基板と筐体用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
　上述した発明において、前記蓋が前記筐体に着脱する動きに連動して、前記筐体用支持部材は昇降することが好ましい。筐体用支持部材は、筐体に着脱する蓋の動きを利用して、昇降する。よって、基板収納容器は、筐体用支持部材を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、蓋を筐体に着脱するタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
　上述した発明において、前記筐体用支持部材が略水平方向に移動することによって弾性変形し、前記筐体用支持部材に対して復元力を作用させる筐体用弾性部材を備えることが好ましい。言い換えれば、基板収納容器は、筐体用支持部材が蓋用支持部材から遠ざかることによって弾性変形し、筐体用支持部材を蓋用支持部材に向かって押圧する筐体用弾性部材を備えることが好ましい。基板収納容器は筐体用弾性部材を備えているので、筐体用支持部材と蓋用支持部材との間隔を、基板の外形寸法に容易に追従させることができる。これにより、筐体用支持部材と蓋用支持部材とは、基板を好適に挟持できる。
　上述した発明において、前記蓋用支持部材は前記蓋に対して昇降可能であり、前記基板収納容器は、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構を備え、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を上昇させることによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろすことが好ましい。第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と蓋用支持部材とが互いに摺動しないので、基板と蓋用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
　上述した発明において、前記蓋用支持部材は前記蓋に対して昇降可能であり、前記基板収納容器は、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降可能に案内する蓋用案内機構を備え、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って上昇することによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って下降することによって、前記蓋用支持部材は基板を下ろすことが好ましい。第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と蓋用支持部材とが互いに摺動しないので、基板と蓋用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
　また、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋に対して昇降可能に前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構と、を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を上昇させることによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす基板収納容器である。
　［作用・効果］基板収納容器は、第１、第２の支持態様で基板を支持できる。第２の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構は蓋用支持部材を上昇させる。これにより、蓋用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を持ち上げる。第１の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構は蓋用支持部材を下降させる。これにより、蓋用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を下ろす。よって、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と蓋用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
　上述した発明において、前記蓋用昇降機構は、前記蓋を前記筐体に固定する動きおよび前記筐体に対する前記蓋の固定を解除する動きに連動して、前記蓋用支持部材を前記筐体に対して昇降させることが好ましい。蓋用昇降機構は、蓋を固定する動きおよび蓋の固定を解除する動きを利用して、蓋用支持部材を昇降させる。よって、蓋用昇降機構は、蓋用支持部材を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、筐体に対する蓋の固定およびその解除を行うタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
　上述した発明において、前記蓋を前記筐体に固定するロック機構を備え、前記蓋用昇降機構は、前記ロック機構に連動連結されており、前記ロック機構の動作に連動して前記蓋用支持部材を昇降させることが好ましい。蓋用昇降機構は、ロック機構の動作を利用して蓋用支持部材を昇降させることができる。よって、蓋用昇降機構の構造を簡素化できる。
　上述した発明において、前記蓋が前記筐体に着脱する動きに連動して、前記蓋用昇降機構は前記蓋用支持部材を昇降させることが好ましい。蓋用昇降機構は、筐体に着脱する蓋の動きを利用して、蓋用支持部材を昇降させる。よって、蓋用昇降機構は、蓋用支持部材を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、蓋を筐体に着脱するタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
　上述した発明において、前記蓋用昇降機構は、前記筐体の内部に固定的に設けられる固定台を備え、前記固定台は、前記蓋が前記筐体に着脱するときに前記蓋用支持部材と摺動して前記蓋用支持部材を昇降させる傾斜面を有することが好ましい。筐体に着脱する蓋の動きが、蓋用支持部材が固定台の傾斜面を摺動する動き（すなわち、蓋用支持部材の昇降）をもたらす。このように、固定台は、蓋の動きと蓋用支持部材の昇降とを好適に連動させることができる。
　上述した発明において、前記蓋用昇降機構は、前記蓋用支持部材が前記蓋に近づくことによって弾性変形し、前記蓋用支持部材に対して復元力を作用させる蓋用弾性部材を備えることが好ましい。言い換えれば、蓋用昇降機構は、蓋用支持部材が筐体用支持部材から遠ざかることによって弾性変形し、蓋用支持部材を筐体用支持部材に向かって押圧する蓋用弾性部材を備えることが好ましい。蓋用昇降機構は蓋用弾性部材を備えているので、筐体用支持部材と蓋用支持部材との間隔を、基板の外形寸法に容易に追従させることができる。これにより、筐体用支持部材と蓋用支持部材とは、基板を好適に挟持できる。
　上述した発明において、前記蓋用支持部材を案内する蓋用案内機構を備えることが好ましい。蓋用支持部材は蓋用案内機構に従って適切に移動できる。
　また、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋に対して昇降可能に前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降可能に案内する蓋用案内機構と、を備え、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って上昇することによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って下降することによって、前記蓋用支持部材は基板を下ろす基板収納容器である。
　［作用・効果］基板収納容器は、第１、第２の支持態様で基板を支持できる。第２の支持態様に移行するとき、蓋用支持部材は蓋用案内機構に従って上昇する。これにより、蓋用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を持ち上げる。第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、蓋用支持部材は蓋用案内機構に従って下降する。これにより、蓋用支持部材は、基板と摺動することなく、基板を下ろす。よって、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板と蓋用支持部材との間におけるパーティクルの発生を抑制できる。
　上述した発明において、前記蓋が前記筐体に着脱する動きに連動して、前記蓋用支持部材は昇降することが好ましい。蓋用支持部材は、筐体に着脱する蓋の動きを利用して、昇降する。よって、基板収納容器は、蓋用支持部材を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、蓋を筐体に着脱するタイミングで、基板の支持態様を切り替えることができる。
　上述した発明において、前記蓋用支持部材が前記蓋に近づくことによって弾性変形し、前記蓋用支持部材に対して復元力を作用させる蓋用弾性部材を備えることが好ましい。言い換えれば、基板収納容器は、蓋用支持部材が筐体用支持部材から遠ざかることによって弾性変形し、蓋用支持部材を筐体用支持部材に向かって押圧する蓋用弾性部材を備えることが好ましい。基板収納容器は蓋用弾性部材を備えているので、筐体用支持部材と蓋用支持部材との間隔を、基板の外形寸法に容易に追従させることができる。これにより、筐体用支持部材と蓋用支持部材とは、基板を好適に挟持できる。
　また、本発明は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、を備えたロードポート装置である。
　［作用・効果］本発明に係るロードポート装置によれば、上述した基板収納容器を好適に載置できる。
　また、本発明は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、基板に対して処理を行う処理ユニットと、前記載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、を備えた基板処理装置である。
　［作用・効果］本発明に係る基板処理装置によれば、上述した基板収納容器に収容される基板に対して処理を行うことができる。
　なお、上述した各発明において、筐体用支持部材が昇降する方向は、鉛直方向に限られない。また、蓋用支持部材が昇降する方向は、鉛直方向に限られない。例えば、筐体用昇降機構が筐体用支持部材を昇降させるとき、筐体用支持部材が水平方向に動いてもよいし、筐体用支持部材が水平方向に動かなくてもよい。言い換えれば、筐体用昇降機構が筐体用支持部材を昇降させる方向は、上下方向の成分のほかに、水平方向の成分を含んでいてもよいし、水平方向の成分を含んでいなくてもよい。同様に、筐体用案内機構が筐体用支持部材を案内する方向、蓋用昇降機構が蓋用支持部材を昇降させる方向および蓋用案内機構が蓋用支持部材を案内する方向はそれぞれ、上下方向の成分のほかに、水平方向の成分を含んでいてもよいし、水平方向の成分を含んでいなくてもよい。
　また、筐体用支持部材が基板を持ち上げ始めるとき、基板は棚部材と接触していてもよいし、基板が既に棚部材から離れていてもよい。言い換えれば、筐体用昇降機構が筐体用支持部材を上昇させ始める時点においては、基板は第１の支持態様で支持されていてもよいし、第１の支持態様で支持されていなくてもよい。同様に、蓋用支持部材が基板を持ち上げ始めるとき、基板は棚部材と接触していてもよいし、基板が既に棚部材から離れていてもよい。
　本発明に係る基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置によれば、第１の支持態様に移行するとき、基板は筐体用支持部材および蓋用支持部材の少なくともいずれかと摺動しない。また、第２の支持態様に移行するときも、基板は筐体用支持部材および蓋用支持部材の少なくともいずれかと摺動しない。よって、パーティクルが発生することを抑制できる。これにより、基板にパーティクルが付着することを抑制でき、基板収納容器内の雰囲気を清浄に保つことができる。
図１（ａ）は蓋が筐体に装着されているときの基板収納容器の外観を示す斜視図であり、図１（ｂ）は蓋が筐体に装着されていないときの基板収納容器の外観を示す斜視図である。 図２（ａ）は筐体の内部を示す平面図であり、図２（ｂ）は筐体の内部を示す側面図であり、図２（ｃ）は筐体の内部を示す正面図である。 図３（ａ）は蓋および蓋用支持部材を示す斜視図であり、図３（ｂ）は蓋および蓋用支持部材を示す側面図である。 図４（ａ）は基板処理装置の平面図であり、図４（ｂ）は基板処理装置の側面図である。 図５（ａ）乃至５（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す図である。 図６（ａ）、６（ｂ）は、それぞれ実施例２に係る筐体の内部を示す平面図および正面図である。 図７（ａ）乃至７（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す平面図である。 図８は実施例３に係る筐体の内部示す側面図である。 図９（ａ）、９（ｂ）は実施例３に係る蓋を示す正面図と側面図である。 図１０（ａ）乃至１０（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。 図１１（ａ）は実施例４に係る蓋の背面図であり、図１１（ｂ）乃至１１（ｄ）は蓋の側面図である。 図１２（ａ）乃至１２（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。 図１３（ａ）、１３（ｂ）はそれぞれ、実施例５に係る蓋の背面図と側面図である。 図１４（ａ）乃至１４（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す側面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す側面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す側面図である。 図２０（ａ）は、バネが弾性変形していない状態における変形実施例に係る蓋の側面図であり、図２０（ｂ）は、バネが弾性変形している状態における変形実施例に係る蓋の側面図である。 図２１（ａ）は、バネが弾性変形していない状態における変形実施例に係る蓋の側面図であり、図２１（ｂ）は、バネが弾性変形している状態における変形実施例に係る蓋の側面図である。 図２２（ａ）は、バネが弾性変形していない状態における変形実施例に係る蓋の側面図であり、図２２（ｂ）は、バネが弾性変形している状態における変形実施例に係る蓋の側面図である。 図２３（ａ）、２３（ｂ）は変形実施例に係る基板収納容器の内部を示す側面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。
