JP2022140412A - レチクル保管ポッド及びレチクル保持方法 - Google Patents

Abstract

【課題】レチクル保管ポッド及びレチクルの保持方法を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、外側蓋体と、外側ベース部とを備えた外側ポッドを含むレチクル保管ポッドを開示する。前記外側蓋体と外側ベース部とが結合して、異なる構造の第１内側ポッド又は第２内側ポッドのいずれかを前記外側ポッド内に安定して収容することができる。前記第１内側ポッド及び前記第２内側ポッドは、レチクルを各々収容するために用いられる。前記外側蓋体には、少なくとも１つの第１ホールドダウン機構及び少なくとも１つの第２ホールドダウン機構が設けられ、前記第１ホールドダウン機構及び前記第２ホールドダウン機構は前記異なる構造の第１内側ポッドの蓋体及び第２内側ポッドの蓋体に各々作用する。【選択図】図５Ａ

Description

本発明は、レチクル保管ポッド及びレチクル保持方法に関し、特に、外側ポッドと、内側ポッドとを含むレチクル保管ポッド、及び外側ポッドと内側ポッドの協働におけるレチクル保持方法に関する。前記レチクル保管ポッドは、レチクル保管システム及び方法に適用される。

現在極端紫外線（ＥＵＶ）露光工程において、レチクルは、内側ポッド（ＥＩＰ）と外側ポッド（ＥＯＰ）とから成る従来のデュアルポッド構造のレチクルポッド（ＥＵＶ ＰＯＤ）で保護する必要がある。レチクルを保管するには、レチクルを内側ポッドに入れ、内側ポッドを外側ポッド内に収納し、従来のレチクルポッド全体を窒素キャビネットに入れると共に窒素を充填して、レチクルを保管していた。

また、従来のレチクルポッドは、レチクルを収容している内側ポッドが、長距離輸送中の振動及び偏移で生じるパーティクル汚染とレチクルの損傷を避けることができるように設計されている。また、従来のレチクルポッドは、様々な試験・検査を受けるため、異なる工程装置に適切にロードされるように構成され得るため、内側ポッドの構造が外側ポッドの構造に比べて複雑になり、コストも比較的高くなった。このような設計目的のレチクルポッドの内側ポッドを窒素キャビネットに長期間収納する場合、内側ポッドの使用利益に適合していなかった。

図１及び図２を合わせて参照すると、従来のレチクルポッド（１０）は、デュアルポッド構造で、内側ポッド（１１）と、外側ポッド（１２）とを含み、内側ポッド（１１）にレチクル（Ｒ）を格納し、外側ポッド（１２）が内側ポッド（１１）を収容する。内側ポッド（１１）は、レチクル（Ｒ）を密封・収容するために、互いに適合するベース部（２０）及び蓋体（３０）を含む。外側ポッド（１２）は、外側ベース部（４０）と、外側蓋体（５０）とを含み、外側ベース部（４０）が内側ポッド（１１）のための支持手段を有し、外側蓋体（５０）と外側ベース部（４０）が結合することで内側ポッド（１１）の収容スペースを画定する。外側蓋体（５０）の内側には通常、適切な押さえ付け手段を設けて外側蓋体（５０）と外側ベース部（４０）が結合された時に内側ポッド（１１）を押さえ付けることができることで安定した収容を形成する。外側ベース部（４０）は、一般的に外側蓋体（５０）を外側ベース部（４０）にロックするためのラッチ手段をさらに含む。このような工場でのレチクルポッド（１０）の輸送は天井クレーンシステムによって行われるため、外側蓋体（５０）の頂端には、クレーンアームで把持できるハンドル（５２）が付いている。したがって、従来のレチクルポッド（１０）は、ハンドル（５２）の高さのため積み重ね保管には不利であり、かつハンドル（５２）の高さに追加の保管スペースが取られる。

また、一般的な設計では、従来の内側ポッドと従来の外側ポッドとの間に、対応する嵌合機構を有するため、従来の外側ポッドは対応する内側ポッドとのみ組み合わせることができるが、異なる機構設計の内側ポッドと適応的に組み合わせることができない。すなわち、互換性のある特定の外側ポッドと内側ポッドのみが、レチクルを安定して収容する効果を奏することができる。互換性のない外側ポッドと内側ポッドを使用すると、期待される安定性を実現できない。レチクル保管ポッドの手段は、製造コスト及び保管効率を考慮すると、従来の外側ポッド設計は、このような要件を満たすことができなかった。

したがって、業界では、長期保管に適したレチクル保管ポッド及びその関連方法、並びに専用レチクル保管ポッドを貯蔵するためのレチクル保管システム及び方法が必要とされている。また、本発明の少なくとも２種の異なる機構設計の内側ポッドとの互換性がある単一の外側ポッドの技術を開発し、貯蔵コストを削減するのに役立つであろう。

既知のレチクルポッドは、内側ポッドによって加えられる外力、すなわち、ホールドダウンピン（Ｈｏｌｄ Ｄｏｗｎ Ｐｉｎ）を使用する固定機構を備えている。この機構は、内側ポッドが外側ポッドに収容されている場合にのみ、内側ポッド内のレチクルに作用できる。例えばホールドダウンピンの頂端が内側ポッドの頂部外側に露出している。外側ポッドを使用せずに内側ポッドのみを輸送する場合、レチクルの内側ポッドにおける安定性に欠けるため振動や衝突が発生しやすくなっていた。

また、レチクルを専用レチクルストッカシステムに長期間保管する場合、レチクルをデュアルポッド構造のレチクルポッドから取り出すと共に専用ポッドに移す必要がある。このため、レチクルをレチクルストッカシステムに収納する前にも互換性のあるレチクルローディングシステム及び関連の方法も開発する必要がある。

さらに、レチクルが半導体製造装置の高精密製造工程に適しており、製造コストの高いレチクルをストッカに長期間収納するためには、厳しい環境条件を満たさなければならない。したがって、レチクル長期保管向けのレチクルストッカの管路気体充填システム及び関連の方法、並びにストッカシステムをスケジューリングするのに適したレチクルストッカ管理システム及び関連の方法を開発する必要もあった。

より多くのレチクルを同じ空間内に格納するため、本発明は、レチクルの格納効率を高めるための貯蔵手段を提供する。具体的には、本発明は、既知のレチクルポッドとは異なる専用のレチクル保管ポッドを提供する。区別の目的で、本開示の説明において「レチクルポッド」という用語は、従来のレチクルポッドを意味し、「レチクル保管ポッド」という用語は効率が向上した貯蔵手段に応じて本発明により提示される専用のレチクルポッドを意味する。

レチクル保管ポッドがレチクルローディングシステムとレチクルストッカシステムの保管棚の間でのみ輸送される場合、このような使用目的のレチクル保管ポッド設計は、外部パーティクルの侵入を防ぐための保護機構が必要なことを除き、複雑な構造と加工を必要とせず、製造コスト削減に役立つ。

本発明の目的は、複数の支持体が配置され、各前記支持体がレチクルの角部を支持するために用いられ、各前記支持体から一対の制限ブロックが上向きに延び、前記一対の制限ブロックが前記角部の両側面に各々位置するベース部と、前記複数の支持体に各々対応して複数の弾性ホールドダウン機構が配置され、各弾性ホールドダウン機構が少なくとも１つの弾性アームを備え、前記弾性アームが、対応する前記支持体によって支持される前記レチクルの前記角部に作用する蓋体とを含むレチクル保管ポッドであって、前記レチクルを収容するように前記蓋体を前記ベース部に被せた時、前記一対の制限ブロックは前記弾性アームの横方向移動を制限するレチクル保管ポッドを提供することである。

具体的な実施形態において、前記支持体は一対の傾斜面を有し、前記一対の傾斜面は前記角部の両側下縁部に各々係合される。

具体的な実施形態において、前記弾性ホールドダウン機構は、本体と、前記本体から異なる方向で延びる一対の弾性アームとを含み、各弾性アームが制限部と、前記制限部から延びる傾斜面とを有し、前記一対の弾性アームの２つの傾斜面は前記角部の両側上縁部に各々係合される。

具体的な実施形態において、前記一対の制限ブロックは、前記一対の弾性アームの２つの制限部を制限する。

具体的な実施形態において、前記一対の弾性アームの２つの傾斜面は、前記制限部から離れて延在し、互いに結合されている。

本発明の別の目的は、蓋体と、ベース部と、保持機構とを含み、前記蓋体と前記ベース部とが結合して収納スペースを画定し、前記保持機構がレチクルを前記収納スペースに保持するように構成される、内側ポッドと、外側ポッドであって、外側蓋体と、外側ベース部とを含み、前記外側蓋体と外側ベース部とが結合して前記内側ポッドを前記外側ポッド内に収容する前記外側ポッドとを含むレチクル保管ポッドであって、前記外側蓋体が、平らな頂面と、前記平らな頂面から下向きに延びる周側面を有し、前記周側面に少なくとも一対のハンドルが設けられ、前記一対のハンドルが前記平らな頂面の高さを超えないレチクル保管ポッドを提供することである。

具体的な実施形態において、前記外側ベース部の頂面には前記内側ポッドの前記ベース部を支持する複数の位置決めピンが設けられる。

具体的な実施形態において、前記外側蓋体には前記蓋体に作用して前記内側ポッドを保持する少なくとも１つのホールドダウン機構が設けられる。

具体的な実施形態において、前記ホールドダウン機構は、前記内側ポッドの前記蓋体に作用するホールドダウン柱である。

具体的な実施形態において、前記保持機構は、前記ベース部に設けられた少なくとも１つの支持体と、前記支持体に対応して前記蓋体に設けられた少なくとも１つの弾性ホールドダウン機構とを含み、前記外側蓋体と前記外側ベース部とが結合して前記内側ポッドを収容する時、前記ホールドダウン柱が前記弾性ホールドダウン機構に押し当てられることで、前記弾性ホールドダウン機構が前記レチクルを保持する。

具体的な実施形態において、前記ホールドダウン機構がホールドダウン凸リブであり、前記外側蓋体と前記外側ベース部とが結合して前記内側ポッドを収容する時、前記ホールドダウン凸リブが前記内側ポッドの前記蓋体の上面に押し当てられる。

具体的な実施形態において、前記蓋体の上面の、前記ホールドダウン凸リブに対応する箇所に凹溝が形成されており、前記外側蓋体と前記外側ベース部とが結合して前記内側ポッドを収容する時、前記ホールドダウン凸リブが、対応する前記凹溝内に押し当てられる。

具体的な実施形態において、前記ホールドダウン凸リブが、対応する前記凹溝内に押し当てられることで、前記蓋体を安定的に位置決めて前記ベース部上に結合させる。

具体的な実施形態において、前記保持機構は、前記ベース部に設けられた少なくとも１つの支持体と、前記支持体に対応して前記蓋体に設けられ、少なくとも１つの弾性アームを有する少なくとも１つのレチクルリテーナとを含み、前記蓋体と前記ベース部とが結合して前記レチクルを収容する時、前記支持体が前記レチクルの角部を支持し、前記レチクルリテーナの前記弾性アームが、対応する前記角部に係合されることで、前記保持機構が前記レチクルを保持する。

本発明の別の目的は、内側表面に複数のホールドダウン機構が設けられた外側ポッドへの格納に適し、蓋体と、ベース部と、複数の保持機構とを含み、前記蓋体と前記ベース部とが結合することで収納スペースを画定し、これらの保持機構が、レチクルを前記収納スペースに収容されるように保持するように構成される、内側ポッドを含むレチクル保管ポッドであって、前記蓋体の上面の、前記複数のホールドダウン機構に各々対応する箇所に複数の凹溝が形成され、前記内側ポッドが前記外側ポッドに格納される時、前記蓋体のそれらの凹溝が前記ホールドダウン機構に各々対応して係合され、押さえ付け力が得られて前記内側ポッドを安定に位置決めることで、前記保持機構による前記レチクルの保持を強化させるレチクル保管ポッドを提供することである。

具体的な実施形態において、前記凹溝は、底面と、前記底面を囲繞する周側面とを有し、前記周側面が輪郭を有し、前記蓋体が前記凹溝の下面に前記保持機構を露出させる。

具体的な実施形態において、前記ホールドダウン機構は、前記凹溝に対応する前記輪郭を有するホールドダウン凸リブであり、前記内側ポッドが前記外側ポッドに格納される時、前記ホールドダウン凸リブが前記凹溝の前記底面に対応して押し当てられる。

本発明の更なる目的は、外側ポッドを含み、前記外側ポッドが外側蓋体と、外側ベース部とを含み、前記外側蓋体と外側ベース部が結合して、異なる構造の第１内側ポッド又は第２内側ポッドのいずれかを前記外側ポッド内に各々安定して収容し、前記第１内側ポッド及び前記第２内側ポッドがレチクルを各々収容するために用いられるレチクル保管ポッドであって、前記外側蓋体には、少なくとも１つの第１ホールドダウン機構及び少なくとも１つの第２ホールドダウン機構が設けられ、前記第１ホールドダウン機構及び前記第２ホールドダウン機構が前記異なる構造の第１内側ポッドの蓋体及び第２内側ポッドの蓋体に各々作用するレチクル保管ポッドを提供することである。

具体的な実施形態において、前記第１ホールドダウン機構及び前記第２ホールドダウン機構は、前記外側蓋体の下面から異なる高さで延在することで、前記第１ホールドダウン機構及び前記第２ホールドダウン機構がそれぞれ、前記異なる構造の第１内側ポッド及び第２内側ポッドの蓋体の対応する構造に係合される。

具体的な実施形態において、前記第１ホールドダウン機構がホールドダウン柱であり、前記第２ホールドダウン機構が馬蹄形輪郭を有するホールドダウン凸リブであり、かつ、前記ホールドダウン柱が前記ホールドダウン凸リブの馬蹄形輪郭の内側に位置する。

具体的な実施形態において、前記第１内側ポッドの前記蓋体の前記第１ホールドダウン機構に対応する箇所に弾性ホールドダウン機構が設けられ、前記弾性ホールドダウン機構がホールドダウンピンを含み、前記第１内側ポッドが前記外側ポッドに収容される時、前記ホールドダウン柱が前記ホールドダウンピンに押し当てられることで前記第１内側ポッドの収容する前記レチクルを保持する。

具体的な実施形態において、前記弾性ホールドダウン機構が前記ホールドダウンピンを制限するキャップを含み、前記第１内側ポッドが前記外側ポッドに収容される時、前記ホールドダウン凸リブの馬蹄形の輪郭が前記キャップの横方向移動を制限する。

具体的な実施形態において、前記第２内側ポッドの前記蓋体の、前記第２ホールドダウン機構に対応する箇所に凹溝が設けられ、前記凹溝が底面と、前記底面を囲繞する周側面とを有し、かつ、前記周側面が前記ホールドダウン凸リブに対応する馬蹄形の輪郭を有し、前記第２内側ポッドが前記外側ポッドに収容される時、前記ホールドダウン凸リブが前記凹溝の前記底面に押し当てられ、かつ、前記ホールドダウン凸リブが前記蓋体の横方向移動を制限する。

