JP6430195B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
すなわち、蓋の着脱を繰り返しても基板の位置ずれが生じるそれがあり、基板の位置ずれを的確に抑制できない。また、蓋の着脱を繰り返せば、基板の処理が遅れ、スループットが低くなる。
すなわち、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋の裏面側に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、前記蓋の裏面側に取り付けられ、前記蓋用支持部材が支持する基板を前記蓋用支持部材から離す基板離脱機構と、を備え、前記基板離脱機構は、基板と直接的に接触する接触部を有し、前記接触部は、前記蓋用支持部材に対して移動可能であり、前記蓋が前記開口に向かって前進し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して後退することによって、前記蓋用支持部材が基板の端部を支持し、前記蓋が前記開口から後退し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進することによって、前記基板離脱機構が前記蓋用支持部材から基板を離す基板収納容器である。
図1(a)、(b)を参照する。基板収納容器1の外形は略直方体である。基板収納容器1は、複数の基板Wを収容可能である。「基板W」は、例えば、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板、光ディスク用の基板、磁気ディスク用の基板、光磁気ディスク用の基板などである。
図4(a)、4(b)を参照して、基板収納容器1が適用される基板処理装置41を説明する。基板処理装置41は、ロードポート部42と処理部43を備えている。ロードポート部42は、複数のロードポート420、421、422を有している。各ロードポート420、421、420はそれぞれ載置台44と開閉機構45とを備えている。載置台44は基板収納容器1を載置する。開閉機構45は、載置台44に載置された基板収納容器1を開閉する。開閉機構45は、シャッター部材45aとシャッター部材用駆動機構45bとを備える。シャッター部材45aは蓋3を保持する。シャッター部材用駆動機構45bは、シャッター部材45aを位置P1、P2、P3に移動させる(図4(b)参照)。シャッター部材45aが位置P1と位置P2との間で移動するとき、シャッター部材45aに保持される蓋3は、開口Aと向かい合ったまま、前後方向に移動する。
次に、実施例1に係る基板収納容器1の動作例を説明する。以下では、まず、蓋3が筐体2から取り外されている状態を説明し、続いて、蓋3を筐体2に取り付けるときの動作例と、蓋3を筐体2から取り外すときの動作例を説明する。最後に、基板収納容器1から基板Wを搬出する動作例を簡単に説明する。
図4(a)、4(b)を参照する。載置台44には、基板収納容器1が載置されている。基板収納容器1は開放されている。シャッター部材45aは、例えば、位置P2または位置P3において蓋3を保持している。
図4(b)を参照する。シャッター部材45aは、蓋3を保持して、位置P2から位置P1に移動する。以下、より詳細に説明する。
図4(b)に参照する。シャッター部材45aは、蓋3を保持して、位置P1から位置P2に移動する。以下、具体的に説明する。
図4(a)、4(b)を参照する。蓋3とシャッター部材45aは、位置P3に位置している。保持アーム47aは筐体2の内部に進入する。保持アーム47aが1枚の基板Wを保持する。その後、保持アーム47aは、基板Wを保持したまま、筐体2の外部に退出する。そして、保持アーム47aは、その基板Wを処理ユニット48に搬送する。
蓋3を筐体2に取り付けるとき、蓋3は開口Aに向かって前進する。このとき、接触部33が蓋用支持部材23に対して後退するので、蓋用支持部材23が基板Wを支持することを基板離脱機構31は妨げない。よって、蓋3が筐体2に取り付けられたとき、蓋用支持部材23は筐体3内の基板Wの端部を好適に支持できる。このため、蓋3が筐体2に装着された状態では、基板収納容器1を輸送しても基板Wを好適に保護できる。
図6(a)、(b)、(c)を参照する。図6(a)、(b)、(c)では、左側の図が側面図であり、右側の図が平面図である。実施例2では、蓋3が開口Aと向かい合っているとき、筐体用支持部材16aの下傾斜部17aおよび蓋用支持部材23aの下傾斜部24aの位置はそれぞれ、棚部材11aに略水平載置される基板Wの端部と接触可能な高さに設定されている。また、筐体用支持部材16aの最奥部17bおよび蓋用支持部材23aの最奥部24bは、基板Wが棚部材11から上昇した状態で、基板Wの端部を支持可能な高さに設定されている。
2.1.蓋3が筐体2から取り外されている状態
図6(a)を参照する。蓋3は、例えば、点線で図示する位置にある。基板Wは棚部材11に載置されている。筐体用支持部材16の下傾斜部17aが基板Wの後部の端部と接触している。
図6(a)を参照する。蓋3が点線で図示する位置から前進すると、蓋用支持部材23および基板離脱機構31が蓋3と一体に前進する。