　以下では、５つの実施例を説明する。実施例１では、本発明に係る筐体用昇降機構を例示する。実施例２では、本発明に係る筐体用案内機構を例示する。実施例３では、本発明に係る蓋用昇降機構を例示する。実施例４では、本発明に係る蓋用昇降機構と蓋用案内機構を例示する。実施例５では、本発明に係る蓋用案内機構を例示する。
　１．基板収納容器の構成
　図１（ａ）、１（ｂ）を参照する。基板収納容器１の外形は略直方体である。基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収容可能である。「基板Ｗ」は、例えば、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板、光ディスク用の基板、磁気ディスク用の基板、光磁気ディスク用の基板などである。
　基板収納容器１は、筐体２と蓋３とを備えている。蓋３は筐体２の前面に取り付けられる。図１（ｂ）に示すように、筐体２の前面には開口Ａが形成されている。蓋３は開口Ａを開閉する。開口Ａは、略垂直な仮想面である。蓋３が筐体２に着脱するとき、蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、開口Ａと略直交する前後方向に移動する。前後方向は略水平である。筐体２の内部には、基板Ｗを収容するための空間Ｓ（図２（ａ）乃至２（ｃ）参照）が形成されている。基板収納容器１は少なくとも１枚の基板Ｗを収納可能に構成されている。基板収納容器１は標準的には２５枚の基板Ｗを収納する。以下では便宜上、基板Ｗを３枚まで収納可能な基板収納容器１を例にとって説明する。
　図１（ａ）、（ｂ）に加えて、図２（ａ）乃至２（ｃ）を参照する。筐体２は、上板部４と底板部５と右側壁部６と左側壁部７と後壁部８とを有する。各部４乃至８は、上述した空間Ｓを画定する。図２（ａ）では、図示の便宜上、上板部４と底板部５の図示を省略している。図２（ｂ）では右側壁部６と左側壁部７の図示を省略している。図２（ｃ）では後壁部８の図示を省略している。
　以下では、前後方向のうち、後壁部８から開口Ａに向かう方向を、適宜に「前方向」と呼び、前方向と反対の方向を「後方向」と呼ぶ。
　筐体２の内部には、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃはそれぞれ基板Ｗを１枚ずつ載置する。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗを略水平姿勢で下方向から支持する。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗの下面と接触する。なお、本明細書において「基板Ｗの下面」とは基板Ｗの下部周縁を含む概念である。棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃ上の各基板Ｗは、上下方向に並ぶ。以下では、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃを特に区別しない場合には、単に「棚部材１１」と呼ぶ。後述するように、基板収納容器１の外部に設けられる保持アーム４７ａは、各棚部材１１に基板Ｗを搬入し、各棚部材１１から基板Ｗを搬出する。基板Ｗを搬入するときは、保持アーム４７ａは、各棚部材１１の上方の位置に進入し、僅かに下降することによって、各棚部材１１上に基板Ｗを載置する。また、基板Ｗを搬出するときは、保持アーム４７ａは、各棚部材１１の下方の位置に進入し、僅かに上昇することによって、各棚部材１１上の基板Ｗを保持する（図４（ａ）、４（ｂ）参照）。このため、各棚部材１１の上方および下方には、保持アーム４７ａが安全に進入できる（例えば、保持アーム４７ａが基板Ｗや棚部材１１と衝突することなく進入できる）クリアランスが設けられている。また、各棚部材１１の上下方向の間隔は、保持アーム４７ａが安全に進入できるように設定されている。
　本実施例では、各棚部材１１は右棚部材１２と左棚部材１３とを含む。右棚部材１２と左棚部材１３とは互いに分離されている。右棚部材１２は右側壁部６から張り出しており、左棚部材１３は左側壁部７から張り出している。
　筐体２の内部には、さらに、筐体用支持ブロック１４が設けられている。筐体用支持ブロック１４には、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃが形成されている。筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、基板Ｗの端部を支持する。より詳細には、各筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、基板Ｗの後部の端部を支持する。ここで、「基板Ｗの後部」は、後壁部８に近い基板Ｗの部分である。なお、筐体２内にある基板Ｗの、開口Ａに近い部分を「基板Ｗの前部」と適宜に言う。以下、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃを特に区別しない場合には、単に「筐体用支持部材１６」と呼ぶ。
　筐体用支持部材１６の材質は、例えば、樹脂である。各筐体用支持部材１６には、１つの溝部１７が形成されている。図２（ｂ）に示すように、溝部１７は後方向に凹んでいる。溝部１７は例えば、側面視で横向きの略「Ｖ」の字形状を呈する。
　溝部１７は下傾斜部１７ａと最奥部１７ｂと上傾斜部１７ｃを有する。下傾斜部１７ａは最奥部１７ｂの下側に隣接しており、上傾斜部１７ｃは最奥部１７ｂの上側に隣接している。
　基板収納容器１は、さらに、筐体用昇降機構３１を備えている。筐体用昇降機構３１は、筐体２内に設けられている。筐体用昇降機構３１は、筐体２に対して筐体用支持部材１６を昇降させる。筐体用昇降機構３１は、バネ３２と筐体用連結板３３と２つの可動台３４と２本のロッド３５とを備える。
　バネ３２は、筐体用支持ブロック１４を筐体２に対して昇降可能に支持する。バネ３２の一端は後壁部８に連結されており、バネ３２の他端は筐体用支持ブロック１４に連結されている。バネ３２は、筐体用支持部材１６が上昇することによって屈曲変形する。バネ３２が屈曲変形している状態では、バネ３２は筐体用支持部材１６を下方向に押圧する。
　筐体用連結板３３は、筐体用支持ブロック１４（筐体用支持部材１６ｃ）の底面に連結されている。筐体用連結板３３は、筐体用支持ブロック１４から下方に延びている。筐体用連結板３３は筐体用支持部材１６と一体に動く。
　可動台３４は、筐体２の内部に移動可能に設けられている。可動台３４は、例えば、底板部５上を摺動可能である。可動台３４は傾斜面３４ａを有する（図２（ｂ）参照）。傾斜面３４ａは、前後方向に対して傾斜している。本実施例では、傾斜面３４ａは、後方向に向かって低くなるように傾斜している。傾斜面３４ａは、筐体用連結板３３と摺動可能に接触している。
　ロッド３５は、筐体２の内部に移動可能に設けられている。ロッド３５は、例えば、底板部５上を前後方向に摺動可能である。ロッド３５の一端である後端は可動台３４に連結されている。可動台３４とロッド３５とは一体に移動する。各ロッド３５の軸心は前後方向と平行である。各ロッド３５の他端である前端は、開口Ａの近傍まで延びている。ロッド３５の前端は、蓋３と当接可能である。
　可動台３４およびロッド３５の前後動と、筐体用連結板３３および筐体用支持部材１６の上下動は、連動している。蓋３がロッド３５と当接していないときの筐体用支持部材１６の高さは、蓋３がロッド３５と当接しているときの筐体用支持部材１６の高さと同等以下である。ここで、蓋３がロッド３５と当接していないときの筐体用支持部材１６の位置を、「下方位置」と呼ぶ。図２（ｂ）は、下方位置にある筐体用支持部材１６を明示する。筐体用支持部材１６が下方位置にある状態では、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの最奥部１７ｂの位置はそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに略水平に載置される基板Ｗの端部と略同じ高さに設定されている。
　図３（ａ）、３（ｂ）を参照する。蓋３が筐体２に装着されている状態において、筐体２の内部（すなわち、空間Ｓ）と接する蓋３の面を「裏面３ｂ」と呼ぶ。裏面３ｂには、蓋用支持ブロック２１が固定されている。蓋用支持ブロック２１には、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃが形成されている。蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、基板Ｗの端部を支持する。より詳細には、各蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、基板Ｗの前部の端部を支持する。このように、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃが支持する基板Ｗの端部は、筐体用支持部材１６が支持する基板Ｗの端部と、基板Ｗの中心を挟んで対向していることが好ましい。
　蓋用支持部材２３の材質は、例えば、樹脂である。より好ましくは、蓋用支持部材２３の材質は、弾力性を有する樹脂である。蓋用支持部材２３は、筐体用支持部材１６と同様な形状を有している。すなわち、各蓋用支持部材２３には、溝部２４が形成されている。各溝部２４は下傾斜部２４ａと最奥部２４ｂと上傾斜部２４ｃを有する。
　図５（ａ）乃至５（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａと向かい合っているとき、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃの最奥部２４ｂの位置はそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と略同じ高さに設定されている。以下、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃを特に区別しない場合には、単に「蓋用支持部材２３」と呼ぶ。
　２．ロードポート装置および基板処理装置の構成
　図４（ａ）、４（ｂ）を参照して、基板収納容器１が適用される基板処理装置４１を説明する。基板処理装置４１は、ロードポート部４２と処理部４３を備えている。ロードポート部４２は、複数のロードポート４２０、４２１、４２２を有している。各ロードポート４２０、４２１、４２０はそれぞれ載置台４４と蓋開閉機構４５とを備えている。載置台４４は基板収納容器１を載置する。蓋開閉機構４５は、載置台４４に載置された基板収納容器１を開閉する。蓋開閉機構４５は、シャッター部材４５ａとシャッター部材用駆動機構４５ｂとを備える。シャッター部材４５ａは載置台４４上の基板収納容器１の蓋３を着脱するとともに、基板収納容器１から取り外した蓋３を保持する。蓋開閉機構４５が蓋３を取り外すとき、シャッター部材用駆動機構４５ｂはシャッター部材４５ａを位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の順に移動させる（図４（ｂ）参照）。シャッター部材４５ａが位置Ｐ１と位置Ｐ２との間で移動するとき、シャッター部材４５ａは、蓋３を開口Ａと向かい合わせたままで、蓋３を前後方向に移動させることができる。ロードポート装置４２０、４２１、４２２は、本発明におけるロードポート装置の例である。
　処理部４３は、搬送機構４７と処理ユニット４８を備える。搬送機構４７は、基板Ｗを搬送する。搬送機構４７は、載置台４４に載置された基板収納容器１にアクセスする。さらに、搬送機構４７は、処理ユニット４８にアクセスする。搬送機構４７は、基板Ｗを保持するための保持アーム４７ａと、保持アーム４７ａを移動させるための保持アーム用駆動機構４７ｂを備えている。処理ユニット４８は基板Ｗに洗浄処理などの処理を行う。
　３．動作例
　次に、実施例１に係る基板収納容器１の動作例を説明する。以下では、まず、蓋３が筐体２から取り外されている状態を説明する。続いて、蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例と、蓋３を筐体２から取り外すときの動作例を説明する。最後に、基板収納容器１から基板Ｗを搬出する動作例を簡単に説明する。
　３．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
　図４（ａ）、４（ｂ）を参照する。載置台４４には、基板収納容器１が載置されている。蓋３は筐体２から取り外されており、基板収納容器１は開放されている。基板収納容器１の蓋３は、例えば、位置Ｐ２または位置Ｐ３において、シャッター部材４５ａに保持されている。ロッド３５は、蓋３と接触していない。
　図５（ａ）を参照して、より詳細に説明する。図５（ａ）は、蓋３が筐体２から取り外されている状態を示す。各基板Ｗは第１の支持態様で支持されている。ここで、「第１の支持態様」とは、棚部材１１による基板Ｗの支持である。より詳しく言えば、第１の支持態様とは、棚部材１１が基板Ｗの下面と接触した状態で、棚部材１１が基板Ｗを支持することである。
　筐体用支持部材１６は下方位置にある。筐体用支持部材１６は基板Ｗの端部を支持している。より具体的には、筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは、基板Ｗの後部の端部と接触している。このように、基板Ｗが第１の支持態様で支持されているとき、基板Ｗはさらに筐体用支持部材１６に支持されていてもよい。筐体用連結板３３は可動台３４の傾斜面３４ａと接触している。
　３．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
　図４（ｂ）を参照する。シャッター部材４５ａは、蓋３を保持して、位置Ｐ２から位置Ｐ１に移動する。これにより、蓋３が筐体２に取り付けられる。図５（ａ）乃至５（ｃ）を参照して、シャッター部材４５ａによる蓋３の装着過程を詳細に説明する。なお、図５（ｂ）は、蓋３が筐体２に着脱する動作の途中の場面を示す。図５（ｃ）は、蓋３が筐体２に装着されている状態を示す。
　蓋３が、開口Ａと向かい合ったまま、図５（ａ）に示す位置から後方向に移動する。蓋３が、図５（ｂ）に示す位置に到達すると、蓋３の裏面３ｂがロッド３５の前端と接触する。