本発明の別の目的は、レチクル保管ポッドに用いられてレチクルを保持するレチクルの保持方法であって、前記レチクル保管ポッドのベース部に、各支持体から一対の制限ブロックが上向きに延びる複数の支持体を配置するステップと、複数の支持体に各々対応して、少なくとも１つの弾性アームを各々備えた複数の弾性ホールドダウン機構を前記レチクル保管ポッドの蓋体に配置するステップと、前記蓋体と前記ベース部とが結合して前記レチクルを収容する時、各前記支持体が前記レチクルの角部を支持し、各弾性ホールドダウン機構の前記弾性アームが、対応する前記角部に作用し、かつ前記一対の制限ブロックが前記弾性アームの横方向移動を制限するステップとを含むレチクルの保持方法を提供することである。

具体的な実施形態において、前記一対の制限ブロックは、前記角部の両側面に各々位置する。

具体的な実施形態において、前記弾性ホールドダウン機構が本体と、一対の弾性アームとを含み、各弾性アームが制限部と、前記制限部から延びる傾斜面とを有する。

具体的な実施形態において、前記蓋体と前記ベース部とが結合して前記レチクルを収容する時、前記一対の弾性アームの２つの傾斜面は前記角部の両側上縁部に各々係合される。

具体的な実施形態において、前記一対の弾性アームは、前記本体の異なる方向から延びる。

具体的な実施形態において、前記一対の弾性アームの末端は、一緒に連結される。

本発明をよりよく理解するため、以下の図面及び説明を参照することができる。以下の図面を参照しつつ、非限定的かつ非網羅的な実施形態を説明する。図面中の構成要素は必ずしも実際のサイズに描かれているわけではなく、構造及び原理の説明に焦点を合わせて描かれていることに留意されたい。

従来のレチクル保管ポッドの分解側面図である。 従来の内側ポッド及びレチクルの分解立体図である。 本発明のレチクルストッカシステムのブロック図である。 本発明のレチクルストッカシステムの立体図である。 本発明のレチクル保管ポッドの分解側面図である。 本発明の専用外側ポッドの外側蓋体の立体図である。 本発明の専用外側ポッドの外側ベース部の立体図である。 本発明の専用内側ポッドの分解立体図である。 本発明の専用内側ポッドの蓋体の上面図である。 本発明の専用内側ポッドの蓋体の底面図である。 図５Ｅの一点鎖線に沿った本発明の専用内側ポッドの蓋体の断面図である。 本発明の専用内側ポッドのベース部の上面図である。 本発明の専用内側ポッドのベース部の底面図である。 ５Ｈの一点鎖線に沿った本発明の専用内側ポッドのベース部の断面図である。 本発明の専用内側ポッドのベース部の立体図である。 本発明のベース部の角部の立体図である。 本発明のベース部の別の角部の立体図である。 本発明の蓋体内側に設けられたレチクルリテーナを示す図である。 本発明の専用内側ポッドのレチクルリテーナと、対応する支持体とがレチクルの角部を制限することを示す図である。 本発明の支持体がレチクルリテーナの横方向移動を制限することを部分的に拡大した図である。 本発明の専用内側ポッドの立体図である。 図７Ａの一点鎖線に沿った本発明の専用内側ポッドの断面図である。 本発明の専用外側ポッドの外側蓋体の底面図である。 専用内側ポッドの蓋体に作用するホールドダウン機構の拡大図である。 図５Ａのレチクル保管ポッドの結合時の断面図である。 図９Ａの破線で示された領域の部分的拡大図である。 従来のレチクル輸送内側ポッドの立体図である。 従来のレチクル輸送内側ポッドの蓋体の対応する機構に作用するホールドダウン機構を示す図である。 ホールドダウン機構及びレチクルポッドの内側ポッドの対応する機構の拡大図である。 専用内側ポッドを収容した本発明のレチクル保管ポッドの専用外側ポッドの断面図である。 非専用内側ポッドを収容した本発明のレチクル保管ポッドの専用外側ポッドの断面図である。 本発明の専用内側ポッドの蓋体とレチクルポッドの内側ポッドの蓋体との重なり合う様子を示す図である。 本発明のレチクルローディングシステムの外観立体図である。 本発明のレチクルローディングシステムの概略図である。 本発明のレチクル貯蔵方法のロードフローチャートである。 本発明のレチクル貯蔵方法のアンロードフローチャートである。 本発明のレチクルの移載の具体的なフローチャートである。 本発明の具体的実施形態に係るレチクルローディングシステムを示す図である。 具体的な実施形態に係る、レチクルローディングシステムで使用されるレチクル挟持機構を示す図である。 レチクル挟持機構の前面図である。 レチクル挟持機構の上面図である。 レチクル挟持機構と昇降台の協働を示す図である。 レチクルローディングシステムの異常処理フロー図である。 レチクルローディングシステムの別の異常処理フロー図である。 レチクル挟持機構の異常処理フロー図である。 本発明のレチクルローディングシステム及びレチクルストッカシステムのブロック図である。 本発明のレチクルストッカシステムの上面図（レチクルストッカシステム内部の具体的な配置を示す）である。 本発明の具体的な実施形態に係る保管棚の立体図である。 保管棚の底部配置を示す図である。 レチクル保管ポッドがある場合の保管棚を示す図である。 レチクル保管ポッドがある場合の保管棚をその底部から見た図である。 レチクル保管ポッドがある場合の保管棚を別の視点から見た図である。 具体的実施形態に係る保管棚及びロボットアームの上面図（ロボットアームがレチクル保管ポッドの下に位置し、保管棚上のレチクル保管ポッドの底部にある位置決め溝を破線で示す）である。 ロボットアームが保管棚の下に入り、レチクル保管ポッドを持ち上げる場合の側面図である。 ロボットアームがレチクル保管ポッドを保管棚から取り出す場合の側面図である。 保管棚の上流側給気管路及び流量制御手段を示す図である。 ２つの具体的実施形態に係る保管棚に接続する上流側給気管路を示す図である。 レチクルストッカシステムのロボットアームの異常処理フロー図である。 本発明の別の実施形態に係るレチクルローディング装置及びレチクルストッカシステムの概略図である。 図３２の実施形態に係るレチクルロードフローチャートである。 図３２の実施形態に係るレチクルアンロードフローチャートである。 図３２の実施形態に係る具体的なレチクル移載フロー図である。 内側ポッド移載フローの概略図である。 本発明の別の実施形態に係るレチクルローディング装置及びレチクルストッカシステムの概略図である。 具体的実施形態に係る収納室を示す図である。 収納室内側の上向き載置面の配置を示す図である。 収納室内にあるシングルポッドを示す図である。 収納室の載置面機構がシングルポッドの底部を支持していることを示す図である。 図３７に係るレチクルロードフロー図である。 図３７に係るレチクルアンロードフロー図である。 図３７の実施形態に係る具体的なレチクル移載フロー図である。 ストッカシステムのロボットアームと収納室のインタラクション実施形態を示し、ポッドを収納室に入れるフロー図である。 ストッカシステムのロボットアームと収納室のインタラクション実施形態を示し、収納室からポッドを取り出すフロー図である。 ストッカシステムのロボットアームと収納室の別のインタラクション実施形態を示し、ポッドを収納室に入れるフロー図である。 ストッカシステムのロボットアームと収納室の別のインタラクション実施形態を示し、収納室からポッドを取り出すフロー図である。 本発明の実施形態に係るレチクルストッカ管路気体充填システムの概略図である。 本発明の別の実施形態に係るレチクルローディング装置及びレチクルストッカシステムの概略図である。 図４４の実施形態に係るレチクルロードフロー図である。 図４４の実施形態に係るレチクルアンロードフロー図である。 図４４の実施形態に係る別のレチクルロードフロー図である。 図４４の実施形態に係る別のレチクルアンロードフロー図である。

以下は、図面を参照しつつ本発明をより完全に説明し、かつ特定の実施形態を例示する。しかし、請求する主題は、様々な異なる形態で具体的に実施され得、したがって、カバー又は出願の請求する主題の構成は、本明細書に開示された具体的実施形態に限定されない。具体的実施形態は、単なる例示である。同様に、本発明は、出願又はカバーされる請求の主題に対して合理的に広い範囲を提供することを意図している。

本明細書で使用される用語「一実施形態において」は、必ずしも同じ特定の実施形態を指すとは限らず、本明細書で使用される用語「他のいくつか／特定の実施形態において」は、必ずしも異なる具体的実施形態を指すとは限らない。請求される主題は、具体的実施形態の全部或いは一の組み合わせを含むことが意図されている。

以下の実施形態の説明に記載の「専用」という用語は、本発明が解決しようとする貯蔵問題に応じて提示される技術的手段、例えば、専用ポッド、専用外側ポッド又は専用内側ポッドに関する。「非専用」という用語は、貯蔵目的に応じて関連する技術的手段ではなく、既存又は他の新規のレチクルの内側ポッド又は外側ポッドであり得る。本明細書に記載の非専用ポッドは、図１に示される従来のデュアルポッドなどの既存のレチクルポッドとして理解することができるが、非専用ポッドが既存のレチクルポッドにしかなり得ないという意味ではない。より具体的には、本明細書における非専用ポッドは、貯蔵目的のため使用されないレチクルポッドとして理解されるべきであり、例えば工場での一般的な輸送目的に適したレチクルポッドである。この点について、先ず説明しておく。

図３は、本発明のレチクルストッカシステムのブロック図である。本発明は、レチクルポッド１０内のレチクルを貯蔵するためのレチクル貯蔵手段を提供する。レチクル貯蔵システムは、レチクルローディングシステム２００と、レチクルストッカシステム６００とを含み、レチクルローディングシステム２００はレチクルをレチクルポッド１０とレチクル保管ポッド１００との間で移載するか、レチクルを収納する内側ポッドをレチクルポッド１０或いはレチクル保管ポッド１００に入れるために用いられる。本明細書に記載のレチクルポッド１０は、従来のレチクルポッド又は工場の天井クレーンシステムと協働するレチクルポッドを指し得ることを理解されたい。前記レチクル保管ポッド１００は、従来のレチクルポッドとは異なり、本発明により提示され、本発明のレチクルストッカシステム６００のために専用される保管手段である。

レチクルローディングシステム２００は、工場環境に接続された第１ポート２０２と、レチクルストッカシステム６００に接続された第２ポート２０４とを備える。第１ポート２０２は、レチクルポッド１０が工場環境とレチクルローディングシステム２００から提供されるロード環境との間で移載されることを可能にし、第２ポート２０４はレチクル保管ポッド１００がロード環境とレチクルストッカシステム６００の貯蔵環境との間で移載されることを可能にする。第１ポート２０２及び第２ポート２０４は、工場環境、ロード環境及び貯蔵環境を独立して分離するための弁手段を含み得る。第１ポート２０２は、天井クレーンシステムと協働するようにさらに構成されてもよい。

レチクルストッカシステム６００は、複数のレチクル保管ポッド１００を格納できる１つ又は複数のレチクル保管棚（図示せず）と、レチクル保管ポッド１００をプレース及びピックアップするためのレチクルストッカ制御システム３００と、各レチクル保管棚の気体環境に用いられるレチクルストッカの気体充填管路システム４００と、全てのプロセスを担当するレチクルストッカ管理システム５００とを含み、詳細については後で説明する。

図４は、本発明のレチクルストッカシステム６００の具体的外部構成を示し、レチクルローディングシステム２００はレチクルストッカシステム６００の一側に隣接するが、本発明はこれに限定されない。レチクルローディングシステム２００の第１ポート２０２は、天井クレーンシステムと協働してレチクルポッド１０を垂直にロード又はピックアップすることが容易にするため、基本的に上向きである。第２ポート（図示せず）は、レチクルローディングシステム２００の側面に位置し、レチクル保管ポッド１００を水平にロード又はピックアップするため、レチクルストッカシステム６００に面している。

レチクルローディングシステム２００は、レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００のための識別手段を有するように構成され、その識別手段は例えば内側ポッド及び／又は外側ポッド上のＲＦＩＤ或いは二次元コードを識別するために用いられ、ＲＦＩＤ或いは二次元コードの情報はポッド又はレチクルの識別番号に関連付けられ得る。前記識別手段は、ポッド内のペリクル（Ｐｅｌｌｉｃｌｅ）が損傷しているかどうかをポッドの窓を通して検出することと、二次元コードを読み取ることをさらに含み得る。

第１ポート２０２及び第２ポート２０４は、それぞれレチクルローディングシステム２００内の異なる昇降手段に対応し、すなわち、レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００がロード環境に入った後、それぞれの昇降手段によって保持される。前記ロード環境は、レチクルポッド１０とレチクル保管ポッド１００との間でレチクルを移載するためのレチクル挟持手段をさらに含む。昇降手段、挟持手段に関連する詳細は、以下の段落で説明される。

レチクルローディングシステム２００が使用できない場合（例えば、メンテナンス中）、レチクルストッカシステム６００は、レチクル保管ポッド１００を必要なレチクルと共に第２ポート２０４に送ることができる。レチクルストッカシステム６００は、手動操作ドアを提供しており、作業員が前記手動操作ドアを通じてレチクル保管ポッド１００を取り出し、レチクルを前記レチクル保管ポッド１００の保護下で安全に取り出すことができる。レチクルストッカシステム６００の頂部に、外気を取り入れてレチクルストッカシステム６００の使用に供するためのファンフィルタユニット（Ｆａｎ－Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ，ＦＦＵ）を配置し得る。また、対応する排気ユニットも必要である。

図５Ａは、本発明のレチクル保管ポッドの分解側面図である。本発明のレチクル保管ポッドは、専用内側ポッドと、専用外側ポッドとを含む。本発明の好ましい実施形態において、レチクル保管ポッド１００は、デュアルポッド構造で、本発明のレチクルストッカシステム６００の保管棚のため使用される。保管専用に使用されているにもかかわらず、本発明のレチクル保管ポッド１００は、従来のレチクルポッド１０と同様に、レチクルを保護する密封手段を有し、すなわちポッドの接触面は優れたシール性及びパーティクル遮断設計を有する。

本発明のレチクルストッカシステム６００のためのレチクル保管ポッド１００は、専用外側ポッド１０２と、専用内側ポッド１０１とを含む。専用外側ポッド１０２は、専用内側ポッド１０１を収納し、専用内側ポッド１０１の内部にレチクルＲを格納する。専用外側ポッド１０２は、外側蓋体１５０と外側ベース部１６０（ドアとも呼ばれる）とから成り、専用内側ポッド１０１は蓋体１１０とベース部１３０とから成る。

図１の従来のレチクルポッド１０と比較して、図５Ａの本発明のレチクル保管ポッド１００の外側蓋体１５０は、天井クレーンシステムに合わせる必要がないため、従来のレチクルポッド１０のハンドル５２のようなものを省略して、レチクル保管ポッド１００の全高は従来のレチクルポッド１０の全高よりも低くなる。また、図１の従来のレチクルポッド１０と比較して、図５Ａの本発明の外側ベース部１６０の内側に設けられた位置決めピン１６１も比較的短いため、本発明の外側蓋体１５０及び外側ベース部１６０の高さは、図１の従来のレチクルポッド１０の外側蓋体５０及び外側ベース部４０の高さよりも小さくなる。本発明のレチクル保管ポッド１００の全高を最小化するため、外側蓋体１５０の両側に設けられた一対のハンドル１５１は外側蓋体１５０の頂面より高くない。短くなる位置決めピン１６１は、専用内側ポッド１０１を収容する空間の高さも低くなることを可能にする。したがって、本発明のレチクル保管ポッド１００の全高は、従来のレチクルポッド１０の高さよりも著しく低く、本発明のレチクルストッカシステム６００がより多くのレチクル保管ポッド１００及びレチクルを収納できる。