図6(c)、6(b)を参照する。蓋3が開口Aから後退すると、蓋用支持部材23は蓋3と一体に後退する。これに対し、接触部33はバネ32によって前方向に押圧されているため、接触部33は後退せずにストッパ部材41に当接したままその位置に留まる。すなわち、接触部33は、蓋3から遠ざかるように移動し、蓋用支持部材23に対して前進する。
蓋3が開口Aに向かって前進するとき、接触部33が蓋用支持部材23に対して後退するので、蓋用支持部材23が基板Wを支持することを基板離脱機構31は妨げない。よって、蓋3が筐体2に取り付けられたとき、蓋用支持部材23は筐体3内の基板Wの端部を好適に支持できる。
2 … 筐体
3 … 蓋
3b … 裏面
11a、11b、11c、11 … 棚部材
16a、16b、16c、16 … 筐体用支持部材
23a、23b、23c、23 … 蓋用支持部材
31、51 … 基板離脱機構
32、52 … バネ(弾性部材)
33、52b … 接触部
41 … 基板処理装置
42… ロードポート部
44 … 載置台
45 … 開閉機構
47 … 搬送機構
48 … 処理ユニット
A … 開口
420、421、422 … ロードポート装置
W、Wa … 基板
Claims (8)
- 基板収納容器であって、
その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、
前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
前記蓋の裏面側に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
前記蓋の裏面側に取り付けられ、前記蓋用支持部材が支持する基板を前記蓋用支持部材から離す基板離脱機構と、
を備え、
前記基板離脱機構は、基板と直接的に接触する接触部を有し、
前記接触部は、前記蓋用支持部材に対して移動可能であり、
前記蓋が前記開口に向かって前進し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して後退することによって、前記蓋用支持部材が基板の端部を支持し、
前記蓋が前記開口から後退し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進することによって、前記基板離脱機構が前記蓋用支持部材から基板を離し、
前記基板収納容器は、前記筐体内に設けられ、前記基板離脱機構と当接することによって、前記接触部が前記筐体内の所定位置よりも前進することを規制するストッパ部材を備えている基板収納容器。 - 請求項1に記載の基板収納容器において、
前記接触部が前記蓋に近づくように移動することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して後退し、
前記接触部が前記蓋から遠ざかるように移動することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して前進する基板収納容器。 - 請求項2に記載の基板収納容器において、
前記蓋が前記開口から後退するとき、少なくとも基板が前記蓋用支持部材から離れるまで、前記接触部は基板と接触し続ける
基板収納容器。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記基板離脱機構は、前記接触部を移動させる弾性部材を備え、
前記弾性部材が弾性変形することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して後退し、
前記弾性部材が復元することによって、前記接触部は前記蓋用支持部材に対して前進する基板収納容器。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記蓋が前記開口に向かって前進するとき、前記筐体内の基板は、前記接触部と接触することによって前記接触部を蓋用支持部材に対して後退させる基板収納容器。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記所定位置は、前記蓋が前記筐体に装着されている時に前記蓋用支持部材が支持している基板の端部と接する位置、または、前記端部の近傍に設定されている基板収納容器。 - 請求項1から6のいずれかに記載の基板収納容器において、
前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材を備え、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の端部を挟持する基板収納容器。 - 請求項7に記載の基板収納容器において、
前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは前記基板の端部を挟持することにより前記基板を前記棚部材から上昇させ、前記蓋用支持部材が前記開口から後退し、かつ、前記接触部が前記蓋用支持部材に対して前進するときに前記基板離脱機構が前記蓋用支持部材から基板を離し、前記蓋用支持部材から前記棚部材に前記基板を下降させる、基板収納容器。
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