　蓋３が図５（ｂ）に示す位置から後方向にさらに移動すると、蓋３がロッド３５および可動台３４を後方向に押す。ロッド３５および可動台３４は筐体２の底板部５上を後方向に移動し始める。可動台３４の後退によって、傾斜面３４ａと接触している筐体用連結板３３は上方に押し上げられる。すなわち、筐体用連結板３３は傾斜面３４ａに沿って上昇する。筐体用連結板３３の上昇によって、筐体用支持部材１６がバネ３２の作用に抗して下方位置から上昇する。筐体用支持部材１６の上昇によって、バネ３２は弾性変形する。筐体用支持部材１６は、各基板Ｗの後部の端部を支持したまま、基板Ｗを持ち上げる。これにより、基板Ｗの後部が上昇し、棚部材１１から浮き始める。ここで、筐体用支持部材１６が基板Ｗを持ち上げるとき、基板Ｗの端部は最奥部１７ｂと接触したままである。すなわち、筐体用支持部材１６が基板Ｗを持ち上げる動作では、基板Ｗと筐体用支持部材１６とが互いに摺動しない。このため、基板Ｗと筐体用支持部材１６との間でパーティクルが発生することを抑制できる。
　次に、図５（ｃ）を参照する。蓋３がさらに後方向に移動することによって、蓋３は開口Ａに到達し、筐体２に装着される。蓋用支持部材２３は蓋３と一体に後方向に移動し、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが基板Ｗの前部の端部と接触する。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は、基板Ｗの端部を最奥部１７ｂ、２４ｂで挟むように支持する（以下、適宜に「挟持する」という）。蓋用支持部材２３が基板Ｗと接触し始めるタイミングは、蓋３の装着が完了する時点と同時でもよいし、蓋３の装着が完了する時点よりも前であってもよい。
　このように蓋３が筐体２に装着されると、基板Ｗは第２の支持態様で支持される。「第２の支持態様」とは、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とによる基板Ｗの支持である。より詳しく言えば、第２の支持態様は、棚部材１１が基板Ｗの下面と接触していない状態で、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とが基板Ｗを支持することである。本実施例では、基板Ｗが第２の支持態様で支持されているとき、基板Ｗは前下がりに傾斜している。
　図５（ｃ）に示すように、蓋３が筐体２に装着されている状態における筐体用支持部材１６の位置を「上方位置」と呼ぶ。基板Ｗは第２の支持態様で支持されているとき、筐体用支持部材１６が上方位置にある。筐体用支持部材１６の上方位置（図５（ａ）参照）と下方位置（図５（ｃ）参照）との高低差は、上下方向に隣り合う棚部材１１同士の間隔よりも小さい。ここで、棚部材１１同士の間隔は、具体的には、棚部材１１ａ、１１ｂの上下方向の距離や、棚部材１１ｂ、１１ｃの上下方向の距離であり、以下では、適宜に、「棚部材１１のピッチ」という。
　３．３．蓋３が筐体２から取り外される（離脱する）ときの動作例
　図４（ｂ）を参照する。シャッター部材４５ａは、位置Ｐ１に移動し、筐体２に装着されている蓋３を保持する。シャッター部材４５ａは、蓋３を保持したまま、位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動する。これにより、蓋３が筐体２から取り外される。以下、具体的に説明する。
　図５（ｃ）、５（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａから前方向に移動すると、筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を下降させる。具体的には、蓋３が前方向に移動すると、可動台３４とロッド３５が前方向に移動することが許容される。ここで、筐体用支持部材１６および筐体用連結板３３に働く重力とバネ３２の復元力が筐体用連結板３３を下方向に押圧しており、筐体用連結板３３を下方向に押圧する力の一部が可動台３４とロッド３５を前方向に押圧している。このため、蓋３が前方向に移動すると、可動台３４とロッド３５は前方向に押し出される。可動台３４が前方向に移動することによって、筐体用支持部材１６と筐体用連結板３３とは下降し、バネ３２は復元する。
　筐体用支持部材１６の下降によって、筐体用支持部材１６は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを下ろす。換言すれば、筐体用支持部材１６は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。筐体用支持部材１６が下方位置まで下降すると、筐体用支持部材１６は基板Ｗを棚部材１１に載置する。これにより、基板Ｗの支持態様が、第２の支持態様から第１の支持態様に移行する。他方、蓋用支持部材２３は、蓋３と一体に前方向に移動する。蓋用支持部材２３の前進によって、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂは、基板Ｗから離れる。
　蓋３が前方向にさらに移動すると、図５（ａ）に示すように、蓋３はロッド３５から離れる。
　３．４．基板収納容器１から基板Ｗを搬出する動作例
　図４（ａ）、４（ｂ）を参照する。筐体２は開放されている。筐体２内の全ての基板Ｗは、第１の支持態様で支持されている。蓋３とシャッター部材４５ａは、位置Ｐ３に位置している。保持アーム４７ａは筐体２の内部に進入する。具体的には、保持アーム４７ａは、搬出しようとする基板Ｗが載置されている棚部材１１の下方の位置に進入する。そして、保持アーム４７ａが僅かに上昇し、１枚の基板Ｗを棚部材１１から浮かせて保持する。その後、保持アーム４７ａは、基板Ｗを保持したまま、筐体２の外部に退出する。このように、搬送機構４７は、基板収納容器１内の基板Ｗを搬出する。そして、保持アーム４７ａは、その基板Ｗを処理ユニット４８に搬送する。
　４．実施例１の効果
　第１の支持態様から第２の支持態様に移行する動作では、筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を上昇させる。筐体用支持部材１６は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第２の支持態様から第１の支持態様に移行する動作では、筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を下降させる。筐体用支持部材１６は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、基板Ｗと筐体用支持部材１６との間でパーティクルが発生することを抑制できる。その結果、基板Ｗにパーティクルが付着することを抑制できる。また、基板収納容器１内の雰囲気を清浄に保つことができる。
　筐体用昇降機構３１は、蓋３を筐体２に着脱する動きに連動して、筐体用支持部材１６を昇降させる。すなわち、筐体用昇降機構３１は、蓋３の動きを利用して、筐体用支持部材１６を昇降させる。よって、筐体用昇降機構３１は、筐体用支持部材１６を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、蓋３を筐体２に着脱するタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
　具体的には、蓋３を筐体２に取り付ける動きに連動して筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を上昇させる。その結果、蓋３が筐体２に装着された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。よって、蓋３が筐体２に装着された状態では、基板Ｗを好適に保護しつつ、基板収納容器１を輸送できる。また、蓋３が筐体２から離脱する動きに連動して筐体用昇降機構３１は筐体用支持部材１６を下降させる。その結果、蓋３が筐体２から外れている状態では基板Ｗは第１の支持態様で支持される。よって、蓋３が筐体２から外れている状態では、筐体２内から基板Ｗを好適に搬出できる。
　筐体用昇降機構３１は可動台３４を備えている。蓋３を筐体２に取り付ける動きによって可動台３４は後方向に移動し、可動台３４の後退によって筐体用支持部材１６は上昇する。また、蓋３が筐体２から取り外される動きによって可動台３４は前方向に移動し、可動台３４の前進によって筐体用支持部材１６は下降する。このように、可動台３４は、蓋３の動きと筐体用支持部材１６の昇降とを好適に連動させることができる。
　可動台３４は、傾斜面３４ａを備えているので、蓋３の前後方向の動きと筐体用支持部材１６の上下方向の動きとを好適に連動させることができる。例えば、蓋３を筐体２に取り付ける動作では、可動台３４は、蓋３から後方向の力を受け、この力を上方向の力に変換し、変換した上方向の力によって筐体用支持部材１６を上昇させる。また、第２の支持態様で基板Ｗを支持する状態では、筐体用支持部材１６の自重は、可動台３４に受け止められるので、基板Ｗに作用しない。すなわち、第２の支持態様で基板Ｗを支持する状態では、筐体用支持部材１６は基板Ｗに不要な力を加えない。よって、基板Ｗを一層適切に保護できる。
　ロッド３５は、可動台３４に連結されており、かつ、蓋３と当接可能であるので、蓋３の動きを可動台３４に伝えることができる。また、ロッド３５は、基板Ｗを介さずに、蓋３の動きを可動台３４に伝える。よって、蓋３を筐体２に着脱する動作において、不必要な力が基板Ｗに加わるおそれがなく、基板Ｗを損傷させるおそれがない。
　筐体用昇降機構３１はバネ３２を備えている。バネ３２は筐体用支持部材１６を下方向に押圧するので、バネ３２は筐体用支持部材１６の上方向の移動を安定させることができる。また、バネ３２が蓄積する復元力は、筐体用支持部材１６の下降を促進するために利用される。よって、筐体用昇降機構３１は、筐体用支持部材１６を円滑に昇降させることができる。言い換えれば、バネ３２は、蓋３の動きと筐体用支持部材１６の昇降とを一層円滑を連動させることができる。
　蓋用支持部材２３が基板Ｗと接触する部位は、最奥部２４ｂのみであり、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、蓋用支持部材２３は基板Ｗと摺動しない。よって、蓋用支持部材２３と基板Ｗとの間においても、パーティクルの発生を抑制できる。
　蓋用支持部材２３の材質が弾力性を有する樹脂である場合、蓋用支持部材２３は基板を的確に保持できる。
　また、ロードポート装置４２０、４２１、４２２は、基板収納容器１を好適に載置できる。
　基板処理装置４１は、基板収納容器１に収容される基板Ｗに対して液処理や熱処理などの処理を行うことができる。
　以下、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
　１．基板収納容器の構成
　図６（ａ）、６（ｂ）を参照する。図６（ａ）、６（ｂ）では、左側の図が側面図であり、右側の図が正面図である。
　基板収納容器１は筐体用案内機構５１を備える。筐体用案内機構５１は、筐体２内に設けられている。筐体用案内機構５１は、筐体２に対して筐体用支持部材１６を昇降可能に案内する。筐体用案内機構５１は、連結バー５２と案内部材５３を備える。
　連結バー５２は筐体用支持ブロック１４（筐体用支持部材１６）に固定されている。連結バー５２は、平板形状（換言すれば、帯形状）を有する。案内部材５３は筐体２（後壁部８）に固定されている。案内部材５３は、連結バー５２を挿入するための孔を有している。孔は前後方向に対して傾斜している。より詳しくは、孔は、後方向ほど高くなるように傾斜している。連結バー５２は孔に挿入されている。連結バー５２は、孔に沿って平行移動可能であるが、連結バー５２は、その軸心回りに回転不能である。連結バー５２が案内部材５３に対して摺動することによって、筐体用支持部材１６は筐体２に対して昇降しながら前後動する。すなわち、筐体用案内機構５１が筐体用支持部材１６を案内する方向は、上下方向の成分と前後方向の成分を含む。
　以下では、筐体用支持部材１６が移動可能な最も低い位置を「下方位置」と呼び、筐体用支持部材１６が移動可能な最も高い位置を「上方位置」と呼ぶ。図６（ａ）は、筐体用支持部材１６の下方位置を示し、図６（ｂ）は筐体用支持部材１６の上方位置を示す。
　図７（ａ）乃至７（ｃ）を参照して、棚部材１１と筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との位置関係を説明する。筐体用支持部材１６が下方位置にある状態では、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの最奥部１７ｂはそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と略同じ高さである。筐体用支持部材１６の下方位置および上方位置の高低差は、棚部材１１のピッチより小さい。蓋３が開口Ａと向かい合っている状態において、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃの下傾斜部２４ａがそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と接触できるように、筐体用支持部材１６が配置されている。
　２．動作例
　２．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
　図７（ａ）を参照する。蓋３は、例えば図７（ａ）に示す位置にある。基板Ｗは、第１の支持態様で支持されている。筐体用支持部材１６は下方位置にある。筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは、基板Ｗの後部の端部と接触している。
　２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
　蓋３が、例えば図７（ａ）に示す位置から、後方向に移動する。蓋３が、図７（ｂ）に示す位置に到達すると、蓋用支持部材２３の下傾斜部２４ａが基板Ｗの前部の端部と接触する。
　蓋３がさらに後方向に移動すると、蓋用支持部材２３が基板Ｗを後方向に押す。これにより、基板Ｗの前部の端部が蓋用支持部材２３の下傾斜部２４ａを滑り上がるとともに、基板Ｗは後方向に移動する。基板Ｗの後方向への移動により、基板Ｗは筐体用支持部材１６を後方向に押す。筐体用支持部材１６は、筐体用案内機構５１に従って下方位置から上昇する。
　筐体用支持部材１６の上昇によって、筐体用支持部材１６は、基板Ｗを最奥部１７ｂで支持したまま、基板Ｗを持ち上げる。基板Ｗの前部の端部は、下傾斜部２４ａを滑り上がる。
　図７（ｃ）を参照する。蓋３はさらに後方向移動し、蓋３が筐体２に装着される。筐体用支持部材１６は、基板Ｗを支持したまま、上方位置まで上昇する。基板Ｗの前部の端部は最奥部２４ｂに達する。このように蓋３を筐体２に取り付ける動作が完了すると、基板Ｗは第２の支持態様で支持される。本実施例では、基板Ｗが第２の支持態様で支持されている状態では、基板Ｗは略水平姿勢である。