図５Ｂは、本発明の専用外側ポッドの外側蓋体１５０の立体図であり、天井クレーンシステムに合わせる構造設計が省略されている。外側蓋体１５０は、平らな頂面１５２と、前記平らな頂面１５２から下向きに延びる周側面とを有し、ハンドル１５１が周側面から延在し、平らな頂面１５２よりも実質的に高くない、又は平らな頂面１５２からわずかな高さしかない。

図５Ｃは、本発明の専用外側ポッドの外側ベース部１６０の立体図であり、その底部に複数の気体バルブ１６２及び位置決め溝１６３が配置され、気体バルブ１６２は、特定の気体を専用外側ポッド１０２に供給するか、または、専用外側ポッド１０２から気体を排出するための特定の接続ポートと組み合わせることができ、位置決め溝１６３は専用外側ポッド１０２を装置中の特定の位置に位置決めするために用いられる。

図５Ｄは、本発明の専用内側ポッド１０１の分解立体図であり、蓋体１１０と、ベース部１３０と、保持機構とを含む。蓋体１１０とベース部１３０が結合して収納スペースを画定し、保持機構は前記収納スペースに収容されるようにレチクルＲを支持及び制限する。蓋体１１０の頂部は、基本的に平らな面で、かつフィルターメンブレンカバー１１２が設けられ、特定の形状及び配列の複数の凹溝１１４が形成され、本実施形態は４つの特定の形状及び配列の凹溝１１４を例として説明する。

図５Ｅ～図５Ｊを参照すると、図１のレチクルポッド１０の内側ポッド１１の構造と比較して、本発明のレチクル保管ポッド１００の専用内側ポッド１０１の保持機構は、レチクルＲの面取り部に接触している。図５Ｆ及び図５Ｈに示すように、保持機構は、蓋体１１０の内側の４隅に設けられた弾性ホールドダウン機構（すなわち、レチクルリテーナ１２０）と、ベース部１３０の上側に設けられた４本の支持体１３４とを含み、弾性ホールドダウン機構及び支持体１３４の数量と位置の配置は蓋体１１０の頂部にある凹溝１１４の位置に合わせて設計する。したがって、これらのレチクルリテーナ１２０と支持体１３４の位置は互いに対応する。蓋体１１０とベース部１３０が結合してレチクル（Ｒ）を収容した時、４つの支持体１３４及び対応するレチクルリテーナ１２０はレチクルＲの４つの角部（ｃｏｒｎｅｒｓ）に接触すると共に制限する。蓋体１１０の中央部に複数の気体通路が設けられ、上側にフィルターメンブレンカバー１１２が設けられてこれらの気体通路の上を覆う。具体的には、フィルターメンブレンカバー１１２は、図５Ｇに示すように、蓋体１１０の頂面の中央陥凹部に取り付けられ、フィルターメンブレンカバー１１２が蓋体１１０の頂面から突出しないようにする。蓋体１１０の側面からそれぞれ外向きに延びる一対のハンドル１１１は、レチクルローディングシステム２００の蓋開作業中に特定の機構と相互作用することができ、関連する詳細は以下の段落で説明される。

また、蓋体１１０の頂部にある凹溝１１４の位置は、レチクルリテーナ１２０の位置に対応する。したがって、専用内側ポッド１０１が専用外側ポッド１０２に収容される場合、蓋体１１０の凹溝１１４が外側蓋体１５０の内側に設けられたホールドダウン機構と係合でき、蓋体１１０に押さえ付け力を得させ、これにより専用内側ポッド１０１の結合及びレチクルＲの保持を補強し、関連する詳細を以下の段落で説明する。

図１のレチクルポッド１０の内側ポッド１１と比較して、本発明のレチクル保管ポッド１００の専用内側ポッド１０１は、レチクルＲをより安定して収納する。専用外側ポッド１０２の外側蓋体１５０が専用内側ポッド１０１の蓋体１１０の頂面に外力を加えることにより、蓋体１１０の内側面に設けられた弾性ホールドダウン機構（すなわち、レチクルリテーナ１２０）がレチクルＲの４つの角部を安定に押し付けるように促される。より具体的には、長距離輸送中にレチクルを固定するために、図１のレチクルポッド１０は、外側ポッド１２の外側蓋体５０で外力を内側ポッド１１の蓋体３０に設けられた弾性ホールドダウン機構に加え、前記弾性ホールドダウン機構がレチクルの上面に作用するようにさせる。換言すれば、図１の外側蓋体５０は、蓋体３０に作用するものでない。

図１のレチクルポッド１０の内側ポッド１１のベース部２０と比較して、本発明のレチクル保管ポッド１００の専用内側ポッド１０１のベース部１３０は、ベース部２０の複雑構造を省略し、省略されたこれら複雑構造がベース部２０の底面の反射レーザー彫刻、一部の窓枠及び段差状構造を含み得、本発明のベース部１３０は追加の加工作業を必要としないことで、コストを大幅に削減でき、かつベース部１３０の底面が位置決め溝１３２及び窓Ｗの配置を除いて平らな表面である。ベース部１３０は、レチクルＲ上の二次元コードとペリクル（Ｐｅｌｌｉｃｌｅ）を検出するための窓Ｗを備える。ベース部１３０の底面及び側辺は、連続した平らな面で、このような段差のない設計は、パージ及びクリーニングに便利である。

また、ベース部１３０上のペリクル溝１３１の深さは、図１のベース部２０のペリクル溝の深さよりも深く、ポッド内の空気交換効率を向上させ、相対湿度（ＲＨ％）の低下率を高め、レチクルの長期保管に有利になる。図６Ａに示すように、ベース部１３０に周溝１３３が形成され、周溝１３３内のレチクルＲの４つの角部に対応する位置に４つの支持体１３４が設けられる。蓋体１１０とベース部１３０が気密に結合された後、周溝１３３の構成はポッドに入るパーティクルの捕捉を助ける。

図５Ｋは、本発明の専用内側ポッドのベース部１３０立体図であり、図５Ｌ及び図５Ｍが図５Ｋ内の破線枠に従ってそれぞれ周溝内に配置された支持体１３４の拡大図である。

図５Ｎは、本発明の蓋体１１０内側に設けられたレチクルリテーナ１２０を示す図である。本発明の蓋体１１０の弾性ホールドダウン機構は、図５Ｎに示すレチクルリテーナ１２０によって実施することができる。レチクルリテーナ１２０は、本体１２１と、本体１２１の両側から異なる方向に延在する一対の弾性アーム１２２とを含み、各弾性アーム１２２の一端が本体１２１に連結され、他端が制限部１２３に連結される。制限部１２３の一端は、弾性アーム１２２に連結され、他端が傾斜面１２４に連結される。この２つの傾斜面１２４は、制限部１２３から上向きに傾斜して延び、かつ制限部１２３からはなれた２つの傾斜面１２４の末端が連結されている。具体的には、この２つの傾斜面１２４の末端は、押付部１２５に共に連結されるが、本発明はこれに限定されず、例えば押付部１２５は省略してもよい。

レチクルリテーナ１２０の本体１２１にネジ穴が設けられて、レチクルリテーナ１２０は既知の締付手段により蓋体１１０の内側に固定されることができる。前記一対の弾性アーム１２２をつながる２つの傾斜面１２４は、レチクルの角部の両側上縁端にそれぞれ接触するために用いられる。本実施形態において、制限部１２３は、基本的に水平方向に延在する構造であり、図５Ｌ及び図５Ｍに示す支持体１３４に合わせることで、前記一対の弾性アーム１２２の横方向移動を制限することからレチクルの角部の揺れを制限する効果を奏する。

図６Ａは、レチクルの角部を制限及び支持する本発明の専用内側ポッドのレチクルリテーナ１２０及び対応する支持体１３４を示す図である。図６Ｂは、レチクルリテーナ１２０の横方向移動を制限する本発明の支持体１３４の部分的拡大図である。

本発明のベース部１３０の４つの支持体１３４は、それぞれベース部１３０の４つの角部の周溝１３３内に設けられ、それぞれレチクルＲの対応する角部を支持するために用いられる。支持体１３４は、周溝１３３内から上向きに突起する２つの支持部を有し、各支持部にはレチクルＲに面し、レチクルＲに向かって下向きに傾斜する傾斜面１３５を有する。前記一対の傾斜面１３５は、図６Ａに示すように、基本的に直交しており、それぞれレチクルＲの対応する角部の両側下縁部に接触し、係合する。支持体１３４の各支持部の頂端から制限ブロック１３６を上向きに延在する。制限ブロック１３６は、傾斜面１３５の頂端に位置し、レチクルＲと干渉しない。レチクルＲが支持体１３４の上に置かれた場合、各支持体１３４の２つの制限ブロック１３６は、それぞれレチクルＲの角部の両側面に位置する。図６Ａ及び図６Ｂに示すように、蓋体１１０とベース部１３０が結合されると、各支持体１３４の２つの制限ブロック１３６は、それぞれレチクルリテーナ１２０の制限部１２３の外側に位置し、前記一対の弾性アーム１２２に連結された制限部１２３の横方向移動を制限する。したがって、蓋体１１０とベース部１３０が結合されると、レチクルリテーナ１２０の２つの制限部１２３は、各支持体１３４の２つの支持部の間に制限され、前記一対の制限部１２３の横方向移動が制限されてレチクルリテーナ１２０の揺れを低減する。その他の可能な実施形態において、制限ブロック１３６は、制限部１２３の内側に配置され得る。好ましくは、図６Ｂに示すように、ハードウェアの摩擦によるパーティクルの発生を防ぐため、制限部１２３と制限ブロック１３６との間に緩衝スペースがある。

図７Ａは、本発明の専用内側ポッドの立体図で、図７Ｂは図７Ａの一点鎖線に沿った本発明の専用内側ポッドの断面図である。図１のレチクルポッド１０の内側ポッド１１構造と比較して、本発明の専用内側ポッド１０１の蓋体１１０とベース部１３０との間に特定の結合方向はなく、蓋体１１０の頂面は、大面積の平らな面で、ステップ構造がなく、すなわち蓋体１１０全体は、凹溝及び稜角等の構造が大幅に減少されている。レーザーマーキング、窓、カウンターウェイトブロック、段付き構造などの設計も、ベース１３０の底面から大幅に減少又は排除されているため、本発明の専用内側ポッド１０１の蓋体１１０及びベース部１３０は加工工程を減らして製造を容易にし、歩留まりを向上するのに役立つ。また、ベース部１３０には、深さを増すペリクル溝１３１が形成され、専用内側ポッド１０１の収納スペースに内外空気のより良い交換効率を得させ、前記収納スペースの相対湿度ＲＨ％の制御を助ける。

また、本発明の専用内側ポッド１０１の保持機構は、前記レチクルリテーナ１２０の一対の弾性アーム１２２に合わせるレチクルエッジの面取り部と、支持体１３４の一対の制限ブロック１３６でレチクルリテーナ１２０を制限する前記一対の制限部１２３とを含み、これによりレチクルを保持する。支持体１３４及びレチクルリテーナ１２０は、傾斜面１３５を通じてレチクルに接触することで、レチクルの上下面に痕が残らないようにし、レチクルの水平状態を維持し、レチクルをガイドするにも役立つ。蓋体１１０とベース部１３０との間の接触面は、既知手段を介して密封接触を形成できる。本実施形態において、ベース部１３０の接触面は、ベース部１３０の最高面よりも低く、ベース部１３０の接触面と最高面が周溝１３３で分離され、パーティクルがペリクル領域に入るのを防止することに役立つ。

図８Ａは、本発明の専用外側ポッド１０２の外側蓋体１５０の底面図で、４つのホールドダウン機構があることが分かる。図８Ｂは、ホールドダウン機構の詳細及び専用内側ポッドの蓋体１１０に作用するホールドダウン機構を示し、外側蓋体１５０を省略して示されていない。図９Ａは、図５Ａのレチクル保管ポッド１００の結合時の断面図である。図９Ｂは、図９Ａの破線で示された領域の部分的拡大図である。

本発明の専用外側ポッド１０２の内側にこれらのホールドダウン機構を配置する専用内側ポッド１０１を収容する時、外側蓋体１５０が押さえ付け外力を前記専用外側ポッド１０２に収容された専用内側ポッド１０１に加える。図５Ｂ及び図５Ｃを併せて参照すると、本発明の専用外側ポッド１０２は、外側蓋体１５０と、外側ベース部１６０とを含む。本発明によりさらに提供されるホールドダウン機構は、外側蓋体１５０及び外側ベース部１６０が異なる構造の内側ポッド、すなわち図２の内側ポッド１１又は図５Ｄの専用内側ポッド１０１を収容するために用いられることができる。本実施形態において、前記異なる構造の内側ポッドは、本発明の専用内側ポッド１０１及びレチクルポッド１０の内側ポッド１１によって示され、両者が蓋体１１０、３０の頂面に異なる配置があるが、本発明はこの２つの内側ポッドに限定されない。

外側蓋体１５０の内側の下向きの表面に設けられた各ホールドダウン機構の位置は、異なる構造の専用内側ポッド１０１、１１のレチクルの４つの角部を保持する位置にほぼ対応する。各ホールドダウン機構は、第１ホールドダウン機構と、第２ホールドダウン機構とを含み、前記第１ホールドダウン機構は押さえ付け力をレチクルポッド１０の内側ポッド１１の蓋体３０のみに与えることができるが、本発明の専用内側ポッド１０１の蓋体１１０に加えることができないように構成される。対照的に、前記第２ホールドダウン機構は、押さえ付け力を本発明の専用内側ポッド１０１の蓋体１１０のみに与えることができるが、レチクルポッド１０の内側ポッド１１の蓋体３０に加えることができないように構成される。また、本発明は、第１ホールドダウン機構及び第２ホールドダウン機構を別個の要素又は一体的に形成された単一の要素に限定しない。

図８Ａを参照すると、本発明のホールドダウン機構は、外側蓋体１５０の下向きの表面に配置され、レチクルの角部にほぼ対応する。本実施形態において、前記第１ホールドダウン機構は、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３で、前記第２ホールドダウン機構がホールドダウン柱１５４で、両者が弾性材質であり得る。具体的には、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３は曲がりくねったＵ字形の延長構造で、ホールドダウン柱１５４が馬蹄形のホールドダウンリブ１５３の内側に位置するか、または、ホールドダウン柱１５４は馬蹄形のホールドダウンリブ１５３に囲繞される。本実施形態のホールドダウン柱１５４は、Ｙ字形構造であるが、本発明はこれに限定されない。

図８Ｂを参照すると、第１ホールドダウン機構は、蓋体１１０の凹溝１１４に嵌合でき、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３が所定のサイズ及び形状である。本発明のレチクル保管ポッド１００の専用外側ポッド１０２に専用内側ポッド１０１を収容する時、専用外側ポッド１０２の外側蓋体１５０の内側面に配置された馬蹄形のホールドダウンリブ１５３はそれぞれ蓋体１１０の対応する凹溝１１４内に嵌め込まれ、かつ馬蹄形のホールドダウンリブ１５３の下面が凹溝１１４の底面に接触され、外側蓋体１５０の重量が馬蹄形のホールドダウンリブ１５３を介して蓋体１１０に作用するが、ホールドダウン柱１５４は、サイズのため凹溝１１４の底面に接触できない。図９Ａ及び図９Ｂに示すように、専用内側ポッド１０１を収容するため、外側蓋体１５０が外側ベース部１６０と結合する時、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３の垂直寸法はホールドダウン柱１５４の垂直寸法よりも大きいため、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３の下端が凹溝１１４に嵌め込んで凹溝１１４の底面に当接でき、ホールドダウン柱１５４が凹溝１１４に吊り下げている。換言すれば、専用外側ポッド１０２が専用内側ポッド１０１を収容する時、ホールドダウン柱１５４は蓋体１１０に作用しない。また、凹溝１１４の側壁は、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３の横方向移動を制限し、専用外側ポッド１０２での専用内側ポッド１０１の横揺れを防止することができる。

図１０Ａは、レチクル輸送用の内側ポッド１１の立体図である。図１０Ｂは、レチクルポッド１０の内側ポッド１１の蓋体３０の対応する機構に作用するホールドダウン機構を示す図で、外側蓋体１５０を省略して示されない。図１０Ｃはホールドダウン機構及びレチクルポッド１０の内側ポッド１１の対応する機構の拡大図である。

内側ポッド１１の蓋体３０上のレチクル角部にほぼ対応する位置に対応する弾性ホールドダウン機構が設けられる。弾性ホールドダウン機構は、ホールドダウンピン３２と、前記ホールドダウンピン３２を固定するキャップ３４とを含む。具体的には、ホールドダウンピン３２の頂端が蓋体３０の頂部に露出し、ホールドダウンピン３２の下端が蓋体３０の内側に下向きに延びて内側ポッド１１の収納スペースに露出する。内側ポッド１１がレチクルを収容し、かつホールドダウンピン３２の頂端に押さえ付け力が加えられると、ホールドダウンピン３２は強制的に下降し、ホールドダウンピン３２の下端をレチクルの上面に当接させることでレチクルを保持する。

本発明のレチクル保管ポッド１００の専用外側ポッド１０２が、図１０Ａの内側ポッド１１を収納する時、専用外側ポッド１０２の外側蓋体１５０の内側面に設けられたホールドダウン機構は、内側ポッド１１の弾性ホールドダウン機構に作用することができる。具体的には、図１０Ｂに示すように、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３及びホールドダウン柱１５４の垂直寸法が異なるため、ホールドダウン機構のホールドダウン柱１５４の底端はホールドダウンピン３２の露出した頂端に当接でき、これにより外側蓋体１５０の重量がホールドダウン柱１５４を介してホールドダウンピン３２の露出した頂面に押さえ付けることができ、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３がキャップ３４の周囲を囲繞して蓋体３０に作用しない。図１０Ｃに示すように、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３の内壁は、キャップ３４の横方向移動を制限することで、専用外側ポッド１０２での内側ポッド１１の横揺れを防ぐことができる。

本実施形態のホールドダウン柱１５４のＹ字形構造の目的は、ホールドダウン柱１５４とキャップ３４との間に構造的干渉を生じさせて、ホールドダウン柱１５４がホールドダウンピン３２を過度に押さえ付けることにより、レチクルが不適切な力を受けるのを防ぐ。好ましくは、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３とキャップ３４との間に適切な緩衝スペースがあるため、ハードウェアの摩擦によるパーティクルの発生を防ぐことができる。

図１１Ａは、専用内側ポッド１０１を収容する本発明のレチクル保管ポッドの専用外側ポッド１０２の断面図である。図１１Ｂは、非専用内側ポッド１１を収容する本発明のレチクル保管ポッドの専用外側ポッド１０２の断面図である。すなわち、本発明により提供される専用外側ポッド１０２は、２つの構造から成るホールドダウン機構を含むため、貯蔵目的により提示される専用内側ポッド１０１を収容できるだけでなく、この技術分野で広く使用されている従来の内側ポッド１１を収容することもできる。この２つの異なる構成及び使用目的の内側ポッド１１、１０１にとって、このようなホールドダウン機構は均しく安定した収容の効果を奏することができる。

図１２は、本発明の専用内側ポッド１０１の蓋体１１０と非専用内側ポッド１１の蓋体３０との重なり合う様子を示す図である。凹溝１１４の体積は、弾性ホールドダウン機構のキャップ３４の体積よりも大きく、弾性ホールドダウン機構のホールドダウンピン３２の頂部の高さが凹溝１１４の底面より高く、図内に示す垂直の段差Ｈは、専用内側ポッド１０１又は非専用内側ポッド１１が専用外側ポッド１０２に収容される場合、馬蹄形のホールドダウンリブ１５３が凹溝１１４の底面に押し当て、又は外側蓋体１５０のホールドダウン柱１５４の底面がホールドダウンピン３２の頂端に押し当てる。換言すれば、専用内側ポッド及び非専用内側ポッドに合わせるため、本発明の外側蓋体１５０の内側に設けられた第１ホールドダウン機構（馬蹄形のホールドダウンリブ１５３）及び第２ホールドダウン機構（ホールドダウン柱１５４）の垂直寸法は、基本的には垂直の段差Ｈと同様の高さ差がある。

図１３は、本発明のレチクルローディングシステム２００の外観立体図である。図１４は、本発明のレチクルローディングシステム２００の配置概略図である。

本発明のレチクルローディングシステム２００は、Ｅ８４規格をサポートし、レチクルポッド１０のロード又はアンロードを可能にする第１ポート２０２と、図４のレチクルストッカシステム６００の接続通路に接続され、レチクル保管ポッド１００のロード又はアンロードを可能にする第２ポート２０４とを備える。具体的には、工場の天井クレーンシステムは、第１ポート２０２と協働してレチクルポッド１０をレチクルローディングシステム２００にロードする又はレチクルローディングシステム２００からレチクルポッド１０を取り出すことができる。第２ポート２０４は、レチクルストッカシステム６００内のロボットアームと協働してレチクル保管ポッド１００をレチクルストッカシステム６００環境とレチクルローディングシステム２００環境との間で移載させることができる。本実施形態において、第２ポート２０４は、レチクルローディングシステム２００の裏面に位置するため、図１３には見られない。

レチクルローディングシステム２００は、レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００のための識別及び検査手段、例えばポッド又はレチクルに関するＲＦＩＤ読み取り手段、二次元コード読み取り手段、レチクルペリクル(Ｐｅｌｌｉｃｌｅ)検査手段を備えるよう構成される。

第１ポート２０２及び第２ポート２０４は、それぞれ第１昇降手段及び第２昇降手段に対応する。本実施形態において、第１昇降手段Ａは、主に昇降台を制御してレチクルポッド１０を載置し、第２昇降手段Ｂが主に別の昇降台を制御してレチクル保管ポッド１００を載置する。第１昇降手段Ａは、昇降台を高所から低所までそれぞれＡ０、Ａ１、及びＡ２の異なる垂直高さにとどまることができる。同様に、第２昇降手段Ｂは、昇降台を高所から低所までそれぞれＢ０、Ｂ１及びＢ２の異なる垂直高さにとどまることができる。図１４に示すように、高さＡ０及びＢ０に位置するレチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００は両方とも非開状態にあり、高さＡ１及びＢ１に位置するレチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００が両方とも開いた状態（図示せず）にあり、高さＡ２及びＢ２に位置するレチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００が両方とも開かれ、そのうちの１つがレチクルを露出する。より具体的には、レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００は、高さＡ１及びＢ１に位置する時、開蓋手段により外側蓋体及び内蓋体を外側ベース部及び内側ベース部から分離される。より具体的には、レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００が高さＡ２及びＢ２に位置する時、各々の外側ベース部及び内側ベース部のみが昇降台に残され、内外側蓋体がブロックされたため、高さＡ２及びＢ２まで降下せず、この時レチクルはレチクル移載環境２０６に位置することができる。

レチクル移載環境２０６の条件は、レチクルの移載リスクが低いことを確保するため、高さＡ０、Ａ１、Ｂ０及びＢ１とは異なることができる。レチクル移載環境２０６は、レチクルをベース部からピックアップ又はレチクルをベース部にプレースし、レチクルをレチクルポッド１０のベース部とレチクル保管ポッド１００のベース部との間で移載できるように構成されるレチクル挟持機構を含む。

また、レチクルストッカシステム６００内のロボットアームは、第２ポート２０４を経由してレチクルローディングシステム２００内のレチクル保管ポッド１００をピックアップすることができる。レチクルローディングシステム２００が故障して作動不能になり、その内部にレチクル保管ポッド１００がまだある場合、レチクルストッカシステム６００のロボットアームは、レチクル保管ポッド１００を一時的に取り出すことで、レチクルストッカシステム６００の専用ポッドがレチクルローディングシステム２００の修理により汚染されることはない。

レチクルローディングシステム２００内の環境にも一定の清浄度があることを確保するため、図１３に示すように、ストッカの上に吸気、ろ過及び排気のためのファンフィルタユニット（Ｆａｎ－Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ，ＦＦＵ）が設けられる。

図１５及び図１６は、図１４の実施形態に係るレチクルのロード及びアンロードフローチャートである。

ステップ１５００Ａ：第１ポート２０２を経由してレチクルを収容した内側ポッドと前記内側ポッドを収容した外側ポッドとを含むレチクルポッド１０をロードする。前記レチクルは、使用されていないか、または使用済みであるため、保管する必要がある。前記内側ポッド及び外側ポッドは、それぞれ図１の内側ポッド１１及び外側ポッド１２に相当し得る。

ステップ１５００Ｂ：レチクルストッカシステム６００から、空の専用内側ポッドと専用内側ポッドを収容した専用外側ポッドとを含むレチクル保管ポッド１００をロードする。レチクルストッカシステム６００には複数のレチクル保管ポッド１００が格納されている。前記ステップでは、空の専用ポッドがロードされる。前記専用内側ポッド及び専用外側ポッドは、図５Ａの専用内側ポッド１０１及び専用外側ポッド１０２に相当し得る。

ステップ１５０２：レチクルローディングシステム２００は、それぞれレチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００を検出し、レチクルポッド１０の内側ポッド及び外側ポッドの開蓋動作を実行し、レチクル保管ポッド１００の専用外側ポッド及び専用内側ポッドの開蓋動作を実行し、レチクルポッド１０の外側ベース部及びレチクル保管ポッド１００の外側ベース部をレチクル移載環境２０６に下降させる。具体的には、このステップは、図１４の第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂの高さＡ０～Ａ２及びＢ０～Ｂ２をカバーすることができる。

ステップ１５０４：レチクルポッド１０のベース部からレチクルをピックアップし、レチクルをレチクル保管ポッド１００のベース部に移載する。このステップの移載は、レチクル挟持機構によって実施され、レチクルはレチクル汚染のリスクが低減するように、高清浄度のレチクル移載環境２０６内で移動される。

ステップ１５０６：レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００を閉状態に戻す。この時、レチクルポッド１０は空ポッドであり、レチクル保管ポッド１００には保管待ちのレチクルが載置されている。

ステップ１５０８：レチクルを格納したレチクル保管ポッド１００をレチクルストッカシステム６００によって指定された保管棚に輸送する。好ましくは、前記保管棚の指定は、保管棚と図１４の第２ポート２０４との間のロボットアームの最短移動経路に基づく。

ステップ１５１０：気体充填手段を実行し、非反応性気体をレチクル保管ポッド１００に充填して、レチクルの貯蔵を完了する。具体的には、前記保管棚は、レチクル保管ポッド１００に接続された専用管路と、コネクタとを備え、レチクルストッカシステム６００の専用外側ポッドに窒素気体を充填できる。換言すれば、貯蔵する専用内側ポッドは、特定の気体雰囲気下で保管される。

ステップ１６００Ａ：第１ポート２０２から空の内側ポッドと前記内側ポッドを収容した外側ポッドとを含むレチクルポッド１０をロードする。前記内側ポッド及び外側ポッドは、図１の内側ポッド１１及び外側ポッド１２に相当し得る。

ステップ１６００Ｂ：レチクルストッカシステム６００から、レチクルを収容した専用内側ポッドと前記内側ポッドを収容した専用外側ポッドとを含むレチクル保管ポッド１００をレチクルローディングシステム２００にロードする。前記専用内側ポッド及び専用外側ポッドは、図５Ａの専用内側ポッド１０１及び専用外側ポッド１０２に相当し得る。このステップにおけるレチクルは、レチクルストッカシステム６００に事前に保管され、さまざまな応用で取り出される。

ステップ１６０２：レチクルローディングシステム２００は、レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００をそれぞれ検出し、レチクルポッド１０の内側ポッド及び外側ポッドを開き、レチクル保管ポッド１００の内側ポッド及び外側ポッドを開き、レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００の外側ベース部をレチクル移載環境２０６に下降する。

ステップ１６０４：レチクル保管ポッド１００のベース部からレチクルをピックアップし、レチクルをレチクルポッド１０のベース部にプレースする。同様に、レチクルローディングシステム２００は、レチクル挟持機構でレチクルをレチクル保管ポッド１００のベース部からレチクルポッド１０のベース部に移載し、レチクルはレチクル移載環境２０６で移動される。

ステップ１６０６：レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００を閉状態に戻す。この時、レチクルポッド１０にはレチクルが載置されており、レチクル保管ポッド１００は空ポッドである。

ステップ１６０８：レチクルを収容したレチクルポッド１０を、第１ポート２０２を経由してレチクルローディングシステム２００から移出する。具体的には、第１ポート２０２は、天井クレーンシステムと協働してレチクルポッド１０を取り出させることができる。空のレチクル保管ポッド１００は、レチクルストッカシステム６００の適宜な領域に送り返され、次回に使用されるように待機する。

図１７は、本発明のレチクル移載の具体的なフローチャートである。以下は、図１４と併せて説明し、左半分は第１昇降手段Ａによって実行され、右半分が第２昇降手段Ｂによって実行され、残りは共同で実行する。

ステップ１７００Ａ：第１ポート２０２から、内側ポッドと前記内側ポッドを収容した外側ポッドとを含むレチクルポッド１０をレチクルローディングシステム２００の第１昇降手段Ａにロードする。具体的には、第１昇降手段Ａの昇降台は、レチクルポッド１０を受け取ると共に載置するように、高さＡ０で止まる。

ステップ１７００Ｂ：レチクルストッカシステム６００は、接続通路を経由して、専用内側ポッドと前記内側ポッドを収容した専用外側ポッドとを含むレチクル保管ポッド１００をレチクルローディングシステム２００の第２昇降手段Ｂにロードする。具体的には、第２昇降手段Ｂの昇降台は、レチクル保管ポッド１００を受け取ると共に載置するように、高さＢ０で止まる。