　２．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
　図７（ｃ）、７（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａ（すなわち、図７（ｃ）に示す位置）から前方向に移動する。蓋用支持部材２３は蓋３と一体に前方向に移動する。これにより、筐体用支持部材１６は自重によって、基板Ｗを前方向に押しながら、下降する。具体的には、筐体用支持部材１６は、筐体用案内機構５１に従って上方位置から下方位置に移動する。筐体用支持部材１６の下降によって、筐体用支持部材１６は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを下ろす。また、基板Ｗの前部の端部は、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂから外れ、下傾斜部２３ａを滑り落ちる。これにより、基板Ｗは棚部材１１に載置される。すなわち、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
　蓋３が前方向にさらに移動すると、図７（ａ）に示すように、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
　３．実施例２の効果
　第１の支持態様から第２の支持態様に移行するとき、筐体用支持部材１６は筐体用案内機構５１に従って上昇する。これにより、筐体用支持部材１６は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを持ち上げる。第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、筐体用支持部材１６は筐体用案内機構５１に従って下降する。これにより、筐体用支持部材１６は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを下ろす。よって、第１の支持態様に移行する動作、および、第２の支持態様に移行する動作では、基板Ｗと筐体用支持部材１６とが互いに摺動しないので、基板Ｗと筐体用支持部材１６との間における発塵を抑制できる。
　筐体用支持部材１６は、蓋３が筐体２に着脱される動作に連動して、昇降する。すなわち、筐体用支持部材１６は、蓋３の動きを利用して、昇降する。よって、基板収納容器１は、筐体用支持部材１６を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、蓋３を筐体２に着脱するタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
　筐体用支持部材１６は、蓋３を筐体２に取り付ける動作に連動して上昇するので、蓋３が筐体２に装着された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。よって、基板収納容器１が閉塞されている状態では、基板収納容器１を好適に輸送できる。また、筐体用支持部材１６は、蓋３が筐体２から離脱する動作に連動して、下降するので、蓋３が筐体２から外れている状態では、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。よって、基板収納容器１が開放されている状態では、基板収納容器１から基板Ｗを好適に搬出できる。
　蓋３（蓋用支持部材２３）の動きによって基板Ｗが動き、基板Ｗの動きによって筐体用支持部材１６が昇降する。このように、基板Ｗが、蓋３の動きを利用して、筐体用支持部材１６を昇降させる。よって、基板収納容器１は実施例１の筐体用昇降機構３１のような機構を備える必要がなく、基板収納容器１の構造を簡素化できる。
　筐体用支持部材１６は筐体用案内機構５１に従って移動するので、筐体用支持部材１６の下方位置を一定に保つことができる。例えば、筐体用支持部材１６が昇降するたびに、筐体用支持部材１６の下方位置が水平方向に変動することを好適に防止できる。よって、筐体用支持部材１６が下降するときはいつも、筐体用支持部材１６は同じ位置に基板Ｗを下ろすことができる。よって、第１の支持態様に移行するときにはいつも、棚部材１１上の基板Ｗの位置を一定に保つことができる。すなわち、第１の支持態様に移行するたびに、基板Ｗの位置がばらつくことを防止できる。これにより、筐体２内から基板Ｗを一層好適に搬出できる。
　案内部材５３が有する孔は、前後方向に対して傾斜している。よって、案内部材５３は、蓋３の前後動を筐体用支持部材１６の上下動に好適に変換できる。さらに、連結バー５２が孔に挿入されているので、筐体用支持部材１６が連結バー５２の軸心回りに回転することを好適に防止できる。
　筐体用案内機構５１が筐体用支持部材１６を案内する方向は、上下方向の成分のほかに、前後方向の成分を含む。このように、筐体用支持部材１６は水平方向（前後方向）に移動可能に設けられている。よって、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔（厳密には、最奥部１７ｂと最奥部２４ｂとの間隔）を、基板Ｗの外形寸法に一致させることができる。よって、基板Ｗの外形寸法にばらつきや誤差がある場合であっても、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは基板Ｗを第２の支持態様で好適に支持できる。
　第２の支持態様で基板Ｗを支持するとき、筐体用支持部材１６は、その自重によって、基板Ｗを蓋用支持部材２３に押し付けている。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを適度に押圧した状態で基板Ｗを挟持できる。また、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔が、基板Ｗの外形寸法と一致するように、自ずと追従変動する。これにより、第２の支持態様に円滑に移行できる。
　以下、図面を参照して本発明の実施例３を説明する。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
　１．基板収納容器の構成
　図８を参照する。筐体用支持ブロック１４は固定アーム１５を介して筐体２に固定されている。筐体用支持部材１６は、筐体２に対して移動不能である。筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの下傾斜部１７ａがそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と接触できるように、筐体用支持部材１６が配置されている。
　図９（ａ）、９（ｂ）を参照する。図９（ａ）、９（ｂ）はそれぞれ、蓋３の正面図と側面図を示す。基板収納容器１は、ロック機構６１と蓋用昇降機構６５とを備える。
　ロック機構６１は、蓋３を筐体２に固定する。ロック機構６１は、キー溝６２とギヤ６３と結合部材６４とを備える。キー溝６２は、蓋３の表面に配置されている。キー溝６２には、ロック機構６１を操作するためのキーが挿入される。ギヤ６３は、キーの操作に応じて正逆両方向に回転する。結合部材６４は、ギヤ６３に連動連結されている。結合部材６４は、ギヤ６３の回転によって退避位置と突出位置との間で移動する。退避位置では、結合部材６４の全体が蓋３の内部に収まる（図９（ａ）参照）。突出位置では、結合部材６４の一部が蓋３の外部に突出する（図９（ｂ）参照）。
　蓋開閉機構４５は、ロック機構６１を動作させる。具体的には、蓋開閉機構４５はキー（不図示）を備え、キーをキー溝６２に挿入してロック機構６１を操作する。筐体２は、突出位置にある結合部材６４と凹凸結合可能な凹部（不図示）を有する。蓋３が筐体２に装着されているときに結合部材６４が突出位置に移動すると、結合部材６４が凹部と結合し、蓋３は筐体２に固定される。すなわち、蓋３は筐体２から離脱不能になる。蓋３が筐体２に装着されているときに結合部材６４が退避位置に移動すると、結合部材６４は凹部から離脱し、蓋３は筐体２に対する蓋３の固定が解除される。すなわち、蓋３は筐体２から離脱可能になる。
　蓋用昇降機構６５は、ロック機構６１の動作と連動して、蓋用支持部材２３を蓋３に対して昇降させる。蓋用昇降機構６５は、ギヤ６６とラック６７とを備える。ギヤ６６は、ギヤ６３と噛み合う。ラック６７は、ギヤ６６と連動連結されている。ギヤ６３が回転すると、ギヤ６６が回転し、ラック６７が上下方向に移動する。このように、蓋用昇降機構６５はロック機構６１と連動連結されている。
　ラック６７には、蓋用支持ブロック２１が固定されている。結合部材６４が突出位置に移動するとき、蓋用支持部材２３は上昇する。結合部材６４が退避位置に移動するとき、蓋用支持部材２３は下降する。ここで、結合部材６４が退避位置にあるときの蓋用支持部材２３の位置を、「下方位置」と呼ぶ。結合部材６４が突出位置にあるときの蓋用支持部材２３の位置を、「上方位置」と呼ぶ。
　図１０（ａ）乃至１０（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａと向かい合い、かつ、蓋用支持部材２３が下方位置にあるとき、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃの最奥部２４ｂは、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と略同じ高さである。蓋用支持部材２３の下方位置および上方位置の高低差は、棚部材１１のピッチより小さい。
　２．動作例
　２．１．蓋３が筐体２から外れている状態
　図１０（ａ）を参照する。蓋３は、例えば実線で示す位置にある。基板Ｗは、第１の支持態様で支持されている。結合部材６４は退避位置にあり、蓋用支持部材２３は下方位置にある。筐体用支持部材１６は、下傾斜部１７ａで基板Ｗと接触している。
　２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
　図１０（ａ）を参照する。蓋３が、例えば実線で示す位置から、後方向に移動する。蓋３が点線で示す位置に到達すると、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが基板Ｗの前部の端部と接触する。
　図１０（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。蓋用支持部材２３が基板Ｗを後方向に押す。これにより、基板Ｗの後部の端部は、下傾斜部１７ａを滑り上がり、最奥部１７ｂに至る。基板Ｗの前部の端部は、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂで支持されたままである。
　図１０（ｃ）を参照する。ロック機構６１が蓋３を筐体２に固定する。具体的には、結合部材６４が退避位置から突出位置に移動し、蓋３を筐体２に固定する。このようなロック機構６１の動き（結合部材６４の移動）に連動して、蓋用昇降機構６５は、蓋用支持部材２３を下方位置から上方位置に上昇させる。これにより、蓋用支持部材２３は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを持ち上げる。基板Ｗは、棚部材１１の上方に浮き、第２の支持態様で支持される。
　２．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
　蓋３が筐体２から離脱するとき、図１０（ｃ）に示す状態から図１０（ｂ）に示す状態を経由して図１０（ａ）に示す状態に遷移する。以下、簡単に説明する。
　図１０（ｃ）、１０（ｂ）を参照する。結合部材６４が突出位置から退避位置に移動し、ロック機構６１が蓋３の固定を解除する。このようなロック機構６１の動き（結合部材６４の移動）に連動して、蓋用昇降機構６５は蓋用支持部材２３を下降させる。蓋用支持部材２３の下降により、蓋用支持部材２３は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを下ろす。
　図１０（ａ）を参照する。蓋３が開口Ａから点線で示す位置まで前進する。基板Ｗの後部の端部は、最奥部１７ｂから外れ、下傾斜部１７ａを滑り落ちる。その結果、基板Ｗは棚部材１１上に載置される。すなわち、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。蓋３が点線で示す位置から前方向にさらに移動すると、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
　３．実施例３の効果
　第２の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構６５は蓋用支持部材２３を上昇させる。これにより、蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第１の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構６５は蓋用支持部材２３を下降させる。これにより、蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、第１、第２の支持態様にそれぞれ移行するとき、基板Ｗと蓋用支持部材２３との間における発塵を抑制できる。
　蓋用昇降機構６５は、蓋３を筐体２に固定する動きおよび筐体２に対する蓋３の固定を解除する動きに連動して、蓋用支持部材２３を筐体２に対して昇降させる。よって、蓋用昇降機構６５は、蓋用支持部材２３を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、筐体２に対する蓋３の固定およびその解除を行うタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
　具体的には、蓋３を筐体２に固定する動きに連動して、蓋用昇降機構６５は蓋用支持部材２３を上昇させる。これにより、蓋３が筐体２に固定された状態では基板Ｗを第２の支持態様で支持できる。また、筐体２に対する蓋３の固定を解除する動きに連動して、蓋用昇降機構６５は蓋用支持部材２３を下降させる。これにより、蓋３が筐体２に固定されていない状態では基板Ｗを第１の支持態様で支持できる。よって、蓋３が筐体２に固定された状態では、基板収納容器１を好適に輸送できる。また、蓋３が筐体２に固定されていない状態では、蓋３を取り外せば、基板収納容器１から基板Ｗを好適に搬出できる。
　蓋用昇降機構６５は、ロック機構６１に連動連結され、ロック機構６１の動作を利用して蓋用支持部材２３を昇降させる。よって、蓋用昇降機構８５の構造を簡素化でき、小型化できる。