ステップ１７０２Ａ：レチクルポッド１０の外側ポッドの蓋体を把持し、第１昇降手段Ａの昇降台を高さＡ０から高さＡ１に下降させる過程で、外側ポッドの蓋体と外側ポッドベース部が分離される。昇降台が高さＡ１に位置する時、外側ポッドの蓋体が取り外され、外側ポッドのベース部及び内側ポッドのみは昇降台に残っている。

ステップ１７０２Ｂ：レチクル保管ポッド１００の外側ポッドの蓋体を把持し、第２昇降手段Ｂの昇降台を高さＢ０から高さＢ１に下降させる過程で、外側ポッドの蓋体と外側ポッドベース部が分離される。昇降台が高さＢ１に位置する時、外側ポッドの蓋体が取り外され、外側ポッドのベース部及び内側ポッドのみは昇降台に残っている。

ステップ１７０４Ａ：レチクルポッド１０の内側ポッドの蓋体を把持し、第１昇降手段Ａの昇降台を高さＡ１から高さＡ２に下降する過程で、内側ポッドの蓋体とベース部が分離される。昇降台が高さＡ２に位置する時、内側ポッドの蓋体が取り外され、外側ポッドのベース部及び内側ポッドのベース部のみは昇降台に残っている。昇降台が高さＡ０から高さＡ２に下降している間、レチクルローディングシステム２００は、適時に内側ポッドの二次元コード、レチクルの二次元コードを読み取り、及び／又はペリクル状態を検出することができる。

ステップ１７０４Ｂ：レチクル保管ポッド１００の内側ポッドの蓋体を把持し、第２昇降手段Ｂの昇降台を高さＢ１から高さＢ２に下降させる過程で、内側ポッドの蓋体とベース部が分離される。昇降台が高さＢ２に位置する時、内側ポッドの蓋体が取り外され、外側ポッドのベース部及び内側ポッドのベース部のみは昇降台に残っている。昇降台が高さＢ０から高さＢ２に下降している間、レチクルローディングシステム２００は、適時に内側ポッドの二次元コード、レチクルの二次元コードを読み取り、及び／又はペリクル状態を検出することができる。

ステップ１７０６：レチクルローディングシステム２００のレチクル挟持機構でレチクルをレチクルポッド１０の内側ポッドのベース部とレチクル保管ポッド１００の内側ポッドのベース部との間で移載する。レチクル挟持機構の具体的実施形態は、図１９Ａ～図１９Ｃ及びその説明を参照できる。

ステップ１７０８Ａ：第１昇降手段Ａの昇降台を高さＡ２から高さＡ１に上昇させる過程で、レチクルポッド１０の内側ポッドの蓋体を内側ポッドのベース部に結合させる。

ステップ１７０８Ｂ：第２昇降手段Ｂの昇降台を高さＢ２から高さＢ１に上昇させる過程で、レチクル保管ポッド１００の内側ポッドの蓋体を内側ポッドのベース部に結合させる。

ステップ１７１０Ａ：第１昇降手段Ａの昇降台を高さＡ１から高さＡ０に上昇させる過程で、レチクルポッド１０の外側ポッドの蓋体を外側ポッドのベース部に結合させる。

ステップ１７１０Ｂ：第２昇降手段Ｂの昇降台を高さＢ１から高さＢ０に上昇させる過程で、レチクル保管ポッド１００の外側ポッドの蓋体を外側ポッドのベース部に結合させる。

ステップ１７１２Ａ：第１ポート２０２を経由してレチクルポッド１０を移出する。第１昇降手段Ａの昇降台は、高さＡ０よりも高く、レチクルポッド１０をレチクルローディングシステム２００の第１ポート２０２に露出させて、天井クレーンシステムのその後の動作を待つ。

ステップ１７１２Ｂ：レチクルストッカシステム６００の接続通路を経由してレチクル保管ポッド１００をレチクルストッカシステム６００にロードする。レチクルストッカシステム６００のロボットアームは、レチクルローディングシステム２００に入ると共に第２昇降手段Ｂからレチクル保管ポッド１００をピックアップすることができる。

上述の実施形態において、第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂは、それぞれレチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００に対して、以下のような専用のカスタマイズされた操作を実行することができ、例えば第１昇降手段Ａはレチクル保管ポッド１００の外側ポッドに対してロック及びアンロックを実行するように構成され得る。

図１８は、本発明の具体的実施形態に係るレチクルローディングシステムを示す図で、図１４に示すような第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂを有する。第１昇降手段Ａは、外側ポッド蓋体支持面１８００Ａを有し、外側ポッド蓋体支持面１８００Ａが基本的にレチクルポッド１０の外側ポッドの蓋体のみと接触し、すなわち外側ポッド蓋体支持面１８００Ａの中央には外側ポッドのベース部を落下させる中空部を有する。レチクルポッド１０の外側ポッドのベース部は、昇降台１８０２Ａによって載置される。したがって、レチクルポッド１０の外側ポッドがロックされていない場合、昇降台１８０２Ａの下降により、外側ポッドの蓋体及びベース部を分離させて、外側ポッドのベース部を内側ポッドと一緒に下降させることで、ポッドを開くという目的を達成する。ポッドを閉めることも同様で、昇降台１８０２Ａが外側ポッド蓋体支持面１８００Ａとほぼ面一となる高さまで上昇する過程で、レチクルポッド１０の外側ポッドの蓋体はベース部と結合される。

第２昇降手段Ｂは、レチクル保管ポッド１００を操作するための類似の構成を有し得る。図１８は、レチクルポッド１０の外側ポッドの開状態のみを示し、レチクルポッド１０の内側ポッドの開きがその他の機構の介入によっても開くことができる。レチクル保管ポッド１００は、同じ機構によって開きや閉じることもできる。また、レチクルローディングシステム２００に適切な識別装置又は感知ユニットを提供でき、レチクルポッド１０及びレチクル保管ポッド１００が開かれた時ポッド上の関連情報、例えばＲＦＩＤ及び二次元コードを適時に識別できる。

図１９Ａ、図１９Ｂ及び図１９Ｃは、具体的な実施形態に係るレチクルローディングシステムで使用されるレチクル挟持機構１９００を示す図である。レチクル挟持機構１９００は、図１４に示すレチクル移載環境２０６内に配置され、レール１９０２と、挟持組立体１９０４とを備える。レール１９０２は、レチクルローディングシステム２００の内側に固定され、図２０に示すように、挟持組立体１９０４がレール１９０２上で水平に動できるように制御される。挟持組立体１９０４は、一対の挟持アーム１９０６と、一対の接触板１９０８とを備える。前記一対の接触板１９０８は、駆動されて互いに接近することができ、係合部１９１０を介してレチクルＲの周囲と結合され、レチクルＲを挟む目的を達成する。レチクル挟持機構１９００には、垂直方向に移動する能力がないため、昇降台が下降することで、レチクルＲをベース部から離れることができる。

図２０は、レチクル挟持機構１９００と昇降台２０００の協働を示す側面図である。図２０内の右図に示されるように、外側ポッド１２の外側ベース部４０、内側ポッド１１のベース部２０及びレチクル（図示せず）を載置した昇降台２０００は、レチクル挟持機構１９００の下に下降する。次に、挟持組立体１９０４は、昇降台２０００に載置されたレチクルＲの上方まで水平方向に移動する。図２０内の左図に示されるように、昇降台２０００はレチクルが挟持されることができる高さまで上昇する。挟持組立体１９０４は、レチクルを挟んだ後、昇降台２０００が下降する。挟持組立体１９０４ｇが別の昇降台（図示せず）の上に水平移動する。同様に、別の昇降台が、内側ポッドのベース部がレチクルを載置可能な高さまで上昇する。挟持組立体１９０４はレチクルを解放して移載を完了する。レチクル挟持機構１９００が作動しない間に、挟持組立体１９０４は２つの昇降手段の間に移動されて、動作の干渉を防ぐことができる。図２０内の破線は、挟持組立体１９０４の移動過程中で同じ高さに保たれることを示している。

図２１は、レチクルローディングシステムの異常処理フローを示し、より具体的には、図１４の第１昇降手段Ａ又は第２昇降手段Ｂの昇降台によるレチクルポッド１０のロード異常処理フローである。

レチクルポッド１０のロード異常により稼働停止した場合、レチクルローディングシステム２００は、異常状態を表示し、初期化キーが有効にされているかどうかを検出することができる。初期化キーが有効にされると、レチクルローディングシステム２００の全体が初期化される。昇降台は、レチクルポッド１０を高さＡ０に戻す。

レチクル保管ポッド１００のロード異常により稼働停止した場合、レチクルローディングシステム２００は、異常状態を表示し、初期化キーがアクティブ化されているかどうかを検出することができる。初期化キーが有効にされると、レチクルローディングシステム２００の全体が初期化される。昇降台は、レチクル保管ポッド１００を高さＢ０に戻す。

高さＡ２、Ｂ２にある第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂの昇降台が移載異常により稼働停止した場合、レチクルローディングシステム２００は、異常状態を表示し、初期化キーが有効にされているかどうかを検出することができる。初期化キーが有効にされると、レチクルローディングシステム２００の全体が初期化される。レチクル挟持機構１９００は、レチクルをレチクルポッド１０の内側ポッド又はレチクル保管ポッド１００の内側ポッドにプレースする。第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂの昇降台は、それぞれ高さＡ０、Ｂ０に戻される。

図２２は、ペリクル状態のチェックをさらに含む、レチクルローディングシステム２００の別の異常処理フローを示す。レチクルローディングシステム２００は、レチクルをレチクルポッド１０又はレチクル保管ポッド１００に戻すか、またはレチクル保管ポッド１００を指定した保管棚に戻すように、イジェクトキーが有効になって様々な動作が実行されているかどうかを検出することができる。

図２３は、レチクル挟持機構の異常処理フローを示す。レチクルがレチクルポッド１０の内側ポッドからものであるか、レチクル保管ポッド１００の内側ポッドからものであるかに応じて、レチクル挟持機構１９００はレチクルをレチクルポッド１０の内側ポッド又はレチクル保管ポッド１００の内側ポッドに戻し、次にレチクルポッド１０又はレチクル保管ポッド１００を初期化フローで指定した位置に戻すことができる。

図２４は、本発明のレチクルローディングシステム及びレチクルストッカシステムのブロック図である。レチクルストッカシステム６００は、１つ又は複数の保管庫６０２を含む。保管庫６０２は、垂直に積層された複数の保管棚６０４を含む。保管庫６０２は、上段領域及び下段領域に大まかに区分される。保管庫６０２の各保管棚６０４にレチクル保管ポッド１００を置くことができ、レチクル保管ポッド１００は、専用外側ポッドと専用内側ポッドとから成り、専用外側ポッドが専用内側ポッドの収容及び固定に適し、専用内側ポッドがレチクルの収容及び固定に適する。前記専用内側ポッド及び専用外側ポッドは、図５Ａに示す専用内側ポッド１０１及び専用外側ポッド１０２に対応することができる。

保管庫６０２の一部の保管棚６０４は、バッファ領域（６０６、Ｂｕｆｆｅｒ Ｚｏｎｅ）として構成されてよい。バッファ領域６０６は、クリーニングされたレチクル保管ポッド１００又は使用済みのレチクル保管ポッド１００を保管するために用いられる。クリーニングされたレチクル保管ポッド１００は空ポッドであって、レチクルローディングシステム２００に提供されて収納待ちのレチクルを受け取るのを待機する。使用済みのレチクル保管ポッド１００は、レチクルローディングシステム２００から送り返された空ポッドであって、レチクル移載過程中で低い清浄度の環境にさらされるため、汚染リスクを有する。

レチクルストッカシステム６００は、主に保管庫６０２に保管されているレチクル情報を管理し、保管庫６０２内の周囲温度及び湿度を監視するように構成される管理手段６０８を含む。例えば酸素検出ユニットで庫内環境の酸素濃度を検出する。好ましくは、保管庫６０２内の環境がＣｌａｓｓ１０の清浄度を満たし、充填気体がＣｌａｓｓ １の清浄度を満たす。レチクルストッカシステム６００は、ロボットアーム６０９を制御してレチクル保管ポッドを指定した一般的な保管領域又はバッファ領域６０６の保管棚６０４に輸送するための制御手段６１０をさらに含む。レチクルストッカシステム６００は、保管庫６０２の各種流量の制御に用いられ、特に各保管棚６０４の非反応気体に接続する流量制御手段６１２をさらに含む。例えばマスフローコントローラ（Ｍａｓｓ Ｆｌｏｗ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）で１つ又は複数の窒素気体メイン管路の流量を制御する。流量制御手段６１２は、レチクルストッカシステム６００の頂部に配置されたファンフィルタユニット（Ｆａｎ－Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ、ＦＦＵ）及びレチクルストッカシステム６００の底部に配置された換気モジュールをさらに含む。

レチクルストッカシステム６００は、バッファ領域６０６に近く、きれいなレチクル保管ポッド１００を保管庫６０２に提供し、保管庫６０２から使用済みのレチクル保管ポッド１００を受け取るための洗浄装置６１４をさらに含む。

図２５は、レチクルストッカシステム内部の具体的な配置を示している本発明のレチクルストッカシステム６００の上面図である。保管庫６０２は、主にレチクルストッカシステム６００の内側壁面に沿って配置され、ロボットアーム６０９がレチクルストッカシステム６００の中央に位置し、これら保管庫６０２の各保管棚６０４にアクセスすることができる。

図２６Ａは、本発明の具体的な実施形態に係る保管棚６０４の立体図である。図２６Ｂは、保管棚６０４の底部配置を示す図である。

各保管棚６０４は、前端２６００及び後端２６０２を有する平板棚体である。棚体は、上向きの載置面と、下向きの底面とを有する。棚体の前端２６００に切欠部が形成され、前記切欠部は、ロボットアーム６０９の動作に必要なスペースを提供し、ロボットアーム６０９がスムーズにレチクル保管ポッド１００を保管棚６０４にプレースするか、保管棚６０４からレチクル保管ポッド１００をピックアップできるようにさせる。棚体の後端２６０２に上流端が窒素気体源に接続され、下流端が平板棚体の一対のノズル２６０６に接続され、同時に窒素気体を供給するための窒素気体充填管路２６０４が配置される。

各保管棚６０４の載置面にはレチクル保管ポッド１００の底部を支持するための３つのキネマティックカップリングピン２６０８（Ｋｉｎｅｍａｔｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｐｉｎ）が設けられ、ここで、２つのキネマティックカップリングピン２６０８は前端２６００に近く、切欠部の両側に位置し、もう１つのキネマティックカップリングピン２６０８が棚体の後端２６０２に位置し、保管棚６０４は主にこの３つのキネマティックカップリングピン２６０８を介してレチクル保管ポッド１００を支持及び位置決めする。具体的には、この３つのキネマティックカップリングピン２６０８は、それぞれ図５Ｃに示す外側ベース部の位置決め溝１６３又は図５Ｉに示すベース部１３０の位置決め溝１３２に対応し、保管棚６０４が専用ポッドの外側ポッド又は内側ポッドのどちらを支持するかによって決まる。

保管棚６０４の載置面にレチクル保管ポッド１００を制限するための止め部２６１０が設けられる。好ましくは、止め部２６１０にロボットアーム６０９のための識別情報を表示している。前記情報は、保管棚６０４の前端２６００に表示することもできる。図に示すように、棚体の両側にレチクル保管ポッド１００を制限する側壁が形成されている。保管棚６０４の棚体両側は、一対の連結アーム２６１２によって壁面又はフレームの垂直分岐に固定されることで、複数の保管棚６０４の垂直積層を構築する。前記キネマティックカップリングピン２６０８、止め部２６１０及び側壁は、摩擦によって発生する粒子を減らすために、ＰＥＥＫプラスチック材質で作ることができる。

図２７Ａは、レチクル保管ポッド１００がある場合の保管棚６０４を示す。図２７Ｂはレチクル保管ポッド６０４がある場合の保管棚６０４の底部から見た図である。図２７Ｃは、レチクル保管ポッド１００がある場合の保管棚６０４の別の視点から見た図である。

図５Ａに示すように、レチクル保管ポッド１００は、専用内側ポッド１０１と、専用外側ポッド１０２とを含み、専用外側ポッド１０２は外側蓋体１５０と、外側ベース部１６０とを備える。外側ベース部１６０の底部に外側蓋体１５０と外側ベース部１６０をロック又はアンロックするためのラッチ機構２７００が配置される。レチクル保管ポッド１００が図１４に示すレチクルローディングシステム２００の昇降台にロードされると、第２昇降手段Ｂに設けられた操作機構は、外側ベース部１６０のラッチ機構２７００と協働して専用外側ポッド１０２をロック又はアンロックする。

レチクル保管ポッド１００が指定した保管棚６０４に置かれると、保管棚６０４のキネマティックカップリングピン２６０８は、レチクル保管ポッド１００の底部の対応する位置決め溝１６３に嵌合してレチクル保管ポッド１００を保管棚６０４に位置決めする。具体的には、保管棚６０４のキネマティックカップリングピン２６０８は、対応する位置決め溝１６３の外端、すなわちラッチ機構２７００から離れる端に位置し、各位置決め溝１６３のラッチ機構２７００に近い内端が切欠部から露出し、ロボットアーム６０９がレチクル保管ポッド１００の底部に向けて接近する時、ロボットアーム６０９の位置決めピン２８０４を対応する位置決め溝１６３の近端に係合させることができる。

図２８Ａは、具体的実施形態に係る保管棚６０４及びロボットアーム６０９の上面図である。ロボットアーム６０９がレチクル保管ポッド１００の下に位置し、保管棚６０４上のレチクル保管ポッド１００の底部にある位置決め溝１６３を破線で示す。図２８Ｂは、ロボットアーム６０９が保管棚６０４の下に入り、レチクル保管ポッド１００を持ち上げる場合の側面図である。図２８Ｃは、ロボットアーム６０９がレチクル保管ポッド１００を保管棚６０４から取り外す場合の側面図である。

ロボットアーム６０９は、前端２８００と、後端２８０２とを有し、前端２８００は基本的に矢印形状の平板で、上向きの載置面に３つの位置決めピン２８０４があり、この３つの位置決めピン２８０４がレチクル保管ポッド１００の底部にある位置決め溝１６３の内端に対応し、保管棚６０４のキネマティックカップリングピン２６０８が位置決め溝１６３の外端に対応して係合される。換言すれば、本発明のレチクル保管ポッド１００の底部にある位置決め溝１６３は、少なくとも保管棚６０４の平板棚体の範囲から切欠部の範囲まで延在するが、本発明はこれに限定されない。後端２８０２は、伝動機構まで連結されるため、ロボットアーム６０９は少なくとも横方向及び縦方向に移動することができる。

図２８Ａ及び図２８Ｂに示すように、ロボットアーム６０９がレチクル保管ポッド１００に近づくと、ロボットアーム６０９の前端２８００は、まず標的保管棚６０４の切欠部の下に延び、かつロボットアーム６０９の位置決めピン２８０４がレチクル保管ポッド１００の底部にある対応する位置決め溝１６３に位置合わせさせる。

ロボットアーム６０９が上昇して位置決めピン２８０４をレチクル保管ポッド１００の底部にある位置決め溝１６３と係合させる。図２８Ｃに示すように、ロボットアーム６０９は、上昇し続け、レチクル保管ポッド１００を保管棚６０４から少なくとも保管棚の前端２６００の高さより持ち上げて、ロボットアーム６０９が保管棚６０４から後退することを可能にする。

各レチクル保管ポッド１００にアクセスできるロボットアーム６０９の作業に必要な最小スペースを確定した場合、上下の保管棚６０４間の高さを最小化にすることで、最大の貯蔵効率を得る。

図２９は、保管棚の上流側給気管路２９００及び流量制御手段を示す。給気管路２９００の下流は、図２６Ａに示す気体充填管路２６０４に接続される。したがって、窒素気体は、保管棚６０４のノズル２６０６及び図５Ｃに示すレチクル保管ポッド１００の対応する２つの気体バルブ１６２を経由してポッド内に供給できる。レチクル保管ポッド１００の別の２つの未接続の気体バルブ１６２は、ポッド内の気体を排出するため、保管棚６０４上にあるレチクル保管ポッド１００のレチクル収容スペースに対流気体を有する。各給気管路２９００上流の流量制御手段は、ボールバルブ２９０１、流量ディスプレイ２９０２、リストリクタ弁２９０３、フィルタ２９０４、温湿度計２９０５、機械式圧力計２９０６、電子式圧力計２９０７、圧力調整弁２９０８及び圧力計２９１０とエアバルブ２９１１とを有する主管路２９０９を含み得るが、本発明はこれに限定されない。

図３０は、２つの具体的実施形態に係る保管棚６０４に接続する上流側給気管路を示す図である。フローコントローラ３０００を有する構成では、保管棚６０４上に設けられた１つ又は複数のセンサーは保管棚６０４上のレチクル保管ポッド１００の有無に基づいて検出信号をフローコントローラ３０００に送信して、フローコントローラ３０００はこれに基づいて保管棚６０４に入る気体流量を制御できるようにさせる。例えば保管棚６０４の上に専用ポッドがある時、窒素気体を供給し、保管棚６０４の上に専用ポッドがない時、窒素気体供給をオフにする。ニードルバルブ３００２の構成では、保管棚６０４に供給する気体流量を手動で調整でき、さらに連続給気状態に維持することもできる。使用する気体に関係なく、フィルタ３００１により気体中の不純物の低下を確保する。

図３１は、ペリクル状態を検査すること、及びペリクル状態に応じて、随意的にレチクルポッド（非専用ポッド）或いはレチクル保管ポッド（専用ポッド）に特定の動作を選択的に行わせることで、指定位置に戻すことを含む、レチクルストッカシステム６００のロボットアーム６０９の異常処理フローを示す。

図３２は、本発明の別の実施形態に係るレチクルローディング装置２００’及びレチクルストッカシステム６００’の概略図である。本実施形態の保管庫６０２の各保管棚６０４は、図５Ａに示すレチクル保管ポッド１００の専用外側ポッド１０２のみを供給し、レチクル保管ポッド１００の専用内側ポッド１０１を提供しないが、専用外側ポッド１０２は、レチクルローディングシステム２００’から得られた内側ポッド、すなわち図１に示す非専用のレチクルポッド１０の内側ポッド１１を収容できる。したがって、本実施形態のレチクルローディングシステム２００’の目的は、レチクルを収容した内側ポッドを移載することである。また、残りの構成は、図２４の実施形態とほぼ同じで、関連の説明を省略する。レチクルローディングシステム２００’及びレチクルストッカシステム６００’の詳細は、後述で説明する。

本実施形態のレチクルストッカシステム６００’が専用内側ポッドを供給しない理由は、本発明のレチクル保管ポッド１００の専用外側ポッド１０２が図８Ａに示すホールドダウン機構を備え、非専用内側ポッドとの互換性がある。図８Ａ及び図１１Ｂに示すように、保管庫６０２の専用外側ポッド１０２が非専用内側ポッド１１を収容する場合、専用外側ポッド１０２の馬蹄形のホールドダウンリブ１５３がキャップ３４を囲繞及び制限し、ホールドダウン柱１５４が内側ポッド１１の蓋体３０上のホールドダウンピン３２に当接することで、非専用内側ポッド１１及びレチクルの収納を実現できる。レチクルが移載過程中でポッド外の環境にさらされないため、パーティクル汚染のリスクを軽減できるという利点を有する。

図３３は、図３２の実施形態に係るレチクルロードフローチャートであり、左半分は第１昇降手段Ａによって実行され、右半分が第２昇降手段Ｂによって実行される。

ステップ３３００Ａ：天井クレーンシステム又は手動で第１ポート２０２から、レチクルを収容した内側ポッド１１と外側ポッド１２とを含むレチクルポッド１０をレチクルローディングシステム２００’にロードする。ロードされたレチクルポッド１０は、第１昇降手段Ａの昇降台によって高さＡ０で受け取られる。

ステップ３３００Ｂ：第２ポート２０４を経由して、レチクルストッカシステム６００’から、専用ポッドの専用外側ポッド１０２をレチクルローディングシステム２００’にロードする。ここでロードされた専用外側ポッド１０２は、内側ポッドを収容していない空ポッドである。具体的には、レチクルストッカシステム６００’のロボットアーム６０９は、専用外側ポッド１０２を第２昇降手段Ｂの昇降台、すなわち高さＢ０の位置にプレースする。

ステップ３３０２：レチクルポッド１０及び専用外側ポッド１０２（例えばポッド体の上又はポッド体内に表示する情報及びレチクルペリクルの状態）を検出する。第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂの昇降台を高さＡ２、Ｂ２にそれぞれ下降させる。下降過程で、非専用外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２は類似の機構によって開かれる。高さＡ２、Ｂ２にある第１昇降手段Ａの昇降台は、外側ベース部４０及び内側ポッド１１のみを載置し、第２昇降手段Ｂの昇降台が専用ポッドの外側ベース部１６０のみを載置し、かつ両者はレチクル移載環境２０６にある。本実施形態は、内側ポッド１１を開く必要がないため、前記レチクル移載環境２０６が、移載する内側ポッドの清浄度を満たすだけでよい。さらに、本実施形態は、内側ポッド１１を開いてレチクルを移載する必要がないため、図１４の実施形態と比較して、第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂは高さＡ１、Ｂ１の的関連動作を省略できる。

ステップ３３０４：レチクルローディングシステム２００’の挟持機構は、内側ポッド１１をピックアップして内側ポッド１１を専用ポッドの外側ベース部１６０に移載する。前記挟持機構は、図１９Ａの構成と似ることができるが、内側ポッド１１に適する。前記挟持機構の動作は、図２０の説明と類似する。

ステップ３３０６：内側ポッド１１の移載が完了した後、第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂの昇降台が高さＡ０、Ｂ０まで上昇する過程で、非専用の外側ポッド１２を閉じ、専用外側ポッド１０２を閉じて内側ポッド１１を収容する。

ステップ３３０８：内側ポッド１１を収容した専用外側ポッド１０２を保管庫６０２の指定した保管棚６０４に格納する。レチクルストッカシステム６００’は、ロボットアーム６０９の移動可能な最短経路に従って、標的保管棚６０４を指定することができる。

ステップ３３１０：保管棚６０４は、専用外側ポッド１０２に窒素気体を充填する。同様に、本実施形態の専用外側ポッド１０２及び保管棚６０４は、気体充填を実現するために、図２７Ａ及び図２７Ｂの実施形態のように構成され得る。

図３４は、図３２の実施形態に係るレチクルアンロードフローチャートであり、左半分は第１昇降手段Ａによって実行され、右半分は第２昇降手段Ｂによって実行される。

ステップ３４００Ａ：第１ポート２０２から非専用のレチクルポッド１０の空の外側ポッド１２をロードする。ロードされた外側ポッド１２は内部に内側ポッドがなく、かつ高さＡ０で第１昇降手段Ａの昇降台によって載置される。

ステップ３４００Ｂ：レチクルストッカシステム６００’から、第２ポート２０４を経由して専用外側ポッド１０２をロードし、かつロードされた専用外側ポッド１０２がレチクルのある内側ポッド１１を収容した。ロードされた専用外側ポッド１０２及び内側ポッド１１は、高さＢ０で第２手段Ｂの昇降台によって載置される。

ステップ３４０２：同様に、第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂによって非専用ポッドの外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２と内側ポッド１１を検出する。外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２をそれぞれ開き、外側ポッド１２の外側ベース部４０及び専用外側ポッド１０２の外側ベース部１６０を高さＡ２、Ｂ２に下降して、内側ポッド１１をレチクル移載環境２０６に位置させる。

ステップ３４０４：内側ポッド１１をピックアップし、内側ポッド１１を外側ポッド１２の外側ベース部４０上に移載する。前記移載は、レチクル移載環境２０６又は清浄度が内側ポッド移載に適した他の環境で行われる。

ステップ３４０６：第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂの昇降台が高さＡ２、Ｂ２から高さＡ０、Ｂ０まで上昇する過程で、非専用の外側ポッド１２を閉じて、内側ポッド１１を収容し、並びに専用外側ポッド１０２を閉じる。この時、閉られた専用外側ポッド１０２が空ポッドであり、非専用の内側ポッド１１と外側ポッド１２とがレチクルポッド１０を構成する。

ステップ３４０８：第１昇降手段Ａは、レチクルポッド１０を第１ポート２０２を経由してレチクルローディングシステム２００’から移出して様々な処理環境に輸送する。

図３５は、図３２の実施形態に係る内側ポッド１１移載フローチャートであり、左半分は第１昇降手段Ａによって実行され、右半分が第２昇降手段Ｂによって実行される。

ステップ３５００Ａ及び３５００Ｂ：第１昇降手段Ａは、高さＡ０でロードされた非専用レチクルポッド１０の外側ポッド１２を受け取り、第２昇降手段Ｂが高さＢ０でロードされたレチクル保管ポッド１００の専用外側ポッド１０２を受け取る。非専用外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２のいずれかは、レチクルのある内側ポッド１１を収容し、かつ前記内側ポッド１１は非専用外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２の構造との互換性を有する。

ステップ３５０２Ａ及び３５０２Ｂ：第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂは、それぞれ非専用外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２をアンロックするように動作する。アンロック後、第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂは、それぞれ非専用外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２の外側蓋体を把持し、昇降台を高さＡ０、Ｂ０から高さＡ２、Ｂ２まで下降させることで、非専用外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２が下降過程中に開かれる。

ステップ３５０４Ａ及び３５０４Ｂ：第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂは、それぞれ前記下降の間で非専用外側ポッド１２、専用外側ポッド１０２、収容される内側ポッド１１及び／又はレチクルに表示された例えば二次元コード或いはレチクルペリクル状態などの情報を識別するように動作する。識別結果が期待される目標と一致しない場合、レチクルローディングシステム２００’は関連の的異常処理フローを実行することができる。

ステップ３５０６：図１９Ａのものに似るレチクル挟持機構１９００で内側ポッド１１を非専用外側ベース部４０と専用外側ベース部１６０との間で移載する。例えば図１９Ａのレチクル挟持機構１９００の挟持アーム１９０６及び接触板１９０８は、内側ポッド１１の寸法及び構造に適合するように改修されて内側ポッド１１の移載を実現する。