　また、蓋用昇降機構６５が蓋用支持部材２３を昇降させる方向は、水平方向の成分を含んでいない。よって、蓋用支持部材２３が基板Ｗを昇降するとき、基板Ｗの位置が水平方向にずれるおそれがない。よって、蓋用支持部材２３の下方位置を一定に保つことができる。よって、第１の支持態様に移行するときにはいつも、棚部材１１上の基板Ｗの位置を一定に保つことができる。
　以下、図面を参照して本発明の実施例４を説明する。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
　１．基板収納容器の構成
　図１１（ａ）乃至１１（ｄ）を参照する。基板収納容器１は、蓋用昇降機構７１と蓋用案内機構７７を備えている。蓋用昇降機構７１は、蓋３に対して蓋用支持部材２３を昇降させる。蓋用案内機構７７は、蓋用支持部材２３を案内する。
　蓋用昇降機構７１は蓋用連結板７２を備える。蓋用連結板７２は、蓋用支持ブロック２１（蓋用支持部材２３）に固定されている。蓋用連結板７２は、蓋用支持ブロック２１から下方に延びている。蓋用連結板７２は蓋用支持部材２３と一体に動く。
　図１２（ａ）を参照する。蓋用昇降機構７１は、さらに固定台７３を備えている。固定台７３は、筐体２の内部に固定されている。具体的には、固定台７３は底板部５上に、筐体２に対して移動不能に設置されている。固定台９３は、蓋用連結板７２と接触可能な位置に配置されている。固定台７３は、蓋用連結板７２と接触して蓋用連結板７２を案内可能な傾斜面７３ａを有する。傾斜面７３ａは前後方向に対して傾斜している。本実施例では、傾斜面７３ａは、後方向に向かって高くなるように傾斜している。
　実施例４では、筐体用支持部材１６は、筐体２（後壁部８）に直接的に固定されている。筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの下傾斜部１７ａがそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と接触できるように、筐体用支持部材１６が配置されている。
　図１１（ｂ）乃至１１（ｄ）を参照する。蓋用昇降機構７１は、さらにバネ７４を備えている。バネ７４は、例えば、圧縮コイルバネである。バネ７４の一端は蓋３（裏面３ｂ）に固定され、バネ７４の他端は蓋用支持ブロック２１（蓋用支持部材２３）に連結されている。バネ７４は、蓋用支持部材２３の移動に追従して伸縮および屈曲する。具体的には、蓋用支持部材２３が蓋３に対して略水平方向に移動することによって、バネ７４は伸縮する。また、蓋用支持部材２３が蓋３に対して上下方向に移動することによって、バネ７４は屈曲する。
　ここで、略水平方向は、例えば前後方向である。例えば、蓋用支持部材２３が蓋３に近づくことによって、バネ７４は弾性変形し、蓋用支持部材２３が蓋３から遠ざかる方向の復元力を蓋用支持部材２３に作用させる。蓋３が開口Ａと向かい合っている状態では、蓋用支持部材２３が蓋３から遠ざかることによって、バネ７４は圧縮変形し、蓋用支持部材２３を筐体用支持部材１６に向かって押圧する。バネ７４は、本発明における蓋用弾性部材の例である。
　蓋用案内機構７７は、連結ピン７８と案内部材７９を備える。連結ピン７８は、蓋用支持ブロック２１（蓋用支持部材２３）に固定されている。案内部材７９は、蓋３に固定されている。案内部材７９は、連結ピン７８を挿入するための孔を有している。孔は略Ｌ字状に屈曲している。孔の一部は上下方向と平行に延びており、その他の部分は前後方向と平行に延びている。連結ピン７８は孔に挿入されている。沿連結ピン７８が案内部材７９の孔に沿って摺動することによって、蓋用支持部材２３は蓋３に対して上下動および前後動する。
　ここで、図１１（ｂ）、１１（ｃ）、１１（ｄ）に示す蓋用支持部材２３の位置をそれぞれ、「下方位置」、「上方位置」、「収縮位置」と呼ぶ。下方位置は、上方位置の真下に位置し、上方位置よりも低い。収縮位置は、上方位置と同じ高さである。蓋用案内機構７７は、下方位置と上方位置との間にわたって上下方向に蓋用支持部材２３を案内する。また、蓋用案内機構７７は、上方位置と収縮位置との間にわたって蓋用支持部材２３を前後方向に案内する。
　図１２（ａ）乃至１２（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａと向かい合い、かつ、蓋用支持部材２３が下方位置にあるとき、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃの最奥部２４ｂはそれぞれ、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃに載置される基板Ｗの端部と略同じ高さである。蓋用支持部材２３の下方位置および上方位置の高低差は、棚部材１１のピッチよりも小さい。
　２．動作例
　２．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
　図１２（ａ）を参照する。蓋３は、例えば点線で示す位置にある。基板Ｗは、第１の支持態様で支持される。蓋用支持部材２３は下方位置にある。筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａは、基板Ｗの後部の端部と接触している。
　２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
　蓋３が図１２（ａ）において実線で示す位置に移動すると、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが基板Ｗの前部の端部と接触し、蓋用連結板７２は固定台７３と接触する。
　図１２（ｂ）を参照する。蓋３がさらに後方向に移動すると、蓋用連結板７２が傾斜面７３ａを滑り上がり、蓋用支持部材２３が蓋用案内機構７７に従って上昇する。蓋用支持部材２３の上昇により、蓋用支持部材２３は基板Ｗを持ち上げる。また、蓋用支持部材２３は基板Ｗを後方向にも押す。これにより、基板Ｗの後部の端部は、筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａを滑り上がる。
　蓋用支持部材２３が上方位置に至り、かつ、基板Ｗの後部の端部が最奥部１７ｂに至ると、基板Ｗは第２の支持態様で支持される。
　図１２（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。蓋用支持部材２３は、基板Ｗから反力を受けて、蓋３に近づき、バネ７４は圧縮変形する。具体的には、蓋用支持部材２３は、蓋用案内機構７７に従って上方位置から収縮位置に移動する。なお、基板Ｗは第２の支持態様で支持されたままである。
　２．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
　蓋３が筐体２から離脱するとき、図１２（ｃ）示す状態から図１２（ｂ）に示す状態を経由して図１２（ａ）に示す状態に遷移する。以下、簡単に説明する。
　図１２（ｃ）、１２（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａから前方向に移動すると、バネ７４は復元し、蓋用支持部材２３は蓋３から遠ざかる。具体的には、蓋用支持部材２３は、蓋用案内機構７７に従って収縮位置から上方位置に移動する。
　蓋３が、図１２（ｂ）に示す位置から図１２（ａ）において点線で示す位置に移動すると、蓋用昇降機構７１が蓋用支持部材２３を下降させる。具体的には、蓋用連結板７２が傾斜面７３ａを滑り落ち、蓋用支持部材２３が蓋用案内機構７７に従って上方位置から下方位置に移動する。蓋用支持部材２３の下降により、蓋用支持部材２３は基板Ｗを下ろし、棚部材１１に基板Ｗを載置する。また、基板Ｗの後部の端部は、筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂから外れ、下傾斜部１７ａを滑り落ちる。その結果、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
　蓋３が図１２（ａ）において実線で示す位置に移動すると、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
　３．実施例４の効果
　第２の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構７１は蓋用支持部材２３を上昇させる。蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第１の支持態様に移行するとき、蓋用昇降機構７１は蓋用支持部材２３を下降させる。蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、第１、第２の支持態様にそれぞれ移行するとき、基板Ｗと蓋用支持部材２３との間における発塵を抑制できる。
　蓋用昇降機構７１は、蓋３を筐体２に着脱する動きに連動して、蓋用支持部材２３を昇降させる。すなわち、蓋用昇降機構７１は、蓋３の動きを利用して、蓋用支持部材２３を昇降させる。よって、蓋用昇降機構７１は、蓋用支持部材２３を昇降させるための動力源を備えることを要しない。また、蓋３を筐体２に着脱するタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
　蓋用昇降機構７１は、蓋３を筐体２に取り付ける動きに連動して、蓋用支持部材２３を上昇させるので、蓋３が筐体２に装着された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。また、蓋用昇降機構７１は、蓋３が筐体２から離脱する動きに連動して、蓋用支持部材２３を下降させるので、蓋３が筐体２から外れている状態では、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。よって、蓋３が筐体２に装着された状態では、基板収納容器１を好適に輸送でき、蓋３が筐体２から外れている状態では、基板収納容器１から基板Ｗを好適に搬出できる。
　固定台７３は、筐体２の内部に固定的に設けられている。固定台７３の傾斜面７３ａは、蓋３を筐体２に着脱するときに蓋用支持部材２３と（間接的に）摺動して蓋用支持部材２３を昇降させる。このような固定台７３によれば、蓋３の前後動と蓋用支持部材２３の上下動とを相互に変換できる。
　第２の支持態様で基板Ｗを支持するとき、蓋用支持部材２３の自重は、固定台７３に受け止められるので、基板Ｗに作用しない。すなわち、第２の支持態様で基板Ｗを支持するとき、蓋用支持部材２３は基板Ｗに不要な力を加えない。よって、基板Ｗを一層適切に保護できる。
　蓋用支持部材２３は水平方向（具体的には前後方向）に移動可能に設けられている。よって、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を、基板Ｗの外形寸法に一致させることができる。よって、基板Ｗの外形寸法にばらつきや誤差がある場合であっても、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは基板Ｗを第２の支持態様で好適に支持できる。
　蓋３が筐体２に装着されている状態では、バネ７４は、蓋用支持部材２３を後方向に押圧する。蓋用支持部材２３は、基板Ｗを筐体用支持部材１６に押しつける。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を、基板Ｗの外形寸法に応じて、自動的に調整できる。また、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを適度な強さで挟持できる。
　蓋用支持部材２３は蓋用案内機構７７に従って移動するので、蓋用支持部材２３の下方位置を一定に保つことができる。例えば、蓋用支持部材２３が昇降するたびに、蓋用支持部材２３の下方位置が水平方向にずれることを好適に防止できる。よって、第１の支持態様に移行するときにはいつも、棚部材１１上の基板Ｗの位置を一定に保つことができる。すなわち、第１の支持態様で支持される基板Ｗの位置がばらつくことを防止できる。
　特に、蓋用案内機構７７が下方位置と上方位置との間で蓋用支持部材２３を案内する方向は、上下方向の成分のみであり、水平方向の成分を含まない。よって、蓋用支持部材２３の下方位置が水平方向にずれるおそれがない。よって、第１の支持態様に移行するときにはいつも、棚部材１１上の基板Ｗの位置を一層確実に保つことができる。
　以下、図面を参照して本発明の実施例５を説明する。以下の説明では、実施例１、３と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
　１．基板収納容器の構成
　図１３（ａ）、１３（ｂ）を参照する。図１３（ａ）、１３（ｂ）はそれぞれ、蓋３の正面図と側面図を示す。基板収納容器１は、蓋用案内機構８１を備えている。蓋用案内機構８１は、蓋３に対して蓋用支持部材２３を昇降可能に案内する。蓋用案内機構８１は、連結ピン８２と案内部材８３を備える。連結ピン８２は、蓋用支持ブロック２１（蓋用支持部材２３）に固定されている。案内部材８３は、蓋３に固定されている。案内部材８３は、連結ピン８２を挿入するための孔を有している。孔は前後方向に対して傾斜している。より詳しくは、孔は、前方向ほど高くなるように傾斜している。連結ピン８２は孔に挿入されている。連結ピン８２が案内部材８３に対して摺動することによって、蓋用支持部材２３は蓋３に対して昇降しながら前後動する。すなわち、蓋用案内機構８１が蓋用支持部材２３を案内する方向は、上下方向の成分と前後方向の成分を含む。
　以下では、図１３（ａ）、（ｂ）に示す蓋用支持部材２３が移動可能な最も低い位置を「下方位置」と呼び、蓋用支持部材２３が移動可能な最も高い位置を「上方位置」と呼ぶ。図１３（ａ）は蓋用支持部材２３の下方位置を示し、図１３（ｂ）は蓋用支持部材２３の上方位置を示す。
　図１４（ａ）乃至１４（ｃ）を参照する。筐体用支持部材１６は、は固定アーム１５を介して筐体２に固定されている。筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と略同じ高さである。
　蓋３が開口Ａと向かい合い、かつ、蓋用支持部材２３が下方位置にあるとき、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂは、棚部材１１に載置される基板Ｗの端部と略同じ高さである。蓋用支持部材２３の下方位置および上方位置の高低差は、棚部材１１のピッチよりも小さい。
　２．動作例
　２．１．蓋３が筐体２から外れている状態
　図１４（ａ）を参照する。蓋３は、例えば図１４（ａ）に示す位置にある。基板Ｗは、第１の支持態様で支持される。筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂは基板Ｗと接触している。蓋用支持部材２３は下方位置にある。