ステップ３５０８Ａ及び３５０８Ｂ：第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂがそれぞれ昇降台を高さＡ２、Ｂ２から高さＡ０、Ｂ０に上昇させるように動作する過程で、非専用外側ポッド１２及び専用外側ポッド１０２を閉じ、両者をそれぞれロックする。

ステップ３５１０Ａ及び３５１０Ｂ：空の非専用外側ポッド１２又は内側ポッド１１のあるレチクルポッド１０は、第１ポート２０２を経由してレチクルローディングシステム２００’から移出でき、空の専用外側ポッド１０２或いは非専用内側ポッド１１を収容する専用外側ポッド１０２が第２ポート２０４を経由してレチクルストッカシステム６００’に戻すことができる。

図３６は、内側ポッド１１移載フローの概略図である。この間で、第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂの動作は、前記レチクル移載環境２０６又は清浄度を満たす他の環境で行われる。

図に示すように、昇降台は、均しく内側ポッド挟持機構１９００’の下に下降する。挟持機構１９００’は、内側ポッド１１の上に水平移動する。内側ポッド挟持機構１９００’が昇降移動しない場合において、第１昇降手段Ａの昇降台は、内側ポッド１１をピックアップできる高さまで上昇される。内側ポッド１１がピックアップされた後、昇降台を下降して分離が完了する。内側ポッド１１は、第２昇降手段Ｂの昇降台上に水平移動される。第２昇降手段Ｂの昇降台は、上昇して内側ポッド１１を受け取ると共にレチクル挟持機構１９００’が解放して内側ポッド１１の移載を実現する。

図３７は、本発明の別の実施形態に係るレチクルローディング装置２００及びレチクルストッカシステム６００”の概略図であり、ここで、レチクルストッカシステム６００”は前述の実施形態の構成とほぼ同じであるが、主な相違点は保管庫６０２に複数の収納室６０４’を設けることである。各収納室６０４’は、専用デュアルポッド、例えば図５Ａに示すレチクル保管ポッド１００を格納できる。代替手段として、各収納室６０４’は、シングルポッド３７００を格納でき、このシングルポッド３７００が主に蓋体とベース部とから成り、レチクルポッド１０内から得たレチクルを収容するために用いられる。

図３８Ａは、具体的実施形態に係る収納室６０４’を示す図である。図３８Ｂは、収納室６０４’内側の上向き載置面の配置を示す図である。図３８Ｃは、収納室６０４’にあるシングルポッド３７００を示す図である。図３８Ｄは、シングルポッドの底部を支持する収納室６０４’の載置面機構を示す図である。

これら収納室６０４’は、垂直積層の形態を確立するために、類似の手段で保管庫６０２の支持体に固定され得る。各収納室６０４’は、基本的に開口部を有するポッド体で、シングルポッド３７００を収納できる保管スペースを提供する。開口部により、ロボットアーム６０９がシングルポッド３７００にアクセスできるようになる。収納室６０４’の背面に２つのコネクタ３８００が設けられ、その上流は窒素気体源に接続され、これにより窒素気体を収納室６０４’内に充填できる。収納室６０４’の内側の上向き載置面にシングルポッド３７００を位置決めすると共に固定するための３つのキネマティックカップリングピン３８０２及び２つの補助ガイドピン３８０４が設けられる。別の実施形態において、収納室６０４’の開口部にシングルポッド３７００の落下を防ぎ、収納室６０４’内の窒素状態を維持するように、ゲートが設けられることができる。

図３９Ａは、図３７に係るレチクルロードフロー図である。図３９Ｂは、図３７に係るレチクルアンロードフロー図である。

ステップ３９００Ａ：第１ポート２０２から例えばレチクルを収容する内側ポッド及び前記内側ポッドを収容する外側ポッドを含む前記レチクルポッド１０などのデュアルポッドをレチクルローディングシステム２００の第１昇降手段Ａの昇降台にロードする。

ステップ３９００Ｂ：第２ポート２０４を経由してレチクルストッカシステム６００”から１つの空のシングルポッド３７００を第２昇降手段Ｂの昇降台にロードする。

ステップ３９０２において、レチクルポッド１０の内側ポッドに収容されるレチクルを取り出し、空のシングルポッドに移載する。図２４の実施形態と類似し、第１昇降手段Ａの昇降台が高さＡ０から高さＡ２に下降する過程で外側ポッド及び内側ポッドが開いてレチクルを露出させ、第２昇降手段Ｂの昇降台が高さＢ０から高さＢ２２に下降する過程でシングルポッド３７００が開いて内側ベース部を露出させる。次に、レチクル挟持機構は、レチクルをレチクルポッド１０の内側ポッドベース部からシングルポッド３７００のベース部に移載する。最後に、第２昇降手段Ｂの昇降台が高さＢ２から高さＢ０に上昇する過程で、レチクルをシングルポッド３７００に収容する。

ステップ３９０４：レチクルを収容したシングルポッド３７００をレチクルローディングシステム２００からレチクルストッカシステム６００”に輸送し、保管庫６０２の指定した収納室６０４’に移動する。好ましくは、前記指定した収納室６０４’は、ロボットアーム６０９の最短移動経路によって決定される。

ステップ３９０６：ロボットアーム６０９によって収納室６０４’のゲートを開き、シングルポッド３７００を収納室６０４’に入れ、ゲートを閉めた後窒素気体を収納室６０４’に充填し、レチクル保存を完了する。ゲートのない実施形態において、ロボットアーム６０９はゲートを開く必要がない。前記ゲートは、連続窒素気体充填で置き換えることができる。

ステップ３９０８Ａ：空のデュアルポッド（レチクルポッド１０など）又は空のシングルポッド３７００をレチクルローディングシステム２００の第１昇降手段Ａの昇降台にロードする。

ステップ３９０８Ｂ：ロボットアーム６０９は、指定したレチクルのあるシングルポッド３７００を指定した収納室６０４’から取り出し、レチクルローディングシステム２００の第２昇降手段Ｂの昇降台にロードする。

ステップ３９１０：第１昇降手段Ａ及び第２昇降手段Ｂは、それぞれレチクルポッド１０の内側ポッドベース部及びシングルポッド３７００のレチクルをレチクル移載環境２０６に下降して、シングルポッドのレチクルをレチクルポッド１０に移載する。

ステップ３９１２：レチクルを収容したレチクルポッド１０は、第１ポート２０４を経由して天井クレーンシステムによって取り出すと共に標的ステーションに輸送する。

図４０は、図３７の実施形態に係る具体的なレチクル移載フロー図であり、左半分は第１昇降手段Ａによって実行されるステップであり、右半分が第２昇降手段Ｂによって実行されるステップである。ステップ４０００Ａ：第１ポート２０２からデュアルポッド（レチクルポッド１０など）を第１昇降手段Ａの昇降台にロードする。ステップ４０００Ｂ：レチクルストッカシステム６００”からシングルポッド３７００を第２昇降手段Ｂの昇降台にロードする。ステップ４００２Ａ：外側ポッドの蓋体を把持して、外側ポッドをアンロックし、第１昇降手段Ａの昇降台を高さＡ０から高さＡ１に下降させる。ステップ４００２Ｂ：高さＢ０又は高さＢ１でシングルポッド３７００の蓋体を把持し、シングルポッド３７００のベース部を載置した昇降台を高さＢ０から高さＢ１に下降させる。ステップ４００４Ａ：内側ポッドのベース部を載置した昇降台を高さＡ１から高さＡ２に下降させる。ステップ４００４Ｂ：シングルポッド３７００のベース部を載置した昇降台を高さＢ１から高さＢ２に下降させる。ステップ４００６：レチクル挟持機構は、レチクルを内側ポッドのベース部とシングルポッド３７００のベース部との間で移載する。ステップ４００８Ａ：昇降台を高さＡ２から高さＡ１まで上昇させる過程で、内側ポッドを閉じる。ステップ４００８Ｂ：昇降台を高さＢ２から高さＢ１まで上昇させる過程で、シングルポッド３７００を閉じる。ステップ４０１０Ａ：昇降台を高さＡ１から高さＡ０まで上昇させる過程で、外側ポッドを閉じると共にロックする。ステップ４０１０Ｂ：昇降台を高さＢ１から高さＢ０まで上昇させる。ステップ４０１２Ａ：天井クレーンシステムによってデュアルポッドを取り出す。ステップ４０１２Ｂ：シングルポッド３７００をレチクルストッカシステム６００”に戻す。

レチクルが最終的にシングルポッド又はデュアルポッドのどちらによって保管されるかに関係なく、貯蔵環境は、レチクルの保管にとって重要である。ゲートを備えた収納室は、貯蔵環境の状態を維持するため有益である。ゲートの操作選択は、ストッカシステムの内部配置によっても制限される。本発明のストッカシステムの収納室のゲートの操作機構の例を以下に示す。

図４１Ａは、ストッカシステムのロボットアーム４１００、４１０２と収納室４１０４のインタラクションフローを示す（ポッドＰを収納室４１０４に入れる）。図４１Ｂは、ストッカシステムのロボットアーム４１００、４１０２と収納室４１０４のインタラクションフローを示す（収納室４１０４からポッドＰを取り出す）。示されている収納室４１０４は、ゲートを備え、ロボットアームの前端４１０２が収納室４１０４のゲートとインタラクションするよう構成することができる。例えばロボットアームの前端４１０２にゲートの底部ノッチまで伸ばし入れ、ゲートをめくり開けて収納室４１０４のスペースを露出する特定の機構を有するが、本発明はこれに限定されない。より具体的には、ロボットアームは、少なくとも２つの部分で構成されることができ、１つは把持機構４１００で、もう１つはゲートのためのインタラクション機構４１０２で、２つの機構は独立して操作できる。図４１Ａに示すように、ロボットアームの一部が先にゲートをめくり開けた後、他の部分がポッドＰのプレースを実行する。プレースの部分が完了した後、ゲートは閉状態に戻される。図４１Ｂのフローは、逆である。

図４２Ａは、ストッカシステムのロボットアームと収納室の別のインタラクション実施形態を示し、ポッドを収納室に入れるフロー図である。図４２Ｂは、ストッカシステムのロボットアームと収納室の別のインタラクション実施形態を示し、収納室からポッドを取り出すフロー図である。本実施形態のロボットアームは、２つの独立した部分、すなわち把持部４２００及びプッシュ部４２０２を含む。把持部４２００は、ポッドＰを載置又は挟持し、収納室４２０４の空間にアクセスすることができるために用いられる。収納室４２０４は、枢動可能なゲート４２０６を備える。プッシュ部４２０２は、把持部４２００に対して前方に延びてゲート４２０６上の板４２０８を押すことにより、ゲート４２０６がレバー方式で開かれる。把持部はポッドＰを収納室４２０４に送り込むことができる。完了後、プッシュ部４２０８は後退してゲート４２０６を閉状態に戻す。

図４３は、本発明の実施形態に係るレチクルストッカ管路気体充填システムの概略図である。少なくとも１つの主管路４３００の上流が窒素気体源４３０２に接続され、下流が複数の分岐管路４３０４に接続される。各分岐管路４３０４は、保管庫６０２内の対応する収納室６０４’に接続される。少なくとも１つのフローコントローラ４３０６は、主管路４３００に接続される。保管庫６０２の指定した収納室６０４’にレチクルポッドを入れた時、フローコントローラ４３０６は、指定した収納室６０４’に窒素気体を充填するように、特定のエアバルブの開閉を決定する。例えばフローコントローラ４３０６は、主管路４３０６の気体流量を監視し、各分岐管路４３０４上の調節バルブ４３０８の開閉を制御するよう構成できる。調節バルブ４３０８は、各分岐管路４３０４の気体流速を調節するために用いられる。図に示すように、主管路４３００の上流側は、パーティクルフィルタ４３１０、圧力計４３１２、圧力センサー４３１４、レギュレーター（ｒｅｇｕｌａｔｏｒ）４３１６及びボールバルブ４３１８を含み得るが、本発明はこれに限定されない。

図４４は、本発明の別の実施形態に係るレチクルローディング装置及びレチクルストッカシステムの概略図である。前述の実施形態と比較して、本実施形態のレチクルローディングシステム２００”は単一の昇降手段Ａのみでレチクルの移載を実現することが分かる。同様に、レチクルポッド１０は、高さＡ０から高さＡ１に下降する過程で開かれ、最終的に内側ポッド１１を露出する。高さＡ１にある内側ポッド１１がロボットアーム６０９とのインタラクションによるピックアップされることが可能になるため、レチクル移載経路が短縮され、レチクル揺れのリスクを軽減する。

図４５Ａは、図４４の実施形態に係るレチクルロードフロー図である。図４５Ｂは、図４４の実施形態に係るレチクルアンロードフロー図である。ステップ４５００：レチクルを収容した内側ポッド１１と、内側ポッド１１を収容した外側ポッドとを含むデュアルポッド（レチクルポッド１０など）を昇降台にロードする。ステップ４５０２：デュアルポッドの内側ポッド１１をレチクル移載環境である高さＡ１に晒す。ステップ４５０４：内側ポッド１１を保管庫６０２の指定した収納室６０４’に輸送する。ステップ４５０６：内側ポッド１１を入れるために、指定した収納室６０４’のゲートを開ける。前記ゲートを閉めた後、窒素気体を収納室６０４’に充填すると、貯蔵を完了する。ステップ４５０８：デュアルポッドの、蓋体とベース部とを含む外側ポッド（図１の外側ポッド１２など）を昇降台にロードする。ステップ４５１０：昇降台を下降させる過程で外側ポッドが開き、ベース部を高さＡ１に置く。ステップ４５１２：保管庫６０２の指定した収納室６０４’から、レチクルを収容した内側ポッド１１を取り出し、内側ポッドをアンロードして高さＡ１に位置するベース部にプレースする。ステップ４５１４：昇降台を上昇させる過程でデュアルポッドを閉じると共にロックする。ステップ４５１６：デュアルポッドを取り出す。

図４６Ａは、図４４の実施形態に係る別のレチクルロードフロー図である。図４６Ｂは、図４４の実施形態に係る別のレチクルアンロードフロー図である。ステップ４６００：ポートから、内側ポッド１１及び前記内側ポッドを収容した外側ポッドを含むデュアルポッドを昇降台にロードする。ステップ４６０２：外側ポッドの蓋体を把持し、内側ポッド１１と外側ポッドベース部とを載置した昇降台を高さＡ０から高さＡ１に下降させる過程で外側ポッドを開く。ステップ４６０４：昇降台が高さＡ０から高さＡ１に下降している間に、識別手段を通じて内側ポッド１１上の二次元コードを読み取り、ペリクル状態を検出する。ステップ４６０６：ストッカシステム６００”のロボットアームは、外側ポッドベース部に載置された内側ポッド１１をピックアップし、デュアルポッドの外側ポッドのみがレチクルローディングシステム２００”に残される。ステップ４６０８：昇降台が高さＡ１から高さＡ０に上昇する過程で、デュアルポッドの外側ポッドを閉じると共にロックする。ステップ４６１０：ポートからデュアルポッドの外側ポッドを取り出す。ステップ４６１２：ポートからデュアルポッドの外側ポッドを昇降台にロードして、レチクルストッカシステム６００”内の内側ポッド１１を受け取る。ステップ４６１４：外側ポッドの蓋体を把持し、外側ポッドベース部を載置した昇降台を高さＡ０から高さＡ１に下降させる過程で外側ポッドが開く。ステップ４６１６：レチクルストッカシステム６００”のロボットアームは、指定した内側ポッド１１を昇降台の外側ポッドベース部にプレースする。ステップ４６１８：昇降台が高さＡ１から高さＡ０まで上昇している間に、識別手段を通じて内側ポッド１１上の二次元コードを読み取り、ペリクル状態を検出する。ステップ４６２０：昇降台を高さＡ１から高さＡ０まで上昇させる過程で、デュアルポッドが閉じられると共にロックされる。ステップ４６２２：ポートからデュアルポッドを取り出す。