　２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
　蓋３が図１４（ａ）に示す位置から図１４（ｂ）に示す位置に移動すると、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが、基板Ｗの前部の端部と接触する。
　蓋３がさらに後方向に移動すると、蓋用支持部材２３は、基板Ｗから前方向への押圧（反力）を受ける。これにより、蓋用支持部材２３は、蓋３に近づきながら、上昇する。具体的には、蓋用支持部材２３は、蓋用案内機構８１に従って下方位置から上昇する。蓋用支持部材２３の上昇によって、蓋用支持部材２３は、最奥部１７ｂで基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを持ち上げる。この際、基板Ｗの後部の端部は、筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂに支持されたままである。
　図１４（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。蓋用支持部材２３は上方位置に至る。これにより、基板Ｗは第２の支持態様で支持される。
　２．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
　図１４（ｃ）、１４（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａから前方向に移動すると、蓋用支持部材２３は自重によって下降する。具体的には、蓋用支持部材２３は、蓋用案内機構８１に従って上方位置から下方位置に移動する。蓋用支持部材２３の下降によって、蓋用支持部材２３は、基板Ｗを支持したまま、基板Ｗを下ろし、基板Ｗを棚部材１１に載置する。これにより、基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
　蓋３が前方向にさらに移動すると、図１４（ａ）に示すように、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
　３．実施例５の効果
　第１態様から第２の支持態様に移行するとき、蓋用支持部材２３は蓋用案内機構８１に従って上昇する。これにより、蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを持ち上げる。第２の支持態様から第１の支持態様に移行するとき、蓋用支持部材２３は蓋用案内機構８１に従って下降する。これにより、蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗを下ろす。よって、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、基板Ｗと蓋用支持部材２３との間における発塵を抑制できる。
　蓋用支持部材２３は、蓋３を筐体２に着脱する動きに連動して、昇降する。よって、蓋３を筐体２に着脱するタイミングで、基板Ｗの支持態様を切り替えることができる。
　蓋用支持部材２３は蓋３を筐体２に取り付ける動きに連動して上昇するので、蓋３が筐体２に装着された状態では基板Ｗは第２の支持態様で支持される。また、蓋用支持部材２３は蓋３が筐体２から離脱する動きに連動して下降するので、蓋３が筐体２から外れている状態では基板Ｗは第１の支持態様で支持される。
　蓋３の動きは、基板Ｗを介して蓋用支持部材２３に伝わる。すなわち、蓋３の動きと蓋用支持部材２３の動きを連動させるのは、基板Ｗである。よって、実施例３の蓋用昇降機構６５を省略することができ、基板収納容器１の構造を簡素化できる。
　蓋用支持部材２３は蓋用案内機構８１に従って移動するので、蓋用支持部材２３の下方位置を一定に保つことができる。例えば、蓋用支持部材２３が昇降するたびに、蓋用支持部材２３の下方位置が水平方向にずれることを好適に防止できる。よって、第１の支持態様に移行するときにはいつも、棚部材１１上の基板Ｗの位置を一定に保つことができる。すなわち、第１の支持態様で支持される基板Ｗの位置がばらつくことを防止できる。
　案内部材８３が有する孔は、前後方向に対して傾斜している。よって、案内部材８３は、蓋３の前後動を筐体用支持部材１６の上下動に好適に変換できる。
　蓋用案内機構８１が蓋用支持部材２３を案内する方向は、上下方向の成分のほかに、前後方向の成分を含む。このため、蓋用支持部材２３は筐体用支持部材１６に近づく、および、遠ざかる方向に移動可能である。よって、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を、基板Ｗの外形寸法に一致させることができる。
　第２の支持態様で基板Ｗを支持するとき、蓋用支持部材２３は、その自重によって、基板Ｗを筐体用支持部材１６に押し付けている。これにより、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を、基板Ｗの外形寸法に容易に一致させることができる。また、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを適度な強さで挟持できる。
　本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
　（１）上述した実施例１において、例えば、筐体用支持部材１６を水平方向に移動可能に構成するとともに、筐体用昇降機構３１はさらに筐体用弾性部材を備えてもよい。筐体用弾性部材は、筐体用支持部材１６が水平方向に移動することによって弾性変形し、筐体用支持部材１６に対して復元力を作用させる。以下、図を参照して、２つの変形実施例を例示する。なお、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
　図１５を参照する。図１５に示す変形実施例では、筐体用昇降機構３１は筐体用連結板３３と可動台３４とロッド３５とバネ９１を備えている。バネ９１は、例えば、圧縮コイルバネである。バネ９１は筐体２と筐体用支持部材１６との間に配置されている。バネ９１の一端は筐体２に連結されており、バネ９１の他端は筐体用支持部材１６に連結されている。筐体用支持部材１６が筐体２に対して後方向に移動すると、バネ９１は圧縮変形し、筐体用支持部材１６を前方向に押圧する。
　図１６を参照する。図１６に示す変形実施例では、筐体用昇降機構３１は、可動台３４とロッド３５と筐体用連結板９２とバネ９３を備えている。筐体用連結板９２は、可動台３４（傾斜面３４ａ）と摺動可能に接触する。バネ９３は、筐体用連結板９２と筐体用支持部材１６との間に配置されている。バネ９３の一端は筐体用連結板９２に連結されており、バネ９３の他端は筐体用支持部材１６に連結されている。筐体用支持部材１６が筐体用連結板９２に対して後方向に移動すると、バネ９３は弾性変形し、筐体用支持部材１６を前方向に押圧する。
　上述したバネ９１、９３はそれぞれ、本発明における筐体用弾性部材の例である。
　これらの変形実施例によれば、筐体用昇降機構３１はバネ９１またはバネ９３を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、第２の支持態様で基板Ｗを好適に支持できる。
　（２）上述した実施例１および変形実施例において、基板収納容器１は、さらに、筐体用支持部材１６を案内する筐体用案内機構を備えてもよい。以下、２つの変形実施例を例示する。
　図１７を参照する。図１７に示す変形実施例では、基板収納容器１は、筐体用案内機構９５を備えている。筐体用案内機構９５は、連結ピン９６と案内部材９７を備える。連結ピン９６は筐体用支持ブロック１４（筐体用支持部材１６）に固定されている。案内部材９７は筐体２に固定されている。案内部材９７は、連結ピン９６を挿入するための孔を有している。孔は、上下方向と平行に延びていてもよいし、前後方向に対して傾斜していてもよい。図１７では、後方向ほど高くなるように傾斜している孔を示す。連結ピン９６が案内部材９７に対して摺動することによって、筐体用支持部材１６は筐体２に対して上下方向および前後方向に移動する。
　本変形実施例によれば、筐体用案内機構９５は筐体用支持部材１６を所定の方向に案内できる。
　図１８を参照する。図１８に示す変形実施例では、筐体用昇降機構３１は、可動台３４とロッド３５を備え、さらに、図１６に例示した筐体用連結板９２およびバネ９３を備えている。さらに、基板収納容器１は、筐体用案内機構１０１を備えている。筐体用案内機構１０１は、連結バー１０２と案内部材１０３を備える。連結バー１０２は筐体用連結板９２に固定されている。案内部材１０３は筐体２に固定されている。案内部材１０３は、連結バー１０２を挿入するための孔を有している。孔は、上下方向と平行に延びていてもよいし、前後方向に対して傾斜していてもよい。図１８では、上下方向と平行に延びている孔を示す。連結バー１０２は孔に挿入されている。連結バー１０２は、孔に沿って平行移動可能であるが、連結バー１０２は、その軸心回りに回転不能である。連結バー１０２が案内部材１０３に対して摺動することによって筐体用連結板９２は筐体２に対して昇降し、筐体用連結板９２の昇降によって筐体用支持部材１６は筐体２に対して昇降する。このように、筐体用案内機構１０１は、筐体用連結板９２を介して筐体用支持部材１６を案内する。
　（３）上述した実施例１において、バネ３２を省略してもよい。本変形実施例によっても、筐体用昇降機構３１は、筐体用支持部材１６に働く重力を利用して、筐体用支持部材１６を下降させることができる。
　（４）上述した実施例２において、基板収納容器１は、筐体用弾性部材を備えてもよい。
　図１９を参照する。基板収納容器１はバネ１０５を備えている。バネ１０５は筐体２と筐体用支持部材１６との間に配置されている。バネ１０５の一端は筐体２に連結されており、バネ１０５の他端は筐体用支持部材１６に連結されている。筐体用支持部材１６が筐体２に対して後方向に移動すると、バネ１０５は圧縮変形し、筐体用支持部材１６を前方向に押圧する。言い換えれば、バネ１０５は、筐体用支持部材１６が蓋用支持部材２３から遠ざかることによって弾性変形し、筐体用支持部材１６を蓋用支持部材２３に向かって押圧する。バネ１０５は、本発明における筐体用弾性部材の例である。
　このような変形実施例によれば、基板収納容器１はバネ１０５を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、第２の支持態様で基板Ｗを好適に支持できる。
　（５）上述した実施例３において、蓋用昇降機構６５は蓋用弾性部材を備えてもよい。蓋用弾性部材は、蓋３と蓋用支持部材２３との間に設けられ、蓋用支持部材２３が蓋３に対して水平方向に移動することによって弾性変形し、蓋用支持部材２３に対して復元力を作用させる。以下、変形実施例を例示する。
　図２０（ａ）、２０（ｂ）を参照する。蓋用昇降機構６５は、ギヤ６６とラック６７に加えて、バネ１１１を備えている。バネ１１１は、ラック６７と蓋用支持部材２３との間に配置されている。バネ１１１の一端はラック６７に連結されており、バネ１１１の他端は蓋用支持部材２３に連結されている。蓋用支持部材２３がラック６７（蓋３）に近づくと、バネ１１１は圧縮変形し、ラック６７（蓋３）から遠ざかる方向に蓋用支持部材２３を押圧する。言い換えれば、バネ１１１は、筐体用支持部材２３が蓋用支持部材１６から遠ざかることによって弾性変形し、筐体用支持部材２３を蓋用支持部材１６に向かって押圧する。バネ１１１は、本発明における筐体用弾性部材の例である。
　本変形実施例によれば、蓋用昇降機構６５はバネ１１１を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、第２の支持態様で基板Ｗを好適に支持できる。
　（６）上述した実施例３および変形実施例において、基板収納容器１は、さらに、蓋用支持部材２３を案内する蓋用案内機構を備えてもよい。以下、変形実施例を例示する。
　図２１（ａ）、２１（ｂ）を参照する。蓋用昇降機構６５は、ギヤ６６とラック６７に加えて、図２０（ａ）、２０（ｂ）に例示したバネ１１１を備えている。さらに、基板収納容器１は、蓋用案内機構１１３を備えている。蓋用案内機構１１３は、連結ピン１１４と案内部材１１５を備える。連結ピン１１３は蓋用支持ブロック２１に固定されている。案内部材１１５はラック６７に固定されている。案内部材１１５は、連結ピン１１４を挿入するための孔を有している。孔は、前後方向に延びている。連結ピン１１４は孔に挿入されている。連結ピン１１４が案内部材１１５に対して摺動することによって、蓋用支持部材２３はラック６７（蓋３）に対して前後方向に移動する。本変形実施例によれば、蓋用案内機構１１３は蓋用支持部材２３を所定の方向に案内できる。
　（７）上述した実施例４において、バネ７４を省略してもよい。この場合、案内部材７９は、前後方向に対して傾斜した方向に延びる孔を有することが好ましい。この変形実施例によっても、蓋用支持部材２３に働く重力と蓋用支持部材２３が基板Ｗから受ける押圧を利用して、蓋用支持部材２３を前後方向に移動させることができる。
　また、上述した実施例４において、蓋用案内機構７７を省略してもよい。この変形実施例によっても、蓋用昇降機構７１は蓋用支持部材２３を好適に昇降させることができる。
　（８）上述した実施例５において、基板収納容器１は、さらに、蓋用弾性部材を備えてもよい。
　図２２（ａ）、２２（ｂ）を参照する。基板収納容器１は、バネ１１７を備えている。バネ１１７は、蓋３と蓋用支持部材２３との間に配置されている。バネ１１７の一端は蓋３に連結されており、バネ１１７の他端は蓋用支持部材２３に連結されている。バネ１１７は、蓋用支持部材２３が蓋３に近づくと、バネ１１７は弾性変形し、蓋３から遠ざかる方向に蓋用支持部材２３を押圧する。言い換えれば、バネ１１７は、蓋用支持部材２３が筐体用支持部材１６から遠ざかることによって弾性変形し、蓋用支持部材２３を筐体用支持部材１６に向かって押圧する。バネ１１７は、本発明における蓋用弾性部材の例である。
　本変形実施例によれば、基板収納容器１はバネ１１７を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、第２の支持態様で基板Ｗを好適に支持できる。
　（９）基板収納容器１は、実施例１、２で説明した筐体用昇降機構３１および筐体用案内機構５１のいずれかと、実施例３乃至５で説明した蓋用昇降機構６５、７１および蓋用案内機構８１のいずれかを備えてもよい。
　例えば、図２３（ａ）に示す変形実施例では、基板収納容器１は、実施例１の筐体用昇降機構３１と実施例３の蓋用昇降機構６５を備えている。例えば、図２３（ｂ）に示す変形実施例では、基板収納容器１は、実施例２の筐体用案内機構５１と実施例５の蓋用案内機構８１を備えている。これらの変形実施例によれば、第１、第２の支持態様のいずれに移行するときも、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３の双方が基板Ｗと摺動しない。よって、パーティクルの発生を効果的に抑制できる。さらに基板Ｗを水平にして挟持されるので、より安定して基板Ｗを収納することができる。
　（１０）上述した各実施例では、複数の筐体用支持部材１６が一体に成形されていたが、これに限られない。例えば、各筐体用支持部材１６は互いに分離されていてもよい。蓋用支持部材２３の構造についても同様に変更してもよい。
　（１１）上述した各実施例では、蓋３が筐体２から外れている状態では、筐体用支持部材１６は基板Ｗと接触していたが、これに限られない。すなわち、蓋３が筐体２から外れている状態において、筐体用支持部材１６が基板Ｗと接触していなくてもよい。
　（１２）上述した各実施例において、筐体用支持部材１６および蓋用支持部材２３の形状を適宜に変更してもよい。例えば、筐体用支持部材１６が最奥部１７ｂでのみ基板Ｗと接触する場合には、下傾斜部１７ａや上傾斜部１７ｃを省略してもよい。同様に、蓋用支持部材２３が最奥部２４ｂでのみ基板Ｗと接触する場合には、下傾斜部２４ａや上傾斜部２４ｃを省略してもよい。
　（１３）上述した各実施例では、複数の筐体用支持部材１６は上下方向に１列に並ぶように配置されていたが、これに限られない。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に複数列に並ぶように配置されていてもよい。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に千鳥に配置されていてもよい。蓋用支持部材２３の配置についても同様に変更してもよい。
　（１４）上述した各実施例において、基板収納容器１は、筐体２内の雰囲気を遮蔽するための遮蔽部材をさらに備えてもよい。あるいは、基板収納容器１は、筐体２内における基板Ｗの周囲のスペースを清浄に保つための遮蔽部材をさらに備えてもよい。
　例えば、遮蔽部材は、基板Ｗが支持されるスペースと、筐体用昇降機構３１の少なくとも一部が設置されるスペースとの間で、雰囲気を遮断してもよい。あるいは、遮蔽部材は、基板Ｗが支持されるスペースと、筐体用案内機構５１の少なくとも一部が設置されるスペースとの間で、雰囲気を遮断してもよい。これらの変形実施例によれば、筐体用昇降機構３１または筐体用案内機構５１によって発生されたパーティクルが、基板Ｗが支持されるスペースに進入することを防止できる。その結果、基板Ｗにパーティクルが付着することを好適に防止できる。
　図２４を参照する。基板収納容器１は、遮蔽部材として隔壁１２１とベローズ１２３を備えている。隔壁１２１は、基板Ｗが支持されるスペースＳ１を、筐体用昇降機構３１が設置されるスペースＳ２から隔てる。隔壁１２１には、筐体用支持部材１６を挿入するための開口が形成されている。筐体用支持部材１６は、隔壁１２１を貫通するように設置されている。筐体用支持部材１６には、ベローズ１２３が取り付けられている。ベローズ１２３の基端部は隔壁１２１に取り付けられている。ベローズ１２３は、筐体用支持部材１６の移動に追従して伸縮または／および屈曲可能である。これら隔壁１２１とベローズ１２３は、スペースＳ１とスペースＳ２の雰囲気を遮断する。
　なお、隔壁１２１が筐体２に固定されている場合、バネ３２や案内部材５３などを隔壁１２１に取り付けてもよい。
　その他の例として、遮蔽部材を蓋３に取り付けてもよい。これによれば、蓋用昇降機構６５、７１または蓋用案内機構７７、８１によって発生されたパーティクルが、基板Ｗが支持されるスペースに進入することを防止できる。
　（１５）上述した各実施例において、さらに、基板収納容器１は、筐体２内に気体を供給する気体供給口と、筐体２内の気体を排出する気体排出口を備えてもよい。気体供給口および気体排出口は、基板Ｗから筐体用昇降機構３１または筐体用案内機構５１に向かう後方向に気体が流れるように配置されていることが好ましい。例えば、気体供給口を、気体排出口よりも前方向に配置してもよい。また、気体供給口を、気体排出口よりも下方に配置してもよい。これによれば、筐体用昇降機構３１または筐体用案内機構５１によって発生されたパーティクルを、基板Ｗが支持されるスペースを通過させずに筐体２の外部に排出することができる。
　図２５は、上述した変形実施例に係る基板収納容器１の平面図である。底板部５の開口Ａに近接した位置には、スペースＳ１と連通する複数個の気体供給口２０１が形成されている。この気体供給口２０１は気体供給ポート（不図示）に接続される。気体供給ポートは、気体を供給する外部機器と接続可能である。また、底板部５の後壁部８に近接した位置には、スペースＳ２と連通する複数個の気体排出口２０２が形成されている。この気体排出口２０２には気体排出ポート（不図示）が配設される。気体排出供給ポートは、気体を排出する外部機器と接続可能である。さらに、隔壁１２１の後方向の部位には、複数個の連通孔２０３が上下方向に並ぶように形成される。これらの連通孔２０３を通じて、スペースＳ１とスペースＳ２とは連通している。
　基板収納容器１が載置台４４に載置されると、気体供給ポートは外部機器に接続され、気体排出ポートは外部機器に接続される。
外部機器が、気体供給ポートを通じて基板収納容器１に不活性ガス等の気体を供給し、気体排出ポートを通じて基板収納容器１から気体を排出する。基板収納容器１に供給された気体は、気体供給口２０１を通って、スペースＳ１に流入する。スペースＳ２の気体は、気体排出口２０２を通って、基板収納容器１の外部に排出される。これにより、筐体２の内部には、スペースＳ１から連通孔２０３を通じてスペースＳ２へ向かう気流が形成される。この気流の向きは、略後方向である。その結果、スペースＳ１内の気体がスペースＳ２に向けて排出される。ただし、スペースＳ２内の気体がスペースＳ１に流入することは抑制されている。
　（１６）上述した実施例４、５において、案内部材７９、８３は蓋３とは別体であったが、これに限られない。すなわち、蓋３と案内部材７９、８３とは、一体であってもよい。例えば、連結ピン７８、８２が摺動する溝を蓋３に形成してもよい。例えば、溝を、蓋３の内部（具体的には、蓋３の裏面３ｂから凹んだ位置）に形成してもよい。さらに、蓋３の裏面３ｂに、蓋用支持部材２３の少なくとも一部を収容可能な凹部を形成してもよい。これらの変形実施例によれば、蓋３および蓋用支持部材２３の全体を薄型化できる。
　（１７）上述した各実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの載置台４４を備えていたが、これに限られない。すなわち、複数の載置台を備えるロードポート装置に変更してもよい。また、上述した実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの基板収納容器１を載置するものであったが、これに限られない。すなわち、複数の基板収納容器１を載置できるロードポート装置に変更してもよい。
　（１８）上述した各実施例１－５および上記（１）から（１７）で説明した各変形実施例については、さらに各構成を他の実施例の構成または他の変形実施例の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。
　１　…　基板収納容器
　２　…　筐体
　３　…　蓋
　３ｂ　…　裏面
　１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１　…　棚部材
　１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６　…　筐体用支持部材
　２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３　…　蓋用支持部材
　３１　…　筐体用昇降機構
　３４　…　可動台
　３４ａ　…　傾斜面
　４１　…　基板処理装置
　４２…　ロードポート部
　４４　…　載置台
　４５　…　蓋開閉機構
　４７　…　搬送機構
　４８　…　処理ユニット
　５１、９５　…　筐体用案内機構
　６１　…　ロック機構
　６５、７１　…　蓋用昇降機構
　７３　…　固定台
　７４、１１１、１１７　…　バネ（蓋用弾性部材）
　７３　…　傾斜面
　７７、８１、１１３　…　蓋用案内機構
　９１、９３、１０５　…　バネ（筐体用弾性部材）
　４２０、４２１、４２２　…　ロードポート装置
　Ａ　…　開口
　Ｗ　…　基板

Claims (22)

  1. 　基板収納容器であって、
    　その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    　前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
    　前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    　前記筐体に対して前記筐体用支持部材を昇降させる筐体用昇降機構と、
    　前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    　前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
    　を備え、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、
    　前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記筐体用昇降機構が前記筐体用支持部材を上昇させることによって、前記筐体用支持部材は基板を持ち上げ、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記筐体用昇降機構が前記筐体用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす
    　基板収納容器。
  2. 　請求項１に記載の基板収納容器において、
    　前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記筐体用昇降機構は前記筐体用支持部材を昇降させる
    　基板収納容器。
  3. 　請求項２に記載の基板収納容器において、
    　前記筐体用昇降機構は、前記蓋を前記筐体に着脱するときに前記筐体の内部で移動する可動台を備え、前記可動台の移動を上下方向の動きに変換することにより前記筐体用支持部材を昇降させる、基板収納容器。
  4. 　請求項１から３のいずれかに記載の基板収納容器において、
    　前記筐体用昇降機構は、前記筐体用支持部材が略水平方向に移動することによって弾性変形し、前記筐体用支持部材に対して復元力を作用させる筐体用弾性部材を備える
    　基板収納容器。
  5. 　請求項１から４のいずれかに記載の基板収納容器において、
    　前記筐体用支持部材を案内する筐体用案内機構を備えている基板収納容器。
  6. 　基板収納容器であって、
    　その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    　前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
    　前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    　前記筐体に対して前記筐体用支持部材を昇降可能に案内する筐体用案内機構と、
    　前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    　前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を保持する蓋用支持部材と、
    　を備え、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、
    　前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記筐体用支持部材が前記筐体用案内機構に沿って上昇することによって、前記筐体用支持部材は基板を持ち上げ、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記筐体用支持部材が前記筐体用案内機構に沿って下降することによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす
    　基板収納容器。
  7. 　請求項６に記載の基板収納容器において、
    　前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記筐体用支持部材は昇降する基板収納容器。
  8. 　請求項６または７に記載の基板収納容器において、
    　前記筐体用支持部材が略水平方向に移動することによって弾性変形し、前記筐体用支持部材に対して復元力を作用させる筐体用弾性部材を備える
    　基板収納容器。
  9. 　請求項１から８のいずれかに記載の基板収納容器において、
    　前記蓋用支持部材は前記蓋に対して昇降可能であり、
    　前記基板収納容器は、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構を備え、
    　前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を上昇させることによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす
    　基板収納容器。
  10. 　請求項１から８のいずれかに記載の基板収納容器において、
    　前記蓋用支持部材は、前記蓋に対して昇降可能であり、
    　前記基板収納容器は、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降可能に案内する蓋用案内機構を備え、
    　前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って上昇することによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って下降することによって、前記蓋用支持部材は基板を下ろす
    　基板収納容器。
  11. 　基板収納容器であって、
    　その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    　前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