１００ レチクル保管ポッド
１０１ 専用内側ポッド
１０２ 専用外側ポッド
１０ レチクルポッド
１１ 内側ポッド
１１０ 蓋体
１１１ ハンドル
１１２ フィルターメンブレンカバー
１１４ 凹溝
１２ 外側ポッド
１２０ レチクルリテーナ
１２１ 本体
１２２ 弾性アーム
１２３ 制限部
１２４ 傾斜面
１２５ 押付部
１３０ ベース部
１３１ ペリクル溝
１３２ 位置決め溝
１３４ 支持体
１３５ 傾斜面
１３６ 制限ブロック
１５００～１５１０ ステップ
１５０ 外側蓋体
１５１ ハンドル
１５２ 平らな頂面
１５３ 馬蹄形のホールドダウンリブ
１５４ ホールドダウン柱
１６００～１６０８ ステップ
１６０ 外側ベース部
１６１ 位置決めピン
１６２ 気体バルブ
１６３ 位置決め溝
１７００～１７１２ ステップ
１８００Ａ 外側ポッド蓋体支持面
１８０２Ａ 昇降台
１９００ レチクル挟持機構
１９００’ レチクル挟持機構
１９０２ レール
１９０４ 挟持組立体
１９０６ 挟持アーム
１９０８ 接触板
１９１０ 係合部
２０００ 昇降台
２００ レチクルローディングシステム
２００’ レチクルローディングシステム
２００” レチクルローディングシステム
２０２ 第１ポート
２０４ 第２ポート
２０６ レチクル移載環境
２０ ベース部
２６００ 前端
２６０２ 後端
２６０４ 気体充填管路
２６０６ ノズル
２６０８ キネマティックカップリングピン
２６１０ 止め部
２６１２ 連結アーム
２７００ ラッチ機構
２８００ 前端
２８０２ 後端
２８０４ 位置決めピン
２９００ 給気管路
２９０１ ボールバルブ
２９０２ 流量ディスプレイ
２９０３ リストリクタ弁
２９０４ フィルタ
２９０５ 温湿度計
２９０６ 機械式圧力計
２９０７ 電子式圧力計
２９０８ 圧力調整弁
２９０９ 主管路
２９１０ 圧力計
２９１１ エアバルブ
３０００ フローコントローラ
３００１ フィルタ
３００２ ニードルバルブ
３００ フローコントローラ
３０ 蓋体
３２ ホールドダウンピン
３３００～３３１０ ステップ
３４００～３４０８ ステップ
３４ キャップ
３５００～３５１０ ステップ
３７００ シングルポッド
３９００～３９１２ ステップ
３８００ コネクタ
３８０２ キネマティックカップリングピン
３８０４ ガイドピン
４０００～４０１２ ステップ
４００ レチクルストッカの気体充填管路システム
４０ 外側ベース部
４１００ ロボットアームの把持機構
４１０２ ロボットアームの前端（インタラクション機構）
４１０４ 収納室
４２００ 把持部
４２０２ プッシュ部
４２０４ 収納室
４２０６ ゲート
４２０８ 板
４３００ 主管路
４３０２ 窒素気体源
４３０４ 分岐管路
４３０６ フローコントローラ
４３０８ 調節バルブ
４３１０ パーティクルフィルタ
４３１２ 圧力計
４３１４ 圧力センサー
４３１６ レギュレーター
４３１８ ボールバルブ
４５００～４５１６ ステップ
４６００～４６２２ ステップ
５００ レチクルストッカ管理システム
５０ 外側蓋体
５２ ハンドル
６００ レチクルストッカシステム
６００’ レチクルストッカシステム
６００” レチクルストッカシステム
６０２ 保管庫
６０４ 保管棚
６０４’ 収納室
６０６ バッファ領域
６０８ 管理手段
６０９ ロボットアーム
６１０ 制御手段
６１２ 流量制御手段
６１４ 洗浄装置
Ａ 第１昇降手段
Ａ０～Ａ２ 高さ
Ｂ 第２昇降手段
Ｂ０～Ｂ２ 高さ
Ｈ 垂直の段差
Ｐ ポッド
Ｒ レチクル
Ｗ 窓

Claims (29)

1. 複数の支持体が配置され、各支持体がレチクルの角部を支持するために用いられ、各前記支持体から一対の制限ブロックが上向きに延び、前記一対の制限ブロックが前記角部の両側面に各々位置するベース部と、
   前記複数の支持体に各々対応して複数の弾性ホールドダウン機構が配置され、各弾性ホールドダウン機構が少なくとも１つの弾性アームを備え、前記弾性アームが、対応する前記支持体によって支持される前記レチクルの前記角部に作用する蓋体と、
   を含むレチクル保管ポッドであって、
   前記レチクルを収容するように前記蓋体を前記ベース部に被せた時、前記一対の制限ブロックは前記弾性アームの横方向移動を制限するレチクル保管ポッド。
2. 前記支持体は一対の傾斜面を有し、前記一対の傾斜面は前記角部の両側下縁部に各々係合される請求項１に記載のレチクル保管ポッド。
3. 前記弾性ホールドダウン機構は、本体と、前記本体から異なる方向で延びる一対の弾性アームとを含み、各前記弾性アームが制限部と、前記制限部から延びる傾斜面とを有し、前記一対の弾性アームの２つの傾斜面は前記角部の両側上縁部に各々係合される請求項１に記載のレチクル保管ポッド。
4. 前記一対の制限ブロックは、前記一対の弾性アームの２つの制限部を制限する請求項３に記載のレチクル保管ポッド。
5. 前記一対の弾性アームの２つの傾斜面は、前記制限部から離れて延在し、互いに結合されている請求項３に記載のレチクル保管ポッド。
6. 蓋体と、ベース部と、保持機構とを含み、前記蓋体と前記ベース部とが結合して収納スペースを画定し、前記保持機構がレチクルを前記収納スペースに保持するように構成される、内側ポッドと、
   外側ポッドであって、外側蓋体と、外側ベース部とを含み、前記外側蓋体と前記外側ベース部とが結合して前記内側ポッドを前記外側ポッド内に収容する前記外側ポッドとを含むレチクル保管ポッドであって、
   前記外側蓋体が、平らな頂面と、前記平らな頂面から下向きに延びる周側面を有し、前記周側面に少なくとも一対のハンドルが設けられ、前記一対のハンドルが前記平らな頂面の高さを超えないレチクル保管ポッド。
7. 前記外側ベース部の頂面には前記内側ポッドの前記ベース部を支持する複数の位置決めピンが設けられる請求項６に記載のレチクル保管ポッド。
8. 前記外側蓋体には前記蓋体に作用して前記内側ポッドを保持する少なくとも１つのホールドダウン機構が設けられる請求項６に記載のレチクル保管ポッド。
9. 前記ホールドダウン機構は、前記内側ポッドの前記蓋体に作用するホールドダウン柱である請求項８に記載のレチクル保管ポッド。
10. 前記保持機構は、前記ベース部に設けられた少なくとも１つの支持体と、前記支持体に対応して前記蓋体に設けられた少なくとも１つの弾性ホールドダウン機構とを含み、前記外側蓋体と前記外側ベース部とが結合して前記内側ポッドを収容する時、前記ホールドダウン柱が前記弾性ホールドダウン機構に押し当てられることで、前記弾性ホールドダウン機構が前記レチクルを保持する請求項９に記載のレチクル保管ポッド。
11. 前記ホールドダウン機構がホールドダウン凸リブであり、前記外側蓋体と前記外側ベース部とが結合して前記内側ポッドを収容する時、前記ホールドダウン凸リブが前記内側ポッドの前記蓋体の上面に押し当てられる請求項８に記載のレチクル保管ポッド。
12. 前記蓋体の上面の、前記ホールドダウン凸リブに対応する箇所に凹溝が形成されており、前記外側蓋体と前記外側ベース部とが結合して前記内側ポッドを収容する時、前記ホールドダウン凸リブが、対応する前記凹溝内に押し当てられる請求項１１に記載のレチクル保管ポッド。
13. 前記ホールドダウン凸リブが、対応する前記凹溝内に押し当てられることで、前記蓋体を安定的に位置決めて前記ベース部上に結合させる請求項１２に記載のレチクル保管ポッド。
14. 前記保持機構は、前記ベース部に設けられた少なくとも１つの支持体と、前記支持体に対応して前記蓋体に設けられ、少なくとも１つの弾性アームを有する少なくとも１つのレチクルリテーナとを含み、前記蓋体と前記ベース部とが結合して前記レチクルを収容する時、前記支持体が前記レチクルの角部を支持し、前記レチクルリテーナの前記弾性アームが、対応する前記角部に係合されることで、前記保持機構が前記レチクルを保持する請求項６に記載のレチクル保管ポッド。
15. 内側表面に複数のホールドダウン機構が設けられた外側ポッドへの格納に適し、蓋体と、ベース部と、複数の保持機構とを含み、前記蓋体と前記ベース部とが結合することで収納スペースを画定し、これらの保持機構が、レチクルを前記収納スペースに収容されるように保持するように構成される、内側ポッドを含むレチクル保管ポッドであって、
    前記蓋体の上面の、前記複数のホールドダウン機構に各々対応する箇所に複数の凹溝が形成され、前記内側ポッドが前記外側ポッドに格納される時、前記蓋体のそれらの凹溝が前記ホールドダウン機構に各々対応して係合され、押さえ付け力が得られて前記内側ポッドを安定に位置決めることで、前記保持機構による前記レチクルの保持を強化させるレチクル保管ポッド。
16. 前記凹溝は、底面と、前記底面を囲繞する周側面とを有し、前記周側面が輪郭を有し、前記蓋体が前記凹溝の下面に前記保持機構を露出させる請求項１５に記載のレチクル保管ポッド。
17. 前記ホールドダウン機構は、前記凹溝に対応する前記輪郭を有するホールドダウン凸リブであり、前記内側ポッドが前記外側ポッドに格納される時、前記ホールドダウン凸リブが前記凹溝の前記底面に対応して押し当てられる請求項１６に記載のレチクル保管ポッド。
18. 外側ポッドを含み、前記外側ポッドが外側蓋体と、外側ベース部とを含み、前記外側蓋体と前記外側ベース部が結合して、異なる構造の第１内側ポッド又は第２内側ポッドのいずれかを前記外側ポッド内に安定して収容し、前記第１内側ポッド及び前記第２内側ポッドがレチクルを各々収容するために用いられるレチクル保管ポッドであって、
    前記外側蓋体には、少なくとも１つの第１ホールドダウン機構及び少なくとも１つの第２ホールドダウン機構が設けられ、前記第１ホールドダウン機構及び前記第２ホールドダウン機構が前記異なる構造の前記第１内側ポッドの蓋体及び第２内側ポッドの蓋体に各々作用するレチクル保管ポッド。
19. 前記第１ホールドダウン機構及び前記第２ホールドダウン機構は、前記外側蓋体の下面から異なる高さで延在することで、前記第１ホールドダウン機構及び前記第２ホールドダウン機構がそれぞれ、前記異なる構造の前記第１内側ポッド及び前記第２内側ポッドの蓋体の対応する構造に係合される請求項１８に記載のレチクル保管ポッド。
20. 前記第１ホールドダウン機構がホールドダウン柱であり、前記第２ホールドダウン機構が馬蹄形輪郭を有するホールドダウン凸リブであり、かつ、前記ホールドダウン柱が前記ホールドダウン凸リブの馬蹄形輪郭の内側に位置する請求項１８に記載のレチクル保管ポッド。
21. 前記第１内側ポッドの前記蓋体の、前記第１ホールドダウン機構に対応する箇所に弾性ホールドダウン機構が設けられ、前記弾性ホールドダウン機構がホールドダウンピンを含み、前記第１内側ポッドが前記外側ポッドに収容される時、前記ホールドダウン柱が前記ホールドダウンピンに押し当てられることで前記第１内側ポッドの収容する前記レチクルを保持する請求項２０に記載のレチクル保管ポッド。
22. 前記弾性ホールドダウン機構が前記ホールドダウンピンを制限するキャップを含み、前記第１内側ポッドが前記外側ポッドに収容される時、前記ホールドダウン凸リブの馬蹄形の輪郭が前記キャップの横方向移動を制限する請求項２１に記載のレチクル保管ポッド。
23. 前記第２内側ポッドの前記蓋体の、前記第２ホールドダウン機構に対応する箇所に凹溝が設けられ、前記凹溝が底面と、前記底面を囲繞する周側面とを有し、かつ、前記周側面が前記ホールドダウン凸リブに対応する馬蹄形の輪郭を有し、前記第２内側ポッドが前記外側ポッドに収容される時、前記ホールドダウン凸リブが前記凹溝の前記底面に押し当てられ、かつ、前記ホールドダウン凸リブが前記蓋体の横方向移動を制限する請求項２０に記載のレチクル保管ポッド。
24. レチクル保管ポッドに用いられてレチクルを保持するレチクルの保持方法であって、
    前記レチクル保管ポッドのベース部に、各支持体から一対の制限ブロックが上向きに延びる複数の支持体を配置するステップと、
    前記複数の支持体に各々対応して、少なくとも１つの弾性アームを各々備えた複数の弾性ホールドダウン機構を前記レチクル保管ポッドの蓋体に配置するステップと、
    前記蓋体と前記ベース部とが結合して前記レチクルを収容する時、各前記支持体が前記レチクルの角部を支持し、各前記弾性ホールドダウン機構の前記弾性アームが、対応する前記角部に作用し、かつ前記一対の制限ブロックが前記弾性アームの横方向移動を制限するステップと
    を含むレチクルの保持方法。
25. 前記一対の制限ブロックは、前記角部の両側面に各々位置する請求項２４に記載のレチクルの保持方法。
26. 前記弾性ホールドダウン機構が本体と、一対の弾性アームとを含み、各前記弾性アームが制限部と、前記制限部から延びる傾斜面とを有する請求項２４に記載のレチクルの保持方法。
27. 前記蓋体と前記ベース部とが結合して前記レチクルを収容する時、前記一対の弾性アームの２つの傾斜面は前記角部の両側上縁部に各々係合される請求項２６に記載のレチクルの保持方法。
28. 前記一対の弾性アームは、前記本体の異なる方向から延びる請求項２６に記載のレチクルの保持方法。
29. 前記一対の弾性アームの末端は、一緒に連結される請求項２６に記載のレチクルの保持方法。

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