    　前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    　前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    　前記蓋に対して昇降可能に前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
    　前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構と、
    　を備え、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、
    　前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を上昇させることによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用昇降機構が前記蓋用支持部材を下降させることによって、前記筐体用支持部材は基板を下ろす
    　基板収納容器。
  12. 　請求項１１に記載の基板収納容器において、
    　前記蓋用昇降機構は、前記蓋を前記筐体に固定する動きおよび前記筐体に対する前記蓋の固定を解除する動きに連動して、前記蓋用支持部材を前記筐体に対して昇降させる基板収納容器。
  13. 　請求項１２に記載の基板収納容器において、
    　前記蓋を前記筐体に固定するロック機構を備え、
    　前記蓋用昇降機構は、前記ロック機構に連動連結されており、前記ロック機構の動作に連動して前記蓋用支持部材を昇降させる
    　基板収納容器。
  14. 　請求項１１に記載の基板収納容器において、
    　前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記蓋用昇降機構は前記蓋用支持部材を昇降させる基板収納容器。
  15. 　請求項１４に記載の基板収納容器において、
    　前記蓋用昇降機構は、前記筐体の内部に固定的に設けられる固定台を備え、
    　前記固定台は、前記蓋を前記筐体に着脱するときに前記蓋用支持部材と摺動して前記蓋用支持部材を昇降させる傾斜面を有する
    　基板収納容器。
  16. 　請求項１１から１５のいずれかに記載の基板収納容器において、
    　前記蓋用昇降機構は、前記蓋用支持部材が前記蓋に近づくことによって弾性変形し、前記蓋用支持部材に対して復元力を作用させる蓋用弾性部材を備える
    　基板収納容器。
  17. 　請求項１１から１６のいずれかに記載の基板収納容器において、
    　前記蓋用支持部材を案内する蓋用案内機構を備える基板収納容器。
  18. 　基板収納容器であって、
    　その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    　前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触している状態で、基板を略水平姿勢で支持する棚部材と、
    　前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    　前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    　前記蓋に対して昇降可能に前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
    　前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降可能に案内する蓋用案内機構と、
    　を備え、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で、基板の端部を挟持し、
    　前記棚部材による基板の支持から前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って上昇することによって、前記蓋用支持部材は基板を持ち上げ、
    　前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とによる基板の支持から前記棚部材による基板の支持に移行するとき、前記蓋用支持部材が前記蓋用案内機構に沿って下降することによって、前記蓋用支持部材は基板を下ろす
    　基板収納容器。
  19. 　請求項１８に記載の基板収納容器において、
    　前記蓋を前記筐体に着脱する動きに連動して、前記蓋用支持部材は昇降する基板収納容器。
  20. 　請求項１８または１９に記載の基板収納容器において、
    　前記蓋用支持部材が前記蓋に近づくことによって弾性変形し、前記蓋用支持部材に対して復元力を作用させる蓋用弾性部材を備える
    　基板収納容器。
  21. 　請求項１から２０のいずれかに記載の基板収納容器を載置可能な載置台と、
    　前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、
    　を備えたロードポート装置。
  22. 　請求項１から２０のいずれかに記載の基板収納容器を載置可能な載置台と、
    　前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、
    　基板に対して処理を行う処理ユニットと、
    　前記載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、
    　を備えた基板処理装置。
     
     
PCT/JP2015/071408 2014-09-05 2015-07-28 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置 WO2016035480A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/508,688 US10910247B2 (en) 2014-09-05 2015-07-28 Substrate container, load port apparatus, and substrate treating apparatus
KR1020177002433A KR101917544B1 (ko) 2014-09-05 2015-07-28 기판 수납 용기, 로드 포트 장치 및 기판 처리 장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014181104A JP6326330B2 (ja) 2014-09-05 2014-09-05 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
JP2014-181104 2014-09-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016035480A1 true WO2016035480A1 (ja) 2016-03-10

Family

ID=55439549

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/071408 WO2016035480A1 (ja) 2014-09-05 2015-07-28 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10910247B2 (ja)
JP (1) JP6326330B2 (ja)
KR (1) KR101917544B1 (ja)
TW (1) TWI574896B (ja)
WO (1) WO2016035480A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106856664B (zh) * 2014-09-05 2019-11-19 日商乐华股份有限公司 装载口及装载口的气氛置换方法
WO2018154779A1 (ja) * 2017-02-27 2018-08-30 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR101905822B1 (ko) * 2017-03-21 2018-10-08 주식회사 유진테크 기판 처리장치
KR20210151527A (ko) * 2020-06-05 2021-12-14 삼성전자주식회사 개폐형 기판 수용 카세트 및 그 시스템
CN116564867B (zh) * 2023-05-05 2024-02-20 北京鑫跃微半导体技术有限公司 晶圆承载装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005005525A (ja) * 2003-06-12 2005-01-06 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6267245B1 (en) * 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
JP4153874B2 (ja) * 2001-11-14 2008-09-24 インテグリス・インコーポレーテッド ウエハ保持システムを備えたウエハ・キャリア
JP4190785B2 (ja) 2002-03-29 2008-12-03 株式会社日立プラントテクノロジー 枚葉基板の収納方法及び収納装置
JP4133407B2 (ja) * 2003-02-13 2008-08-13 ミライアル株式会社 薄板収納容器
JP4667769B2 (ja) * 2004-06-11 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2009010119A (ja) * 2007-06-27 2009-01-15 Elpida Memory Inc 基板収容容器
KR101129486B1 (ko) * 2010-05-24 2012-03-29 미라이얼 가부시키가이샤 기판수납용기
JP5715898B2 (ja) * 2011-07-06 2015-05-13 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP2013118211A (ja) * 2011-12-01 2013-06-13 Tokyo Electron Ltd 基板収納容器
KR102076376B1 (ko) * 2012-04-04 2020-02-11 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 기판 수납 용기
WO2014064774A1 (ja) * 2012-10-23 2014-05-01 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR20140092548A (ko) * 2013-01-16 2014-07-24 삼성전자주식회사 웨이퍼 보관 장치
KR102091426B1 (ko) * 2013-06-03 2020-03-20 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005005525A (ja) * 2003-06-12 2005-01-06 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170024053A (ko) 2017-03-06
JP2016058426A (ja) 2016-04-21
US20170263479A1 (en) 2017-09-14
TW201620801A (zh) 2016-06-16
KR101917544B1 (ko) 2018-11-09
TWI574896B (zh) 2017-03-21
US10910247B2 (en) 2021-02-02
JP6326330B2 (ja) 2018-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016035480A1 (ja) 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
JP6375186B2 (ja) 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
JP4624458B2 (ja) 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム
JP4748816B2 (ja) 密閉容器の蓋開閉システム
JP4919123B2 (ja) 処理基板収納ポッド及び処理基板収納ポッドの蓋開閉システム
JP5736686B2 (ja) ロードポート
JP5263587B2 (ja) 密閉容器の蓋開閉システム及び蓋開閉方法
JP5263633B2 (ja) 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム
JP4877662B2 (ja) 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム
KR20150027704A (ko) 로드 포트 장치 및 기판 처리 장치
JP6430195B2 (ja) 基板収納容器
US20100025287A1 (en) Wafer Container with Constraints
JP2009170726A (ja) ロードポートおよびカセット位置調整方法
JP2022140412A (ja) レチクル保管ポッド及びレチクル保持方法
JP2005289436A (ja) ガラス基板搬送用ボックス
JP3917138B2 (ja) ポッドオープナのポッドクランプユニット、当該ポッドクランプユニットを用いたポッドクランプ機構及びクランプ方法
JP2013110268A (ja) 基板移載装置
TW202417196A (zh) 機械手、基板搬送裝置、保持單元及基板取出方法
JP2007220990A (ja) 半導体ウェハ用カセット
JP2013247322A (ja) ロードポート装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15837927

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20177002433

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15508688

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15837927

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1